WO2021019922A1 - バルブ装置、流体制御装置及びバルブ装置の製造方法 - Google Patents

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WO2021019922A1
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flow path
diaphragm
valve device
bonnet
female screw
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PCT/JP2020/022873
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章弘 原田
中田　知宏
尊 三浦
山路　道雄
薬師神　忠幸
石橋　圭介
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株式会社フジキン
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Definitions

  • the present invention relates to a valve device, a fluid control device, and a method for manufacturing a valve device.
  • JP2016-161022A includes a flow path block in which a flow path is formed, a diaphragm that opens and closes the flow path, an actuator that pushes the diaphragm via a diaphragm retainer, and a bonnet that connects the flow path block and the actuator.
  • the valve device provided is disclosed.
  • the valve device of JP2016-161022A has a problem that the flow rate of the fluid flowing through the flow path varies when the diaphragm is fully opened due to the variation in the dimensions of each member constituting the valve device. Therefore, it is required to adjust the Cv value related to this flow rate when assembling the valve device.
  • the Cv value is a flow rate value expressed in US gallons / min when water is flowed at 60 degrees Fahrenheit with a pressure difference of 1 Psi in a specific operating range.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a valve device, a fluid control device, and a method for manufacturing a valve device capable of adjusting a Cv value at the time of assembly.
  • the flow path block in which the flow path is formed the diaphragm that opens and closes the flow path, the diaphragm retainer that presses the diaphragm, and the diaphragm that presses the diaphragm via the diaphragm retainer.
  • a female screw is formed on the inner peripheral surface of the actuator, and the tubular bonnet connecting the flow path block and the actuator is screwed into the female screw and abuts on the diaphragm retainer to open the diaphragm.
  • a valve device comprising a tubular position adjusting member for adjusting the valve position and an annular lock nut for locking the position adjusting member by being screwed into the female screw.
  • a method for manufacturing a valve device for manufacturing a valve device which comprises a diaphragm installation step of installing a diaphragm for opening and closing the flow path in a flow path block in which the flow path is formed.
  • a method for manufacturing a valve device includes a locking step of locking the valve device and an actuator mounting step of attaching an actuator for pressing the diaphragm to the bonnet via the diaphragm retainer.
  • the Cv value can be adjusted at the time of assembly.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing a valve device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a top view showing the adjusting screw and the first rotating jig for rotating the adjusting screw.
  • FIG. 3 is a top view showing the lock nut.
  • FIG. 4 is a schematic view showing a second rotating jig for rotating the lock nut, (a) a schematic top view of the second rotating jig, and (b) a schematic cross-sectional view of the second rotating jig. ..
  • FIG. 5 is a flowchart showing a manufacturing method of a valve device for manufacturing a valve device.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing a valve device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a top view showing the adjusting screw and the first rotating jig for rotating the adjusting screw.
  • FIG. 3 is a top view showing the lock nut.
  • FIG. 4 is a schematic view showing a second rotating
  • FIG. 6 is a schematic view showing a state in which the adjusting screw is locked by screwing the lock nut with the second rotating jig in a state where the rotation of the adjusting screw is regulated by the first rotating jig.
  • FIG. 7 is a perspective view showing an example of a fluid control device to which the valve device is applied.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view showing a main part of the valve device according to the first modification.
  • FIG. 9 is a schematic cross-sectional view showing a main part of the valve device according to the second modification.
  • valve device 1 First, the valve device 1 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 4.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing the valve device 1.
  • FIG. 2 is a top view showing the adjusting screw 8 and the first rotating jig 10 for rotating the adjusting screw 8.
  • FIG. 3 is a top view showing the lock nut 9.
  • FIG. 4 is a schematic view showing a second rotating jig 11 for rotating the lock nut 9, (a) a schematic top view of the second rotating jig 11, and (b) a schematic view of the second rotating jig 11. It is a sectional view.
  • the valve device 1 is provided in a fluid control device (not shown) used for manufacturing a semiconductor.
  • the fluid control device is used in a thin film forming step of forming a predetermined thin film on a substrate such as a semiconductor wafer by an ALD (Atomic Layer Deposition / that is, atomic layer deposition) method.
  • ALD atomic layer deposition
  • the valve device 1 includes a flow path block 2, a diaphragm 3, a diaphragm retainer 4, an actuator 5 as a drive unit, a bonnet 6, a spacer 7, an adjusting screw 8 as a position adjusting member, and a lock nut 9. Be prepared.
  • the valve device 1 is an air operated valve that opens the diaphragm 3 by introducing drive air as a drive fluid into the actuator 5.
  • the flow path block 2 has a fluid inflow flow path 21, a fluid outflow flow path 22, and a recess 23 in which the bonnet 6 is housed as a flow path.
  • An annular valve seat 24 is provided on the peripheral edge of one end of the fluid inflow flow path 21.
  • the flow path block 2 includes a peripheral wall 231 forming the recess 23.
  • a female screw 232 screwed into the bonnet 6 is formed in the recess 23.
  • the diaphragm 3 is a valve body for opening and closing the fluid inflow flow path 21 separated from the valve seat 24 or pressed by the valve seat 24.
  • the diaphragm 3 is a diaphragm member that separates the flow path side and the actuator 5 side. Further, the diaphragm 3 is formed in an arc shape that rises toward the actuator 5 side (upper side in FIG. 1) in a natural state, and is made of, for example, a nickel alloy thin plate or the like. Normally, the diaphragm 3 is pressed by the diaphragm retainer 4 to the valve seat 24.
  • the diaphragm retainer 4 is a retainer member for pressing the diaphragm 3 against the valve seat 24.
  • the diaphragm retainer 4 is housed in the bonnet 6. Further, the diaphragm retainer 4 has a disk-shaped pressing body 41 as a guided portion, and a disk-shaped upper body that protrudes from the pressing body 41 toward the actuator 5 (upper side in FIG. 1) and has a smaller diameter than the pressing body 41.
  • a disc shape as an insertion portion that protrudes from the protrusion 42 and the holding body 41 to the flow path block 2 side (lower side in FIG. 1) and has a smaller diameter than the holding body 41 and a larger diameter than the upper protrusion 42. It has a lower protrusion 43 and.
  • the pressing body 41, the upper protrusion 42, and the lower protrusion 43 are formed coaxially.
  • the presser body 41 is formed with an upper surface 411 as a contact surface and a lower surface 412 as a movement control surface opposite to the upper surface 411.
  • the upper surface 411 is formed so as to be located outside the upper protrusion 42 and to face the end surface (lower end surface in FIG. 1) of the adjusting screw 8 on the flow path block 2 side.
  • the lower surface 412 is formed so as to be located outside the lower protrusion 43 and to face the end surface (upper end surface in FIG. 1) of the spacer 7 on the actuator 5 side.
  • the lower protrusion 43 is provided on the pressing body 41 by fitting, but the present invention is not limited to this, and for example, the lower protrusion 43 may be integrally molded with the pressing body 41.
  • the actuator 5 blocks or communicates the fluid inflow flow path 21 and the fluid outflow flow path 22 by pressing or separating the diaphragm 3 from the valve seat 24 via the diaphragm retainer 4 housed in the bonnet 6.
  • the actuator 5 includes a case 51 provided above the bonnet 6, a piston 52 slidably housed in the case 51, a coil spring 53 as an urging member for pressing the piston 52 toward the flow path block 2, and a piston. It has a stem 54 that moves in the axial direction (vertical direction in FIG. 1) in conjunction with the 52.
  • the case 51 is a frame member for accommodating the piston 52 and the coil spring 53.
  • the case 51 has a bottomed cylindrical first case 511 as an upper case and a second case 512 as a lower case connected to the first case 511 by screwing.
  • the piston 52 is slidably accommodated in the accommodating space 513 formed by connecting the first case 511 and the second case 512.
  • a coil spring 53 is housed above the piston 52.
  • the first case 511 has a cylindrical peripheral wall 511a and a cylindrical top wall 511b provided at one end (upper end of FIG. 1) of the peripheral wall 511a.
  • a female screw 511c screwed into the second case 512 is formed on the inner peripheral surface of the other end (lower end of FIG. 1) of the peripheral wall 511a.
  • a stem guide hole 511d that penetrates the stem 54 in the axial direction (vertical direction in FIG. 1) is formed.
  • the drive air is introduced into the actuator 5 from the drive air supply control unit (not shown) via the stem guide hole 511d.
  • An annular groove 511e is formed on the top wall 511b as a spring accommodating chamber for accommodating the coil spring 53 so as to surround the stem guide hole 511d.
  • the coil spring 53 is compressed so that one end (upper end of FIG. 1) abuts on the bottom of the annular groove 511e and the other end (lower end of FIG. 1) abuts on the first piston 521 described later of the piston 52. It is housed in the annular groove 511e.
  • the peripheral wall 511a is formed with a through hole 511f and a through hole 511g for bleeding air that penetrate in the radial direction so as not to interfere with the female screw 511c.
  • the through hole 511g is located below the through hole 511f.
  • the top wall 511b is formed with a pair of engaging holes 511h to which a third rotating jig that rotates the actuator 5 is engaged so as not to interfere with the stem guide hole 511d.
  • the second case 512 includes a cylindrical peripheral wall 512a, a disk-shaped bottom wall 512b provided at one end (lower end of FIG. 1) of the peripheral wall 512a, and a flow path block 2 side (lower side of FIG. 1) from the bottom wall 512b. ), It has a cylindrical stretched portion 514.
  • a male screw 512c screwed into the female screw 511c is formed on the outer peripheral surface of the peripheral wall 512a.
  • the peripheral wall 512a is formed with a through hole 512d for bleeding air that penetrates in the radial direction so as not to interfere with the male screw 512c.
  • the through hole 511g of the first case 511 and the through hole 512d of the second case 512 communicate with each other.
  • Through holes 512e through which the stem 54 is inserted are formed in the bottom wall 512b and the extension portion 514.
  • a male screw 515 screwed into the bonnet 6 is provided on the outer peripheral surface of the stretched portion 514.
  • the bottom wall 512b is formed with an annular flat contact surface 512f located on the outer peripheral side of the extending portion 514 and facing the bonnet 6.
  • the piston 52 has a first piston 521 as an upper piston and a second piston 522 as a lower piston located below the first piston 521 in FIG. 1.
  • a counter plate 55 located between the first piston 521 and the second piston 522 is fixed to the inner peripheral surface of the first case 511.
  • a through hole through which the stem 54 is inserted is formed in the center of the counter plate 55.
  • a first air introduction chamber 56 is formed between the second piston 522 and the second case 512.
  • a second air introduction chamber 57 is formed between the first piston 521 and the counter plate 55.
  • the stem 54 is formed with an axial flow path 54a, a first radial flow path 54b, and a second radial flow path 54c for introducing drive air into the first air introduction chamber 56 and the second air introduction chamber 57.
  • the stem 54 is formed separately from the first shaft portion extending upward from the central portion of the first piston 521 and the first shaft portion, and is formed in the vertical direction from the central portion of the second piston 522. It has a second shaft portion that extends to, but is not limited to this, and for example, even if it has a shaft portion in which the first shaft portion and the second shaft portion are integrally formed. Good.
  • the axial flow path 54a communicates with the stem guide hole 511d.
  • the first radial flow path 54b is formed at the tip of the axial flow path 54a (lower end in FIG. 1) and communicates the axial flow path 54a with the first air introduction chamber 56.
  • the second radial flow path 54c is formed near the center of the axial flow path 54a, and communicates the axial flow path 54a with the second air introduction chamber 57.
  • a first communication chamber 58 is formed between the first piston 521 and the first case 511.
  • the first communication chamber 58 communicates with the outside through the through hole 511f.
  • a second communication chamber 59 is formed between the second piston 522 and the counter plate 55. The second communication chamber 59 communicates with the outside through the through hole 511g and the through hole 512d.
  • An O-ring 12 is interposed between the stem guide hole 511d and one end of the stem 54.
  • An O-ring 13 is interposed between the first piston 521 and the first case 511.
  • An O-ring 14 is interposed between the counter plate 55 and the first case 511.
  • An O-ring 15 is interposed between the counter plate 55 and the stem 54.
  • An O-ring 16 is interposed between the second piston 522 and the second case 512.
  • An O-ring 17 is interposed between the stem 54 and the through hole 512e.
  • the bonnet 6 is a cylindrical connecting member that connects the flow path block 2 and the actuator 5.
  • the diaphragm retainer 4, the adjusting screw 8, and the lock nut 9 are housed in the bonnet 6.
  • a male screw 61 screwed into the female screw 232 of the recess 23 of the flow path block 2 is formed on the outer peripheral surface of the bonnet 6.
  • the bonnet 6 is attached to the flow path block 2 by screwing the female screw 232 and the male screw 61.
  • a hexagonal protrusion 62 that can be engaged with a monkey or the like is provided on the outer peripheral surface of the bonnet 6. The hexagonal protrusion 62 is located on the actuator 5 side (that is, above the male screw 61) with respect to the male screw 61.
  • a female screw 63 is formed on the inner peripheral surface of the bonnet 6 located on the actuator 5 (upper side of FIG. 1) side.
  • the adjusting screw 8, the lock nut 9, and the extension portion 514 of the actuator 5 are screwed into the female screw 63 in this order.
  • An annular flat positioning surface 64 facing the contact surface 512f of the actuator 5 is formed at the upper end of the bonnet 6. Then, by screwing the male screw 515 of the stretched portion 514 and the female screw 63 of the bonnet 6, the stretched portion 514 of the actuator 5 can be screwed into the inner peripheral surface of the bonnet 6 until the contact surface 512f and the positioning surface 64 come into contact with each other. it can. As a result, the actuator 5 is positioned by the contact between the contact surface 512f and the positioning surface 64.
  • An annular annular portion 65 having an inner diameter smaller than the inner diameter of the female screw 63 is formed at the lower end of the bonnet 6 as an end located on the flow path block 2 (lower side of FIG. 1). Then, the holding body 41 of the diaphragm holding 4 is guided in the vertical direction by the inner peripheral surface of the annular portion 65.
  • the bonnet 6 is formed so that the female screw 63 and the annular portion 65 do not overlap in the vertical direction.
  • An annular spacer 7 having an inner diameter smaller than the inner diameter of the annular portion 65 is provided between the lower end of the bonnet 6 and the bottom surface of the recess 23 of the flow path block 2.
  • the outer peripheral edge of the diaphragm 3 is held between the spacer 7 and the bottom surface of the recess 23, and is fixed by screwing the bonnet 6 into the female screw 232 of the recess 23.
  • the lower protrusion 43 of the diaphragm retainer 4 in contact with the diaphragm 3 is inserted into the inner peripheral side of the spacer 7.
  • the adjusting screw 8 is a cylindrical position adjusting member for adjusting the valve opening position of the diaphragm 3 via the diaphragm retainer 4 according to the screwing amount of the bonnet 6 with respect to the female screw 63.
  • the valve opening position of the diaphragm 3 refers to the position of the apex of the diaphragm 3.
  • the adjusting screw 8 is provided between the lock nut 9 and the diaphragm retainer 4 along the vertical direction.
  • the stem 54 of the actuator 5 and the upper protrusion 42 of the diaphragm retainer 4 are inserted so as to abut on the inner peripheral side of the adjusting screw 8, but the present invention is not limited to this. For example, either one of the stem 54 and the upper protrusion 42 may be inserted.
  • the adjusting screw 8 is located on the flow path block 2 (lower side of FIG. 1) side of the large diameter portion 81 having a cylindrical shape as a screw portion to be screwed into the female screw 63, and the large diameter portion 81. It has a cylindrical small diameter portion 82 having an outer diameter smaller than the outer diameter of the above.
  • the large diameter portion 81 and the small diameter portion 82 are formed coaxially.
  • a male screw 811 screwed into the female screw 63 of the bonnet 6 is formed on the outer peripheral surface of the large diameter portion 81.
  • the end surface (upper end surface in FIG. 1) of the large diameter portion 81 on the actuator 5 side comes into contact with the lock nut 9.
  • the small diameter portion 82 is provided so that its tip (lower end in FIG. 1) is inserted into the annular portion 65 of the bonnet 6.
  • the end surface (lower end surface in FIG. 1) of the small diameter portion 82 on the flow path block 2 side abuts on the upper surface 411 as the contact surface of the pressing body 41 of the diaphragm retainer 4.
  • a first engaging portion 83 with which the first rotating jig 10 for rotating the adjusting screw 8 is engaged is formed on the inner peripheral surface of the adjusting screw 8.
  • the first engaging portion 83 is composed of six semicircular concave grooves 831 formed on the inner peripheral surface of the adjusting screw 8 at predetermined intervals in a top view.
  • the first rotating jig 10 is made of a hexagon wrench. The corners of the first rotating jig 10 can be accommodated in each of the six concave grooves 831.
  • the concave groove 831 is provided so as to penetrate the large diameter portion 81 along the vertical direction and extend to the small diameter portion 82, but the present invention is not limited to this, and for example, the vertical direction. It may be provided so as to penetrate only the large diameter portion 81 along the vertical direction, or may be provided only in a part of the large diameter portion 81 along the vertical direction.
  • the adjusting screw 8 is rotated in one direction (for example, clockwise) by the first rotating jig 10 and moves to the flow path block 2 (lower side in FIG. 1) while being screwed into the female screw 63 of the bonnet 6. To do.
  • the diaphragm retainer 4 moves to the flow path block 2 (lower side in FIG. 1) side together with the adjusting screw 8.
  • the diaphragm 3 is pressed toward the flow path block 2 (lower side in FIG. 1) by the movement of the diaphragm retainer 4, so that a gap (that is, Cv value) formed between the apex of the diaphragm 3 and the valve seat 24 is formed. ) Becomes smaller.
  • the adjusting screw 8 is rotated in another direction (for example, counterclockwise direction) by the first rotating jig 10, and is loosened with respect to the female screw 63 of the bonnet 6 on the actuator 5 (upper side of FIG. 1) side.
  • the diaphragm retainer 4 moves toward the actuator 5 (upper in FIG. 1) due to the restoring force of the diaphragm 3, thereby forming a gap (that is, a Cv value) between the apex of the diaphragm 3 and the valve seat 24. )
  • a gap that is, a Cv value
  • the adjusting screw 8 adjusts the Cv value at the time of assembling the valve device 1 by adjusting the valve opening position of the diaphragm 3 via the diaphragm retainer 4 according to the screwing amount of the bonnet 6 with respect to the female screw 63. can do. Therefore, it is possible to suppress the flow rate variation of the fluid flowing through the fluid inflow flow path 21 and the fluid outflow flow path 22 when fully opened.
  • the movement of the diaphragm retainer 4 toward the flow path block 2 is restricted by the contact between the lower surface 412 as the movement restricting surface of the presser body 41 and the upper surface of the spacer 7.
  • the gap that is, Cv value
  • the adjusting screw 8 is excessively screwed into the female screw 63, and the diaphragm retainer 4 is released when the valve is closed. It is possible to suppress both the excessive pressing of the diaphragm 3 against the valve seat 24.
  • the lock nut 9 is an annular lock member for locking the adjusting screw 8 after the valve opening position of the diaphragm 3 is adjusted. Further, the lock nut 9 is provided between the extension portion 514 of the actuator 5 and the adjusting screw 8 along the vertical direction.
  • the stem 54 of the actuator 5 is inserted through the inner peripheral side of the lock nut 9, but the present invention is not limited to this, and for example, the upper protrusion 42 of the diaphragm retainer 4 is inserted. Alternatively, the stem 54 and the upper protrusion 42 may be inserted so as to be in contact with each other.
  • a male screw 91 screwed into the female screw 63 of the bonnet 6 is formed on the outer peripheral surface of the lock nut 9.
  • the end surface of the lock nut 9 on the flow path block 2 side comes into contact with the end surface of the large diameter portion 81 of the adjusting screw 8.
  • a second rotating jig 11 for rotating the lock nut 9 is engaged with the end surface (upper end surface of FIG. 1) of the lock nut 9 on the actuator 5 side.
  • the engaging portion 92 is formed.
  • the second engaging portion 92 includes a pair of engaging holes 921.
  • the second rotating jig 11 includes a cylindrical jig main body 111, a hexagonal protruding portion 112 provided on the outer peripheral surface of one end of the jig main body 111 and capable of engaging with a hexagon wrench. It has a pair of protrusions 113 that protrude from the other end of the jig body 111 and can be engaged with the pair of engagement holes 921. Since the jig body 111 of the second rotation jig 11 is formed with a through hole through which the first rotation jig 10 can be inserted, the first rotation jig 10 is inserted into the jig body 111 of the second rotation jig 11. It can be used by inserting it on the inner circumference side of.
  • the lock nut 9 is screwed into the female screw 63 of the bonnet 6 by being rotated in one direction (for example, in the clockwise direction) by the second rotating jig 11.
  • the lock nut 9 can lock the adjusting screw 8, so that the fluctuation of the Cv value due to the loosening of the adjusting screw 8 can be suppressed. Therefore, it is possible to further suppress the flow rate variation of the fluid flowing through the fluid inflow flow path 21 and the fluid outflow flow path 22 when fully opened.
  • a first engaging portion 83 with which the first rotating jig 10 engages is formed in the region of the adjusting screw 8 which does not overlap with the lock nut 9 in the top view, and the lock nut 9 overlaps with the adjusting screw 8 in the top view.
  • a second engaging portion 92 with which the second rotating jig 11 engages is formed in the region of.
  • the first engaging portion 83 of the adjusting screw 8 is located on the inner diameter side of the second engaging portion 92 of the lock nut 9.
  • the first rotating jig 10 inserts the inner peripheral side of the lock nut 9 between the pair of engaging holes 921, and the first engaging portion located on the inner diameter side of the second engaging portion 92. It can be engaged with 83 (see FIG. 6).
  • the first rotating jig 10 and the second rotating jig 11 can be used by being engaged with the first engaging portion 83 and the second engaging portion 92 at the same time without interfering with each other.
  • the first engaging portion 83 and the second engaging portion 92 are located in the region of the adjusting screw 8 that does not overlap the lock nut 9 in the top view and the region of the lock nut 9 that overlaps the adjusting screw 8 in the top view, respectively. It is formed.
  • the first engaging portion 83 and the second engaging portion 92 are not limited to this, and for example, the region of the adjusting screw 8 overlapping the lock nut 9 in the top view and the adjusting screw 8 in the top view, respectively. It may be formed in the area of the overlapping lock nuts 9.
  • valve device 1 for manufacturing the valve device 1 will be described with reference to FIGS. 5 and 6.
  • FIG. 5 is a flowchart showing a manufacturing method of the valve device 1 for manufacturing the valve device 1.
  • FIG. 6 is a schematic view showing a state in which the adjusting screw 8 is locked by screwing the lock nut 9 by the second rotating jig 11 in a state where the rotation of the adjusting screw 8 is regulated by the first rotating jig 10. ..
  • step S1 the diaphragm 3 is installed in the flow path block 2. Specifically, in step S1, the diaphragm 3 is installed on the bottom surface of the recess 23 of the flow path block 2 so as to cover both the fluid inflow flow path 21 and the fluid outflow flow path 22.
  • step S2 the bonnet 6 is attached to the flow path block 2.
  • step S2 includes a spacer mounting step of mounting the spacer 7 on the diaphragm 3 so as to cover the outer peripheral edge of the diaphragm 3, and a spacer by screwing the bonnet 6 into the recess 23 of the flow path block 2.
  • the bonnet screwing step of fixing the outer peripheral edge of the 7 and the diaphragm 3 is included.
  • step S3 the diaphragm retainer 4 is installed on the bonnet 6 so as to come into contact with the diaphragm 3.
  • step S4 the adjusting screw 8 is screwed into the female screw 63 of the bonnet 6 by the first rotating jig 10, and the valve opening position of the diaphragm 3 is adjusted via the diaphragm retainer 4.
  • the Cv value can be adjusted when the valve device 1 is assembled.
  • step S5 the adjusting screw 8 is locked by screwing the lock nut 9 into the female screw 63 of the bonnet 6 by the second rotating jig 11.
  • step S5 as shown in FIG. 6, the lock nut 9 is screwed in by the second rotating jig 11 in a state where the rotation of the adjusting screw 8 is regulated by the first rotating jig 10. Securely tighten the screw 8 to lock it.
  • step S6 the actuator 5 is attached to the bonnet 6. Specifically, in step S6, by screwing the extended portion 514 of the actuator 5 in the assembled state into the female screw 63 of the bonnet 6, the contact surface 512f of the actuator 5 and the positioning surface 64 of the bonnet 6 come into contact with each other, and the actuator 5 Can be positioned.
  • valve device 1 Next, the operation of the valve device 1 will be described.
  • the drive air supply control unit supplies the drive air to the actuator 5 of the valve device 1 via the stem guide hole 511d
  • the drive air is the first via the axial flow path 54a and the first radial flow path 54b. It is introduced into the air introduction chamber 56, and is also introduced into the second air introduction chamber 57 via the axial flow path 54a and the second radial flow path 54c.
  • the piston 52 moves upward in FIG. 1 integrally with the stem 54 against the urging force of the coil spring 53 so that the volumes of the first air introduction chamber 56 and the second air introduction chamber 57 increase. ..
  • the diaphragm 3 is separated from the valve seat 24 by rising together with the diaphragm retainer 4 by its own restoring force. That is, the diaphragm 3 opens the fluid inflow flow path 21 by raising the piston 52 and the stem 54. Therefore, a fluid such as a process gas is supplied from the fluid inflow flow path 21 to the fluid outflow flow path 22 via a gap formed between the valve seat 24 and the diaphragm 3.
  • the piston 52 is integrated with the stem 54 by the urging force of the coil spring 53 and is moved downward in FIG. Moving. Then, the diaphragm 3 is pressed against the valve seat 24 via the diaphragm retainer 4 by the downward movement of the stem 54. That is, the diaphragm 3 closes the fluid inflow flow path 21 by the movement of the piston 52, the stem 54, and the diaphragm retainer 4. Therefore, the vaporized process gas or other fluid is not supplied from the fluid inflow channel 21 to the fluid outflow channel 22.
  • the volumes of the first air introduction chamber 56 and the second air introduction chamber 57 are reduced by the movement of the piston 52 and the stem 54.
  • the air in the first air introduction chamber 56 is led out to the drive air supply control unit via the first radial flow path 54b, the axial flow path 54a, and the stem guide hole 511d, and the second air is introduced.
  • the air in the chamber 57 is led out to the drive air supply control unit via the second radial flow path 54c, the axial flow path 54a, and the stem guide hole 511d.
  • the drive air supply control unit can switch the opening and closing of the diaphragm 3 with respect to the valve seat 24 by controlling the supply of drive air to the actuator 5 of the valve device 1. Therefore, according to such a valve device 1, it is possible to control the fluid supply from the fluid inflow flow path 21 to the fluid outflow flow path 22.
  • the valve device 1 is composed of a valve device that is always closed (normally closed), but is not limited to this, for example, from a valve device that is always open (normally open). You may become.
  • FIG. 7 is a perspective view showing an example of a fluid control device to which the valve device 1 is applied.
  • the fluid control device shown in FIG. 7 is provided with a metal base plate BS arranged along the width directions W1 and W2 and extending in the longitudinal directions G1 and G2.
  • W1 indicates the front side
  • W2 indicates the back side
  • G1 indicates the upstream side
  • G2 indicates the downstream side.
  • Various fluid devices 991A to 991E are installed in the base plate BS via a plurality of flow path blocks 992, and a flow path (not shown) in which a fluid flows from the upstream side G1 to the downstream side G2 by the plurality of flow path blocks 992. Are formed respectively.
  • the "fluid device” is a device used for a fluid control device that controls the flow of a fluid, includes a body that defines a fluid flow path, and at least two flow path ports that open on the surface of the body. It is a device having. Specific examples include, but are not limited to, an on-off valve (two-way valve) 991A, a regulator 991B, a pressure gauge 991C, an on-off valve (three-way valve) 991D, and a mass flow controller 991E.
  • the introduction pipe 993 is connected to a flow path port on the upstream side of the above-mentioned flow path (not shown).
  • the valve device 1 according to the present embodiment can be applied to various valve devices such as the on-off valves 991A and 991D and the regulator 991B described above.
  • the valve device 1 includes a flow path block 2 in which the fluid inflow flow path 21 is formed, a diaphragm 3 for opening and closing the fluid inflow flow path 21, a diaphragm retainer 4 for pressing the diaphragm 3, and a diaphragm retainer 4.
  • An actuator 5 that pushes the diaphragm 3 through the diaphragm 3 and a female screw 63 are formed on the inner peripheral surface, and the cylindrical bonnet 6 that connects the flow path block 2 and the actuator 5 is screwed into the female screw 63 to hold the diaphragm. It is provided with a cylindrical adjusting screw 8 that adjusts the valve opening position of the diaphragm 3 by contacting with 4, and an annular lock nut 9 that locks the adjusting screw 8 by being screwed into the female screw 63.
  • the fluid control device is a fluid control device in which a plurality of fluid devices are arranged from the upstream side to the downstream side, and the plurality of fluid devices include the valve device 1 described above.
  • the manufacturing method of the valve device 1 for manufacturing the valve device 1 according to the present embodiment is a diaphragm installation step of installing a diaphragm 3 for opening and closing the fluid inflow flow path 21 in the flow path block 2 in which the fluid inflow flow path 21 is formed.
  • the adjusting screw 8 adjusts the valve opening position of the diaphragm 3 via the diaphragm retainer 4 according to the screwing amount of the bonnet 6 with respect to the female screw 63, so that the Cv value at the time of assembling the valve device 1 Can be adjusted. Further, since the adjusting screw 8 can be tightened and locked by screwing the lock nut 9, it is possible to suppress the fluctuation of the Cv value due to the loosening of the adjusting screw 8. Therefore, it is possible to further suppress the flow rate variation of the fluid flowing through the fluid inflow flow path 21 and the fluid outflow flow path 22 when fully opened.
  • the first engaging portion 83 with which the first rotating jig 10 engages is formed in the region of the adjusting screw 8 that does not overlap with the lock nut 9, and the lock nut 9 is subjected to the second rotation.
  • a second engaging portion 92 with which the jig 11 engages is formed.
  • the first rotating jig 10 engages with the first engaging portion 83 of the adjusting screw 8 without interfering with the lock nut 9, and at the same time, the second rotating jig 11 engages with the lock nut 9. Can be engaged with the second engaging portion 92 of.
  • the first engaging portion 83 is located on the inner diameter side of the second engaging portion 92.
  • the first rotating jig 10 is located on the inner diameter side of the second engaging portion 92 by inserting the inner peripheral side of the lock nut 9 between the pair of engaging holes 921. It can be engaged with the engaging portion 83.
  • the actuator 5 has a case 51, and the case 51 is provided so as to extend toward the flow path block 2 side, and a male screw 515 screwed into the female screw 63 is formed on the outer peripheral surface.
  • the bonnet 6 has an annular contact surface 512f located on the outer peripheral side of the stretched portion 514 and facing the bonnet 6, and the bonnet 6 has an annular contact surface 512f facing the contact surface 512f.
  • a positioning surface 64 is formed, and a clearance is formed between the extension portion 514 and the lock nut 9 in a state where the contact surface 512f and the positioning surface 64 are in contact with each other by screwing the male screw 515 and the female screw 63. ..
  • the contact between the extension portion 514 and the lock nut 9 can be avoided, so that the positioning of the actuator 5 can be made accurate by the contact between the contact surface 512f and the positioning surface 64. Further, the dimensions of the valve device 1 in the vertical direction can be made constant.
  • annular portion 65 having an inner diameter smaller than the inner diameter of the female screw 63 is formed at the lower end of the bonnet 6 located on the flow path block 2 side, and between the lower end and the flow path block 2.
  • An annular spacer 7 having an inner diameter smaller than the inner diameter of the annular portion 65 is provided, and the diaphragm retainer 4 has a lower surface 412 facing the spacer 7, a retainer body 41 guided by the annular portion 65, and a spacer. It has a lower protrusion 43 that is inserted into the inner peripheral side of 7 and is located closer to the flow path block 2 than the pressing body 41, and the movement of the diaphragm retainer 4 to the flow path block 2 side is the lower surface of the pressing body 41. It is regulated by the contact between the 412 and the spacer 7.
  • the adjusting screw 8 in the locking process, is locked by screwing the lock nut 9 into the female screw 63 in a state where the rotation of the adjusting screw 8 is restricted.
  • the rotation (co-rotation) of the adjusting screw 8 due to the screwing of the lock nut 9 can be suppressed, so that the change in the Cv value once adjusted can be eliminated. Therefore, it is possible to further suppress the flow rate variation of the fluid flowing through the fluid inflow flow path 21 and the fluid outflow flow path 22 when fully opened.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view showing a main part of the valve device 1a according to the first modification.
  • the screwing amount of the adjusting screw 8 is regulated by the contact between the lower surface 412 of the holding body 41 and the spacer 7, but the screwing amount is not limited to this, and is not limited to this, for example, as shown in FIG.
  • the adjustment screw 8 may be regulated by the contact between the medium diameter portion 84 and the annular portion 65 as the screwing amount regulating portion.
  • the adjusting screw 8 has an outer diameter smaller than the outer diameter of the large diameter portion 81 and larger than the outer diameter of the small diameter portion 82 in addition to the large diameter portion 81 and the small diameter portion 82. It has an annular middle diameter portion 84 having a diameter.
  • the medium diameter portion 84 is provided between the large diameter portion 81 and the small diameter portion 82 along the vertical direction so as to face the annular portion 65 of the bonnet 6.
  • the valve device 1a According to the valve device 1a according to the present modification, it is possible to prevent the adjusting screw 8 from being excessively screwed into the female screw 63 as in the above-described embodiment.
  • the inner diameter of the annular spacer 7 can be made the same size as the inner diameter of the annular portion 65, and the lower protrusion 43 of the diaphragm retainer 4 in the above-described embodiment is abolished to form the structure of the diaphragm retainer 4. It can be simplified (see FIG. 8).
  • valve device 1b according to the second modification will be described with reference to FIG.
  • the same points as those in the above-described embodiment will be omitted, and the points different from the above-described embodiment will be mainly described.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view showing a main part of the valve device 1b according to the second modification.
  • the adjusting screw 8 and the lock nut 9 are provided so as not to overlap in the vertical direction, but the present invention is not limited to this, and for example, as shown in FIG. 9, the vertical direction It may be provided so as to overlap along the above.
  • the first engaging portion 83 is composed of a pair of engaging holes 831a formed on the end surface of the adjusting screw 8 on the actuator 5 side.
  • the second engaging portion 92 is composed of six semicircular concave grooves 921a formed on the inner peripheral surface of the lock nut 9 at predetermined intervals when viewed from above.
  • the first engaging portion 83 and the second engaging portion 92 are not necessarily composed of six semicircular concave grooves 831 and a pair of engaging holes 921, respectively.
  • the adjusting screw 8 and the lock nut 9 are provided so as to overlap each other in the vertical direction, so that the dimension of the bonnet 6 accommodating the adjusting screw 8 and the lock nut 9 in the vertical direction is provided. Can be made smaller. Therefore, the valve device 1 can be miniaturized.

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Abstract

バルブ装置(1)は、流体流入流路(21)が形成される流路ブロック(2)と、流体流入流路を開閉するダイヤフラム(3)と、ダイヤフラム押さえ(4)を介してダイヤフラムを押下するアクチュエータ(5)と、内周面に雌ねじ(63)が形成されるとともに、流路ブロックとアクチュエータとを連結する筒状のボンネット(6)と、雌ねじに螺合され、ダイヤフラム押さえに当接することでダイヤフラムの開弁位置を調整する筒状の調整ねじ(8)と、雌ねじにねじ込まれ、調整ねじをロックする環状のロックナット(9)と、を備える。

Description

バルブ装置、流体制御装置及びバルブ装置の製造方法
　本発明は、バルブ装置、流体制御装置及びバルブ装置の製造方法に関する。
　ＪＰ２０１６－１６１０２２Ａには、流路が形成される流路ブロックと、流路を開閉するダイヤフラムと、ダイヤフラム押さえを介してダイヤフラムを押下するアクチュエータと、流路ブロックとアクチュエータとを連結するボンネットと、を備えるバルブ装置が開示されている。
　しかしながら、ＪＰ２０１６－１６１０２２Ａのバルブ装置では、バルブ装置を構成する各部材の寸法のばらつきによって、ダイヤフラムの全開時に流路を流れる流体の流量にばらつきが生じるという問題点があった。そこで、バルブ装置の組み付け時に、この流量に関連するＣｖ値を調整することが求められている。なお、Ｃｖ値とは、ＪＩＳ規格では、特定の動作範囲において、圧力差が１Ｐｓｉとして華氏６０度の水を流した時の流量をＵＳガロン／ｍｉｎで表す流量数値である。
　本発明は、上記のような事情に鑑みてなされたものであり、組み付け時にＣｖ値を調整することができるバルブ装置、流体制御装置及びバルブ装置の製造方法を提供することを目的とする。
　本発明に係る一方の態様によれば、流路が形成される流路ブロックと、前記流路を開閉するダイヤフラムと、前記ダイヤフラムを押さえるダイヤフラム押さえと、前記ダイヤフラム押さえを介して前記ダイヤフラムを押下するアクチュエータと、内周面に雌ねじが形成されるとともに、前記流路ブロックと前記アクチュエータとを連結する筒状のボンネットと、前記雌ねじに螺合され、前記ダイヤフラム押さえに当接することで前記ダイヤフラムの開弁位置を調整する筒状の位置調整部材と、前記雌ねじにねじ込まれることで前記位置調整部材をロックする環状のロックナットと、を備える、バルブ装置が提供される。
　本発明に係る他方の態様によれば、バルブ装置を製造するバルブ装置の製造方法であって、流路が形成される流路ブロックに、前記流路を開閉するダイヤフラムを設置するダイヤフラム設置工程と、内周面に雌ねじが形成される筒状のボンネットを、前記流路ブロックに取り付けるボンネット取付工程と、ダイヤフラム押さえを前記ダイヤフラムに当接するように前記ボンネットに設置するダイヤフラム押さえ設置工程と、筒状の位置調整部材を前記雌ねじに螺合させることで前記ダイヤフラム押さえを介して前記ダイヤフラムの開弁位置を調整する開弁位置調整工程と、環状のロックナットを前記雌ねじにねじ込むことで前記位置調整部材をロックするロック工程と、前記ダイヤフラム押さえを介して前記ダイヤフラムを押下するためのアクチュエータを、前記ボンネットに取り付けるアクチュエータ取付工程と、を含む、バルブ装置の製造方法が提供される。
　本発明の態様によれば、組み付け時にＣｖ値を調整することができる。
図１は、本発明の実施形態に係るバルブ装置を示す断面図である。 図２は、調整ねじ及び調整ねじを回転させる第１回転治具を示す上面図である。 図３は、ロックナットを示す上面図である。 図４は、ロックナットを回転させる第２回転治具を示す概略図であり、（ａ）第２回転治具の概略上面図であり、（ｂ）第２回転治具の概略断面図である。 図５は、バルブ装置を製造するバルブ装置の製造方法を示すフローチャートである。 図６は、調整ねじの回転が第１回転治具によって規制された状態において、ロックナットを第２回転治具によってねじ込むことで調整ねじをロックする状態を示す概略図である。 図７は、バルブ装置が適用される流体制御装置の一例を示す斜視図である。 図８は、第１変形例に係るバルブ装置の要部を示す断面図である。 図９は、第２変形例に係るバルブ装置の要部を示す概略断面図である。
　以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態（以下、本実施形態と称する。）について説明する。本明細書においては、全体を通じて、同一の要素には同一の符号を付する。
　まず、図１から図４を参照しながら本実施形態に係るバルブ装置１について説明する。
　図１は、バルブ装置１を示す断面図である。図２は、調整ねじ８及び調整ねじ８を回転させる第１回転治具１０を示す上面図である。図３は、ロックナット９を示す上面図である。図４は、ロックナット９を回転させる第２回転治具１１を示す概略図であり、（ａ）第２回転治具１１の概略上面図であり、（ｂ）第２回転治具１１の概略断面図である。
　本実施形態に係るバルブ装置１は、半導体の製造に用いられる流体制御装置（図示しない）に設けられる。流体制御装置は、ＡＬＤ（Ａｔｏｍｉｃ　Ｌａｙｅｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ／すなわち、原子層堆積）法によって半導体ウェハ等の基板に所定の薄膜を形成する薄膜生成工程に用いられる。
　図１に示すように、バルブ装置１は、流路ブロック２、ダイヤフラム３、ダイヤフラム押さえ４、駆動部としてのアクチュエータ５、ボンネット６、スペーサ７、位置調整部材としての調整ねじ８及びロックナット９を備える。バルブ装置１は、駆動流体としての駆動エアをアクチュエータ５に導入することによりダイヤフラム３を開放するエアオペレートバルブである。
　流路ブロック２は、流路としての流体流入流路２１、流体流出流路２２及びボンネット６が収容される凹部２３を有する。流体流入流路２１の一端（図１の上端）及び流体流出流路２２の一端（図１の上端）は、凹部２３を介して連通する。流体流入流路２１の一端の周縁には、円環状の弁座２４が設けられる。流路ブロック２は、凹部２３を形成する周壁２３１を備える。凹部２３には、ボンネット６に螺合する雌ねじ２３２が形成される。
　ダイヤフラム３は、弁座２４から離間又は弁座２４に押圧されて流体流入流路２１を開閉するための弁体である。ダイヤフラム３は、流路側とアクチュエータ５側とを隔てる隔膜部材である。また、ダイヤフラム３は、自然状態においてアクチュエータ５側（図１の上側）に向かって隆起する円弧状に形成され、例えば、ニッケル合金薄板等からなる。通常、ダイヤフラム３は、ダイヤフラム押さえ４によって弁座２４に押さえられる。
　ダイヤフラム押さえ４は、ダイヤフラム３を弁座２４に押さえるための押さえ部材である。ダイヤフラム押さえ４は、ボンネット６に収容される。また、ダイヤフラム押さえ４は、被ガイド部としての円板状の押さえ本体４１と、押さえ本体４１からアクチュエータ５側（図１の上側）に突出し、押さえ本体４１よりも小径である円板状の上突部４２と、押さえ本体４１から流路ブロック２側（図１の下側）に突出し、押さえ本体４１よりも小径であるとともに上突部４２よりも大径である挿入部としての円板状の下突部４３と、を有する。なお、押さえ本体４１、上突部４２及び下突部４３は、同軸に形成される。
　押さえ本体４１には、当接面としての上面４１１と、上面４１１とは反対である移動規制面としての下面４１２とが形成される。上面４１１は、上突部４２よりも外側に位置するとともに調整ねじ８の流路ブロック２側の端面（図１の下端面）に対向するように形成される。下面４１２は、下突部４３よりも外側に位置するとともにスペーサ７のアクチュエータ５側の端面（図１の上端面）に対向するように形成される。
　また、本実施形態では、下突部４３は、嵌合により押さえ本体４１に設けられているが、これに限定されるものではなく、例えば、押さえ本体４１と一体成形されてもよい。
　アクチュエータ５は、ボンネット６に収容されたダイヤフラム押さえ４を介してダイヤフラム３を弁座２４に押圧又は離間させることにより、流体流入流路２１と流体流出流路２２とを遮断又は連通させる。アクチュエータ５は、ボンネット６の上方に設けられるケース５１と、ケース５１に摺動可能に収容されるピストン５２と、ピストン５２を流路ブロック２側に押し付ける付勢部材としてのコイルばね５３と、ピストン５２と連動して軸方向（図１の上下方向）に移動するステム５４と、を有する。
　ケース５１は、ピストン５２及びコイルばね５３を収容するための枠部材である。ケース５１は、上ケースとしての有底円筒状の第１ケース５１１と、ねじ螺合によって第１ケース５１１に連結される下ケースとしての第２ケース５１２と、を有する。第１ケース５１１と第２ケース５１２との連結によって形成される収容空間５１３には、ピストン５２が摺動可能に収容される。ピストン５２の上方には、コイルばね５３が収容される。
　第１ケース５１１は、円筒状の周壁５１１ａと、周壁５１１ａの一端（図１の上端）に設けられる円柱状の頂壁５１１ｂと、を有する。周壁５１１ａの他端（図１の下端）の内周面には、第２ケース５１２に螺合する雌ねじ５１１ｃが形成される。頂壁５１１ｂの中央には、ステム５４の軸方向（図１の上下方向）に貫通するステム案内孔５１１ｄが形成される。駆動エアは、ステム案内孔５１１ｄを介して駆動エア供給制御部（図示しない）からアクチュエータ５に導入される。
　頂壁５１１ｂには、ステム案内孔５１１ｄを取り囲むようにコイルばね５３を収容するばね収容室としての円環溝５１１ｅが形成される。コイルばね５３は、その一端（図１の上端）が円環溝５１１ｅの底部に当接するとともにその他端（図１の下端）がピストン５２の後述する第１ピストン５２１に当接するように圧縮状態で円環溝５１１ｅに収容される。
　周壁５１１ａには、雌ねじ５１１ｃと干渉しないように径方向に貫通するエア抜き用の貫通孔５１１ｆ及び貫通孔５１１ｇが形成される。なお、貫通孔５１１ｇは、貫通孔５１１ｆよりも下方に位置する。頂壁５１１ｂには、ステム案内孔５１１ｄと干渉しないようにアクチュエータ５を回転させる第３回転治具が係合する一対の係合穴５１１ｈが形成される。
　第２ケース５１２は、円筒状の周壁５１２ａと、周壁５１２ａの一端（図１の下端）に設けられる円板状の底壁５１２ｂと、底壁５１２ｂから流路ブロック２側（図１の下側）に延伸する円筒状の延伸部５１４と、を有する。周壁５１２ａの外周面には、雌ねじ５１１ｃに螺合する雄ねじ５１２ｃが形成される。周壁５１２ａには、雄ねじ５１２ｃと干渉しないように径方向に貫通するエア抜き用の貫通孔５１２ｄが形成される。第１ケース５１１の貫通孔５１１ｇと第２ケース５１２の貫通孔５１２ｄとが連通する。
　底壁５１２ｂ及び延伸部５１４には、ステム５４が挿通する貫通孔５１２ｅが形成される。延伸部５１４の外周面には、ボンネット６に螺合する雄ねじ５１５が設けられる。底壁５１２ｂには、延伸部５１４よりも外周側に位置しボンネット６に対向する円環状の平坦な当接面５１２ｆが形成される。
　ピストン５２は、上ピストンとしての第１ピストン５２１と、第１ピストン５２１よりも図１の下方に位置する下ピストンとしての第２ピストン５２２と、を有する。
　第１ケース５１１の内周面には、第１ピストン５２１と第２ピストン５２２との間に位置するカウンタプレート５５が固定される。カウンタプレート５５の中央には、ステム５４が挿通する貫通孔が形成される。
　第２ピストン５２２と第２ケース５１２との間には、第１エア導入室５６が形成される。第１ピストン５２１とカウンタプレート５５との間には、第２エア導入室５７が形成される。
　ステム５４は、その一端（図１の上端）が第１ケース５１１のステム案内孔５１１ｄに挿入される。ステム５４には、第１エア導入室５６及び第２エア導入室５７に駆動エアを導入するための軸方向流路５４ａ、第１径方向流路５４ｂ及び第２径方向流路５４ｃが形成される。また、本実施形態では、ステム５４は、第１ピストン５２１の中央部から上方に延伸する第１軸部と、第１軸部とは別体に形成され第２ピストン５２２の中央部から上下方向に延伸する第２軸部と、を有しているが、これに限定されるものではなく、例えば、第１軸部と第２軸部とが一体に形成される軸部を有してもよい。
　軸方向流路５４ａは、ステム案内孔５１１ｄに連通する。第１径方向流路５４ｂは、軸方向流路５４ａの先端（図１の下端）に形成され、軸方向流路５４ａと第１エア導入室５６とを連通する。第２径方向流路５４ｃは、軸方向流路５４ａの中央付近に形成され、軸方向流路５４ａと第２エア導入室５７とを連通する。
　第１ピストン５２１と第１ケース５１１との間には、第１連通室５８が形成される。第１連通室５８は、貫通孔５１１ｆを介して外部に連通する。第２ピストン５２２とカウンタプレート５５との間には、第２連通室５９が形成される。第２連通室５９は、貫通孔５１１ｇ及び貫通孔５１２ｄを介して外部に連通する。
　ステム案内孔５１１ｄとステム５４の一端との間には、Ｏリング１２が介装される。第１ピストン５２１と第１ケース５１１との間には、Ｏリング１３が介装される。カウンタプレート５５と第１ケース５１１との間には、Ｏリング１４が介装される。カウンタプレート５５とステム５４との間には、Ｏリング１５が介装される。第２ピストン５２２と第２ケース５１２との間には、Ｏリング１６が介装される。ステム５４と貫通孔５１２ｅとの間には、Ｏリング１７が介装される。
　ボンネット６は、流路ブロック２とアクチュエータ５とを連結する円筒状の連結部材である。ボンネット６には、ダイヤフラム押さえ４、調整ねじ８及びロックナット９が収容される。
　ボンネット６の外周面には、流路ブロック２の凹部２３の雌ねじ２３２に螺合する雄ねじ６１が形成される。これにより、ボンネット６は、雌ねじ２３２と雄ねじ６１とのねじ螺合によって流路ブロック２に取り付けられる。また、ボンネット６の外周面には、モンキー等に係合可能な六角突出部６２が設けられる。六角突出部６２は、雄ねじ６１よりもアクチュエータ５側（すなわち、雄ねじ６１よりも上方）に位置する。
　ボンネット６のアクチュエータ５（図１の上方）側に位置する内周面には、雌ねじ６３が形成される。雌ねじ６３には、順に調整ねじ８、ロックナット９及びアクチュエータ５の延伸部５１４が螺合される。
　ボンネット６の上端には、アクチュエータ５の当接面５１２ｆに対向する円環状の平坦な位置決め面６４が形成される。そして、延伸部５１４の雄ねじ５１５とボンネット６の雌ねじ６３との螺合によって、当接面５１２ｆと位置決め面６４とが当接するまでアクチュエータ５の延伸部５１４をボンネット６の内周面にねじ込むことができる。これにより、アクチュエータ５は、当接面５１２ｆと位置決め面６４との当接によって位置決めされる。
　ボンネット６の流路ブロック２（図１の下方）側に位置する端部としての下端には、雌ねじ６３の内径よりも小さい内径を有する円環状の環状部６５が形成される。そして、ダイヤフラム押さえ４の押さえ本体４１は、環状部６５の内周面によって上下方向にガイドされる。なお、ボンネット６は、雌ねじ６３と環状部６５とが上下方向に沿って重ならないように形成される。
　ボンネット６の下端と流路ブロック２の凹部２３の底面との間には、環状部６５の内径よりも小さい内径を有する円環状のスペーサ７が設けられる。ダイヤフラム３の外周縁は、スペーサ７と凹部２３の底面との間で保持され、ボンネット６を凹部２３の雌ねじ２３２にねじ込むことにより固定される。スペーサ７の内周側には、ダイヤフラム３と接触するダイヤフラム押さえ４の下突部４３が挿入される。
　調整ねじ８は、そのボンネット６の雌ねじ６３に対するねじ込み量に応じてダイヤフラム押さえ４を介してダイヤフラム３の開弁位置を調整するための円筒状の位置調整部材である。ここでは、ダイヤフラム３の開弁位置とは、ダイヤフラム３の頂点の位置を指す。また、調整ねじ８は、上下方向に沿ってロックナット９とダイヤフラム押さえ４との間に設けられる。本実施形態では、調整ねじ８の内周側には、アクチュエータ５のステム５４とダイヤフラム押さえ４の上突部４２とが当接するように挿入されているが、これに限定されるものではなく、例えば、ステム５４及び上突部４２のうちのいずれか一方が挿通されてもよい。
　調整ねじ８は、雌ねじ６３に螺合する螺合部としての円筒状の大径部８１と、大径部８１よりも流路ブロック２（図１の下方）側に位置するとともに大径部８１の外径よりも小さい外径を有する円筒状の小径部８２と、を有する。なお、大径部８１及び小径部８２は、同軸に形成される。
　大径部８１の外周面には、ボンネット６の雌ねじ６３に螺合する雄ねじ８１１が形成される。大径部８１のアクチュエータ５側の端面（図１の上端面）は、ロックナット９に当接する。
　小径部８２は、その先端（図１の下端）がボンネット６の環状部６５に挿入されるように設けられる。小径部８２の流路ブロック２側の端面（図１の下端面）は、ダイヤフラム押さえ４の押さえ本体４１の当接面としての上面４１１に当接する。
　図１及び図２に示すように、調整ねじ８の内周面には、調整ねじ８を回転させる第１回転治具１０が係合する第１係合部８３が形成される。図２に示すように、第１係合部８３は、上面視において調整ねじ８の内周面に所定の間隔を空けて形成された六つの半円状の凹溝８３１からなる。第１回転治具１０は、六角レンチからなる。六つの凹溝８３１にそれぞれ第１回転治具１０の角部を収容させることができる。
　本実施形態では、凹溝８３１は、上下方向に沿って大径部８１を貫通して小径部８２まで延伸するように設けられているが、これに限定されるものではなく、例えば、上下方向に沿って大径部８１のみを貫通するように設けられてもよいし、上下方向に沿って大径部８１の一部のみに設けられてもよい。
　調整ねじ８は、第１回転治具１０によって一方向（例えば、時計回り方向）に回転されることで、ボンネット６の雌ねじ６３にねじ込まれながら流路ブロック２（図１の下方）側に移動する。これにより、ダイヤフラム押さえ４は、調整ねじ８とともに流路ブロック２（図１の下方）側に移動する。そして、ダイヤフラム３は、ダイヤフラム押さえ４の移動によって流路ブロック２（図１の下方）側に押し付けられることで、ダイヤフラム３の頂点と弁座２４との間に形成される隙間（すなわち、Ｃｖ値）が小さくなる。
　一方、調整ねじ８は、第１回転治具１０によって他方向（例えば、反時計回り方向）に回転されることで、ボンネット６の雌ねじ６３に対し緩められながらアクチュエータ５（図１の上方）側に移動する。これにより、ダイヤフラム押さえ４は、ダイヤフラム３の復元力によってアクチュエータ５（図１の上方）側に移動することで、ダイヤフラム３の頂点と弁座２４との間に形成される隙間（すなわち、Ｃｖ値）が大きくなる。
　以上のように、調整ねじ８は、そのボンネット６の雌ねじ６３に対するねじ込み量に応じてダイヤフラム押さえ４を介してダイヤフラム３の開弁位置を調整することにより、バルブ装置１の組み付け時にＣｖ値を調整することができる。したがって、全開時に流体流入流路２１及び流体流出流路２２を流れる流体の流量ばらつきを抑制することができる。
　さらに、ダイヤフラム押さえ４の流路ブロック２（図１の下方）側への移動は、押さえ本体４１の移動規制面としての下面４１２とスペーサ７の上面との当接によって規制される。これにより、ダイヤフラム３の頂点と弁座２４との間に形成される隙間（すなわち、Ｃｖ値）が小さくなりすぎて調整ねじ８を雌ねじ６３に過剰にねじ込むこと、及び閉弁時にダイヤフラム押さえ４がダイヤフラム３を弁座２４に過剰に押圧することの両方を抑制することができる。
　ロックナット９は、ダイヤフラム３の開弁位置が調整された後に調整ねじ８をロックするための円環状のロック部材である。また、ロックナット９は、上下方向に沿ってアクチュエータ５の延伸部５１４と調整ねじ８との間に設けられる。本実施形態では、ロックナット９の内周側には、アクチュエータ５のステム５４が挿通されているが、これに限定されるものではなく、例えば、ダイヤフラム押さえ４の上突部４２が挿通されてもよいし、ステム５４と上突部４２とが当接するように挿入されてもよい。
　ロックナット９の外周面には、ボンネット６の雌ねじ６３に螺合する雄ねじ９１が形成される。ロックナット９の流路ブロック２側の端面（図１の下端面）は、調整ねじ８の大径部８１の端面に当接する。
　図１、図３及び図４に示すように、ロックナット９のアクチュエータ５側の端面（図１の上端面）には、ロックナット９を回転させる第２回転治具１１が係合する第２係合部９２が形成される。図１及び図３に示すように、第２係合部９２は、一対の係合孔９２１からなる。
　図４に示すように、第２回転治具１１は、円筒状の治具本体１１１と、治具本体１１１の一端の外周面に設けられ六角レンチに係合可能な六角突出部１１２と、治具本体１１１の他端から突出し一対の係合孔９２１に係合可能な一対の突起１１３と、を有する。第２回転治具１１の治具本体１１１には、第１回転治具１０が挿通可能な貫通孔が形成されるため、第１回転治具１０を第２回転治具１１の治具本体１１１の内周側に挿通させて使用することができる。
　ロックナット９は、第２回転治具１１によって一方向（例えば、時計回り方向）に回転されることで、ボンネット６の雌ねじ６３にねじ込まれる。これにより、ロックナット９は、調整ねじ８をロックすることができるので、調整ねじ８の緩みによるＣｖ値の変動を抑制することができる。したがって、全開時に流体流入流路２１及び流体流出流路２２を流れる流体の流量ばらつきをより抑制することができる。
　また、上面視においてロックナット９と重ならない調整ねじ８の領域には、第１回転治具１０が係合する第１係合部８３が形成され、上面視において調整ねじ８と重なるロックナット９の領域には、第２回転治具１１が係合する第２係合部９２が形成される。これにより、第１回転治具１０は、ロックナット９と干渉することなく、調整ねじ８の第１係合部８３に係合すると同時に、第１回転治具１０が挿通される第２回転治具１１は、ロックナット９の第２係合部９２に係合することができる（図６参照）。
　そして、調整ねじ８の回転が第１回転治具１０によって規制された状態において、ロックナット９を第２回転治具１１によってねじ込むことで調整ねじ８を確実に締め付けてロックする。これにより、ロックナット９のねじ込みによる調整ねじ８の回転（共回り）を抑制することができるので、一旦調整されたＣｖ値の変化を無くすことができる。したがって、全開時に流体流入流路２１及び流体流出流路２２を流れる流体の流量ばらつきをさらに抑制することができる。
　調整ねじ８の第１係合部８３は、ロックナット９の第２係合部９２よりも内径側に位置する。これにより、第１回転治具１０は、一対の係合孔９２１間にあるロックナット９の内周側を挿通して、第２係合部９２よりも内径側に位置する第１係合部８３に係合することができる（図６参照）。
　以上により、第１回転治具１０及び第２回転治具１１を、互いに干渉することなく、それぞれ同時に第１係合部８３及び第２係合部９２に係合させて使用することができる。
　本実施形態では、第１係合部８３及び第２係合部９２は、それぞれ上面視においてロックナット９と重ならない調整ねじ８の領域及び上面視において調整ねじ８と重なるロックナット９の領域に形成されている。しかしながら、第１係合部８３及び第２係合部９２は、これに限定されるものではなく、例えば、それぞれ上面視においてロックナット９と重なる調整ねじ８の領域及び上面視において調整ねじ８と重なるロックナット９の領域に形成されてもよい。
　さらに、アクチュエータ５の当接面５１２ｆとボンネット６の位置決め面６４とが、アクチュエータ５の延伸部５１４の雄ねじ５１５とボンネット６の雌ねじ６３との螺合によって当接した状態において、延伸部５１４とロックナット９との間にクリアランスが形成される。これにより、延伸部５１４とロックナット９との当接を回避することができるので、アクチュエータ５の位置決めを当接面５１２ｆと位置決め面６４との当接によって精度良くすることができる。また、バルブ装置１の上下方向における寸法を一定にすることができる。
　次に、図５及び図６を参照しながらバルブ装置１を製造するバルブ装置１の製造方法について説明する。
　図５は、バルブ装置１を製造するバルブ装置１の製造方法を示すフローチャートである。図６は、調整ねじ８の回転が第１回転治具１０によって規制された状態において、ロックナット９を第２回転治具１１によってねじ込むことで調整ねじ８をロックする状態を示す概略図である。
　図５に示すように、まず、工程Ｓ１において、ダイヤフラム３を流路ブロック２に設置する。具体的には、工程Ｓ１において、ダイヤフラム３を、流体流入流路２１及び流体流出流路２２の両方を覆うように流路ブロック２の凹部２３の底面に設置する。
　次に、工程Ｓ２において、ボンネット６を流路ブロック２に取り付ける。具体的には、工程Ｓ２は、スペーサ７を、ダイヤフラム３の外周縁を覆うようにダイヤフラム３上に載置するスペーサ載置工程と、ボンネット６を流路ブロック２の凹部２３にねじ込むことによりスペーサ７及びダイヤフラム３の外周縁を固定するボンネットねじ込み工程と、を含む。
　次に、工程Ｓ３において、ダイヤフラム押さえ４をダイヤフラム３に当接するようにボンネット６に設置する。次に、工程Ｓ４において、調整ねじ８を第１回転治具１０によってボンネット６の雌ねじ６３に螺合させることで、ダイヤフラム押さえ４を介してダイヤフラム３の開弁位置を調整する。これにより、バルブ装置１の組み付け時にＣｖ値を調整することができる。
　次に、工程Ｓ５において、ロックナット９を第２回転治具１１によってボンネット６の雌ねじ６３にねじ込むことで調整ねじ８をロックする。具体的には、工程Ｓ５において、図６に示すように、調整ねじ８の回転が第１回転治具１０によって規制された状態において、ロックナット９を第２回転治具１１によってねじ込むことで調整ねじ８を確実に締め付けてロックする。
　これにより、ロックナット９のねじ込みによる調整ねじ８の回転（共回り）を抑制することができるので、一旦調整されたＣｖ値の変化を無くすことができる。したがって、全開時に流体流入流路２１及び流体流出流路２２を流れる流体の流量ばらつきをさらに抑制することができる。
　最後に、工程Ｓ６において、アクチュエータ５をボンネット６に取り付ける。具体的には、工程Ｓ６において、組み付け状態のアクチュエータ５の延伸部５１４をボンネット６の雌ねじ６３にねじ込むことで、アクチュエータ５の当接面５１２ｆとボンネット６の位置決め面６４とが当接し、アクチュエータ５の位置決めをすることができる。
　次に、バルブ装置１の動作について説明する。
　駆動エア供給制御部が駆動エアをステム案内孔５１１ｄを介してバルブ装置１のアクチュエータ５に供給する場合、駆動エアは、軸方向流路５４ａ及び第１径方向流路５４ｂを経由して第１エア導入室５６に導入されるとともに、軸方向流路５４ａ及び第２径方向流路５４ｃを経由して第２エア導入室５７に導入される。
　これにより、第１エア導入室５６及び第２エア導入室５７の容積が増大するように、ピストン５２は、コイルばね５３の付勢力に抗してステム５４と一体に図１の上方に移動する。そして、ダイヤフラム３は、自身の復元力によってダイヤフラム押さえ４とともに上昇することで弁座２４から離間する。すなわち、ダイヤフラム３は、ピストン５２及びステム５４の上昇によって流体流入流路２１を開放する。このため、プロセスガス等の流体は、流体流入流路２１から弁座２４とダイヤフラム３との間に形成される隙間を経由して流体流出流路２２に供給される。
　一方、駆動エア供給制御部が駆動エアをステム案内孔５１１ｄを介してバルブ装置１のアクチュエータ５に供給しない場合、ピストン５２は、コイルばね５３の付勢力によってステム５４と一体に図１の下方に移動する。そして、ダイヤフラム３は、ステム５４の下方移動によってダイヤフラム押さえ４を介して弁座２４に押圧される。すなわち、ダイヤフラム３は、ピストン５２、ステム５４及びダイヤフラム押さえ４の移動によって流体流入流路２１を閉塞する。このため、気化されたプロセスガス等の流体は、流体流入流路２１から流体流出流路２２に供給されない。
　第１エア導入室５６及び第２エア導入室５７の容積は、ピストン５２及びステム５４の移動によって減少する。このとき、第１エア導入室５６のエアは、第１径方向流路５４ｂ、軸方向流路５４ａ及びステム案内孔５１１ｄを経由して駆動エア供給制御部に導出されるとともに、第２エア導入室５７のエアは、第２径方向流路５４ｃ、軸方向流路５４ａ及びステム案内孔５１１ｄを経由して駆動エア供給制御部に導出される。
　このように、駆動エア供給制御部は、バルブ装置１のアクチュエータ５への駆動エアの供給を制御することにより、弁座２４に対するダイヤフラム３の開閉を切り替えることができる。したがって、このようなバルブ装置１によれば、流体流入流路２１から流体流出流路２２への流体供給の制御が可能となる。なお、本実施形態では、バルブ装置１は、常時閉（ノーマル・クローズ）のバルブ装置からなっているが、これに限定されるものではなく、例えば、常時開（ノーマル・オープン）のバルブ装置からなってもよい。
　次に、図７を参照しながら、本実施形態に係るバルブ装置１が適用される流体制御装置の一例を説明する。
　図７は、バルブ装置１が適用される流体制御装置の一例を示す斜視図である。
　図７に示す流体制御装置には、幅方向Ｗ１，Ｗ２に沿って配列され長手方向Ｇ１，Ｇ２に延伸する金属製のベースプレートＢＳが設けられる。なお、Ｗ１は正面側、Ｗ２は背面側、Ｇ１は上流側、Ｇ２は下流側の方向を示している。ベースプレートＢＳには、複数の流路ブロック９９２を介して各種流体機器９９１Ａ～９９１Ｅが設置され、複数の流路ブロック９９２によって、上流側Ｇ１から下流側Ｇ２に向かって流体が流通する図示しない流路がそれぞれ形成される。
　ここで、「流体機器」とは、流体の流れを制御する流体制御装置に使用される機器であって、流体流路を画定するボディを備え、このボディの表面で開口する少なくとも２つの流路口を有する機器である。具体的には、開閉弁（２方弁）９９１Ａ、レギュレータ９９１Ｂ、プレッシャーゲージ９９１Ｃ、開閉弁（３方弁）９９１Ｄ、マスフローコントローラ９９１Ｅ等が含まれるが、これらに限定されるものではない。なお、導入管９９３は、上記した図示しない流路の上流側の流路口に接続されている。
　本実施形態に係るバルブ装置１は、上記した開閉弁９９１Ａ、９９１Ｄ、レギュレータ９９１Ｂ等の種々のバルブ装置に適用可能である。
　次に、本実施形態による作用効果について説明する。
　本実施形態に係るバルブ装置１は、流体流入流路２１が形成される流路ブロック２と、流体流入流路２１を開閉するダイヤフラム３と、ダイヤフラム３を押さえるダイヤフラム押さえ４と、ダイヤフラム押さえ４を介してダイヤフラム３を押下するアクチュエータ５と、内周面に雌ねじ６３が形成されるとともに、流路ブロック２とアクチュエータ５とを連結する円筒状のボンネット６と、雌ねじ６３に螺合され、ダイヤフラム押さえ４に当接することでダイヤフラム３の開弁位置を調整する円筒状の調整ねじ８と、雌ねじ６３にねじ込まれることで調整ねじ８をロックする環状のロックナット９と、を備える。
　本実施形態に係る流体制御装置は、上流側から下流側に向かって複数の流体機器が配列される流体制御装置であって、複数の流体機器は、上述したバルブ装置１を含む。
　本実施形態に係るバルブ装置１を製造するバルブ装置１の製造方法は、流体流入流路２１が形成される流路ブロック２に、流体流入流路２１を開閉するダイヤフラム３を設置するダイヤフラム設置工程と、内周面に雌ねじ６３が形成される円筒状のボンネット６を、流路ブロック２に取り付けるボンネット取付工程と、ダイヤフラム押さえ４をダイヤフラム３に当接するようにボンネット６に設置するダイヤフラム押さえ設置工程と、円筒状の調整ねじ８を雌ねじ６３に螺合させることでダイヤフラム押さえ４を介してダイヤフラム３の開弁位置を調整する開弁位置調整工程と、円環状のロックナット９を雌ねじ６３にねじ込むことで調整ねじをロックするロック工程と、ダイヤフラム押さえ４を介してダイヤフラム３を押下するためのアクチュエータ５を、ボンネット６に取り付けるアクチュエータ取付工程と、を含む。
　これらの構成によれば、調整ねじ８は、そのボンネット６の雌ねじ６３に対するねじ込み量に応じてダイヤフラム押さえ４を介してダイヤフラム３の開弁位置を調整することで、バルブ装置１の組み付け時にＣｖ値を調整することができる。また、ロックナット９をねじ込むことで調整ねじ８を締め付けてロックすることができるので、調整ねじ８の緩みによるＣｖ値の変動を抑制することができる。したがって、全開時に流体流入流路２１及び流体流出流路２２を流れる流体の流量ばらつきをより抑制することができる。
　また、本実施形態では、ロックナット９と重ならない調整ねじ８の領域には、第１回転治具１０が係合する第１係合部８３が形成され、ロックナット９には、第２回転治具１１が係合する第２係合部９２が形成される。
　この構成によれば、第１回転治具１０は、ロックナット９と干渉することなく、調整ねじ８の第１係合部８３に係合すると同時に、第２回転治具１１は、ロックナット９の第２係合部９２に係合することができる。
　また、本実施形態では、第１係合部８３は、第２係合部９２よりも内径側に位置する。
　この構成によれば、第１回転治具１０は、一対の係合孔９２１間にあるロックナット９の内周側を挿通して、第２係合部９２よりも内径側に位置する第１係合部８３に係合することができる。
　また、本実施形態では、アクチュエータ５は、ケース５１を有し、ケース５１は、流路ブロック２側に延伸するように設けられ、外周面に雌ねじ６３に螺合する雄ねじ５１５が形成される円筒状の延伸部５１４と、延伸部５１４よりも外周側に位置しボンネット６に対向する円環状の当接面５１２ｆと、を有し、ボンネット６には、当接面５１２ｆに対向する円環状の位置決め面６４が形成され、当接面５１２ｆと位置決め面６４とが、雄ねじ５１５と雌ねじ６３との螺合によって当接した状態において、延伸部５１４とロックナット９との間にクリアランスが形成される。
　この構成によれば、延伸部５１４とロックナット９との当接を回避することができるので、アクチュエータ５の位置決めを当接面５１２ｆと位置決め面６４との当接によって精度良くすることができる。また、バルブ装置１の上下方向における寸法を一定にすることができる。
　また、本実施形態では、ボンネット６の流路ブロック２側に位置する下端には、雌ねじ６３の内径よりも小さい内径を有する環状部６５が形成され、下端と流路ブロック２との間には、環状部６５の内径よりも小さい内径を有する円環状のスペーサ７が設けられ、ダイヤフラム押さえ４は、スペーサ７に対向する下面４１２を有するとともに、環状部６５によってガイドされる押さえ本体４１と、スペーサ７の内周側に挿入され押さえ本体４１よりも流路ブロック２側に位置する下突部４３と、を有し、ダイヤフラム押さえ４の流路ブロック２側への移動は、押さえ本体４１の下面４１２とスペーサ７との当接によって規制される。
　この構成によれば、ダイヤフラム３の頂点と弁座２４との間に形成される隙間（すなわち、Ｃｖ値）が小さくなりすぎて調整ねじ８を雌ねじ６３に過剰にねじ込むことを抑制することができる。
　また、本実施形態では、ロック工程において、調整ねじ８の回転が規制された状態において、ロックナット９を雌ねじ６３に螺合させることで調整ねじ８をロックする。
　この構成によれば、ロックナット９のねじ込みによる調整ねじ８の回転（共回り）を抑制することができるので、一旦調整されたＣｖ値の変化を無くすことができる。したがって、全開時に流体流入流路２１及び流体流出流路２２を流れる流体の流量ばらつきをより抑制することができる。
　以上、本実施形態について説明したが、上述した実施形態は、本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上述した実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。
（第１変形例）
　次に、図８を参照しながら第１変形例に係るバルブ装置１ａについて説明する。なお、本変形例では、上述した実施形態と同様の点については説明を省略し、主に上述した実施形態と異なる点について説明する。
　図８は、第１変形例に係るバルブ装置１ａの要部を示す断面図である。
　上述した実施形態では、調整ねじ８のねじ込み量は、押さえ本体４１の下面４１２とスペーサ７との当接によって規制されているが、これに限定されるものではなく、例えば、図８に示すように調整ねじ８のねじ込み量規制部としての中径部８４と環状部６５との当接によって規制されてもよい。
　図８に示すように、本変形例では、調整ねじ８は、大径部８１及び小径部８２に加え、大径部８１の外径よりも小さく、かつ小径部８２の外径よりも大きい外径を有する円環状の中径部８４を有する。中径部８４は、ボンネット６の環状部６５に対向するように上下方向に沿って大径部８１と小径部８２との間に設けられる。
　本変形例に係るバルブ装置１ａによれば、上述した実施形態と同様に調整ねじ８を雌ねじ６３に過剰にねじ込むことを抑制することができる。くわえて、円環状のスペーサ７の内径を環状部６５の内径と同じ大きさにすることができるとともに、上述した実施形態におけるダイヤフラム押さえ４の下突部４３を廃止してダイヤフラム押さえ４の構造の簡易化を図ることができる（図８参照）。
（第２変形例）
　次に、図９を参照しながら第２変形例に係るバルブ装置１ｂについて説明する。なお、本変形例では、上述した実施形態と同様の点については説明を省略し、主に上述した実施形態と異なる点について説明する。
　図９は、第２変形例に係るバルブ装置１ｂの要部を示す断面図である。
　上述した実施形態では、調整ねじ８とロックナット９とは、上下方向に沿って重ならないように設けられているが、これに限定されるものではなく、例えば、図９に示すように上下方向に沿って重なるように設けられてもよい。
　図９に示すように、本変形例では、第１係合部８３は、調整ねじ８のアクチュエータ５側の端面に形成される一対の係合孔８３１ａからなる。第２係合部９２は、上面視においてロックナット９の内周面に所定の間隔を空けて形成された六つの半円状の凹溝９２１ａからなる。このように、第１係合部８３及び第２係合部９２は、それぞれ六つの半円状の凹溝８３１及び一対の係合孔９２１からなるとは限らない。
　本変形例に係るバルブ装置１ｂによれば、調整ねじ８とロックナット９とを上下方向に沿って重なるように設けることで、調整ねじ８及びロックナット９を収容するボンネット６の上下方向における寸法を小さくすることができる。したがって、バルブ装置１の小型化を図ることできる。
　本願は２０１９年７月３１日に日本国特許庁に出願された特願２０１９－１４１０７３に基づく優先権を主張し、この出願の全ての内容は参照により本明細書に組み込まれる。

Claims (9)

  1. 　流路が形成される流路ブロックと、
    　前記流路を開閉するダイヤフラムと、
    　前記ダイヤフラムを押さえるダイヤフラム押さえと、
    　前記ダイヤフラム押さえを介して前記ダイヤフラムを押下するアクチュエータと、
    　内周面に雌ねじが形成されるとともに、前記流路ブロックと前記アクチュエータとを連結する筒状のボンネットと、
    　前記雌ねじに螺合され、前記ダイヤフラム押さえに当接することで前記ダイヤフラムの開弁位置を調整する筒状の位置調整部材と、
    　前記雌ねじにねじ込まれることで前記位置調整部材をロックする環状のロックナットと、を備える、バルブ装置。
  2. 　前記ロックナットと重ならない前記位置調整部材の領域には、第１回転治具が係合する第１係合部が形成され、
    　前記ロックナットには、第２回転治具が係合する第２係合部が形成される、請求項１に記載のバルブ装置。
  3. 　前記第１係合部は、前記第２係合部よりも内径側に位置する、請求項２に記載のバルブ装置。
  4. 　前記アクチュエータは、ケースを有し、
    　前記ケースは、
    　前記流路ブロック側に延伸するように設けられ、外周面に前記雌ねじに螺合する雄ねじが形成される筒状の延伸部と、
    　前記延伸部よりも外周側に位置し前記ボンネットに対向する環状の当接面と、を有し、
    　前記ボンネットには、前記当接面に対向する環状の位置決め面が形成され、
    　前記当接面と前記位置決め面とが、前記雄ねじと前記雌ねじとの螺合によって当接した状態において、前記延伸部と前記ロックナットとの間にクリアランスが形成される、請求項１から３のいずれか１項に記載のバルブ装置。
  5. 　前記ボンネットの前記流路ブロック側に位置する端部には、前記雌ねじの内径よりも小さい内径を有する環状部が形成され、
    　前記端部と前記流路ブロックとの間には、前記環状部の内径よりも小さい内径を有する環状のスペーサが設けられ、
    　前記ダイヤフラム押さえは、
    　前記スペーサに対向する移動規制面を有するとともに、前記環状部によってガイドされる被ガイド部と、
    　前記スペーサの内周側に挿入され前記被ガイド部よりも前記流路ブロック側に位置する挿入部と、を有し、
    　前記ダイヤフラム押さえの前記流路ブロック側への移動は、前記被ガイド部の前記移動規制面と前記スペーサとの当接によって規制される、請求項１から４のいずれか１項に記載のバルブ装置。
  6. 　前記ボンネットの前記流路ブロック側に位置する端部には、前記雌ねじの内径よりも小さい内径を有する環状部が形成され、
    　前記位置調整部材は、
    　前記雌ねじに螺合する螺合部と、
    　前記環状部に対向するように前記螺合部よりも前記流路ブロック側に位置するねじ込み量規制部と、を有し、
    　前記位置調整部材のねじ込み量は、前記ねじ込み量規制部と前記環状部との当接によって規制される、請求項１から４のいずれか１項に記載のバルブ装置。
  7. 　上流側から下流側に向かって複数の流体機器が配列される流体制御装置であって、
    　複数の前記流体機器は、請求項１から６のいずれか１項に記載のバルブ装置を含む、流体制御装置。
  8. 　バルブ装置を製造するバルブ装置の製造方法であって、
    　流路が形成される流路ブロックに、前記流路を開閉するダイヤフラムを設置するダイヤフラム設置工程と、
    　内周面に雌ねじが形成される筒状のボンネットを、前記流路ブロックに取り付けるボンネット取付工程と、
    　ダイヤフラム押さえを前記ダイヤフラムに当接するように前記ボンネットに設置するダイヤフラム押さえ設置工程と、
    　筒状の位置調整部材を前記雌ねじに螺合させることで前記ダイヤフラム押さえを介して前記ダイヤフラムの開弁位置を調整する開弁位置調整工程と、
    　環状のロックナットを前記雌ねじにねじ込むことで前記位置調整部材をロックするロック工程と、
    　前記ダイヤフラム押さえを介して前記ダイヤフラムを押下するためのアクチュエータを、前記ボンネットに取り付けるアクチュエータ取付工程と、を含む、バルブ装置の製造方法。
  9. 　前記ロック工程において、前記位置調整部材の回転が規制された状態において、前記ロックナットを前記雌ねじにねじ込むことで前記位置調整部材をロックする、請求項８に記載のバルブ装置の製造方法。
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