TW202202765A - 手動式隔膜閥 - Google Patents

Abstract

為了提供一種手動式隔膜閥，利用簡單的構造可維持緊湊性並設定閥體的開閉範圍，不致受閥的內部形狀之個體差的影響而能將全開時的流量充分確保，還能將全開時的流量任意地調整。 閥主體(1)係具備閥體(12)及閥桿(13)，閥體(12)是由裝設於殼體(10)內部之隔膜所構成，閥桿(13)是可升降地螺合於殼體(10)，且用於讓閥體(12)和閥座(14)接觸或分離；在閥主體(1)的上方安裝手柄(2)，手柄(2)是用於將閥桿(13)以手動方式進行旋轉操作；在閥主體(1)的上部附近設置全開位置調整機構(20)，全開位置調整機構(20)是限制手柄(2)之開閥操作側之全開時的轉動，藉此設定閥體(12)之全開時的流量之上限。

Description

手動式隔膜閥

本發明是關於使用在例如半導體製造裝置且藉由手柄等的手動操作來將流路開閉之手動式隔膜閥，特別是關於可將全開時的流量高精度地調整之手動式隔膜閥。

這種手動式隔膜閥，大多是作為半導體製造用氣體供給系統的主閥來使用，藉由設置在閥桿(操作桿)的上部之手動手柄的操作來讓閥桿升降，而使流路成為全開或全閉狀態。通常，在設置有該手動式隔膜閥之流路的二次側，分歧流路呈並列狀地分歧設置，且在各分歧流路以相同的流量流通。一般在各分歧流路連接可自動操作的自動隔膜閥，藉由各自動隔膜閥來調整往比該等閥更二次側的流量。 因此，使用手動式隔膜閥作為主閥時，為了在二次側的各隔膜高精度地進行流量控制，要求其一次側之手動式隔膜閥全開時的流量被正確地設定。

作為主閥來使用的手動式隔膜閥，例如本案申請人申請了專利文獻1的閥。該隔膜閥，係在閥軸的上部安裝手動式手柄主體，藉由讓該手柄主體以大致90°的旋轉角度轉動，通過閥軸讓閥體(隔膜)動作，而將流路進行開閉操作。在此情況，可藉由限制手柄主體的轉動範圍來設定閥體的開閉範圍是眾所周知的，作為如此般手柄的旋轉限制構造包含以下的情況，亦即，在手柄的底面將連結銷呈突出地安裝，另一方面，在閥主體的上表面以大致90°的角度形成連結銷槽，讓連結銷受連結銷槽的導引，藉此設定手柄主體的旋轉區域。如此，可維持緊湊性，可利用基於凹凸部分(連結銷、連結銷槽)的卡合之簡易構造來限制閥體的開閉動作，而設定全開時的流量。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特許第6580377號公報

[發明所欲解決之問題]

然而，因為構成隔膜閥之各零件在製造時會產生尺寸差，要使組裝後之閥內部的尺寸完全一致是困難的，例如會產生：隔膜之些微的變形、形狀的偏差，將閥座藉由鉚接等固定在殼體(body)之閥座的形狀、高度的偏差等。這些閥的內部形狀之個體差，會對閥全開時的開度造成很大的影響，例如，在對前述專利文獻1之手動式隔膜閥設置基於凹凸部分(連結銷、連結銷槽)的卡合之旋轉限制構造，當欲藉由該旋轉限制構造來將手柄的旋轉角度限制為90°時，有在該旋轉角度產生誤差而使每個閥在全開時的流量產生個體差的疑慮。

結果，因為在連接於二次側之自動隔膜閥以後的半導體製造程序結果有可能出現差異，為了讓製造程序均一化，還必須將二次側所有的自動隔膜閥個別地進行流量調整。 如此般，當手柄側和閥主體側藉由凹凸狀的卡合部等將手柄主體的旋轉角度限制成無法調整的情況，要抑制閥的個體差所造成之Cv值的差異變困難，又在將二次側的自動隔膜閥分別進行流量調整的情況，還存在非常費功夫的問題。

再者，半導體製造用閥大多是在200℃、或200℃以上的高溫區域被使用，若如此般成為高溫，手動式隔膜閥的隔膜、閥座也會受熱而產生膨脹、變形，因此偏差變得更複雜，使Cv值受到更大的影響，還會有作為一次側的閥變得無法確保開閥時之適切的流量的情形。 基於這些理由，強烈期望開發出一種手動式隔膜閥，不致受閥的內部形狀之個體差的影響而能將全開時的流量充分確保，且具備可將全開時的流量任意地調整的功能。

本發明是為了解決以往的問題而開發完成的，其目的是為了提供一種手動式隔膜閥，利用簡單的構造可維持緊湊性並設定閥體的開閉範圍，不致受閥的內部形狀之個體差的影響而能將全開時的流量充分確保，還能將全開時的流量任意地調整。 [解決問題之技術手段]

為了達成上述目的，請求項1的發明之手動式隔膜閥，閥主體係具備閥體及閥桿(spindle)，閥體是由裝設於殼體內部之隔膜所構成，閥桿是可升降地螺合於殼體，且用於讓閥體和裝設於殼體內部之閥座接觸或分離；在閥主體的上方安裝手柄，手柄是用於將閥桿以手動方式進行旋轉操作；在閥主體的上部附近設置全開位置調整機構，全開位置調整機構是限制手柄之開閥操作側之全開時的轉動，藉此設定閥體之全開時的流量之上限。

請求項2的發明之手動式隔膜閥，是裝設成使手柄的底面和閥主體的上表面側成為相對向狀態，讓設置在手柄底面或閥主體上表面側之任一方的銷與形成在另一方側之大致圓弧狀的溝槽部卡合來設定手柄開閉時之旋轉區域的一部分，在溝槽部之開閥操作側設置全開位置調整機構，該全開位置調整機構具備調整構件，該調整構件形成有：以可沿著銷的移動方向進退的狀態讓該銷抵接之抵接部。

請求項3的發明之手動式隔膜閥，銷設置在手柄底面，溝槽部設置在閥主體的上表面，調整構件是具備有陽螺紋之固定螺絲，該固定螺絲之陽螺紋是可進退地螺合於設置在從溝槽部連通到閥主體的側面之連通孔之陰螺紋，該固定螺絲的旋入側端面成為抵接部。

請求項4的發明之手動式隔膜閥，係在連通孔裝設具備有陰螺紋之埋入螺帽(insert nut)。

請求項5的發明之手動式隔膜閥，係在陰螺紋和陽螺紋之間塗布有黏著劑。

請求項6的發明之手動式隔膜閥，銷設置在手柄底面，溝槽部設置在閥主體的上表面，調整構件係具備圓筒部、及形成在該圓筒部的外周側之突出片，在比溝槽部更內徑側形成有圓周溝槽，該圓周溝槽的一部分與該溝槽部之開閥操作側連通，在該圓周溝槽，將調整構件之圓筒部以能以其旋轉軸為中心進行旋轉的狀態固定住，突出片之與銷的對向側成為抵接部。

請求項7的發明之手動式隔膜閥，從手柄的閉閥狀態到開閥狀態之旋轉角度是大致90°、或大於0°且小於360°之任意的角度。 [發明之效果]

依據請求項1的發明，藉由在閥主體的上部附近設置全開位置調整機構，利用簡單的構造就能維持緊湊性並將閥體的全開位置高精度地設定，縱使在組裝後之閥的內部形狀產生尺寸差等之個體差的情況，利用全開位置調整機構限制手柄之開閥操作側之全開時的轉動來調整全開時的流量，藉此能夠在不受閥的內部形狀之個體差的影響下設定全開時的流量之上限。再者，還能夠利用全開位置調整機構將全開時的流量任意且高精度地調整，而獲得所期望的Cv值特性。

依據請求項2的發明，可利用簡易的構造限制閥體的開閉動作，讓調整構件的抵接部沿著銷的移動方向進退，將手柄之開閥操作側的旋轉簡便地擴大或縮小而調整成所期望之手柄的旋轉角度範圍，在手柄全開時，在抵接部讓銷抵接而將其旋轉位置的上限確實且高精度地設定，藉此可在全開時確保正確的流量。

依據請求項3的發明，將銷設置在手柄底面，將溝槽部設置在閥主體的上表面，藉此抑制整體高度的增加，不致為了配置銷、固定螺絲之區域而使整體大型化，可將該等配置在閥主體的上部而維持緊湊性。可將固定螺絲從閥主體的側面簡單地插入，利用陽螺紋和陰螺紋的螺合讓該固定螺絲進退而使旋入位置的調整變容易，利用該等陽螺紋和陰螺紋可簡單地進行抵接部的微調整。

依據請求項4的發明，縱使構成手柄之材料的強度較低的情況，利用埋入螺帽讓陰螺紋的強度提高，可防止該陰螺紋的崩壞等而確實地將固定螺絲插入到所期望的位置，可吸收陽螺紋和陰螺紋之導程(lead)誤差、角度誤差而防止固定螺絲的位置偏移，可維持基於該固定螺絲之手柄全開位置的限制。

依據請求項5的發明，藉由在陽螺紋和陰螺紋之間塗布黏著劑，對於陰螺紋可將固定螺絲以定位的狀態固定住，可防止固定螺絲的位置偏移而保持手柄全開位置的限制。

依據請求項6的發明，將銷設置在手柄底面，將溝槽部設置在閥主體的上表面，藉此抑制整體高度的增加，不致為了配置銷、調整構件之區域而使整體大型化，可將該等配置在閥主體的上部而維持緊湊性。藉由相對於圓周溝槽讓圓筒部旋轉，可將突出片之抵接部的位置容易且簡便地調整。

依據請求項7的發明，藉由將從手柄的閉閥狀態到開閥狀態之旋轉角度調整成大致90°，可運用於直角迴轉(quarter-turn)型的閥，縱使在如此般手柄旋轉角度較小的情況，仍可在全開時確保正確的流量。又可將從手柄的閉閥狀態到開閥狀態之旋轉角度設定成0°~360°之任意角度，在此情況，藉由將全開時的流量設定成比直角迴轉型的閥更小或更大，可將該全開時的流量高精度地調整而設定成所期望的Cv值。

以下，針對本發明的手動式隔膜閥之實施形態，根據圖式做說明。圖1、2係顯示本發明的隔膜閥之第1實施形態，圖3係顯示將圖1的手柄卸除後之示意俯視圖，圖4係顯示閥主體的局部切除立體圖。

圖中，本發明的手動式隔膜閥係具備閥主體1、手柄2，其中，閥主體1係具有：殼體10、蓋體11、閥體12、閥桿13、閥座14、閥帽15、按壓構件16、閥桿蓋17、碟型彈簧18。在閥主體1的上部附近設置全開位置調整機構20，閥主體1是藉由手柄2的開閉角度(大致90°)而進行開閉操作。

殼體10是由上部殼體10a、下部殼體10b所構成，其等是藉由螺合而一體化。在殼體10的內部裝設由隔膜所構成之大致圓板狀的閥體12，在該閥體12的上部側可升降地螺合閥桿13。在殼體10內部之閥體12的下方位置裝設閥座14，藉由閥桿13的升降使閥體12相對於閥座14接觸或分離，而使形成於殼體10內部之流路10c開閉。在殼體10的上部固定安裝蓋體11。

圖6所示的手柄2，是利用鋸齒構造而在閥桿13之上端側可拆裝地安裝成一體，藉此配置在閥主體1的上方。在裝上手柄2之後，該手柄2的底面2a和閥主體1上部之蓋體11的上表面11a側成為相對向的狀態，在利用鋸齒構造來阻止鬆開及空轉的狀態下，藉由手柄2的旋轉使閥桿13一體地旋轉。

在手柄2上部形成有把持部2b，藉由將該把持部2b把持住並進行旋轉操作，隨著手柄2的旋轉使閥桿13一邊轉動一邊升降而將閥體12進行開閉操作。 在手柄底面2a，以朝下方突出的方式安裝形成為既定的外徑及長度之銷19。

圖3、圖4中，蓋體11是裝設在殼體10的上部附近而設置在閥主體1上部，在該蓋體11設置全開位置調整機構20。全開位置調整機構20設置在蓋體11之開閥操作側，藉由該全開位置調整機構20限制上述手柄2之開閥操作側之全開時的轉動，藉此設定閥體12之全開時的流量之上限。

在蓋體上表面11a，在與銷19對應的位置形成有大致圓弧狀的溝槽部30。溝槽部30是以可導引銷19的寬度及深度設置在大致90°的角度範圍，該溝槽部30之一端側成為開閥操作側，另一端側成為閉閥操作側，當銷19到達全開側時，讓該銷19抵接於全開位置調整機構20側，另一方面，當銷19到達全閉側時，讓銷19抵接於閉閥側端面30a。

圖5中，手柄2設置成，當向左旋轉(逆時針旋轉)時進行開閥操作，當向右旋轉(順時針旋轉)時進行閉閥操作。當將手柄2向左旋轉而成為圖5(a)的全開狀態時，銷19位於大致3點鐘方向，在圖3中可藉由全開位置調整機構20來調整手柄2的全開位置。另一方面，當從圖5(a)的全開狀態將手柄2向右旋轉而成為圖5(b)的全閉狀態時，銷19位於大致6點鐘方向，在圖3中藉由使銷19抵接於閉閥側端面30a而阻止手柄2之進一步的旋轉。藉此，從手柄2之圖5(a)的開閥狀態到圖5(b)的閉閥狀態之手柄2的旋轉角度θ設定成大致90°。

從圖3的溝槽部30之全開側的終端位置到蓋體11的側面11b連通形成有直線狀的連通孔31，在該連通孔31形成有陰螺紋部31a，在該陰螺紋部31a藉由螺合來裝設埋入螺帽(埋入式螺帽)32。在本實施形態，作為該埋入螺帽32是使用螺紋護套(sprew)，進而是使用稱作鎖定型(lock type)之提高了防鬆效果之螺紋護套。在該埋入螺帽(螺紋護套)32的內周設置陰螺紋33，該陰螺紋33配置在連通孔31的一部分。

上述全開位置調整機構20具備調整構件35，可藉由該調整構件35來調整全開狀態的銷19之位置。在調整構件35形成有抵接部36，抵接部36是以可沿著銷19的移動方向進退的狀態讓該銷19抵接。

本例的調整構件35是由固定螺絲所構成，該固定螺絲35具備：可與埋入螺帽32的陰螺紋33螺合之陽螺紋37，藉由該等陽螺紋37和陰螺紋33而相對於連通孔31成為可進退自如。藉此，固定螺絲35成為可插入連通孔31的任意位置。

固定螺絲35之旋入側端面成為前述抵接部36，在該抵接部36讓銷19抵接。藉此，藉由陽螺紋37和陰螺紋33讓固定螺絲35相對於連通孔31進退而調整抵接部36的位置，在該抵接部36讓手柄2為全開狀態時的銷19抵接而限制手柄2的轉動。如此般，全開位置調整機構20是藉由固定螺絲35的位置調整而將手柄2之開閥操作側的轉動任意地限制，藉此設定該手柄2及閥桿13的旋轉角度θ來限制閥體12的開度，而能夠設定全開時之流量的上限。

在此情況，是以在固定螺絲35之全開位置的調整範圍內包含閥體12成為全開時之閥桿13的角度(相對於閉閥狀態為大致90°)的方式，事先設定陰螺紋33的形成區域。藉此，在全開位置的調整時，在閥體12尚未到達全開的狀態下，以讓銷19抵接於抵接部35的方式調整固定螺絲35的插入位置，藉此可調整閥主體1的流量上限。

再者，較佳為，陰螺紋33的形成區域是考慮到閥主體1的個體差而設定在：涉及包含閥桿13之理論上的全開角度(90°)之90°以下~90°以上的範圍。如此，當組裝後之閥主體1之全開時的閥桿13之旋轉角度θ出現較大差異的情況，可對應於此而藉由全開位置調整機構20將全開位置設定成比90°更大或更小。

在陰螺紋33和陽螺紋37之間塗布黏著劑38亦可，在此情況，藉由黏著劑38將固定螺絲35以定位狀態固定於埋入螺帽32。

殼體10內的閥帽15形成為在外周具有段差部之大致環狀，係被挾持在上部殼體10a和下部殼體10b之間而固定住。在閥帽15的中央形成有貫通孔15a，在該貫通孔15a可升降地裝設大致圓柱狀的按壓構件16，在該按壓構件16的底面側，以其外周側被挾持在閥帽15和下部殼體10b之間的狀態安裝閥體(隔膜)12。 再者，在按壓構件16和閥桿13之間，在裝設有複數個碟型彈簧18的狀態下，以覆蓋閥桿13之下部側的方式裝設閥桿蓋17。

利用這些內部構造，當讓手柄2朝閉閥方向旋轉時，使閥桿13相對於殼體10一邊旋轉一邊下降，藉由該閥桿13的下降而通過碟型彈簧18、閥桿蓋17使按壓構件16往下壓，藉由該按壓構件16按壓閥體12的中央附近而壓接於閥座14，藉此將流路10c封閉。

另一方面，當讓手柄2朝開閥方向旋轉時，使閥桿13相對於殼體10一邊旋轉一邊上升，藉由該閥桿13的上升來解除其對於閥體12的按壓力，使壓縮的碟型彈簧18恢復原來的形狀後，隨著閥桿蓋17上升，一邊使按壓構件16上升一邊使閥體12恢復開狀態的形狀，藉此使流路10c成為開狀態。

又在上述實施形態，雖是在設置於閥主體1之蓋體11的上表面形成有溝槽部30，但亦可構成為，不設置蓋體11而在殼體10的上表面直接設置溝槽部30。

又雖是在手柄底面2a安裝銷19，並在蓋體上表面11a側形成有大致圓弧狀的溝槽部30，但亦可構成為，在手柄底面2a形成有溝槽部，且在蓋體上表面11a側(閥主體1的上表面側)安裝銷19(未圖示)。像這樣，只要在手柄底面2a或殼體上表面側之任一方設置銷19，並讓該銷19與形成在另一方側之大致圓弧狀的溝槽部30卡合，就能設定手柄2開閉時之旋轉區域的一部分。

亦可構成為，不在連通孔31裝設埋入螺帽32，而使形成於連通孔31之陰螺紋部31a成為供陽螺紋37螺合之陰螺紋。再者，在這些情況都是，可省略陽螺紋和陰螺紋間之黏著劑的塗布，在此情況，可讓調整後之固定螺絲35再度轉動而將抵接部36的位置進行調整變更。另一方面，藉由黏著劑38以外的固定手段將陽螺紋和陰螺紋固定住亦可。

從手柄2的閉閥狀態到開閥狀態之開閉角度亦可為90°以外，在此情況，藉由將形成溝槽部30的角度設定成大於0°且小於360°之任意的角度即可對應。

接下來說明本發明的手動式隔膜閥之上述實施形態的動作及作用。 上述閥主體1，縱使在構成該閥主體1之各零件存在個體差的情況，在其組裝後，藉由全開位置調整機構20可將閥體12全開時的流量高精度地調整。在此情況，讓全開位置調整機構20之由固定螺絲所構成的調整構件35通過陽螺紋37和陰螺紋33的螺合而相對於連通孔31進退，讓該固定螺絲35的旋入側端面、即抵接部36的位置移動，藉此調節與該抵接部36抵接之銷19的抵接位置，而限制安裝有銷19之手柄2之開閥操作側之全開時的轉動，藉此可將全開時的流量任意地設定。

具體而言，在閥主體1組裝後，在該閥主體1內讓流體流通的狀態下調整固定螺絲35的插入位置，當符合所期望的流量時停止進行基於固定螺絲35的進退之調整，而將該位置設定成閥主體1的全開位置。

例如，當要將手柄2全開狀態下之流體溫度200℃的Cv值設定成0.62的情況，讓固定螺絲35進退到Cv值成為0.62的位置而調節抵接部36。藉此，當手柄2全開時，讓銷19與抵接部36抵接而使其旋轉受限制，而能夠提供在全開時的Cv值確實地設定成0.62之閥主體1。在閥主體1組裝後，縱使起因於個體差而使全開時之手柄2及閥桿13的旋轉角度θ產生差異的情況，利用全開位置調整機構20限制手柄之手動操作側之全開時的轉動，藉此可發揮一定的Cv值。

藉此，當在閥主體1的二次側將未圖示的複數個閥以並列狀態連接的情況，不須將該等二次側閥個別地進行流量調整，在閥主體1全開時可對二次側閥供給所期望的流量之流體，還能謀求二次側閥以後的程序之穩定化。再者，藉由全開位置調整機構20將閥主體1全開時的Cv值正確地設定，甚至是不同的溫度、流體壓之流體流通的情況也能對應。

為了在全開時獲得所期望的Cv值，也能讓該全開位置從90°減少，例如要將全開時的Cv值設定成0.5的情況，只要藉由全開位置調整機構將手柄全開時的角度調整成約75°即可。

像本實施形態的閥主體1那樣將手柄2開閉時的旋轉角度θ設定成大致90°的範圍的情況，縱使在將閥主體1設為直角迴轉型，而如此般利用手柄2之較少的旋轉角度來將閥體12進行開閉控制的情況，仍可將Cv值高精度地設定。在直角迴轉型的閥主體1的情況，藉由將手柄2之把持部2b的朝向從外方進行目視確認，連開閉狀態的確認也變容易。

當將從手柄2的開閥狀態到閉閥狀態之旋轉角度θ設定成0°~360°之任意的角度時，可將全開時的流量設定成比直角迴轉型的閥更小或更大，在此情況也能將全開時的流量高精度地設定。

由於將銷19、固定螺絲35設置在使手柄底面2a和蓋體上表面11a相對向之手柄2的轉動區域內，不須在閥主體1的外部確保用於配置全開位置調整機構20的區域，可防止閥主體1的大型化，因此緊湊性也變優異。

在連通孔31將鎖定型的螺紋護套所構成的埋入螺帽32插入，在該螺紋護套32的內周設置供陽螺紋37螺合的陰螺紋33，因此在該陰螺紋33將固定螺絲35旋入而進行位置調整之後變得不易鬆開，縱使從外部施加激烈的振動、衝撃，仍可確實地防止固定螺絲35鬆開。藉此，可將調整後之固定螺絲35的位置強固地保持。再者，藉由在陽螺紋37和陰螺紋33之間塗布黏著劑38，可使固定力進一步提高，而更確實地防止固定螺絲35的位置偏移。另一方面，藉由使用螺紋護套32，也能省略黏著劑38的塗布，在此情況也能發揮充分的保持力，而能防止調整後的固定螺絲35之位置偏移。

圖7(a)、圖7(b)係顯示本發明的手動式隔膜閥之第2實施形態。又在本實施形態中，與前述實施形態相同的部分是用同一符號表示，而將其說明省略。

本實施形態的閥主體40係具備全開位置調整機構41，該全開位置調整機構41係具備圖9所示的調整構件42。調整構件42係具備：圓筒部43、及形成於圓筒部43的外周側之突出片44，且是可裝設地設置在閥主體40之蓋體45上表面側。

如圖8所示般，在蓋體45側，是從與前述實施形態大致同樣地形成為圓弧狀之溝槽部46，以朝開閥操作側之圓周方向延長的方式形成有比溝槽部46稍寬之溝槽狀的收容部47。在比溝槽部46更內徑側形成有其一部分與收容部47連通之圓周溝槽48，該圓周溝槽48設定成可將調整構件42之圓筒部43以游嵌狀態收容的大小及深度。在蓋體45外周側，以與圓周溝槽48連通的方式且以大致90°的角度在2處形成有螺絲孔49，在該螺絲孔49，將固定螺絲構件50可進退自如地螺合並插入。

調整構件42，是將圓筒部43以能以其旋轉軸為中心進行旋轉的狀態裝入圓周溝槽48，並將突出片44裝設成能在收容部47內進退的狀態，而在此狀態下收容在蓋體45上表面側。突出片44成為與手柄之銷19相對向的狀態，突出片44之與該銷19的對向側成為抵接部51。 調整構件42，可利用2個固定螺絲構件50緊固，藉由從這兩處進行緊固而將圓筒部43以防止發生位置偏移的狀態固定在蓋體45內，並將突出片44固定在收容部47內。

依據上述構成，在閥主體40組裝後，讓圓筒部43在圓周溝槽48內旋轉而將突出片44(抵接部51)調節到收容部47內之所期望的位置，利用固定螺絲構件50將圓筒部43固定住，藉此可將抵接部51調整到閥全開位置。在手柄全開時，讓銷19與抵接部51抵接而使手柄的旋轉受限制，藉此可將全開時的Cv值正確地設定。

在該閥主體40的情況，例如，當手柄全開狀態下之流體溫度200℃的Cv值為約0.25左右時，利用全開位置調整機構41將手柄可開閉的角度原為90°者調整成約70°左右，藉此可將Cv值調整成0.20左右。

以上是針對本發明的實施形態詳細地敘述，但本發明並不限定於前述實施形態的記載，在不脫離本發明的申請專利範圍所記載之發明精神的範圍內可進行各種的變更。

1:閥主體 2:手柄 2a:底面 10:殼體 10a:上部殼體 10b:下部殼體 10c:流路 11:蓋體 11a:上表面 11b:側面 12:隔膜(閥體) 13:閥桿 14:閥座 15:閥帽 19:銷 20:全開位置調整機構 30,46:溝槽部 31:連通孔 32:埋入螺帽 33:陰螺紋 35:固定螺絲(調整構件) 36:旋入側端面(抵接部) 37:陽螺紋 38:黏著劑 42:調整構件 43:圓筒部 44:突出片 48:圓周溝槽 51:抵接部 θ:手柄的旋轉角度

[圖1]係顯示本發明的手動式隔膜閥的第1實施形態之前視圖。 [圖2]係圖1的A-A剖面圖。 [圖3]係將圖1的手柄卸除後之示意俯視圖。 [圖4]係閥主體的局部切除立體圖。 [圖5]係圖1的俯視圖。圖5(a)係顯示手柄的開狀態之俯視圖。圖5(b)係顯示手柄的閉狀態之俯視圖。 [圖6]係顯示手柄之立體圖。 [圖7(a)]係顯示本發明的手動式隔膜閥的第2實施形態之立體圖。[圖7(b)]係圖7(a)的俯視圖。 [圖8]係顯示蓋體之立體圖。 [圖9]係顯示圖7中的調整構件之立體圖。

1:閥主體

10:殼體

10a:上部殼體

10b:下部殼體

10c:流路

11:蓋體

11a:上表面

11b:側面

12:隔膜(閥體)

13:閥桿

15:閥帽

19:銷

20:全開位置調整機構

30:溝槽部

31:連通孔

33:陰螺紋

35:固定螺絲(調整構件)

37:陽螺紋

Claims (8)

1. 一種手動式隔膜閥，閥主體係具備閥體及閥桿，前述閥體是由裝設於殼體內部之隔膜所構成，前述閥桿是可升降地螺合於前述殼體，且用於讓前述閥體接觸或分離於：裝設在前述殼體內部之閥座； 在前述閥主體的上方安裝手柄，該手柄是用於將前述閥桿以手動方式進行旋轉操作；在前述閥主體的上部附近設置有全開位置調整機構，該全開位置調整機構是限制前述手柄往開閥操作側全開時的轉動，藉此設定前述閥體之全開時的流量之上限。
2. 如請求項1所述之手動式隔膜閥，其中， 裝設成使前述手柄的底面和前述閥主體的上表面側成為相對向狀態，讓設置在前述手柄的底面或前述閥主體的上表面側之任一方的銷與形成在另一方側之大致圓弧狀的溝槽部卡合，來設定前述手柄開閉時之旋轉區域的一部分，並且在前述溝槽部之開閥操作側設置前述全開位置調整機構，該全開位置調整機構具備調整構件，該調整構件形成有：以可沿著前述銷的移動方向進退的狀態供該銷抵接之抵接部。
3. 如請求項2所述之手動式隔膜閥，其中， 前述銷設置在前述手柄的底面，前述溝槽部設置在前述閥主體的上表面，前述調整構件是具備有陽螺紋之固定螺絲，該固定螺絲之前述陽螺紋是可進退地螺合於設置在從前述溝槽部連通到前述閥主體的側面之連通孔之陰螺紋，該固定螺絲的旋入側端面成為前述抵接部。
4. 如請求項3所述之手動式隔膜閥，其中， 在前述連通孔裝設具備有前述陰螺紋之埋入螺帽。
5. 如請求項3或4所述之手動式隔膜閥，其中， 在前述陰螺紋和前述陽螺紋之間塗布有黏著劑。
6. 如請求項2所述之手動式隔膜閥，其中， 前述銷設置在前述手柄的底面，前述溝槽部設置在前述閥主體的上表面，前述調整構件係具備圓筒部、及形成在該圓筒部的外周側之突出片，在比前述溝槽部更內徑側形成有圓周溝槽，該圓周溝槽的一部分與前述溝槽部之開閥操作側連通，在該圓周溝槽，前述調整構件之前述圓筒部在能夠以其旋轉軸為中心進行旋轉的狀態下固定住，使前述突出片之與前述銷的對向側成為前述抵接部。
7. 如請求項1至4及6之任一項所述之手動式隔膜閥，其中， 從前述手柄的閉閥狀態到開閥狀態之旋轉角度是大致90°、或大於0°且小於360°之任意的角度。
8. 如請求項5所述之手動式隔膜閥，其中， 從前述手柄的閉閥狀態到開閥狀態之旋轉角度是大致90°、或大於0°且小於360°之任意的角度。

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