CN115038901A - 手动用隔膜阀 - Google Patents

Abstract

本发明在于，提供一种手动用隔膜阀，该手动用隔膜阀通过简单的构造来维持紧凑性并同时能够设定阀体的开闭范围，不会受到阀的内部形状的个体差异的影响，充分地确保全开时的流量，还能够任意地调整全开时的流量。阀本体1具备装配于主体10内部的阀体12和以能够进行升降运动的方式螺纹嵌合于主体10并使阀体12与阀座14接触分离的主轴13，在阀本体1的上方，安装有对主轴13手动地进行旋转操作的手柄2，在阀本体1的上部附近，具备全开位置调整机构20，全开位置调整机构20限制手柄2的开阀操作侧的全开时的转动，设定阀体12的全开时的流量的上限。

Description

手动用隔膜阀

技术领域

本发明涉及例如在半导体制造装置中使用、通过手柄等的手动操作来将流路开闭的手动用隔膜阀，特别地涉及能够高精度地调整全开时的流量的手动用隔膜阀。

背景技术

这种手动用隔膜阀通常作为半导体制造用气体供给系统的主阀使用，通过设置于阀杆(操作杆)的上部的手动手柄的操作来使阀杆进行升降运动，流路成为全开或全闭状态。通常，在设置有该手动用隔膜阀的流路的二次侧，分支流路以并列状分支而设置，以在各分支流路流动相同流量的方式设置。在各分支流路，连接有能够自动操作的自动隔膜阀，通常通过各自动隔膜阀来分别调整从这些阀向二次侧的流量。

因此，在将手动用隔膜阀作为主阀使用时，为了利用二次侧的各隔膜来高精度地进行流量控制，要求正确地设定作为其一次侧的手动用隔膜阀的全开时的流量。

作为作主阀使用的手动用隔膜阀，例如，本申请人申请专利文献1的阀。该隔膜阀在阀轴的上部安装有手动用手柄本体，使该手柄本体以大致90°的旋转角度转动，从而通过阀轴来使阀体(隔膜)进行动作，对流路进行开闭操作。在此情况下，一般已知能够通过限定手柄本体的转动范围来设定阀体的开闭范围，作为这样的手柄的旋转限定构造，使联接销突出而安装于手柄的底面，另一方面，有时在阀本体的上表面以大致90°的角度形成联接销槽，通过使联接销引导至联接销槽，设定手柄本体的旋转区域。由此，维持紧凑性并同时通过利用凹凸部分(联接销、联接销槽)的卡合的简易构造来限定阀体的开闭动作，而能够设定全开时的流量。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第6580377号公报。

发明内容

发明要解决的课题

然而，构成隔膜阀的各零件在制造时产生尺寸差，因而难以使组装后的阀内部的尺寸完全一致，例如，产生隔膜的微小的形变或形状偏差、或通过铆接等将阀座固定于主体时的阀座的形状或高度的偏差等。这些阀的内部形状的个体差异大大地影响到阀全开时的开度，例如，在针对前述的专利文献1的手动用隔膜阀设置利用凹凸部分(联接销、联接销槽)的卡合的旋转限定构造且欲通过该旋转限定构造来将手柄的旋转角度限定为90°时，在其旋转角度产生误差，在每个阀全开时的流量有可能产生个体差异。

其结果是，存在在连接至二次侧的自动隔膜阀以后的半导体制造过程结果显出差异的可能性，因而为了使制造过程均一化，有时也需要对二次侧的所有自动隔膜阀个别地进行流量调整。

这样，在通过凹凸状卡合部等来以不能调整手柄本体的旋转角度的方式限定手柄侧和阀本体侧的情况下，难以抑制阀的个体差异所导致的Cv值的差异，另外，在对二次侧的自动隔膜阀分别进行流量调整的情况下，还存在花费大量人工这一问题。

进而，半导体制造用阀通常在200℃或其以上的高温区域中使用，如果像这样成为高温，则手动用隔膜阀的隔膜或阀座也因热而膨胀/变形，因而偏差变得更复杂，Cv值受到更大的影响，作为一次侧的阀，有时也不能确保开阀时的恰当的流量。

出于这些理由，强烈地期望开发一种手动用隔膜阀，该手动用隔膜阀具备如下的功能：不会受到阀的内部形状的个体差异的影响，充分地确保全开时的流量，能够任意地调整全开时的流量。

本发明是为了解决现有的课题而开发的，其目的在于，提供一种手动用隔膜阀，该手动用隔膜阀通过简单的构造来维持紧凑性并同时能够设定阀体的开闭范围，不会受到阀的内部形状的个体差异的影响，充分地确保全开时的流量，还能够任意地调整全开时的流量。

用于解决课题的方案

为了达成上述目的，技术方案1所涉及的发明是如下的手动用隔膜阀：阀本体具备由装配于主体内部的隔膜组成的阀体和以能够进行升降运动的方式螺纹嵌合于主体并使阀体与装配于主体内部的阀座接触分离的主轴，在阀本体的上方，安装有对主轴手动地进行旋转操作的手柄，在阀本体的上部附近，具备全开位置调整机构，全开位置调整机构限制手柄的开阀操作侧的全开时的转动，设定阀体的全开时的流量的上限。

技术方案2所涉及的发明是如下的手动用隔膜阀：手柄的底面和阀本体的上表面侧以对置状态装配，设置于手柄底面或阀本体上表面侧的任一个的销卡合于形成于另一侧的大致圆弧状的槽部，设定手柄开闭时的旋转区域的一部分，并且，在槽部的开阀操作侧，设置有全开位置调整机构，该全开位置调整机构具备调整部件，调整部件以能够沿销的移动方向进退的状态形成有该销所抵接的抵接部。

技术方案3所涉及的发明是如下的手动用隔膜阀：分别是，销设置于手柄底面，槽部设置于阀本体的上表面，调整部件是具备阳螺纹的止动螺钉，阳螺纹以能够进退的方式螺纹接合于阴螺纹，该阴螺纹设置于从槽部与阀本体的侧面连通的连通孔，该止动螺钉的螺纹旋入侧端面成为抵接部。

技术方案4所涉及的发明是在连通孔装配有具备阴螺纹的嵌入螺母的手动用隔膜阀。

技术方案5所涉及的发明是在阴螺纹与阳螺纹之间涂敷有粘接剂的手动用隔膜阀。

技术方案6所涉及的发明是如下的手动用隔膜阀：分别是，销设置于手柄底面，槽部设置于阀本体的上表面，调整部件具备圆筒部和形成于该圆筒部的外周侧的突出片，在比槽部更靠内径侧，形成有一部分与该槽部的开阀操作侧连通的圆周槽，调整部件的圆筒部以能够以其旋转轴为中心旋转的状态固接于该圆周槽，将突出片的向销的对置侧作为抵接部。

技术方案7所涉及的发明是如下的手动用隔膜阀：手柄的从闭阀状态直至开阀状态的旋转角度是大致90°或大于0°且小于360°的任意角度。

发明的效果

依据技术方案1所涉及的发明，在阀本体的上部附近设置全开位置调整机构，从而通过简单的构造来维持紧凑性并同时能够高精度地设定阀体的全开位置，即使在组装后的阀的内部形状产生尺寸差等个体差异的情况下，也能够通过全开位置调整机构来限制手柄的开阀操作侧的全开时的转动而调整全开时的流量，不受到阀的内部形状的个体差异的影响地设定全开时的流量的上限。进而，还能够提供一种隔膜阀，该隔膜阀通过全开位置调整机构来任意地高精度地调整全开时的流量，得到期望的Cv值的特性。

依据技术方案2所涉及的发明，能够以简易构造限定阀体的开闭动作，通过使调整部件的抵接部沿销的移动方向进退，能够简便地扩大或缩小手柄的开阀操作侧的旋转而调整成期望的手柄的旋转角度的范围，在手柄全开时，销抵接于抵接部，可靠且高精度地设定其旋转位置的上限，从而在全开时能够确保正确流量。

依据技术方案3所涉及的发明，通过分别将销设置于手柄底面且将槽部设置于阀本体的上表面，从而抑制整体的高度的增长，不会由于配置销或止动螺钉的区域而整体大型化，将这些配置于阀本体的上部而能够维持紧凑性。能够将止动螺钉从阀本体的侧面简单地插入，通过阳螺纹与阴螺纹的螺纹接合使该止动螺钉进退，从而螺纹旋入位置的调整变得容易，可通过这些阳螺纹和阴螺纹来简单地进行抵接部的微调。

依据技术方案4所涉及的发明，即使在构成手柄的材料的强度弱的情况下，也能够通过嵌入螺母来使阴螺纹的强度提高，防止该阴螺纹的压坏等并可靠地将止动螺钉插入直至期望的位置，吸收阳螺纹和阴螺纹的导程误差或角度误差而防止止动螺钉的位置偏移，能够维持该止动螺钉对手柄的全开位置的限定。

依据技术方案5所涉及的发明，通过将粘接剂涂敷于阳螺纹与阴螺纹之间，能够将止动螺钉相对于阴螺纹以位置决定状态固定，能够防止止动螺钉的位置偏移而保持手柄的全开位置的限定。

依据技术方案6所涉及的发明，通过分别将销设置于手柄底面且将槽部设置于阀本体的上表面，从而抑制整体的高度的增长，不会由于配置销或调整部件的区域而整体大型化，将这些配置于阀本体的上部而能够维持紧凑性。通过使圆筒部相对于圆周槽旋转，能够容易且简便地调整突出片的抵接部的位置。

依据技术方案7所涉及的发明，通过将手柄的从闭阀状态直至开阀状态的旋转角度调整成大致90°，能够适用于四分之一转型的阀，即使在像这样手柄的旋转角度小的情况下，也在全开时确保正确流量。另外，能够将手柄的从闭阀状态直至开阀状态的旋转角度设置成0°-360°的任意角度，在此情况下，在将全开时的流量设定得比四分之一转型的阀更小或更大之后，能够高精度地调整该全开时的流量而设定成期望的Cv值。

附图说明

图1是示出本发明的手动用隔膜阀的第1实施方式的主视图。

图2是图1的A-A截面图。

图3是已将图1的手柄拆卸的示意俯视图。

图4是阀本体的部分切开立体图。

图5是图1的俯视图。(a)是示出手柄的开放状态的俯视图。(b)是示出手柄的关闭状态的俯视图。

图6是示出手柄的立体图。

图7(a)是示出本发明的手动用隔膜阀的第2实施方式的立体图。(b)是(a)的俯视图。

图8是示出盖的立体图。

图9是示出图7中的调整部件的立体图。

具体实施方式

以下，基于附图而说明本发明中的手动用隔膜阀的实施方式。在图1、2中，示出本发明的隔膜阀的第1实施方式，图3示出已将图1的手柄拆卸的示意俯视图，图4分别示出阀本体的部分切开立体图。

在图中，本发明中的手动用隔膜阀具备阀本体1、手柄2，其中，阀本体1具有主体10、盖11、阀体12、主轴13、阀座14、阀帽15、按压部件16、主轴盖17、碟形弹簧18。在阀本体1的上部附近，设置有全开位置调整机构20，阀本体1基于手柄2的开闭角度大致90°来进行开闭操作。

主体10由上部主体10a、下部主体10b组成，这些通过拧入来一体化。在主体10的内部，装配有由隔膜组成的大致圆板状的阀体12，在该阀体12的上部侧，以能够进行升降运动的方式螺纹嵌合有主轴13。在主体10内部的阀体12的下方位置，装配有阀座14，通过主轴13的升降运动，阀体12与阀座14接触分离，从而形成于主体10内部的流路10c以能够开闭的方式设置。在主体10的上部，固接有盖11。

图6中示出的手柄2通过锯齿构造(セレーション構造)来可装卸地一体地安装于主轴13的上端侧，由此配置于阀本体1的上方。在装配手柄2之后，该手柄2的底面2a与阀本体1上部的盖11的上表面11a侧成为对置的状态，在通过锯齿构造来阻止松动或空转的状态下，主轴13以能够基于手柄2的旋转一体地旋转的方式设置。

在手柄2上部，形成有抓握部2b，通过握持该抓握部2b而进行旋转操作，主轴13与手柄2的旋转一起转动并同时进行升降运动，而能够对阀体12进行开闭操作。

在手柄底面2a，以既定外径和长度形成的销19以向下方突出的方式安装。

在图3、图4中，盖11装配于主体10的上部附近并设置于阀本体1上部，在该盖11，设置有全开位置调整机构20。全开位置调整机构20设置于盖11中的开阀操作侧，通过该全开位置调整机构20来限制上述手柄2的开阀操作侧的全开时的转动，从而设定阀体12的全开时的流量的上限。

在盖上表面11a中，在销19所对应的位置，形成有大致圆弧状的槽部30。槽部30基于能够引导销19的宽度和深度而设置成大致90°的角度范围，该槽部30的一端侧成为开阀操作侧，另一端侧成为闭阀操作侧，在销19到达全开侧时，该销19抵接于全开位置调整机构20侧，另一方面，在销19到达全闭侧时，销19抵接于闭阀侧端面30a。

在图5中，手柄2以如下的方式设置：在向左旋转(逆时针转)时，进行开阀操作，另外，在向右旋转(顺时针转)时，进行闭阀操作。在使手柄2向左旋转而成为图5(a)的全开状态时，销19位于大致3点钟的方向，在图3中，手柄2的全开位置以能够通过全开位置构成机构20来调整的方式设置。另一方面，从图5(a)的全开状态起使手柄2向右旋转，在成为图5(b)的全闭状态时，销19位于大致6点钟的方向，在图3中，通过销19向闭阀侧端面30a的抵接来阻止手柄2的进一步的旋转。由此，手柄2的从图5(a)的开阀状态直至图5(b)的闭阀状态的手柄2的旋转角度θ设定成大致90°。

直线状的连通孔31从图3的槽部30的全开侧的终端位置连通到盖11的侧面11b而形成，在该连通孔31，形成有阴螺纹部31a，在该阴螺纹部31a，通过螺纹嵌合来装配有嵌入螺母(埋入用螺母)32。在本实施方式中，作为该嵌入螺母32，使用Sprew，进而，使用被称为锁定型的提高防松动效果的Sprew。在该嵌入螺母(Sprew)32的内周，设置有阴螺纹33，该阴螺纹33配置于连通孔31的一部分。

上述的全开位置调整机构20具备调整部件35，能够通过该调整部件35来调整全开状态的销19的位置。在调整部件35，以能够沿销19的移动方向进退的状态形成有该销19所抵接的抵接部36。

本示例中的调整部件35由止动螺钉组成，该止动螺钉35具备阳螺纹37，阳螺纹37能够螺纹接合于嵌入螺母32的阴螺纹33，通过这些阳螺纹37和阴螺纹33，止动螺钉35相对于连通孔31进退自由。由此，止动螺钉35能够插入至连通孔31的任意位置。

止动螺钉35的螺纹旋入侧端面成为前述的抵接部36，销19抵接于该抵接部36。由此，通过阳螺纹37和阴螺纹33使止动螺钉35进退于连通孔3而调整抵接部36的位置，使手柄2为全开状态时的销19抵接于该抵接部36而限制手柄2的转动。这样，全开位置调整机构20通过止动螺钉35的位置调整来任意地限制手柄2的开阀操作侧的转动，设定该手柄2和主轴13的旋转角度θ而限定阀体12的开度，能够设定全开时的流量的上限。

在此情况下，预先设定阴螺纹33的形成区域，以便在止动螺钉35的全开位置的调整范围内包括阀体12成为全开时的主轴13的角度(相对于闭阀状态大致90°)。由此，在调整全开位置时，在阀体12未达到直至全开的状态下，以销19抵接于抵接部35的方式调节止动螺钉35的插入位置，从而能够调整阀本体1的流量上限。

进而，理想地，考虑到阀本体1的个体差异，阴螺纹33的形成区域可以以达到包括作为主轴13的理论上的全开角度的90°的从90°以下至90°以上的范围的方式设置。由此，在组装后的阀本体1的全开时的主轴13的旋转角度θ产生大差异的情况下，能够与其对应地通过全开位置调整机构20来将全开位置设定得比90°更大或更小。

也可以将粘接剂38涂敷于阴螺纹33与阳螺纹37之间，在此情况下，通过粘接剂38来将止动螺钉35以位置决定(位置決め)状态固定于嵌入螺母32。

主体10内的阀帽15以在外周具有台阶部的大致环状形成，夹贴在上部主体10a与下部主体10b之间而固定。在阀帽15的中央，形成有贯通孔15a，在该贯通孔15a，大致圆柱状的按压部件16以能够进行升降运动的方式装配，在该按压部件16的底面侧，以外周侧夹在阀帽15与下部主体10b之间的状态安装有阀体(隔膜)12。

进而，在按压部件16与主轴13之间，以装配于多个碟形弹簧18的状态以覆盖主轴13的下部侧的方式装配有主轴盖17。

通过这些内部构造，在使手柄2沿闭阀方向旋转时，主轴13相对于主体10旋转并同时下降，通过该主轴13的下降，按压部件16通过碟形弹簧18、主轴盖17被压下，阀体12的中央附近被该按压部件16按压而压接于阀座14，流路10c被封闭。

另一方面，在使手柄2沿开阀方向旋转时，主轴13相对于主体10旋转并同时上升，通过该主轴13的上升，对阀体12的按压力被解除，在收缩的碟形弹簧18恢复至原来的形状之后，主轴盖17上升，与此同时，按压部件16上升且同时阀体12复原至开放状态的形状，流路10c成为开放状态。

此外，在上述实施方式中，在设置于阀本体1的盖11的上表面，形成有槽部30，但也可以作为不设置盖11而直接在主体10的上表面设置槽部30的构成。

另外，在手柄底面2a安装有销19，在盖上表面11a侧形成有大致圆弧状的槽部30，但也可以在手柄底面2a形成有槽部，在盖上表面11a侧(阀本体1的上表面侧)安装有销19(未图示)。这样，只要在手柄底面2a或主体上表面侧的任一个设置有销19、该销19卡合于在另一侧形成的大致圆弧状的槽部30而设定手柄2开闭时的旋转区域的一部分即可。

也可以不在连通孔31装配嵌入螺母32，而将形成于连通孔31的阴螺纹部31a作为阳螺纹37所螺纹嵌合的阴螺纹。进而，无论在这些中的哪一种情况下，也都可以省略粘接剂向阳螺纹与阴螺纹之间的涂敷，在此情况下，能够使调整后的止动螺钉35再次转动而调整变更抵接部36的位置。另一方面，也可以通过除了粘接剂38以外的固接手段来固接阳螺纹和阴螺纹。

手柄2的从闭阀状态直至开阀状态的开闭角度也可以是除了90°以外，在此情况下，能够将形成槽部30的角度设定成大于0°且小于360°的任意角度从而对应。

接着，说明本发明的手动用隔膜阀的上述实施方式中的动作和作用。

即使在构成该阀本体1的各零件存在个体差异的情况下，上述阀本体1也能够在其组装后通过全开位置调整机构20来高精度地调整阀体12的全开时的流量。在此情况下，通过阳螺纹37与阴螺纹33的螺纹接合使全开位置调整机构20的由止动螺钉组成的调整部件35相对于连通孔31进退，使作为该止动螺钉35的螺纹旋入侧端面的抵接部36的位置移动，从而调节销19抵接于该抵接部36的抵接位置，限制安装有销19的手柄2的开阀操作侧的全开时的转动，从而能够任意地设定全开时的流量。

具体而言，在阀本体1的组装之后，在使流体在该阀本体1内流动的状态下，调整止动螺钉35的插入位置，在与期望的流量一致时，停止基于止动螺钉35的进退的调整，将该位置作为阀本体1的全开位置而设定。

例如，在手柄2的全开状态下，在以流体温度200℃的Cv值成为0.62的方式设定的情况下，使止动螺钉35进退至成为Cv值0.62的位置而调节抵接部36。由此，在手柄2全开时，销19抵接于抵接部36，其旋转被限定，而能够提供全开时的Cv值可靠地设定成0.62的阀本体1。在阀本体1的组装之后，即使在全开时的手柄2和主轴13的旋转角度θ因个体差异而不同的情况下，通过利用全开位置调整机构20来限制手柄的手动操作侧的全开时的转动，也发挥固定的Cv值。

由此，在阀本体1的二次侧以并列状态连接有未图示的多个阀的情况下，能够不对这些二次侧阀个别地进行流量调整，而是在阀本体1全开时将期望的流量的流体供给至二次侧阀，还可谋求二次侧阀以后的过程的稳定化。进而，通过利用全开位置调整机构20来正确地设定阀本体1的全开时的Cv值从而还对应于使不同的温度或流体压力的流体流动的情况。

为了在全开时得到期望的Cv值，还能够使该全开位置从90°减少，例如，在将全开时的Cv值设定成0.5的情况下，利用全开位置调整机构来将手柄的全开时的角度调整成大约75°即可。

如本实施方式的阀本体1那样，在将手柄2开闭时的旋转角度θ设定成大致90°的范围的情况下，即使在使阀本体1成为四分之一转型且这样通过手柄2的小的旋转角度来对阀体12进行开闭控制的情况下，也能够高精度地设定Cv值。在四分之一转型的阀本体1的情况下，通过从外侧目视确认手柄2的抓握部2b的朝向，开闭状态的确认也变得容易。

在将手柄2的从开阀状态直至闭阀状态的旋转角度θ设置成从0°直至360°的任意角度时，能够将全开时的流量相对于四分之一转型设定得较小或较大，在此情况下，也能够高精度地设定全开时的流量。

将销19或止动螺钉35设置于手柄底面2a与盖上表面11a对置的手柄2的转动区域内，因而不需要在阀本体1的外部确保用于配置全开位置调整机构20的区域，防止阀本体1的大型化，紧凑性也优异。

将由锁定型Sprew组成的嵌入螺母32插入至连通孔31，以该Sprew 32的内周为阳螺纹37所螺纹接合的阴螺纹33，因而在将止动螺钉35在该阴螺纹33螺纹旋入而进行位置调整之后难以松动，即使假如从外部施加剧烈的振动或冲击，也可靠地防止止动螺钉35的松动。由此，能够牢固地保持调整后的止动螺钉35的位置。进而，通过将粘接剂38涂敷于阳螺纹37与阴螺纹33之间，固接力进一步提高，更可靠地防止止动螺钉35的位置偏移。另一方面，通过使用Sprew 32，也能够省略粘接剂38的涂敷，在此情况下，也能够发挥足够的保持力，防止调整后的止动螺钉35的位置偏移。

在图7(a)、图7(b)中，示出本发明的手动用隔膜阀的第2实施方式。此外，该在实施方式中，与前述实施方式相同的部分由相同符号表示，省略其说明。

该实施方式中的阀本体40具备全开位置调整机构41，在该全开位置调整机构41中，具备图9中示出的调整部件42。调整部件42具备圆筒部43和形成于该圆筒部43的外周侧的突出片44，以能够装配于阀本体40的盖45上表面侧的方式设置。

如图8中示出那样，在盖45侧，以从与前述实施方式大致同样地以圆弧状形成的槽部46向开阀操作侧的圆周方向延长的方式，形成有比槽部46稍稍变宽的槽状容纳部47。在比槽部46更靠内径侧，形成有其一部分与容纳部47连通的圆周槽48，该圆周槽48以调整部件42的圆筒部43能够以游动嵌合状态容纳的大小和深度设置。在盖45外周侧，以与圆周槽48连通的方式以大致90°的角度在2处形成有螺纹孔49，止动螺钉部件50进退自由地螺纹嵌合并插入至该螺纹孔49。

调整部件42以圆筒部43以能够以其旋转轴为中心旋转的状态装入至圆周槽48、突出片44以能够进退的状态装配于容纳部47内的状态，容纳于盖45上表面侧。突出片44成为与手柄的销19对置的状态，与该销19的对置侧成为抵接部51。

调整部件42以能够通过2个止动螺钉部件50来紧固的方式设置，通过来自该2处的固接，圆筒部43以防止位置偏移的状态固定于盖45内，突出片44固定于容纳部47内。

通过上述构成，在阀本体40的组装之后，使圆筒部43在圆周槽48内旋转而将突出片44(抵接部51)调节至容纳部47内的期望的位置，利用止动螺钉部件50来固定圆筒部43，从而能够将抵接部51调整成阀全开位置。在手柄全开时，销19抵接于抵接部51，手柄的旋转被限定，从而能够正确地设定全开时的Cv值。

在该阀本体40的情况下，例如，在手柄的全开状态下，在流体温度200℃的Cv值是大约0.25左右时，通过利用全开位置调整机构41来将手柄的可开闭角度为90°的角度调整成大约70°左右，能够将 Cv值调整成0.20左右。

以上，对本发明的实施方式详细地进行了阐述，但本发明不限定于前述实施方式记载，在不脱离本发明的权利要求书的范围所记载的发明的精神的范围内，能够进行各种变更。

符号说明

1 阀本体

2 手柄

2a 底面

10 主体

11 盖

11a 上表面

12 隔膜(阀体)

13 主轴

14 阀座

19 销

20 全开位置调整机构

30、46 槽部

31 连通孔

32 嵌入螺母

33 阴螺纹

35 止动螺钉(调整部件)

36 螺纹旋入侧端面(抵接部)

37 阳螺纹

38 粘接剂

42 调整部件

43 圆筒部

44 突出片

48 圆周槽

51 抵接部

θ 手柄的旋转角度。

Claims (7)

1.一种手动用隔膜阀，其特征在于，阀本体具备由装配于主体内部的隔膜组成的阀体和以能够进行升降运动的方式螺纹嵌合于所述主体并使所述阀体与装配于所述主体内部的阀座接触分离的主轴，在所述阀本体的上方，安装有对所述主轴手动地进行旋转操作的手柄，在所述阀本体的上部附近，具备全开位置调整机构，所述全开位置调整机构限制所述手柄的开阀操作侧的全开时的转动，设定所述阀体的全开时的流量的上限。

2.根据权利要求1所述的手动用隔膜阀，其中，所述手柄的底面和所述阀本体的上表面侧以对置状态装配，设置于所述手柄底面或阀本体上表面侧的任一个的销卡合于形成于另一侧的大致圆弧状的槽部，设定所述手柄开闭时的旋转区域的一部分，并且，在所述槽部的开阀操作侧，设置有所述全开位置调整机构，该全开位置调整机构具备调整部件，所述调整部件以能够沿所述销的移动方向进退的状态形成有该销所抵接的抵接部。

3.根据权利要求2所述的手动用隔膜阀，其中，分别是，所述销设置于所述手柄底面，所述槽部设置于所述阀本体的上表面，所述调整部件是具备阳螺纹的止动螺钉，所述阳螺纹以能够进退的方式螺纹接合于阴螺纹，所述阴螺纹设置于从所述槽部与所述阀本体的侧面连通的连通孔，该止动螺钉的螺纹旋入侧端面成为所述抵接部。

4.根据权利要求3所述的手动用隔膜阀，其中，在所述连通孔装配有具备所述阴螺纹的嵌入螺母。

5.根据权利要求3或4所述的手动用隔膜阀，其中，在所述阴螺纹与所述阳螺纹之间涂敷有粘接剂。

6.根据权利要求2所述的手动用隔膜阀，其中，分别是，所述销设置于所述手柄底面，所述槽部设置于所述阀本体的上表面，所述调整部件具备圆筒部和形成于该圆筒部的外周侧的突出片，在比所述槽部更靠内径侧，形成有一部分与该槽部的开阀操作侧连通的圆周槽，所述调整部件的圆筒部以能够以其旋转轴为中心旋转的状态固接于该圆周槽，将所述突出片的向所述销的对置侧作为所述抵接部。

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的手动用隔膜阀，其中，所述手柄的从闭阀状态直至开阀状态的旋转角度是大致90°或大于0°且小于360°的任意角度。

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