KR0153230B1 - 유량제어밸브 - Google Patents

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KR0153230B1 KR1019940021543A KR19940021543A KR0153230B1 KR 0153230 B1 KR0153230 B1 KR 0153230B1 KR 1019940021543 A KR1019940021543 A KR 1019940021543A KR 19940021543 A KR19940021543 A KR 19940021543A KR 0153230 B1 KR0153230 B1 KR 0153230B1
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시게루 이토이
테쭈야 코지마
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키요하라 마사코
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Abstract

본 발명에 의하면 스템을 회전조작하는 핸들을 잠금나사에 의해 보닛측으로 잠그도록 한 유량제어밸브에 있어서, 핸들을 잠구어도 설정유량에 변동을 초래시키지 않도록 하는 동시에, 스템(9)을 회전조작하고 또한 잠금나사(14)에 의해 보닛(3)측으로 잠구어지는 핸들(12)을 구비한 유량제어밸브에 있어서 상기한 핸들(12)을 스템(9)의 상단부에 고정한 핸들본체(12')와 핸들본체 (12')의 하단부에 스템(9)의 축선(Y)과 직교하는 방향으로 이동 가능하게 연결된 보닛(3)의 상단부 외주면을 둘러싸는 통형상의 잠금핸들(12)로 구성하고, 또 상기한 잠금핸들(12)에 잠금나사(14)를 스템(9)의 축선(Y)과 대략 직교하는 방향으로 설치한다.

Description

유량제어밸브
제1도는 본 발명의 실시예에 관계되는 다이어프램형 유량제어밸브의 확대종 단면도.
제2도는 제1도의 II-II선 확대단면도.
제3도는 핸들을 잠근 상태의 주요부 확대종단면도.
제4도는 제3도의 IV-IV선 확대 단면도.
제5도는 종래의 다이어프램형 제어밸브의 종단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 보디 1a : 유체통로
1b : 밸브실 1c : 밸브시이트
3 : 보닛 9 : 스템
12 : 핸들 12' : 핸들본체
12 : 잠금핸들 12a : 가이드 구멍
12b : 설치구멍 13 : 연결기구
14 : 잠금나사 22 : 가이드핀
Y : 스템의 축선
본 발명은, 주로 반도체 제조장치와 원자력발전플랜트 등의 유체관로에 있어서 사용되는 유량제어밸브의 개량에 관한 것이며, 특히 미소유량 조정이 가능한 다이어프램형 유량제어밸브에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조장치 등에 있어서 사용되는 고순도가스용 제어밸브는 소위 파티클프리와 데드스페이스프리라고 하는 특성이 엄격히 요구된다. 따라서, 반도체 제조분야에서는 상기한 파티클프리와 데드스페이스프리의 요구에 구조적으로 대응하기 쉬운 다이어프램형 제어밸브(특히, 다이렉트 터치형 다이어프램 밸브)가 많이 사용되고 있다.
그러나, 다이어프램형 제어밸브는 일반적으로 다이어프램의 작동 스트로크가 극히 작기때문에, 본질적으로 유량 등을 조정하기에 적합하지 않다고 하는 난점이 있다. 특히, 수동조작에 의해 유량의 미세조정을 하는 것은 극히 곤란하다.
따라서, 본건 출원인은 상기한 바와 같은 문제를 해결하기 위하여 수동조작에 의한 정확한 미소유량 조정을 가능하게 한 다이어프램형 제어밸브를 개발하고, 이것을 특개평 5-79570호로서 공개하고 있다.
즉, 상기한 제어밸브는, 제5도에 표시하듯이 유체통로(30a), 밸브실(30b)및 밸브시이트(30c)등을 보유하는 보디(30)와, 밸브시이트(30c)에 접촉 및 이간하는 다이어프램(31)과 하단부가 밸브실(30b)에 삽입되고, 다이어프램(31)의 주변 가장자리부를 누름어댑터(32)를 통하여 기밀상태로 누르는 동시에 상부 내주면에 암나사부(33a)를 형성한 통형상의 보닛(33)과, 보닛(33)을 보디(30)에 고정하는 보닛너트(34)와 보닛(33)의 하단부 내부로 수용되고, 다이어프램 누름부재(35)를 구비한 디스크(36)와, 디스크(36)의 상방에서 보닛(33)내에 회전방지된 상태로 승강이동이 자유롭게 삽입되고, 내주면에 보닛(33)의 암나사부(33a)의 나사피치보다도 작은 나사피치의 암나사부(37a)를 형성한 통형상의 슬라이드스템(37)과, 내측으로 슬라이드스템(37)의 암나사부(37a)에 나사결합하는 제1수나사부(38a)와 외측에서 보닛(33)의 암나사부(33a)에 나사결합하는 제2수나사부(38b)를 각각 동심형상으로 구비하며, 회전하는 것에 의하여 슬라이드스템(37)을 승강이동시키는 회동(回動) 스템(38)과, 회동스템(38)의 상단부에 고정되어서 하단부가 보닛(33)의 상단부 외주면을 둘러싸는 대략 통형상의 핸들(39)과, 핸들(39)에 설치한 핸들잠금나사(40)등으로 구성되어 있다.
또, 제5도에 있어서 도면부호 41은 스프링, 42는 패널고정너트, 43은 회전방지 나사, 44는 인디케이터, 45는 캡너트, 46은 스토퍼이다.
상기한 제5도의 제어밸브에 있어서 핸들(39)의 회전조작에 의해 회동스템(38)을 회전시키면, 회동스템(38)은 그 제2수나사부(38b)가 보닛(33)의 암나사부(33a)에 나사결합되어 있으므로 회전하면서 승강이동한다.
회동스템(38)이 회전하면서 승강이동하면, 슬라이드스템(37)의 암나사부(37a)와 나사결합하는 내측의 제1수나사부(38a)의 회전에 의해 슬라이드스템(37)이 회전방지된 상태로 승강이동한다. 즉, 회동스템(38)이 1회전하면 슬라이드스템(37)은 제2수나사부(38b)의 나사피치와, 제1수나사부(38a)의 나사피치의 차이만큼 승강이동한다.
따라서, 이 제어밸브는 제1수나사부(38a)와, 제2수나사부(38b)의 나사피치 차이를 적당히 설정함으로써, 회동스템(38)의 회전에 대한 슬라이드스템(37)의 승강이동량, 즉 다이어프램(31)의 스트로크를 극히 미세하게 조정할 수가 있다. 그 결과, 수동조작에 의해 고정밀도의 미소유량 조정을 할 수 있다고 하는 등의 우수한 실용적 효과를 나타내는 것이다.
그런데, 상기한 제어밸브의 사용방법에는 2종류가 있다. 하나는 핸들(39)을 상시 개폐조작하여 유체유량을 조정하면서 사용하는 방법이고, 또 다른 방법은 미리 밸브의 열려진 정도를 설정치에 고정시켜 두고, 일정유량의 유체를 흘리는 사용방법이다.
후자의 경우에는 먼저 핸들(39)을 회전조작해서 유량이 설정유량이 되면, 핸들(39)을 핸들잠금나사(40)에 의해 보닛(33)(캡너트(45))측으로 잠궈서 각 스템(37), (38)을 회전 불가능하게 또 승강이동 불가능하게 하여서 유량이 설정유량으로 유지되도록 하고 있다.
그런데, 상기한 제어밸브에 있어서는 핸들잠금나사(40)를 체결하였을 때에 핸들(39)이 핸들(39)내주면과, 보닛(33)(캡너트(45)및 인디케이터(44)측의 간극만큼 핸들(39)의 축선과 직교하는 방향으로 이동한다. 그 결과, 각 스템(37), (38)도 핸들(39)과 동일방향의 힘을 받아 변위하여서 핸들(39)을 잠그기 전과, 잠근 후에 있어서 설정유량이 변동하는 일이 있었다. 특히, 이 제어밸브는 미소유량 조정용이므로 각 스템(37),(38)이 약간 변위한 경우에도 설정유동이 변동하게 되어서 큰 문제점이 된다.
본 발명은 상기한 문제점을 해소하기 위하여 창작된 것으로서 그 목적은, 소망하는 밸브의 열려진 정도를 유지하기 위하여 핸들을 잠구어도 잠그기 전과, 잠근후의 설정유량에 변동을 초래하지 않는 유량제어밸브를 제공하는 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 유량제어밸브는, 유체통로, 밸브실 및 밸브시이트를 보유하는 보디에, 보닛을 통하여 스템을 회전 및 승강이동이 자유롭게 지지하고, 이 스템의 상단부에, 이것을 회전조작하는 동시에 보닛의 사방부 외주면을 둘러싸는 핸들을 고정하고, 그 핸들에 보닛측으로 접촉할 수 있는 잠금나사를 설치하며, 이 잠금나사를 보닛측으로 체결함으로써 핸들을 보닛측으로 잠그도록 하는 유량제어밸브에 있어서, 상기한 핸들을 스템의 상단부에 고정한 핸들본체와, 핸들본체의 하단부에 스템의 축선과 직교하는 방향으로 이동 가능하게 연결된 보닛의 상단부 외주면을 둘러싸는 통형상의 잠금핸들로 구성하고, 또 상기한 잠금핸들에 잠금나사를 스템의 축선과 거의 직교하는 방향으로 설치한 것이다.
잠금핸들에 설치한 잠금나사를 체결하면, 잠금핸들만이 잠금핸들의 내주면과 보닛측의 간극만큼 스템의 축선과 직교하는 방향으로 이동하여서, 잠금핸들의 내주면이 보닛측으로 눌러진다. 그 결과 핸들이 잠긴 상태로 되어서 스템도 회전불가능하고, 또 승강이동 불가능하게 된다.
이 유량제어밸브는 핸들이 잠긴 때에는 잠금핸들만이 스템의 축선과 직교하는 방향으로 이동하기 때문에 스템에 고정된 핸들본체는 잠금핸들의 이동방향으로 힘을 받는 일은 없으며, 따라서 스템도 같은 방향으로의 힘을 받는 일은 없다. 그결과, 핸들의 잠김에 의한 스템의 변위를 방지할 수가 있으므로 핸들의 잠그기 전과 잠근 후에 있어서 설정유량이 변동하지 않는다.
아래에 본 발명의 실시예를 도면에 의거하여 상세하게 설명한다.
제1도는 본 발명의 실시예에 관한 다이어프램형 유량제어밸브의 종단면도로서, 이 제어밸브는 수동조작에 의해 고정밀도의 미소유량 제어를 할 수 있는 동시에 다이어프램(2)을 직접 밸브시이트(1c)에 접촉 및 이간시켜서 유체통로(1a)를 개폐하도록 한 것이다.
제1도에 있어서 도면부호 1은 보디, 2는 다이어프램, 3은 보닛, 4는 보닛너트, 5는 누름어댑터, 6은 디스크, 7은 스프링, 8은 다이어프램 누름부재, 9는 슬라이드스템(10)과 회동스템(11)으로 구성되는 스템, 12는 핸들, 13은 연결기구, 14는 잠금나사, 15는 스토퍼이다.
상기한 보디(1)는 스테인레스강 등의 금속재료에 의해 단면형상이 대략 십자형으로 형성되어 있고, 내부에는 유체통로(1a)가 형성되어 있다. 또, 보디(1)의 상부에는 유체통로(1a)에 연통하는 상방이 개방된 오목형상의 밸브실(1b)이 형성되어 있고, 이 밸브실(1b)의 저면에는 밸브시이트(1c)가 보디(1)와 일체적으로 형성되어 있다.
상기한 다이어프램(2)은, 스테인레스강, 스프링강, 형상기억합금 등의 금속제막판에 의해 중앙부를 상방으로 팽창되도록 한 접시형상으로 형성되어 있고, 그외주가장자리부가 밸브실(1b)저면의 외주 가장자리부에 얹혀져 있는 동시에 중앙부가 상하로 이동하여 밸브시이트(1c)에 접촉 및 이간하도록 되어 있다. 또, 다이어프램(2)은, 보디(1)에 나사식 붙이기한 보닛너트(4)를 조여 넣음으로써 밸브실(1b)에 삽입한 고리형상의 누름어댑터(5)와 보닛(3)의 하단부에 의해 밸브실(1b)의 저면측으로 눌러져서 기밀상태로 유지고정되어 있다.
상기한 보닛(3)은 통형상으로 형성되어 있고, 보디(1)내로 삽입되는 하부의 내경은 지름이 크게 형성되어 디스크(6)의 수용부(3a)로 되어 있다. 또, 보닛(3)의 중앙부의 내경은 약간 지름이 작게 형성되어서 후술하는 슬라이드스템(10)의 가이드부(3b)로 되어 있다. 또, 보닛(3)의 상부의 내경은 약간 지름이 크게 형성되며, 그 내주면에는 후술하는 회동스템(11)이 나사결합하는 암나사부(3c)가 형성되어 있다. 본 실시예에서는 암나사부(3c)의 나사피치는 0.55mm로 설정되어 있다.
이 보닛(3)은, 그 하단부가 보디(1)의 밸브실(1b)내에 삽입되고, 보닛너트(4)를 조여 넣음으로써 보디(1)측으로 누름고정되어 있다.
또, 보닛(3)의 상부 외주면에는 통형상의 인디케이터(16)가 끼워맞춤되며, 보닛(3)의 상단부에 나사식 붙이기한 캡너트(17)에 의해 이탈방지되어 있다.
상기한 디스크(6)는, 보닛(3)의 수용부(3a)에 승강이동이 자유롭게 삽입되어 있고 하단면에는 다이어프램(2)의 중앙부상면에 상시 접촉하는 합성수지제의 다이어프램 누름부재(8)가 끼워져 있다. 또, 디스크(6)는 이것과 누름어댑터(5)의 사이에 장착한 스프링(7)에 의해 상방으로 힘을 더하게 된다.
상기한 스템(9)은, 보닛(3)내에 승강이동이 자유롭게 삽입되고 디스크(6)및 다이어프램 누름부재(8)를 하방으로 눌러서 다이어프램(2)의 중앙부를 밸브시이트(1c)에 접촉시키는 것으로서, 슬라이드스템(10)과 회동스템(11)으로 구성되어 있다.
즉, 슬라이드스템(10)은 중공(中空)형상을 하고 있고 보닛(3)내로 회전방지된 상태로 승강이동이 자유롭게 삽입되어 있으며, 그 하단면이 디스크(6)에 접촉되어 있다. 본 실시예에서 슬라이드스템(10)은, 그 외주면에 형성된 세로방향의 가이드홈(10b)내에 보닛(3)에 나사식 붙이기한 회전방지나사(18)의 선단부를 걸어맞춤으로써, 보닛(3)에 대하여 회전방지된 상태로 승강이동하게 된다. 또, 슬라이드스템(10)의 내주면에는 보닛(3)의 암나사부(3c)의 나사피치보다도 작은 나사피치의 암나사부(10a)가 형성되어 있다. 본 실시예에서는 암나사부(10a)의 나사피치는 0.5mm로 설정되어 있다.
또, 회동스템(11)은 내측의 축형상의 제1부재(11')와 외측의 통형상의 제2부재(11)를 일체적으로 연결고정한 것으로서, 슬라이드스템(10)의 상방에 이것과 동축심형상으로 배설되어서, 상부가 보닛(3)으로부터 상방으로 돌출하도록 보닛(3)에 승강이동이 자유롭게 부착되어 있다.
구체적으로, 제1부재(11')는 중간부에 테이퍼부(11b)를 보유하는 축형상을 하고, 하부 외주면에 슬라이드스템(10)의 암나사부(10a)에 나사결합하는 제1수나사부(11a)가 형성되어 있고, 그 상부가 보닛(3)으로부터 돌출하도록 슬라이드스템(10)내에나사식으로 끼워져 있다. 본 실시예에서는 제1수나사부(11a)의 나사피치는 0.5mm로 설정되어 있다.
또, 제2부재(11)는 통형상을 하고 있으며 하부 외주면에 보닛(3)의 암나사부(3c)에 나사결합하는 제2수나사부(11c) 가 형성되어 있고, 그 상부가 보닛(3)으로 부터 돌출하도록 보닛(3)내에 나사식으로 끼워져 있다. 본 실시예에서는 제2수나사부(11c)의 나사피치는 0.55mm로 설정되어 있다.
이 제1부재(11')와 제2부재(11)는 제1부재(11')의 상부를 제2부재(11)에 끼우고 통하여 제2부재(11)의 상방으로 돌출하도록 하고, 그 부분을 고정용 너트(19)에 의해 조여 넣음으로써 일체적으로 연결고정되어 있다. 이때, 양 부재(11')(11)는 테이퍼부(11b)에 의해 중심내기가 실시되어서 제1수나사부(11a) 와 제2수나사부(11c)는 동심형상이 된다.
또, 보닛(3)의 암나사부(3c), 슬라이드스템(10)의 암나사부(10a), 제1부재(11')의 제1수나사부(11a)및 제2부재(11)의 제2수나사부(11c)의 나사방향은, 회동스템(11)을 회전하여 하강시켰을 때에 슬라이드스템(10)도 하강하도록 설정되어 있다.
상기한 핸들(12)은, 회동스템(11)의 제2부재(11)의 상부에 핸들고정용나사(20)에 의해 고정되고, 상단이 폐색된 대략 통형상의 핸들본체(12')와 핸들본체(12')의 하단부에 O링(21)을 통하여 유동가능하게 끼워진 상태로 끼워맞춤되며, 스템(9)의 축선(Y)과 직교하는 방향으로 이동가능하고, 또한 보닛(3)의 상부 외주면(인디케이터(16)및 캡너트(17)의 외주면)을 둘러싸는 통형상의 잠금핸들(12)로 구성되어 있으며, 잠금핸들(12)이 인디케이터(16)의 외주면을 따라서 회전 및 승강이동함으로써, 제어밸브의 열려진 정도와 유량조정 정도를 직독(直讀)할 수 있도록 되어 있다.
상기한 연결기구(13)는 핸들본체(12')와 잠금핸들(12)의 끼워맞춤부분에 설치되어 있고, 핸들본체(12')와 잠금핸들(12)을 연결하고, 또 잠금핸들(12)을스템(9)의 축선(Y)과 직교하는 방향으로만 이동할 수 있도록 하는 것이다.
구체적으로, 연결기구(13)는 제2도와 제3도에 표시하듯이 핸들본체(12')의 하단부에 대향하는 상태이고, 또한 핸들(12)의 축선과 직교하는 방향으로 각각 뚫어 설치된 한쌍의 가이드구멍(12a)과 잠금핸들(12)의 상단부에 뚫어 설치되어, 가이드구멍(12a)과 대향하는 한쌍의 설치구멍(12b)과, 일단부가 설치구멍(12b)에 끼워지고, 타단부가 가이드구멍(12a)에 간극을 두고 끼워진 한쌍의 가이드핀(22)으로 구성되어 있다. 따라서, 잠금핸들(12)은 2개의 가이드핀(22)에 의해 잠금핸들(12)의 내주면과 인디케이터(16)및 캡너트(17)의 외주면의 간근만큼 가이드핀(22)의 축선방향(화살표 A-A방향)으로 이동 가능하게 되고, 또 회전방향은 구속되게 된다.
상기한 잠금나사(14)는 잠금핸들(12)에 나사식 붙이기 되어 있고, 잠금핸들912)을 보닛(3)(캡너트(17))측으로 잠글 수 있는 것이다.
본 실시예에서, 잠금나사(14)는 스템(9)의축선(Y)과 직교하고 또한 2개의 가이드핀(22)의 축선과 평행하게 되도록 잠금핸들(12)에 나사식 붙이기 되어 있으며, 그 선단부가 캡너트(17)의 외주면에 접촉 가능하게 되어 있다.
상기한 스토퍼(15)는 고리형상을 하고 있고, 회동스템(11)의 제2부재(11)의 상부 외주면에 끼워맞춤되어서, 고정용나사(23)에 의해 제2부재(11)에 고정되어 있으며, 제어밸브의 완전폐구시(다이어프램(2)의 중앙부가 밸브시이트(1c)에 접촉했을 때)에 캡너트(17)의 상면에 접촉하여 스템(9)의 하강을 규제하는 것이다.
또, 스토퍼(15)의 고정위치는 회동스템(11), 슬라이드스템(10)및 디스크(6)가 하강하여 디아어프램(2)을 밸브시이트(1c)에 접촉시켰을 때에 스토퍼(15)와 캡너트(17)가 접촉하도록 설정되어 있다.
다음에 상기한 유량제어밸브의 작동에 대하여 설명한다.
핸들(12)을 정역회전시키면, 이것에 따라 회동스템(11)도 정역회전하며,보닛(3)에 나사결합하는 회동스템(11)의 제2부재(11)에 의해 회동스템(11)이 회전하면서 승강이동한다.
회동스템(11)이 회전하면서 승강이동하면, 회동스템(11)의 제1부재(11)에 나사결합하는 슬라이드스템(10)이 회전방지나사(18)및 가이드홈(10b)에 의해 회전방지된 상태로 승강이동한다. 이 때 , 슬라이드스템(10)은 핸들(12)의 1회전에 의한 제2수나사부(11c)의 나사피치와, 제1수나사부(11a)의 나사피치와의 차이만큼 승강이동하게 된다. 본 실시예에서는 슬라이드스템(10)은 핸들(12)이 1회전할 때마다 0.05mm승강이동한다.
슬라이드스템(10)이 하강하면, 디스크(6)및 다이어프램 누름부재(8)를 통하여 다이어프램(2)의 중앙부가 하방으로 눌려 내려가, 밸브시이트(1c)에 접촉하고 또, 슬라이드스템(10)이 상승하면 디스크(6)가 스프링(7)의 반력에 의해 상승하는 동시에 다이어프램(2)이 그 탄성력과 유체압에 의해 본래의 형상으로 복원하여 밸브시이트(1c)로부터 이간한다. 그 결과 다이어프램(2)에 의해 유체통로(1a)의 유효유통면적이 조정되고, 유체의 유량제어가 실시된다.
또, 밸브의 열려진 정도와 유량 등은 인디케이터(16)상의 잠금핸들(12)의 하단위치로부터 직독(直讀)할 수 있다.
이 제어밸브는, 제1수나사부(11a)와 제2수나사부(11c)부의 나사피치 차이에 의해 슬라이드스템(10)을 승강이동시키고 있으므로, 회동스템(11)의 회전에 대한 슬라이드스템(10)의 승강이동량, 즉 다이어프램(2)의 스트로크를 극히 미세하게 조정할 수 있어서 수동조작으로도 고정밀도의 미소유량 조정이 가능하다.
또, 제어밸브의 폐밸브시에는 제2부재(11)에 설치한 스트퍼(15)가 캡너트(17)의 상면에 접촉하여 회동스템(11)의 하강을 규제하기 때문에 핸들(12)을 과하게 조이지 않으므로 과하게 조이는 것에 의한 다이어프램(2)의 손상이나 파손을 방지할 수가 있다.
또, 상기한 제어밸브는 핸들(12)을 회전조작하여 유량이 설정치가 되면, 핸들(12)을 잠금나사(14)에 의해 보닛(3)(캡너트(17))측으로 잠구어서 회동스템(11)을 회전 불가능하게 하고, 또한 승강이동 불가능하게 함으로써 유량을 설정유량으로 고정할 수가 있다.
즉, 잠금핸들(12)에 나사식 붙이기한 잠금나사(14)를 체결하면 제3도와 제4도에 표시하듯이 가이드핀(22)의 일단부를 핸들본체(12')에 간극을 두고 끼우고 있으므로, 잠금핸들(12)만이 잠금핸들(12)의 내주면과 인디케이터(16)및 캡너트(17)의 외주면과의 간극만큼 가이드핀(22)의 축선방향으로 이동하여서 잠금핸들(12)의 내주면이 인디케이터(16)및 캡너트(17)의 외주면으로 눌러진다. 그 결과, 핸들(12)이 잠긴 상태가 되어서 회동스템(11)도 회전 불가능하고 또한 승강이동 불가능하게 된다.
또, 잠금핸들(12)이 스템(9)의 축선(Y)과 직교하는 방향으로 이동하여도, 핸들본체(12')는 잠금핸들(12)의 이동방향으로 힘을 받지 않으며, 따라서 스템(9)도 같은 방향으로의 힘을 받는 일이 없다. 그 결과, 핸들(12)의 잠김에 의해 스템(9)이 변위하는 일이 없기 때문에 핸들(12)의 잠그기 전과 잠근 후에 있어서 설정유량이 변동하지 않는다.
상기한 실시예에 있어서는 다이어프램(2)을 직접 밸브시이트(1c)에 접촉 및 이간시키는 구성으로 하고 있지만, 다이어프램(2)의 하방에 디스크(6)를 배설해서 이것을 밸브시이트(1c)에 접촉및 이간시키도록 해도 된다.
상기한 실시예에 있어서는 제1부재(11')와 제2부재(11)를 별개체로 하고, 양자를 고정용너트(19)로 연결고정하도록 하고 있는데, 양자를 일체적으로 형성하도록 해도 된다.
상기한 실시예에 있어서는 회동스템(11)을 수동으로 회전시키도록 했지만 회동스템(11)을 모터 등으로 회전구동하도록 해도 된다.
상기한 실시예에 있어서는 스토퍼(15)를 캡너트(17)의 상면에 접촉시켜서 회동스템(11)의 하강량을 규제하도록 했는데 캡너트(17)가 없을 경우에는 스토퍼(15)를 보닛(3)의 상면에 접촉시켜서 회동스템(11)의 하강량을 규제하도록 해도 된다.
상기한 실시예에 있어서는 가이드핀(22)의 일단부를 설치구멍(12b)에 끼우고, 타단부를 가이드구멍(12a)에 간극을 두고 끼우지만 가이드핀(22)의 일단부를 가이드구멍(12a)에 끼우고, 타단부를 설치구멍(12b)에 간극을 두고 끼워도 해도 된다.
상기한 실시예에 있어서는 연결기구(13)를 설치구멍(12b)과 가이드구멍(12a)과 가이드핀(22)으로 구성했지만, 연결기구(13)의 구성은 상기한 실시예의 것에 한정되는 것은 아니고, 핸들본체(12')와 잠금핸들(12)을 연결할 수 있고, 또 잠금핸들(12)만을 스템(9)의 축선(Y)과 직교하는 방향으로만 이동할 수 있다면 그 구성은 임의이다. 예를 들면, 핸들본체(12')의 하단면에 핸들(12)의 축선(Y)과 직교하는 방향으로 홈(또는 걸림돌기)을 형성하고, 그 홈(또는 걸림돌기)에 걸어맞추는 걸림돌기체(또는 홈)를 잠금핸들(12)의 상단면에 형성하여 핸들본체(12')와 잠금핸들(12)을 축선(Y)과 직교하는 방향으로 이동이 자유롭게 연결하도록 해도 된다.
상기한 실시예에 있어서는 잠금나사(14)의 선단부를 캡너트(17)에 접촉시키도록 했지만, 캡너트(17)가 없을 경우에는 잠금나사(14)의 선단부를 보닛(3)의 외주면과 인디케이터(16)의 외주면에 접촉시켜서 잠금핸들(12)을 잠그도록 해도 된다.
상기한 바와 같이 본 발명은, 스템을 회전조작하는 핸들을 스템의 상단부에 고정한 핸들본체와, 핸들본체의 하단부에 유동 가능한 상태로 끼워맞춤되고, 스템으 축선과 직교하는 방향으로 이동가능하게 연결된 보닛의 상단부 외주면을 둘러싸는 통형상의 잠금핸들로 구성하고, 또 상기한 잠금핸들에 잠금나사를 스템의 축선과 직교하는 방향으로 설치하도록 하고 있으므로 핸들을 잠금나사에 의해 잠구어도 잠금핸들만이 스템의 축선과 직교하는 방향으로 이동하며, 핸들본체는 잠금핸들의 이동방향으로 힘을 받는 일은 없고, 따라서 스템도 같은 방향으로의 힘을 받는 일이 없다. 그 결과 핸들의 잠김에 의해 스템이 변위하는 일이 없으므로, 핸들의 잠그기 전과 잠근 후에 있어서 설정유량이 변동하지 않는다.

Claims (6)

  1. 유체통로(1a), 밸브실(1b)및 밸브시이트(1c)를 보유하는 보디(1)에 보닛(3)을 통하여 스템(9)을 회전시키고, 또 승강이동이 자유롭게 지지하며 이 스템(9)의 상단부에 이것을 회전조작하는 동시에 보닛(3)의 상방부 외주면을 둘러싸는 핸들(12)을 고정하고, 그 핸들(12)에 보닛(3)측으로 접촉 가능한 잠금나사(14)를 설치하며, 이 잠금나사(14)를 보닛(3)측으로 체결하는 것에 의하여 핸들(12)을 보닛(3)측으로 잠그도록 한 유량제어밸브에 있어서, 상기한 핸들(12)을 스템(9)의 상단부에 고정한 핸들본체(12')와 핸들본체(12')의 하단부에 스템(9)의 축선(Y)과 직교하는 방향으로 이동가능하게 연결한 보닛(3)의 상단부 외주면을 둘러싸는 통형상의 잠금핸들(12)로 구성하고, 또 상기한 잠금핸들(12)에 잠금나사(14)를 스템(9)의 축선(Y)과 거의 직교하는 방향으로 설치한 것을 특징으로 하는 유량제어밸브.
  2. 제1항에 있어서, 핸들(12)을 형성하는 핸들본체(12')와 그 하방부에 배설한 잠금핸들(12)과의 연결을 핸들본체(12')의 하단부에 대향상태로, 또한 핸들(12)의 축선과 직교하는 방향으로 뚫어 설치된 한쌍의 가이드구멍(12a)과 잠금핸들(12')의 상단부에 뚫어 설치되어서 가이드구멍(12a)과 대향하는 한쌍의 설치구멍(12b)과, 일단부가 설치구멍(12b)에 끼워지고, 타단부가 가이드구멍(12a)에 간극을 두고 끼워진 한쌍의 가이드핀(22)으로 구성되는 연결기구(13)에 의해 실시되도록 한 것을 특징으로 하는 유량제어밸브.
  3. 제2항에 있어서, 상기한 가이드핀(22)에 있어서, 일단부가 설치구멍(12b)에 간극을 두고 끼워지고, 타단부가 가이드 구멍(12a)에 끼워진 것을 특징으로 하는 유량제어밸브.
  4. 제1항에 있어서, 핸들본체(12')와 잠금핸들(12)의 연결을, 핸들본체(12')의 하단면에 핸들(12)의 축선(Y)과 직교하는 방향으로 형성한 홈 또는 걸림돌기체와 잠금핸들(12)의 상단면에 축선(Y)과 직교하는 방향으로 형성한 상기한 홈 또는 걸림돌기체와 걸어맞추는 걸림돌기체 또는 홈으로 구성되는 연결기구에 의해 실시하도록 한것을 특징으로 하는 유량제어밸브.
  5. 제1항 내지 제4항중 어느 한 항에 있어서, 상기한 유량제어밸브가 스템(9)의 승강이동에 의해 다이어프램(2)을 직접적으로 밸브시이트(1c)에 접촉 및 이간시키도록 다이어프램형인 것을 특징으로 하는 유량제어밸브.
  6. 제1항 내지 제4항중 어느 한 항에 있어서, 상기한 스템(9)이 핸들(12)의 1회전에 2개의 나사피치 차이의 거리만큼 승강이동하는 것을 특징으로 하는 유량제어밸브.
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