DE19810657A1 - Rücksaugventil - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Rücksaugventil, daß das Auftreten von Flüssigkeitstropfen eines Fluids an einer Zufuhröffnung verhindern kann, indem eine festgelegte Menge des durch einen Fluiddurchgang fließenden Fluids auf der Basis einer Verschiebung eines Diaphragmas angesaugt wird.

Bisher sind beispielsweise Halbleiterwaferherstellungsprozesse bekannt, bei denen Rücksaugventile eingesetzt werden. In dem Rücksaugventil gibt es, wenn die Zufuhr einer Beschichtungs­ flüssigkeit zu dem Haltleiterwafer gestoppt wird, eine Funktion zur Verhinderung des sog. Flüssigkeitstropfens, bei dem sehr kleine Mengen an Beschichtungsflüssigkeit aus einer Zufuhröffnung auf den Halbleiterwafer tropfen.

Ein Rücksaugventil gemäß einer derartigen herkömmlichen Technik ist in Fig. 6 dargestellt und beispielsweise in der japanischen Gebrauchsmusterveröffentlichung Nr. 8-10399 beschrieben.

Ein solches Rücksaugventil I umfaßt einen Hauptventilkörper 5 mit einem Fluiddurchgang 4, welcher eine Fluideinlaßöffnung 2 und eine Fluidauslaßöffnung 3 verbindet, sowie eine Kappe 6, die mit einem oberen Abschnitt des Hauptventilkörpers 5 verbunden ist. Ein Diaphragma 7 bestehend aus einem dickwandi­ gen Abschnitt und einem dünnwandigen Abschnitt ist in der Mitte des Fluiddurchgangs 4 angeordnet. Eine nicht dar­ gestellte Druckfluidzufuhrquelle ist mit der Kappe 6 verbun­ den, wobei die Kappe 6 außerdem eine Druckfluidzufuhröffnung 8 für die Zufuhr von unter Druck stehender Luft zur Betätigung eines Diaphragmas unter einer Schaltwirkung eines Richtungs­ kontrollventiles (nicht dargestellt) aufweist.

Ein Kolben 9 ist mit dem Diaphragma 7 verbunden, wobei eine V-Dichtung 10 an dem Kolben 9 angebracht ist und entlang einer inneren Wandfläche des Hauptventilkörpers 5 gleitet und eine Dichtfunktion erfüllt. Außerdem ist eine den Kolben 9 normalerweise nach oben drückende Feder 11 in dem Hauptventil­ körper 5 angeordnet.

Eine Einstellschraube 12 ist auf der Kappe 6 angeordnet, die gegen den Kolben 9 anliegt und durch Vergrößern und Verringern der eingeschraubten Schraubenlänge einen Verschiebeweg des Kolbens 9 einstellt, wodurch die Menge der durch die Membran 7 angesaugten Beschichtungsflüssigkeit eingestellt wird.

Eine Beschichtungsflüssigkeitszufuhrquelle 13, die Beschich­ tungsflüssigkeit aufnimmt, ist mit der Fluideinlaßöffnung 2 über ein Rohr 14 verbunden. Außerdem ist zwischen der Beschichtungsflüssigkeitszufuhrquelle 13 und dem Fluideinlaß­ anschluß 2 ein ON/OFF-Ventil 15 angeschlossen, das als separater Körper getrennt von dem Rücksaugventil 1 aufgebaut ist. Das ON/OFF-Ventil übernimmt die Funktion des Umschaltens zwischen einem Zufuhrzustand und einem Zufuhrunterbrechungs­ zustand der Beschichtungsflüssigkeit zu dem Rücksaugventil 1 auf der Basis von Betriebs- bzw. Nichtbetriebswirkungen des ON/OFF-Ventils 15.

Die Funktion des Rücksaugventiles 1 wird nun grob beschrieben. In einem Normalzustand, in dem das Fluid von der Fluideinlaß­ öffnung 2 zu den Fluidauslaßöffnungen geführt wird, werden der Kolben 9 und das Diaphragma 7 entsprechend der Wirkung des von der Druckfluidzufuhröffnung 8 zugeführten unter Druck stehenden Fluid gemeinsam nach unten verschoben. Das Diaphrag­ ma 7, das mit dem Kolben 9 gekoppelt ist, steht in den Fluiddurchgang 4 vor, wie es in Fig. 5 durch die gestrichelten Linien angedeutet ist.

Wenn der Durchfluß des Fluids durch den Fluiddurchgang 4 gestoppt wird, werden der Kolben 9 und das Diaphragma 7 unter der Wirkung einer von der Feder 11 ausgeübten elastischen Kraft gemeinsam angehoben, wenn die Zufuhr des unter Druck stehenden Fluids von der Druckfluidzufuhröffnung 8 gestoppt wird. Eine festgelegte Menge an Fluid verbleibt in dem Fluiddurchgang 4 und wird unter der Wirkung eines von dem Diaphragma 7 erzeugten Unterdruckes angesaugt. Dadurch wird das Tropfen von Flüssigkeit, das anderenfalls an einem nicht dargestellten Fluidzufuhranschluß bewirkt würde, verhindert.

Hierbei entspricht die Rücksaugmenge an Beschichtungsflüssig­ keit der Verschiebung des Kolbens 9, wobei ein Verschiebeweg des Kolbens 9 mittels des Schraubelements 12 eingestellt wird.

Bei der Verwendung des Rücksaugventils 1 gemäß dem Stand der Technik wird, um die Durchflußmenge der unter Druck stehenden Luft, die dem Druckfluidzufuhranschluß 8 zugeführt wird, mit hoher Präzision einzustellen, eine Fluiddrucksteuerein­ richtung 17 über ein Rohr 16 oder dergleichen mit dem Druckfluidzufuhranschluß 8 verbunden. Die Fluiddrucksteuerein­ richtung 17 besteht aus einem separaten Körper getrennt von dem Rücksaugventil 1 und weist eine darin angeordnete bimorphe Zelle (Zweielementkristall) mit einem piezoelektrischen Element auf, die ein elektrisches Signal in Luftdruck umsetzt.

Da bei dem Rücksaugventil 1 gemäß dem Stand der Technik das Einstellen der Menge an rückgesaugter Beschichtungsflüssigkeit durch manuelles Erhöhen bzw. Verringern der eingeschraubten Schraubenlänge des Schraubelements 12 eingestellt wird, besteht der Nachteil, daß eine präzise Kontrolle der rück­ zusaugenden Beschichtungsflüssigkeitsmenge nicht erreicht werden kann. In diesem Fall ist es notwendig, die Ein­ schraublänge des voreingestellten Schraubelements 12 ent­ sprechend der Menge an zugeführter Beschichtungsflüssigkeit jedes Mal zu rejustieren, was einen zusätzlichen Aufwand bedeutet.

Da bei dem Rücksaugventil gemäß dem Stand der Technik außerdem die Schwierigkeit besteht, den Verschiebungsweg relativ zu einer durch die Hysteresewirkung der in der Fluiddrucksteuer­ einrichtung angeordneten bimorphen Zelle mit dem piezoelek­ trischen Element erzeugten Spannung zu reproduzieren, wird es schwierig, die Durchflußrate der unter Druck stehenden Luft, die dem Druckfluidzufuhranschluß 8 zugeführt wird, präzise zu steuern. Dies führt zu dem weiteren Nachteil, daß die Verschiebungsgeschwindigkeit des Kolbens beim Ansaugen der Beschichtungsflüssigkeit nicht präzise gesteuert werden kann.

Bei der Verwendung des Rücksaugventiles 1 gemäß dem Stand der Technik treten außerdem Komplikationen auf, da es notwendig ist, Rohrverbindungen zwischen dem Rücksaugventil 1 und der Fluiddrucksteuereinrichtung 17 sowie zwischen dem Rück­ saugventil 1 und dem ON/OFF-Ventil 15 herzustellen. Da die Fluiddrucksteuereinrichtung 17 und das ON/OFF-Ventil 15 jeweils außerhalb des Rücksaugventiles 1 angebracht sind, muß ein bestimmter Raum für diese Elemente vorgesehen sein, so daß der Installationsraumbedarf insgesamt vergrößert wird.

Auch der Durchflußdurchgangswiderstand vergrößert sich als Folge der Rohrleitungen, die zwischen der Fluiddrucksteuerein­ richtung 17 und dem Rücksaugventil 1 angeschlossen sind, so daß die Reaktionsgeschwindigkeit und Präzision des Diaphragmas verschlechtert wird.

Schließlich muß eine nicht dargestellte Antriebsvorrichtung zum Schalten zwischen den On- und Off-Zuständen des ON/OFF-Ventils 15 separat vorgesehen sein, wodurch zusätzlich zu der erhöhten Komplexität einer weiteren Rohrverbindung für das ON/OFF-Ventil 15 und die Antriebsvorrichtung auch erhöhte Kosten der Gesamtvorrichtung entstehen.

Es ist daher eine wesentliche Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine hochgenaue Steuerung eines Steuerdruckes zu ermöglichen, der zur Verschiebung eines flexiblen Materials (Diaphragma) verwendet wird, das gegenüber eines Fluiddurch­ gangs installiert ist. Außerdem soll ein Rücksaugventil geschaffen werden, das mit hoher Präzision die Durchflußmenge des durch das flexible Material angesaugten Fluids steuern kann.

Rohrverbindungen an dem Rücksaugventil sollen möglichst vermieden werden, um den Installationsraum der Gesamtvor­ richtung zu verringern.

Schließlich soll gemäß der vorliegenden Erfindung ein Rücksaugventil geschaffen werden, bei dem die Reaktions­ geschwindigkeit und Genauigkeit des obengenannten flexiblen Materials (Diaphragma) verbessert werden.

Diese Aufgaben werden durch die Erfindung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.

Vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich aus den Unter­ ansprüchen.

Weitere Ziele, Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels und der Zeichnung. Dabei bilden alle beschriebenen und/oder bildlich dargestellten Merkmale für sich oder in beliebiger Kombination den Gegenstand der Erfindung, unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Ansprüchen oder deren Rückbeziehung.

Es zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht des Rücksaugventils gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung,

Fig. 2 einen Schnitt entlang der Linie II-II in Fig. 1,

Fig. 3 ein Blockdiagramm des in Fig. 1 gezeigten Rück­ saugventils,

Fig. 4A und 4B Schnitte durch eine Durchflußmengensteuervor­ richtung, die einen Teil des Rücksaugventiles gemäß Fig. 1 bildet,

Fig. 5 eine Ansicht, die die Funktion des in Fig. 1 gezeigten Rücksaugventils verdeutlicht, und

Fig. 6 einen Schnitt durch ein Rücksaugventil gemäß dem Stand der Technik.

In Fig. 1 bezeichnet das Bezugszeichen 20 das Rücksaugventil gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Das Rücksaugventil 20 weist ein Fitting (Anschlußstück) 24 auf, mit dem an einer festgelegten Trennung ein Paar entfernbarer Rohre 22a, 22b verbunden sind, ein Stellglied 30 mit einem Rücksaugmechanismus 28 (vgl. Fig. 2) und einem ON/OFF-Ventil 26, das auf dem Fitting angeordnet ist, sowie eine Steuerung 28 zur Steuerung des Schaltens von unter Druck stehendem Fluid, das dem ON/OFF-Ventil 26 bzw. dem Rücksaug­ mechanismus 28 zugeführt wird, zusammen mit der Steuerung eines Druckes (Steuerdruck) eines unter Druck stehenden Fluids, das dem Rücksaugmechanismus 28 zugeführt wird. Das Fitting 24, das Stellglied 30 und die Steuerung 32 sind, wie in Fig. 1 dargestellt, als Einheit zusammengesetzt.

Wie in Fig. 2 dargestellt, ist ein erster Anschluß 34 an einem Ende und ein zweiter Anschluß 36 an einem anderen Ende des Fittings 24 ausgebildet. Zusätzlich weist das Fitting 24 einen Kopplungskörper 40 auf, in dem ein Fluiddurchgang 38 an­ geordnet ist, der eine Verbindung zwischen dem ersten Anschluß 34 und dem zweiten Anschluß 36 herstellt. Ein inneres Element 42 ist mit den ersten und zweiten Anschlüssen 34, 36 gekoppelt und in Öffnungen der Rohre 22a, 22b eingesetzt. Das Fitting 24 weist außerdem Verriegelungsmuttern 44 zur Aufrechterhaltung einer fluiddichten Abdichtung an den Anschlußteilen der Rohre 22a, 22b auf, indem die Verriege­ lungsmuttern in Schraubengewinde, die in Enden des Kopplungs­ körpers 40 ausgebildet sind, eingeschraubt werden.

Das ON/OFF-Ventil 26 ist an einem oberen Teil des Fittings 24 in der Nähe des ersten Anschlusses 34 angeordnet. Das ON/OFF-Ventil 26 umfaßt einen ersten Ventilkörper 46, der einstückig mit dem Kopplungskörper 40 verbunden ist, einen in Richtung der Pfeile X₁ und X₂ entlang einer Zylinderkammer 48, die in dem Inneren des ersten Ventilkörpers 46 ausgebildet ist, verschiebbaren Kolben 50 und ein Abdeckelement 52, das hermetisch abgedichtet in die Zylinderkammer 48 eingesetzt ist. Das Abdeckelement 52 erstreckt sich auch über den Rücksaugmechanismus 28.

Zwischen dem Kolben 50 und dem Abdeckelement 52 ist ein Federelement 54 angebracht, wobei der Kolben 50 aufgrund der elastischen Kraft des Federelements 54 normalerweise nach unten vorgespannt ist (d. h. in Richtung des Pfeiles X₂).

An einem unteren Ende des Kolbens 50 ist eine erste Diaphrag­ makammer 58 ausgebildet, in der ein erstes Diaphragma (Membran) 56 abgedichtet eingesetzt ist. Das erste Diaphragma 56 ist mit einem unteren Ende des Kolbens 50 verbunden und so angeordnet, daß es gemeinsam mit dem Kolben 50 verschoben wird. In diesem Fall wird durch ein Abheben des ersten Diaphragmas 56 von dem Sitz 59, der in dem Kopplungskörper 40 ausgebildet ist, bzw. durch Aufsetzen des ersten Diaphragmas 56 auf den Sitz 59 eine Funktion des Öffnens und Schließens des Fluiddurchgangs 38 durchgeführt. Dementsprechend kann das Schalten zwischen einem Zustand der Zufuhr und einem Zustand des Stoppens der Zufuhr des Fluids (zum Beispiel einer Beschichtungsflüssigkeit), das durch den Fluiddurchgang 38 fließt, auf der Basis einer Öffnungs-/Schließwirkung des ON/OFF-Ventils 26 durchgeführt werden.

Zusätzlich ist ein ringförmiges Dämpfungselement 60 an einer oberen Fläche des ersten Diaphragmas 56 angeordnet, um einen dünnwandigen Abschnitt des ersten Diaphragmas 56 zu schützen. Das Dämpfungselement 60 wird durch ein im Querschnitt L-förmiges Stützelement 62 abgestützt, das mit einem unteren Ende des Kolbens 50 verbunden ist.

Ein erster Pilot(Steuer)-Durchgang 64, der eine Verbindung zwischen einer Durchflußmengensteuereinrichtung (wird später beschrieben) und einer Zylinderkammer 48 des ON/OFF-Venti­ les 26 herstellt, ist in dem ersten Ventilkörper 46 ausge­ bildet. In diesem Fall wird auf der Basis der durch den Pilotdurchgang 64 unter der Steuerung der Durchflußmengen­ steuervorrichtung erfolgenden Zufuhr eines unter Druck stehenden Fluids (Steuerdruck) in das Innere der Zylinderkam­ mer 48 der Kolben 50 entgegen der elastischen Kraft des Federelements 54 nach oben angehoben. Dementsprechend wird das erste Diaphragma 56 um eine festgelegte Entfernung von dem Sitz 59 abgehoben und öffnet den Fluiddurchgang 38, wodurch ein Fluid in einer Richtung von dem ersten Anschluß 34 zu dem zweiten Anschluß 36 fließt.

Außerdem ist in dem ersten Ventilkörper 46 ein Durchgang 66 zur Herstellung einer Verbindung zwischen der ersten Diaphrag­ makammer 58 und der Atmosphäre ausgebildet. Das erste Diaphragma 56 kann durch die Zufuhr und das Ablassen von Luft aus dem Inneren der Diaphragmakammer 48 durch den ersten Durchgang 66 frei betätigt werden. Das Bezugszeichen 68 bezeichnet eine Dichtung zur Aufrechterhaltung der Luftdicht­ heit der Zylinderkammer 48, während das Bezugszeichen 70 ein Dämpfungselement bezeichnet, das an dem Kolben 50 anliegt und eine Dämpfungsfunktion erfüllt.

Ein Rücksaugmechanismus 28 ist auf dem Fitting 24 in der Nähe des zweiten Anschlusses 36 angeordnet. Der Rücksaugmecha­ nismus 28 umfaßt einen zweiten Ventilkörper 72, der einstückig mit dem Kopplungskörper 40 und dem ersten Ventilkörper 46 verbunden ist, und einen Stab 76, der in Richtung der Pfeile X₁ und X₂ entlang einer in dem Inneren des zweiten Ventilkörpers 72 ausgebildeten Kammer 74 verschiebbar ist. Ein Federelement 78 ist in der Kammer 74 angeordnet, das einen Flansch des Stabes berührt und normalerweise aufgrund der elastischen Kraft des Federelements 78 eine nach oben gerichtete Kraft ausübt (d. h. in Richtung des Pfeiles X₁).

Ein zweites Diaphragma (Membran) 80 erstreckt sich von einem oberen Teil des Stabes 76 und ist mit einer oberen Fläche des Stabes 76 verbunden. Eine zweite Diaphragmakammer (Steuerkam­ mer) 82 ist vorgesehen, um das zweite Diaphragma 80 durch die Zufuhr eines Pilotdruckes in einer aufwärtsgerichteten Richtung des zweiten Diaphragmas 80 zu betätigen. Ein Schaft 83 ist an einem oberen Flächenteil des Stabes 76 angeordnet und durchtritt das zweite Diaphragma 80, wobei der Schaft 83 gemeinsam mit dem Stab 76 verschoben wird. In diesem Fall ist ein Dämpfungselement 84, das aus einem Gummimaterial oder dergleichen gebildet ist, zwischen einem dünnwandigen Abschnitt des zweiten Diaphragmas 80 und dem Stab 76 an­ geordnet.

Eine dritte Diaphragmakammer 88 ist an dem unteren Ende des Stabes 76 angeordnet und durch ein drittes Diaphragma (Membran) 86 abgedichtet. Das dritte Diaphragma 86 ist mit dem Stab 76 verbunden und so angeordnet, daß es gemeinsam mit dem Stab 76 verschoben wird.

Ein ringförmiges Dämpfungselement 90 ist an einer oberen Fläche des dritten Diaphragmas 86 angeordnet, um einen dünnwandigen Abschnitt des dritten Diaphragmas 86 zu schützen, wobei das Dämpfungselement 90 durch ein im Querschnitt L-förmiges Stützelement 92 abgestützt wird, das mit einem unteren Ende des Stabes 76 verbunden ist.

Ein Durchgang 98 ist in dem zweiten Ventilkörper 72 ausge­ bildet und liefert eine Verbindung zwischen der dritten Diaphragmakammer 88 und der Atmosphäre. Außerdem ist ein Steuerdurchgang 100 in dem Abdeckelement 52 ausgebildet, um einen Steuerdruck zu der zweiten Diaphragmakammer 82 zu führen.

Ein Encoder 93, der die Größe einer Verschiebung des zweiten Diaphragmas 80 feststellt, ist durch den Schaft 83 in einem Hohlraum 91 des Abdeckelements befestigt. Der Encoder 93 ist im wesentlichen ein Absolut-Encoder mit einem nicht dar­ gestellten Fotosensor, der auf einer Seite des Encoder­ grundkörpers 54 befestigt ist, und einer nicht dargestellten Glasskala, die Skalenwerte an festen Intervallen auf einem Glassubstrat aufweist und an einer Seite des Schaftes 83 befestigt ist.

In diesem Fall wird die Größe der Verschiebung des Schaf­ tes 83, der gemeinsam mit dem zweiten Diaphragma 80 verschoben wird, durch den nicht dargestellten Fotosensor über die Glasskala festgestellt. Ein Detektionssignalausgang von dem Fotosensor wird durch nicht dargestellte Leitungen als Input an die Hauptsteuereinheit 108 gegeben.

Die Steuerung 32 umfaßt eine Kappe 102, die einstückig mit dem ersten Ventilkörper 46 und dem zweiten Ventilkörper 72 ausgebildet ist, die gemeinsam das Stellglied 30 bilden. In der Kappe 102 ist eine Druckfluidzufuhröffnung 103a und eine Druckfluidablaßöffnung 103b ausgebildet.

Innerhalb der Kappe 102 ist ein erstes elektromagnetisches Ventil 104, das im wesentlichen als 2-Anschluß-3-Wege-Ventil zur Steuerung eines der Zylinderkammer 48 des ON/OFF-Ventiles 26 zugeführten Pilotdruckes dient, und ein zweites elektromagnetisches Ventil 106, das im wesentlichen als 2-Anschluß-3-Wege-Ventil zur Steuerung eines der zweiten Diaphragmakammer 82 des Rücksaugmechanismus 28 zugeführten Pilotdruckes dient, angeordnet.

Die ersten und zweiten elektromagnetischen Ventile 104, 106 sind normalerweise geschlossene Ventile, wobei durch Ausgabe von Stromsignalen von der Hauptsteuereinheit 108 zu den elektromagnetischen Spulen 112 der ersten bzw. zweiten elektromagnetischen Ventile 104, 106 nicht dargestellte Ventilkörper in Richtung des Pfeiles X₁ gezogen werden, was zu einer Öffnung des Ventiles führt.

Außerdem sind innerhalb der Kappe 102 eine erste Durch­ flußmengensteuereinrichtung 115a und eine zweite Durch­ flußmengensteuereinrichtung 115b vorgesehen, die ein unter Druck stehendes Fluid (Pilotdruck), das auf einem festen Druckwert gesteuert wird, zu der Zylinderkammer 48 des ON/OFF- Ventiles 26 bzw. zu der zweiten Diaphragmakammer 82 des Rücksaugmechanismus 28 führen.

Die erste Durchflußmengensteuereinrichtung 115a und die zweite Durchflußmengensteuereinrichtung 115b bestehen jeweils aus denselben Grundelementen und sind, wie in den Fig. 4A und 4B dargestellt ist, durch einen ersten Wafer 117, der beispiels­ weise aus Pyrex-Glas besteht, einen zweiten Wafer 119, der an einer oberen Fläche des ersten Wafers 112 befestigt ist und beispielsweise aus einem Silicium-Substrat besteht, und einen dritten Wafer 121, der an einer oberen Fläche des zweiten Wafers 119 befestigt ist und beispielsweise aus Pyrex-Glas besteht, gebildet, die einstückig aufeinandergesteckt sind.

Zwischen dem ersten Wafer 117 und dem zweiten Wafer 119 ist ein Paar von Einlaßöffnungen 123a, 123b mit festgelegten Abständen ausgebildet, wobei eine Einlaßöffnung 123b durch einen Blindstopfen verschlossen ist. Wie in Fig. 4A dar­ gestellt ist, ist die Einlaßöffnung 123a der ersten Durch­ flußmengensteuereinrichtung 115a vorgesehen, um mit dem ersten elektromagnetischen Ventil 104 durch einen zweiten Durch­ gang 122 in Verbindung zu treten, während die Einlaßöff­ nung 123a der zweiten Durchflußmengensteuereinrichtung 115b dazu vorgesehen ist, mit dem zweiten elektromagnetischen Ventile 106 durch einen dritten Durchgang 124 in Verbindung zu treten, wie es in Fig. 4B dargestellt ist.

Eine Düse 129, die eine Düsenöffnung 127 aufweist, ist zwischen dem Paar von Einlaßöffnungen 123a, 123b angeordnet, wobei die Düsenöffnung 129 dazu ausgebildet ist, mit einer Auslaßöffnung 131 in Verbindung zu treten, die sich zu einem unteren Flächenabschnitt des ersten Wafers 117 öffnet. Wie in Fig. 4A dargestellt ist, ist die Auslaßöffnung 131 der ersten Durchflußmengensteuereinrichtung 115a dazu vorgesehen, mit dem ON/OFF-Ventil 26 durch den ersten Steuerdurchgang 64 in Verbindung zu treten, während die Auslaßöffnung 131 der zweiten Durchflußmengensteuereinrichtung 115b dazu vorgesehen ist, mit der zweiten Diaphragmakammer 82 des Rücksaugmecha­ nismus 28 durch den zweiten Steuerdurchgang 100 in Verbindung zu treten, wie es in Fig. 4B dargestellt ist.

Eine im Querschnitt trapezförmige Kammer 133 ist in dem Inneren des zweiten Wafers 119 ausgebildet, und ein expandier­ bares Fluid 135, das durch Hitze expandiert, beispielsweise eine Siliziumflüssigkeit, ist in der Kammer 133 eingeschlossen. Eine dünnfilmige Struktur 139 ist an dem unteren Teil der Kammer 133 vorgesehen, wobei der Film 139 um eine festgelegte Entfernung von einem Ende der Düse 129 beabstandet ist und flexibel ausgebildet ist, um sich bei einer Expansion des Fluids 135 (wie es durch die gestrichelten Linien in den Fig. 4A und 4B dargestellt ist) zu der Düse 29 hin zu verformen.

Ein gemusterter elektrischer Widerstandskörper 141 ist an einer Unterseite des dritten Wafers 121 angeordnet, der auf einer oberen Fläche des Kammer 133 vorgesehen ist. Das elektrische Widerstandsmuster 141 ist über ein Paar elek­ trischer Anschlüsse 143a, 143b und Leitungen 145 elektrisch mit der Hauptsteuereinheit 108 verbunden.

Ein Druckwert, der mittels einer nicht dargestellten Tastatur oder dergleichen über einen Anschluß 118 eingestellt wird, ist auf einer LED-Anzeigevorrichtung 116 gezeigt. Außerdem umfaßt die Hauptsteuereinheit 108 eine nicht dargestellte MPU (Mikroprozessoreinheit), die verschiedene Funktionseinheiten aufweist, um Steuer-, Auswertungs-, Verarbeitungs-, Be­ rechnungs- und Speichervorgänge durchzuführen. Auf der Basis der von der MPU abgeleiteten Steuersignale wird ein Steuer­ druck, der der Zylinderkammer 48 des ON/OFF-Ventiles 26 bzw. der Diaphragmakammer 58 des Rücksaugmechanismus 28 zugeführt wird, durch Erregen bzw. Abschalten der ersten und zweiten elektromagnetischen Ventile 104 und 106 gesteuert.

Außerdem sind in der Kappe 102, wie in Fig. 3 dargestellt ist, ein erster Durchgang 120, der ein unter Druck stehendes Fluid von dem Druckfluidzufuhranschluß 103a zu dem ersten elektro­ magnetischen Ventil 104 bzw. dem zweiten elektromagnetischen Ventil 106 führt, ein zweiter Durchgang 122, der eine Verbindung zwischen dem ersten elektromagnetischen Ventil 104 und der ersten Fluidsteuereinrichtung 115a herstellt, und ein dritter Durchgang 124 ausgebildet, der eine Verbindung zwischen dem zweiten elektromagnetischen Ventil 106 und der zweiten Fluidsteuereinrichtung 115b herstellt.

Zusätzlich sind in der Kappe 102 ein erster Steuerdurch­ gang 164, der einen Steuerdruck zu der Zylinderkammer 48 des ON/OFF-Ventiles 26 zuführt, das mit einer Auslaßöffnung 131 der ersten Durchflußmengensteuereinrichtung 115a verbunden ist, ein zweiter Steuerdurchgang 100 für die Zufuhr eines Steuer­ druckes zu der zweiten Diaphragmakammer 82 des Rücksaugmecha­ nismus 28, der mit der Auslaßöffnung 131 der zweiten Durch­ flußmengensteuereinrichtung 115b verbunden ist, und ein vierter Durchgang 126 angeordnet, der eine Verbindung zwischen den ersten und zweiten elektromagnetischen Ventilen 104, 106 und der Druckfluidauslaßöffnung 103b herstellt (vgl. Fig. 2).

In diesem Fall wird, wenn ein Stromsignal von der Hauptsteuer­ einheit 108 zu der elektromagnetischen Spule 112 des ersten elektromagnetischen Ventiles 104 zugeführt wird, ein nicht dargestellter Ventilkörper verschoben, wobei das erste elektromagnetische Ventil 104 einen ON-Zustand einnimmt, und der erste Durchgang 120 und der zweite Durchgang 122 werden in gegenseitige Verbindung miteinander gebracht. Als Folge hiervon wird das unter Druck stehende Fluid (Steuerdruck), das von der Druckfluidzufuhröffnung 103 zugeführt wird, der ersten Durchflußmengensteuereinrichtung 115a durch erste und zweite Durchgänge 120 und 122 zugeführt.

Andererseits wird, wenn ein Stromsignal von der Hauptsteuer­ einheit 108 zu der elektromagnetischen Spule 112 des zweiten elektromagnetischen Ventils 106 zugeführt wird, ein nicht dargestellter Ventilkörper verschoben und das zweite elektro­ magnetische Ventile nimmt einen ON-Zustand ein, wodurch der erste Durchgang 122 und der dritte Durchgang 124 miteinander in Verbindung gebracht werden. Dementsprechend wird ein unter Druck stehendes Fluid (Pilotdruck), das von der Druckfluid­ zufuhröffnung 103a zugeführt wird, durch erste und dritte Durchgänge 120 und 124 der zweiten Durchflußmengensteuerein­ richtung 115b zugeführt.

Das Rücksaugventil 20 gemäß dieser Ausführungsform ist im wesentlichen wie oben beschrieben aufgebaut. Nachfolgend wird die Wirkungsweise und Funktion des Ventiles mit Bezug auf das Schaltungsdiagramm gemäß Fig. 3 dargestellt.

Zunächst wird eine Beschichtungsflüssigkeitszufuhrquelle 130, die eine Beschichtungsflüssigkeit aufnimmt, mit einem Rohr 22a verbunden, das mit dem ersten Anschluß 34 des Rücksaugventi­ les 20 in Verbindung steht, während eine Beschichtungsflüssig­ keitstropfvorrichtung 132, die eine Düse 136 aufweist, von der eine Beschichtungsflüssigkeit auf den Halbleiterwafer 138 tropft, mit einem Rohr 22b verbunden wird, das mit dem zweiten Anschluß 36 in Verbindung steht. Außerdem wird eine Druck­ fluidzufuhrquelle 134 mit dem Druckfluidzufuhranschluß 103a verbunden.

Nach Durchführung dieser Vorbereitungsmaßnahmen wird die Druckfluidzufuhrquelle 134 aktiviert, wobei ein unter Druck stehendes Fluid zu dem Druckfluidzufuhranschluß 103 geführt wird zusammen mit der Eingabe eines Inputsignals und eines elektrischen Quellensignals zu der Hauptsteuereinheit 108 über nicht dargestellte Eingabemittel.

Auf der Basis des Inputsignals gibt die Hauptsteuereinheit 108 Erregungssignale an das erste elektromagnetische Ventil 104 und das zweite elektromagnetische Ventil 106, so daß die ersten und zweiten elektromagnetischen Ventile 104, 106 jeweils einen ON-Zustand annehmen.

Das unter Druck stehende Fluid (Pilotdruck), das von dem Druckfluidzufuhranschluß 103a zugeführt wird, wird in die zweite Durchflußmengensteuereinrichtung 115b durch miteinander in Verbindung stehende erste und dritte Durchgänge 120, 124 eingeführt. Die zweite Durchflußmengensteuereinrichtung 115b, die im Detail später beschrieben wird, liefert nach einer Kompression des unter Druck stehenden Fluids unter der Verformungswirkung des dünnen Filmes 139 auf einen festgeleg­ ten Pilot(Steuer)-Druck das unter Druck stehende Fluid über den zweiten Steuerdurchgang 100 zu der zweiten Diaphragmakam­ mer 82. Unter der Wirkung des der zweiten Diaphragmakammer 82 zugeführten Pilotdruckes verformt sich das zweite Diaphrag­ ma 80 und drückt den Stab 76 in Richtung des Pfeiles X₂. Als Folge hiervon wird das dritte Diaphragma 86, das mit dem unteren Ende des Stabes 76 verbunden ist, verschoben, was zu dem in Fig. 2 dargestellten Zustand führt.

Auf diese Weise gibt unter der Wirkung des der zweiten Diaphragmakammer 82 zugeführten Pilotdruckes in einem Zustand, in dem das Diaphragma 80 in Richtung des Pfeiles X₂ gedrückt wird, die Hauptsteuereinheit 108 ein elektrisches Signal zu der ersten Durchflußmengensteuereinrichtung 115a aus. In der Durchflußmengensteuereinrichtung 115a wird bewirkt, daß ein Strom durch elektrische Kontakte 143a, 143b zu dem elek­ trischen Widerstandskörper 141 fließt, wodurch der elektrische Widerstandskörper 141 erwärmt wird.

Als Folge hiervon wird das die Kammer 133 füllende Fluid 135 erwärmt und expandiert, und, wie durch die gestrichelten Linien in Fig. 4A dargestellt ist, der dünne Film 139 wird nach unten gedrückt und verformt, wobei der Abstand zwischen dem Film 139 und der Düse 129 auf einen festen Wert einge­ stellt ist. Dementsprechend wird die Durchflußmenge des unter Druck stehenden Fluids, das von der Düsenöffnung 129 zu der Auslaßöffnung 131 fließt, durch die Kompression gemäß dem Abstand zwischen dem dünnen Film 139 und der Düse 129 gesteuert. Als Folge hiervon wird die Durchflußmenge des unter Druck stehenden Fluids, das von der Auslaßöffnung 131 der ersten Durchflußmengensteuereinrichtung 115a abgelassen wird, eingestellt. Dadurch wird der Pilotdruck, der der Zylinderkam­ mer 48 des ON/OFF-Ventiles 26 zugeführt wird, auf einen festen Wert gesteuert.

Außerdem wird der der zweiten Diaphragmakammer 82 zugeführte Pilotdruck gleichermaßen auf einen festen Wert gesteuert, da der Betrieb der zweiten Durchflußmengensteuereinrichtung 115b der gleiche ist wie der der oben beschriebenen ersten Durchflußmengensteuereinrichtung 115a (vgl. Fig. 4B).

Unter Druck stehendes Fluid (Pilotdruck), das der Zylinderkam­ mer 48 zugeführt wird, verschiebt den Kolben 50 in der Richtung des Pfeiles X₁ entgegen der elastischen Kraft des Federelements 54. Dementsprechend trennt sich das erste Diaphragma 56, das mit dem Kolben verbunden ist, von dem Sitz 59 und das ON/OFF-Ventil 26 nimmt einen ON-Zustand ein. Zu dieser Zeit fließt die Beschichtungsflüssigkeit von der Beschichtungsflüssigkeitszufuhrquelle 130 entlang des Durchflußdurchgangs 38 und die Beschichtungsflüssigkeit wird über die Beschichtungsflüssigkeitstropfvorrichtung 146 auf den Halbleiterwafer 146 getropft. Als Folge hiervon wird eine Beschichtung (nicht dargestellt) mit einer gewünschten Dicke auf dem Halbleiterwafer 146 ausgebildet.

Nachdem eine festgelegte Menge an Beschichtungsflüssigkeit durch die Beschichtungsflüssigkeitstropfvorrichtung 132 auf den Halbleiterwafer 146 geschichtet wurde, gibt die Haupt­ steuereinheit 108 ein Deaktivierungssignal an das erste elektromagnetische Ventil 104, und das erste elektromagneti­ sche Ventil 104 nimmt einen OFF-Zustand an. Dementsprechend wird der zweite Durchgang 122 in Verbindung mit der Druck­ fluidablaßöffnung 103b gesetzt, und das unter Druck stehende Fluid innerhalb der Zylinderkammer 48 wird durch die Druck­ fluidauslaßöffnung an die Atmosphäre abgegeben. Als Folge hiervon wird der Kolben unter der Wirkung der elastischen Kraft des Federelements 54 in Richtung des Pfeiles X₂ ver­ schoben, und die erste Membran 56 wird auf dem Ventilsitz 59 auf gesetzt, so daß das ON/OFF-Ventil 26 einen OFF-Zustand annimmt.

Indem das ON/OFF-Ventil 26 in einen OFF-Zustand versetzt wird und der Fluiddurchgang 38 unterbrochen wird, wird die Zufuhr von Beschichtungsflüssigkeit zu dem Halbleiterwafer 146 gestoppt, wodurch das Tropfen von Beschichtungsflüssigkeit aus der Düse 148 der Beschichtungsflüssigkeitstropfvorrichtung 132 auf den Halbleiterwafer 146 angehalten wird. In diesem Fall besteht die Befürchtung, daß ein unerwünschtes Tropfen von Flüssigkeit auftreten kann, weil die der auf den Halbleitwa­ fer 146 getropften Flüssigkeit unmittelbar nachfolgende Beschichtungsflüssigkeit innerhalb der Düse 148 der Beschich­ tungsflüssigkeitstropfvorrichtung 132 verbleibt.

Daher gibt die Hauptsteuereinheit 108 ein Deaktivierungssignal an das zweite elektromagnetische Ventil 106, wodurch das zweite elektromagnetische Ventil 106 einen OFF-Zustand annimmt.

Dementsprechend werden durch Versetzen des zweiten elektro­ magnetischen Ventiles 106 in einen OFF-Zustand der dritte Durchgang 124 und die Druckfluidablaßöffnung 103b in Verbin­ dung miteinander gesetzt, wodurch das in der zweiten Diaphrag­ makammer 82 verbleibende unter Druck stehende Fluid (Pilot­ druck) durch den mit dem dritten Durchgang 124 in Verbindung stehenden zweiten Pilotdurchgang 100 aus der Druckfluidablaß­ öffnung 103b zur Atmosphäre abgelassen wird. Als Folge hiervon wird die zweite Membran 80 unter der Wirkung der elastischen Kraft des Federelementes 78 in Richtung des Pfeiles X₁ angehoben und nimmt den in Fig. 5 dargestellten Zustand an.

Insbesondere wird durch Anheben des zweiten Diaphragmas 80 und damit gemeinsames Verschieben des dritten Diaphragmas 86 durch den Stab 76 in Richtung des Pfeiles X₁ ein Unterdruck erzeugt. Wenn dies auftritt, wird eine festgelegte Menge an Beschich­ tungsflüssigkeit innerhalb des Fluiddurchgangs 38 in Richtung der in Fig. 5 gezeigten Pfeile gesaugt. Als Folge hiervon wird eine festgelegte Menge an Beschichtungsflüssigkeit, die in der Düse 148 der Beschichtungsflüssigkeitstropfvorrichtung 132 verbleibt, zur Seite des Rücksaugventiles zurückgeführt, so daß das Auftreten eines Flüssigkeitstropfens auf dem Halblei­ terwafer 138 verhindert werden kann.

Wenn dies passiert, wird die Größe der Verschiebung des zweiten Diaphragmas 80, das gemeinsam mit dem dritten Diaphragma 86 angehoben wird, von einem Encoder 93 durch den Schaft 83 festgestellt. Auf der Basis des Detektionssignal- Outputs von dem Encoder 93 stellt die Hauptsteuereinheit 108 den Druck innerhalb der zweiten Diaphragmakammer 82 ein, so daß das zweite Diaphragma 80 an einer festgelegten Position gestoppt wird.

Im einzelnen ist das zweite Diaphragma 80 so geformt, daß es an einer festen Position gestoppt wird, die den Druck innerhalb der zweiten Diaphragmakammer 82 mit der elastischen Kraft des Federelements 78 ausgleicht. Die Hauptsteuer­ einheit 108 wertet die Größe der Verschiebung des zweiten Diaphragmas auf der Basis des Detektionssignaloutputs von dem Encoder 93 aus und gibt Erregungs- und/oder Abschaltsignale aus, die in geeigneter Weise zwischen ON- und OFF-Zuständen schalten und dadurch den Druck innerhalb der zweiten Diaphrag­ makammer 82 einstellen, wodurch dieser mit der elastischen Kraft des Federelementes 78 ausgeglichen wird. Dadurch wird das zweite Diaphragma 80 an einer Position gestoppt, die der Rücksaugmenge der Beschichtungsflüssigkeit entspricht.

In diesem Fall ist es auch akzeptabel, daß die Hauptsteuer­ einheit 108 entsprechende Erregungs- und Abschaltungssignale für das zweite elektromagnetische Ventil 106 und die zweite Durchflußmengensteuereinrichtung 115b ausgibt, wobei das zweite elektromagnetische Ventil 106 und die zweite Durch­ flußmengensteuereinrichtung 115b zusammen eingesetzt werden können, um den Druck in der zweiten Diaphragmakammer 82 einzustellen.

Durch erneute Ausgabe entsprechender Aktivierungssignale für das erste elektromagnetische Ventil 104 und das zweite elektromagnetische Ventil 106 von der Hauptsteuereinheit 108 und Rückführung zu einem ON-Zustand wird der in Fig. 2 gezeigte Zustand erreicht, wodurch ein erneutes Tropfen von Beschichtungsflüssigkeit auf den Halbleiterwafer 146 initiiert wird.

Auf diese Weise wird gemäß der Ausführungsform der vorliegen­ den Erfindung das zweite Diaphragma 80 an einer Position gestoppt, die den Druck der zweiten Diaphragmakammer 82 mit der elastischen Kraft des Federelements 78 ausgleicht, wodurch durch Einstellung des Druckes der zweiten Diaphragmakammer 82 durch ON/OFF-Steuerung mit Bezug auf das zweite elektro­ magnetische Ventil 106 eine Rücksaugmenge der Beschichtungs­ flüssigkeit, die durch das dritte Diaphragma 86 eingesaugt wird, mit hoher Präzision gesteuert werden kann.

Außerdem wird bei der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ein elektrischer Strom, der der ersten Durch­ flußmengensteuereinrichtung 115a und der zweiten Durch­ flußmengensteuereinrichtung 115b zugeführt wird, er­ höht/erniedrigt und eine erzeugte Hitze eines elektrischen Widerstandskörpers wird gleichfalls erhöht/erniedrigt, wodurch bewirkt wird, daß sich der dünne Film 139 zu der Düse 129 hinbiegen kann. Dementsprechend wird der Abstand zwischen der Düse 129 und dem dünnen Film 139 unter der Biegung des dünnen Filmes 139 frei eingestellt, und dadurch wird die Fluidmenge des unter Druck stehenden Fluids, das durch die Düsenöff­ nung 127 fließt, eingestellt. In diesem Fall kann durch Blockieren der Durchflußöffnung 127 durch den dünnen Film 139 aufgrund seiner Biegung der Durchfluß von unter Druck stehendem Fluid auch ganz unterbrochen werden.

Dementsprechend werden der dem ON/OFF-Ventil 26 zugeführte Pilotdruck und der der zweiten Diaphragmakammer 82 zugeführte Pilotdruck durch die erste Durchflußmengensteuereinrichtung 115a bzw. die zweite Durchflußmengensteuereinrichtung 115b jeweils präzise gesteuert. Gemeinsam ermöglichen sie eine weitere Verbesserung der Präzision und Reaktionsgeschwindig­ keit des ON/OFF-Ventiles 26.

Im einzelnen wird durch Steuerung des dem ON/OFF-Ventil 26 entsprechend der ersten Durchflußmengensteuereinrichtung 115a und der zweiten Durchflußmengensteuereinrichtung 115b zugeführten Pilotdruckes die Betriebsgeschwindigkeit des ON/OFF-Ventiles 26 im Vergleich zum Stand der Technik verbessert und außerdem der Betriebsbereich erweitert. Außerdem wird es durch Erhöhen der Schaltgeschwindigkeit, mit der das ON/OFF-Ventil 26 zwischen den ON- und OFF-Zuständen schaltet, möglich, die Durchflußmenge der Beschichtungs­ flüssigkeit, die auf den Halbleiterwafer 146 getropft wird, hochgenau einzustellen. Außerdem kann einer bei hoher Frequenz auftretenden Biegung ausreichend widerstanden werden, ein Kriechen wird reduziert und die Reproduzierbarkeit wird erhöht, weil der der Düse 129 gegenüberliegende dünne Film 139 aus einem Einzelkristall oder ähnlichem Glasmaterial her­ gestellt ist. Als Folge hiervon wird auf den dünnen Film 139, der das Antriebsteil bildet, nur eine geringe Belastung ausgeübt, er hat eine hervorragende Haltbarkeit und es ergibt sich über die Zeit nur eine geringe Veränderung seiner Leistungsfähigkeit. Außerdem wird es möglich, ihn unter Verwendung von Halbleitertechnologie herzustellen, so daß der Vorteil besteht, daß er mit hoher Genauigkeit in hohen Stückzahlen produziert werden kann.

Außerdem werden bei der vorliegenden Ausführungsform das Fitting 24, das ON/OFF-Ventil 26, der Rücksaugmechanismus 28 und die Steuerung 32 einstückig zusammengesetzt, so daß im Gegensatz zu dem oben beschriebenen Stand der Technik keine Notwendigkeit besteht, Rohrverbindungen zwischen dem Rück­ saugventil 20 und der Fluiddrucksteuervorrichtung oder zwischen dem Rücksaugventil 20 und dem ON/OFF-Ventil 26 herzustellen. Da es nicht notwendig ist, einen besonderen Platz für die Befestigung der Fluiddrucksteuereinrichtung und des ON/OFF-Ventiles 26 vorzusehen, kann eine effektive Nutzung des Installationsraumes erreicht werden.

Da bei der vorliegenden Ausführungsform das ON/OFF-Ventil 26 und die Steuerung 32 usw. einstückig mit dem Rücksaugmecha­ nismus 28 ausgebildet sind, kann im Gegensatz zu der herkömm­ lichen Technik, bei der die Komponenten jeweils als separate Teile miteinander kombiniert werden, eine höhere Kompaktheit der Vorrichtung erreicht werden.

Außerdem kann mit der vorliegenden Ausführung eine Erhöhung des Durchflußdurchgangswiderstandes vermieden werden, da keine Notwendigkeit für die Installation zusätzlicher Rohrleitungen zwischen dem Rücksaugventil 20 und der Fluiddrucksteuervor­ richtung besteht.

Schließlich wird als Folge der Tatsache, daß das unter Druck stehende Fluid (Pilotdruck) gemeinsam dem Rücksaugmechanismus 28 bzw. dem ON/OFF-Ventil 26 zugeführt und die Durchflußmenge durch die erste Durchflußmengensteuereinrichtung 115a und die zweite Druckflußmengensteuereinrichtung 115b gesteuert wird, im Gegensatz zum Stand der Technik eine Antriebsvorrichtung für den Antrieb des ON/OFF-Ventiles 26 unnötig. Als Folge hiervon ist es möglich, die Gesamtgröße der Vorrichtung zu reduzieren und eine Kostenverringerung zu erreichen.

Bei der vorliegenden Ausführungsform werden der dem ON/OFF-Ventil 26 und dem Rücksaugmechanismus 28 durch die erste Durchflußmengensteuereinrichtung 115a und die zweite Durch­ flußmengensteuereinrichtung 115b zugeführte Pilotdruck elektrisch durch die Hauptsteuereinheit 108 gesteuert. In diesem Fall wird eine Verbesserung der Reaktionsgenauigkeit des zweiten Diaphragmas 80, das gemäß dem Pilotdruck betrieben wird, möglich, und die Beschichtungsflüssigkeit, die in dem Fluiddurchgang 38 verbleibt, kann schneller angesaugt werden.

Claims (8)

1. Rücksaugventil mit einem Verbinder (24), der einen Fluiddurchgang (38) mit einem ersten Anschluß (24) an einem Ende und einem zweiten Anschluß (36) an dem anderen Ende aufweist, einem Rücksaugmechanismus (28) zum Ansaugen eines innerhalb des Fluiddurchgangs fließenden Fluids unter der Unterdruckwirkung eines flexiblen Elements (86), das ent­ sprechend einem Steuerdruck verschoben wird, einem ON/OFF-Ventil (26) zum Öffnen und Schließen des Fluiddurchgangs (38) entsprechend einer Wirkung des Steuerdruckes, einer Steue­ rung (32), in der ein Ansaugmengensteuermechanismus zum elektrischen Steuern einer Durchflußmenge eines Fluids, das durch den Rücksaugmechanismus (28) angesaugt wird, angeordnet ist, einer Verschiebungsdetektionseinrichtung (93) zur Feststellung der Größe einer Verschiebung des flexiblen Elements (86) und zur Ausgabe eines Feststellsignals an die Steuerung (32), wobei der Ansaugmengensteuermechanismus ein Federelement (78) aufweist, welches das flexible Element (86) aufgrund der Elastizität des Federelements (78) vorspannt, und eine Vielzahl elektromagnetischer Ventile (104, 106) zum Einstellen eines Steuerdruckes, der dem Rücksaugmecha­ nismus (28) durch Aktivierungs- und Deaktivierungssignale, die von der Steuerung (32) ausgegeben werden, zugeführt wird, und wobei die Größe der Verschiebung des flexiblen Elements (86) durch Ausgleichen des Steuerdruckes und einer Vorspannkraft des Federelements (78) gemäß der Druckeinstellung durch die elektromagnetischen Ventile (104, 106) gesteuert wird.

2. Rücksaugventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuerung (32) ein erstes Durchflußmengensteuerelement (115a) und ein zweites Durchflußmengensteuerelement (115b) zur Steuerung von Pilot(Steuer)drücken, die dem Rücksaugmecha­ nismus (28) bzw. einem ON/OFF-Ventil (26) zugeführt werden, aufweist.

3. Rücksaugventil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchflußmengensteuerelemente (115a, 115b) einen Behälter (117, 119, 121), der zum Teil mit einer Membran ausgebildet ist und ein Fluid aufnimmt, das unter Wärme­ einwirkung expandierbar/kompressibel ist, eine der Mem­ bran (139) des Behälters (117, 119, 121) gegenüberliegende Düse (129) und Heizeinrichtungen (141) zum Aufheizen eines Fluids (135) innerhalb des Behälters (117, 119, 121) aufweist.

4. Rücksaugventil nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Verbinder (24), der Rücksaugmecha­ nismus (28), das ON/OFF-Ventil (26) und die Steuerung (32) einstückig zusammengesetzt sind.

5. Rücksaugventil nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das flexible Element ein Diaphragma (86) aufweist.

6. Rücksaugventil nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Rücksaugmechanismus (28) ein Diaphrag­ ma (80), das unter der Wirkung eines von einer Druckfluid­ zufuhröffnung zugeführten Pilot(Steuer)Druckes verschoben wird, einen Stab (76), der innerhalb eines Ventilkörpers (72) verschiebbar angeordnet und gemeinsam mit dem Diaphragma (80) verschiebbar ist, ein weiteres Diaphragma (86), das mit einem Ende des Stabes (76) verbunden ist und durch gemeinsame Verschiebung mit dem Stab (76) einen Unterdruck erzeugt, und das den Stab (76) in einer festgelegten Richtung vorspannende Federelement (78) aufweist.

7. Rücksaugventil nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuerung (32) eine Hauptsteuer­ einheit (108) aufweist, die elektromagnetische Ventile (104, 106) und eine Durchflußmengensteuereinrichtung (115a, 115b) steuert.

8. Rücksaugventil nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschiebungsfeststelleinrichtungen einen Encoder (93) aufweisen.