CN1196459A - 回吸阀 - Google Patents
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Abstract
提出一种回吸阀,该阀可防止回吸阀回吸流体量的变化,可以改进隔膜的响应准确度,同时可以准确控制该隔膜的位移量和位移速度。可移动地面对着流体通道(62)内部的隔膜(72)由第一膜(74)和叠置在第一膜上的第二膜(80)构成,其中,通过起动负压发生源(240),第一膜经在第二膜上形成的孔(84)而被抽吸到与第二膜接触,该负压发生源经通道(116)连接于室(114);第一膜的形状由第二膜保持。
Description
本发明涉及回吸阀，该回吸阀通过隔膜的位移作用回吸流过流体通道的流体而防止在流体输送口发生流体滴漏，该回吸阀还可以稳定流体的回吸量。
回吸阀迄今已用于例如制造半导体芯片的生产过程中。回吸阀的作用是防止所谓液体滴漏，即在停止向半导体晶片输送涂覆液时防止发生少量涂覆液滴到半导体晶片上的这种现象。
图5中示出常规技术的回吸阀，例如在日本实用型公报No.8-10399中可以见到其进一步的细节。
回吸阀10包括主阀体18和阀盖(阀帽)20，前者具有连通流体进入口12和流体排出口14的流体通道16，后者连接于主阀体18的上部分。例如用碳氟树脂等材料制作的隔膜26可移动地配置在流体室16中。通道19与室17相通，该通道用于在移动隔膜26时输送和排出由隔膜26密封的室17中的空气。厚壁部分22形成隔膜26的中央，薄壁部分24围绕厚壁部分22形成。
凸出部27形成在厚壁部分22的上部分，将凸出部27插入在活塞30下部形成的腔29中，从而使隔膜26连接于活塞30。可沿阀体18内壁表面滑动的和起密封作用的V形密封件32装在活塞30上。另外，在阀体18中配置通常将活塞30往上推的弹簧34。在阀盖20上形成压缩空气输入口28，其中压缩空气源(未示出)经未示出的流量控制阀等连接于该压缩空气输入口28。编号36表示与活塞30对接的调节螺栓，该螺栓通过调节活塞30的移动量而调节由隔膜26抽吸的涂覆液的流体量。
下面简要说明回吸阀10的操作。在将涂覆液从流体吸入口12输送到流体排出口14的普通状态下，操作流量控制阀或类似装置，其中，压缩空气从压缩空气源输送到压缩空气输送口28。结果，活塞30由于压缩空气的压力而向下移动，并且连接于活塞30的隔膜26也伸入流体通道16，如在图5中由双点画线所示。
当停止经流体通道16输送涂覆液时，活塞30和隔膜26通过控制流量控制阀或类似装置，和停止从压缩空气源向压缩空气输送口28输送压缩空气而在弹簧34的弹力作用下同步上升。利用调节螺栓36端部的对接可以控制这种位移，因而通过隔膜26产生的负压作用可以抽吸滞留在流体通道16中的预定量的涂覆液。于是可以防止涂覆液的滴漏，否则将在连接于流体排出口14的流体输送口造成滴漏。
虽然如此，但在上述常规技术的回吸阀10中，当隔膜26长期使用时，由于反复抽吸流体通道16内的涂覆液而发生形变，因而产生不能保持隔膜初始状态的问题，这样，由回吸阀10抽吸的涂覆液的量将发生变化，同时缩短了隔膜26的使用寿命。另外，如上所述，当不能保持隔膜26的初始状态时便很容易在隔膜26中产生存积液体的区域，其中，接触这种液体存积区域的涂覆液将发生变质，因此产生这样一个缺点，即流过流体通道的涂覆液将与这种变质的涂覆液混合，因而沾污该涂覆液。
另外，活塞30和隔膜26的厚壁部分22拧在一起，当螺栓松动时便在活塞30和隔膜26之间的连接区域产生游隙。由于这种游隙的存在，便导致隔膜26位移量的误差，这样便造成回吸阀回吸的流体量产生误差。
本发明总的目的是提供一种回吸阀，当通过将负压引入到配置隔膜的室中而使隔膜抽吸流过流体通道的流体时，该回吸阀可以防止回吸流体量发生变化并能够沿与隔膜位移方向相同的方向回吸流体。
本发明的主要目的是提供一种回吸阀，该阀即使在重复抽吸涂覆液时，构成隔膜的第一膜也不会发生形变，由于在室中引入负压时通过在第二膜上形成的孔抽吸第一膜，所以可以稳定涂覆液的回吸量并延长隔膜的使用寿命。
本发明的另一个目的是提供一种回吸阀，它可使回吸流体的误差减至最小，这是通过以下措施来实现的：用圆筒件包住隔膜的厚壁部分，将具有锥形部分的螺栓拧入到圆筒件的空间中，将锥形部分插入在厚壁部分上形成的横截面为V形的凹槽中，并使厚壁部分支承在圆筒件中，从而可以防止在隔膜和圆锥部分之间产生游隙。
本发明的另一个目的是提供一种回吸阀，该回吸阀通过用电驱动器移动隔膜能够可靠地控制隔膜的位移量和位移速度。
本发明的再一个目的是提供一种回吸阀，该回吸阀通过整体成形回吸阀和开/关阀可以使系统的尺寸作得很小并且容易安装。
下面结合以举例方式示出本发明优选实施例的附图进行说明，由此可以明显看出本发明上述的以及其它的目的、特征和优点。
图1是局部垂直横截面图，概要示出本发明实施例的回吸阀。
图2A是局部放大垂直横截面图，示出隔膜的位移状态。
图2B是局部放大垂直横截面图，示出隔膜的结构。
图3A是局部放大垂直横截面图，示出开/关阀隔膜的位移状态。
图3B是局部放大垂直截面图，示出开/关阀隔膜的结构。
图4是曲线图，示出本发明实施例的回吸阀其隔膜相对于时间的位移量。
图5是常规技术的回吸阀的示意垂直横截面图。
图1中编号40表示本发明一个实施例的回吸阀。该回吸阀40包括纵向长度的阀体42，该阀体具有在阀体42一个端部上形成的第一输送口48和在另一端部上形成的第二输送口50。连接于管子52a、52b端部的连接件54a、54b配置在相应的输送口48、50中，其中管子52a、52b的端部连接于在连接件54a、54b外周上形成的台阶56a、56b，由此确定管子52a、52b的位置。在阀体42的两个端部上形成相应的阳螺纹58a、58b，通过将锁定螺母60a、60b拧在阳螺纹58a、58b上而将管子52a、52b压力支承在穿过连接件54a、54b的阀体的第一和第二输送口48、50上。
在阀体42内形成流体通道64、该阀体具有与一根管52a连通的流体通道62和与另一根管52b连通的流体通道64。相应的流体通道62、64在阀体42内向上弯曲而与在阀体42内形成的腔66连通，如图1所示。基本在一个流体通道62的中央形成孔68，如图2A和2B所示，在孔68形成的壁上形成台阶70。构成隔膜72的第一膜74的边缘固定于台阶70，并且在第一膜74的中心形成厚壁部分76。第一膜74用例如碳氟树脂等树脂材料制作。构成隔膜72的第二膜80配置在第一膜74的上表面上，该第二膜80用例如夹带基体纤维的橡胶材料制作。第一膜74和第二膜80作成分开的部件，将一个放在另一个的顶面上形成整体。除在第二膜80的中心形成穿过厚壁部分76的孔82之外，还在第二膜80上形成许多环绕其周边的小孔84。
连接于厚壁部分的圆筒件98的凸缘部108配置在隔膜72的上部分，在凸缘部108的下表面上形成曲面110。结果，当第二膜80与凸缘部108接触时，第二膜80的形状保持贴合于曲面110。沿圆筒件98的内圆周形成凸出部104，使得在厚壁部分76的外圆周上形成的凹槽106可以啮合在该凸出部104上。在圆筒件98台阶部分100的内周面上形成阴螺纹(未示出)，使得在杆形位移部件86的下部分形成的阳螺纹92可以拧在该阴螺纹中。在位移部件86的下端部形成锥形部分90，该锥形部分可嵌入于厚壁部分76的上部分上形成的其横截面为V形的腔88中。锥形部分90的垂直横截面构形对应于腔88的垂直横截面，但是锥形部分90稍大于腔88自身的垂直横截面构形。因而当阳螺纹92拧入圆筒件98和圆锥部分90沿方向或箭头A相对于圆筒件位移时，圆锥部分便逐渐进入腔88，使腔88的壁沿径向方向膨胀。但是因为后壁部分76的外周面贴合于圆筒件98的内壁，所以厚壁部分76受到锥形部分90和圆筒件98的强烈的挤压和支承。这与常规技术中使用螺栓来固定的方法不同，完全不会在隔膜的连接区域产生游隙。
在位移部件86的阳螺栓92的上部分形成凸出部94，另外在位移部件86的上端部形成圆表面部分96。
围绕阀体42外周面部分配置支承件112，使得隔膜72的边缘被夹压在支承件112和阀体42的台阶70之间。利用隔膜72在支承件112中形成封闭室114，在该支承件中形成的通道116与封闭室114相互连通。在室114的上表面部分形成穿过圆筒件98的孔118，使得凸出部120配置在沿孔118形成的壁上。围绕圆筒件98的盘簧(螺旋弹簧)122的一端固定在支承件112的上表面上，而盘簧122的另一端固定在位移件86的凸缘部94上。结果位移部件86处于受到盘簧122偏压的状态，偏压方向沿箭头B。
主体124固定于支承件112的上部分，该主体具有腔126，该腔形成于该主体的下部分，与孔118连通，并且沿腔126的开口部分配置O形环128以防止泄漏压缩空气等。在主体124中形成与腔126连通的孔130，位移部件可滑动地插入该孔130。在主体124的上部分形成腔132，该腔132与孔130连通。如图1所示，构成电驱动器的第一线性音圈式升降装置134a配置在腔132中。线性音圈式位移装置134a包括外壳136a，可沿箭头A、B方向移动的纵向杆140a配置在外壳136a的室138a中。杆140a的下端部与位移件86的圆形表面部分96对接。固定的铁芯142a配置在室138a中的上部中央部分，该固定铁芯142a被成形为仅沿外壳136a的纵方向延伸预定的距离。
另外，永久磁铁146a配置在室138a内，与铁芯142a分开固定的距离，并通过支承部件144a固定于外壳136a的内壁上。在这种情况下，在永久磁铁146a和固定铁芯142a之间的空间中形成基本水平取向的磁场。另外，其上绕有电磁线圈的位移元件(绕线管)150a配置在固定铁芯142a和永久磁铁146a之间的居中位置，位移元件150a与杆140a整体移动。并且，在固定铁芯142a和位移元件150a之间形成预定的间隙。编号152a表示使电流流向电磁线圈148a的导线。
在外壳136a内壁上配置导向件154a，该导向件154a通过与杆140a上形成的导向凹槽156a相结合而沿直线导向该杆140a。
编码器160a通过支承件158a固定于外壳136a的内壁上，位于导向件154a的相对侧。编码器160a包括未示出的固定于外壳136a一侧的光传感器和固定于杆140a一侧的玻璃标尺(未示出)，该玻璃标尺由玻璃底衬构成，该底衬上具有分开预定距离的刻度值。在这种情况下，可由未示出的传感器通过玻璃标尺检测杆140a的位移量，光传感器的检测信号输出通过导线162a送回到未示出的控制装置上。因此利用控制装置根据光传感器的检测信号可以高度准确地控制杆140a的位移量。
开/关阀164对着阀体42的流体通道62、64的开口。如图3A和3B所示，开/关阀164装有开/关阀隔膜168，该隔膜接触于腔66的壁上形成的台阶166。开/关阀隔膜168类似于隔膜72，由第一和第二膜170、172构成，第二膜172上具有许多配置成环形的小孔。厚壁部分176形成在第一膜170的中央。结果，当厚壁部分176沿箭头A的方向移动时，由于第一膜170的弯曲，厚壁部分176将靠在于通道62的开口上形成的支座180上，于是关闭流体通道62的入口。另一方面，当厚壁部分沿箭头B的方向移动时，流体通道62和64便接通。在厚壁部分176的上部形成横截面为V形的凹槽182，另外还在厚壁部分176的外壁上形成圆周槽184。
支承件186围绕阀体42，第一和第二膜170、172的边缘夹压在支承件186和阀体的台阶166之间。在支承件186中形成由开/关阀隔膜186封闭的室187。与通道187相通的通道188形成在支承件186中，通道188与支承件186的外侧部分连通。凸入腔66的凸出部190形成在支承件186上，而孔192形成在该凸出部190的中央部分。开/关阀隔膜168的厚壁部分176嵌入该孔192，并且在孔192的壁上形成凸出部194。
主体196固定于支承件186的上部。与孔192连通的腔198形成在主体196中，沿腔198的开口配置O形环200。在主体196的上部形成另一个经孔202与腔198连通的腔204。如图1所示，构成开/关阀电驱动器的第二线性音圈式升降装置134b配置在腔204中。第二线性音圈式位移装置134b在结构上类似于第一线性音圈式位移装置134a，该装置的相同的部件用相同的编号表示，但后面加字母b，并省去对这些部件的详细说明。
杆形位移件206固定于第二线性音圈式位移装置134b的杆140b的下部，位移件206插入孔202和腔198。如图3A所示，在位移件206的外圆周上形成凸缘部208，盘簧210的一端坐于该凸缘部208的上表面上，而盘簧210的另一端坐于腔198的上表面上。因此位移件206通常受到盘簧210作用的沿箭头A方向的偏压。位移件206连接于隔膜的厚壁部分176，而且同样地在位移件206的一个端部上形成圆锥部分212，该圆锥部分212逐渐地插入厚壁部分176的腔182中，由此通过圆筒部件216卡紧厚壁部分176和位移件206，该圆筒件216拧在于圆锥部分212上形成的阳螺纹214上。
上面基本上说明了本发明实施例的回吸阀40的构造。下面说明其操作。
如图1所示，首先将涂覆液滴注装置236连接于与回吸阀40的第一输送口48连通的管子52a，该装置236具有面对半导体晶片230的用于将涂覆液滴注于其上的管嘴234。另一方面，将涂覆液供应源232连接于与第二输送口50连通的管子52b上，该涂覆液供应源中贮存向半导体晶片230滴注的涂覆液。另外，将负压发生源240分别连接于通道116和118，负压发生源通常处于受驱动状态。此外，将第一和第二线性音圈式位移装置134a、134b连接于控制器242。
在此时，当第一线性音圈式位移装置134a由控制器242供电时，电磁线圈148a通电流，在电磁线圈148a上产生电磁力。由于在永久磁铁146a和固定的铁芯142a形成的磁场和上述电磁力之间的相互作用，按照弗来明(Flemming)左手定则，其上绕有电磁线圈148a的位移件150a将同杆140a一齐整体移动。适当调节流过电磁线圈148a的电流大小便可以调节电磁力以获得需要的电磁力大小和持续时间。另外，反转流过电磁线圈148a的电流极性便可使力的作用方向从箭头A的方向切换到箭头B的方向，反之亦然。
当杆140a按以上所述沿箭头A的方向移动时，位移件86便反抗盘簧122的弹力移动，并将隔膜72的厚壁部分76移到迎着流体通道62。另外，使第二线性音圈式位移装置134b由控制器242供电，于是开/关阀隔膜168的厚壁部分176与阀座180分开，由此流体通道62和64彼此连通。
另外，负压发生源240通常是受驱动的，因此产生的负压经第二膜80上的小孔84作用于第一膜74上。结果第一膜74被抽吸到与第二膜80接触并由第二膜80支承，并且第一膜74保持在弯曲的状态，该弯曲反向于(即离开)流体通道62(如图2B所示)。
在完成上述准备步骤之后，起动涂覆液供应源232，使涂覆液从一个管子52b经通道62、64输送到涂覆液滴注装置236，涂覆液经该装置236从喷嘴234滴注到半导体晶片230上。结果在半导体晶片230上形成需要厚度的涂层(未示出)。此时，虽然流体通道62中的涂覆液沿箭头B的方向推压隔膜72，但是因为隔膜72由第二膜80支承，所以不必担心隔膜72的厚壁部分76将会在箭头B的方向上移动。
向半导体晶片230涂上要求量的涂覆液之后，与开/关阀164相关的第二线性音圈式位移装置134b便由控制器242起动，因而杆140b沿箭头A的方向移动。如图3A所示，这使得开/关阀隔膜168的厚壁部分176与阀座180接触，因而切断通道62和64。这样便停止涂覆液从涂覆液滴注装置236的喷嘴234向半导体晶体230滴注。
在这种情况，居于已经滴注到半导体晶片230上涂覆液紧前面的涂覆液仍保留在喷嘴234内，因此有可能发生液体滴漏。为消除这种担心，控制器242起动第一线性音圈式位移装置134a，当杆140a沿箭头B的方向移动时，位移件86将在盘簧122的弹力的作用下沿箭头B的方向移动。这样便使隔膜72的厚壁部分76沿箭头B的方向移动，如图2B的实线所示，因此通过在流体通道62内产生的负压的作用将回吸在流体通道62中的预定量的涂覆液。结果，在涂覆液滴注装置236的喷嘴234中的涂覆液将沿箭头D的方向返回，由此可以防止不希望的向半导体晶片230的滴漏(见图1)。
此时，因为线性音圈式位移装置134a、134b是电气控制的，所以可以容易和准确地控制杆140a和140b位移。结果，隔膜72、168可以平滑地移动，如图4的实线所示，并且当隔膜移动时完全不会发生隔膜的过冲E，如图4的虚线所示，这种过冲在常规技术中则会发生，因为在常规技术中，隔膜的移动速度由压缩空气的压力控制。因此当例如应用开/关阀164时，可以抑制由于这种过冲而产生空气泡，并且可以防止滴注在半导体晶片230上的涂覆液的质量下降(变坏)。
另外，因为控制器242根据从第一线性音圈式位移装置134a的编码器160a输入的杆140a的位移量信号控制杆140a的位移，所以可以高度准确地控制隔膜72的位移。因此可以很准确地控制回吸阀40回吸的涂覆液的量。
另外，当隔膜72沿箭头B的方向移动时，由于在流体通道62中产生负压，所以担心会发生第一膜74向下弯曲状态的形变。但是在本实施例中，在负压供应源240的作用下在第一膜74上受到相同的抽吸力，并且因该第一膜与第二膜80紧密接触而被支承，所以第一膜74保持在适当的向上弯曲状态(见图2B)。
当需要将涂覆液再送到半导体晶片230上时，控制器242重新启动，使第二线性音圈式位移装置134b的杆140b与隔膜168的厚壁部分176整个地移动，使通道62和64连通。结果，如上所述，涂覆液输送到涂覆液滴注装置236，并从喷嘴234滴注到半导体晶片230上。此时，第一线性音圈式位移装置134a由控制器242起动，当杆140a沿箭头A的方向移动时，隔膜72的厚壁部分76与位移件86整个地沿箭头A的方向移动，将涂覆液经通道62推出。结果，在防止液体滴漏期间沿箭头D的方向从喷嘴234返回的涂覆液便沿箭头C的方向输送，涂覆液又迅速地滴注在半导体晶片230上。此时，第二膜80邻接在凸缘部108下表面上形成的曲面110上，使得第二膜80的形状保持贴合于曲面110。因此可以防止经流体通道62推出的涂覆液的量发生变化，并在开始输送涂覆液时，不必担心滴注到半导体晶片230上的涂覆液量的改变。
在本实施例中，隔膜72由引入室114中的负压抽吸，并保持向一个与隔膜72的位移方向相同的方向的弯曲状态，或具体地讲，保持向离开流体通道62的方向的弯曲状态。结果，在隔膜72受第一线性音圈式位移装置134a驱动而位移和在流体通道62中产生负压时，隔膜72不会朝着流体通道62弯曲，因而可以消除对回吸阀40回吸涂覆液量发生变化的担心。
另外，在本实施例中，与常规技术中所用的单层结构隔膜相比较，采用了由叠置的第一和第二膜74、80构成的双层结构。因为第一膜74由于负压发生源240的作用而被抽吸到与第二膜80接触，并且第一膜74的形状保持在向上弯曲的状态，所以第一膜74不会由于流过流体通道62的涂覆液施加的压力而发生形变，并且由于叠加了高度抵抗第一膜74上压力的第二膜80，所以具有高的抗压性。另外，不必担心会在隔膜本身内沉积液体，因此流过流体通道62的流体便不会变质或遭污染。
在这种情况下，如果采用粘合剂等将树脂作的膜体和橡胶膜体整个地粘接为整体而形成隔膜，则在树脂作的膜体和橡胶膜体之间的相对位移受到在树脂作的膜体和橡胶膜体之间形成的粘合表面的节制，因而妨碍压力接收表面的平滑的柔顺性。
对此问题，在本实施例中采用将树脂作的第一膜74和橡胶作的第二膜80叠置起来的方法加以解决。因此第一和第二膜74、80可以分开地独立地移动。因为隔膜保持平滑地弯曲，所以改进了这些膜的响应准确性。
另外，第一膜74的厚壁部分76卡紧在圆锥部分90和圆筒件98的内壁之间，该圆锥部分和圆筒件的内壁被作成可以由第一线性音圈式位移装置134a移动。这样在隔膜72和圆锥部分90之间不产生游隙，并可以保持隔膜72的抽吸流体量的稳定。
此外，因为采用电驱动器移动隔膜72，并且抽吸流体的隔膜72用电气控制器驱动，所以与采用压缩空气的先有技术相比，缩短了隔膜的响应时间，并可以迅速地执行从停止输送流体到回吸流体的操作。
在上述实施例中，电驱动器包括线性音圈式位移装置，然而本发明不限于此种装置。例如，可以应用包括配置在旋转直流马达或旋转步进马达的转动轴上的滚珠螺旋的线性驱动器，其中滚珠螺旋的转动可以转换成位移件的直线运动。
虽然上面已通过优选实施例的详细说明描述了本发明，但本发明决不严格地限于所述实施例，所用涂覆液的种类同样也不受限制。技术人员可以明显看出许多不违背本发明实质范围的变型。
Claims (9)
1.一种回吸阀(40)，它包括：
阀体(42)，具有在该阀体中形成的第一输送口(48)和第二输送口(50)，以及使第一和第二输送口(48、50)相互连通的流体通道(62)；
可移动的隔膜(72)，配置在上述阀体(42)内形成的室(114)中，其中，上述隔膜(72)包括第一膜(74)和叠置在上述第一膜(74)上的并具有许多孔(84)的第二膜(80)；
用于移动上述隔膜(72)的驱动器(134a)；
其中，通过起动上述驱动器(134a)使上述隔膜(72)移动，而回吸流过上述流体通道(62)的流体；并且
其中，上述第一膜(74)通过室(114)中的负压作用在上述隔膜(72)位移方向的同一方向被抽吸，该负压通过起动负压发生源(240)经配置在上述阀体(42)中的通道(116)引入到上述室(114)中，该第一膜通过在上述第二膜(80)中形成的上述孔(84)被抽吸到与上述第二膜(80)接触。
2.如权利要求1所述的回吸阀，其特征在于，上述隔膜(72)还包括围绕上述隔膜(72)的一个厚壁部分(76)外表面的圆筒件(98)，以及一个插入上述圆筒件(98)内部空间并具有一个圆锥部分(90)的螺纹部件(92)，上述圆锥部分(90)插入到在上述厚壁部分(76)上形成的横截面为V形的凹槽(88)中，其中隔膜(72)的上述厚壁部分(76)通过上述厚壁部分(76)沿径向向外方向的扩张而被支承在上述圆筒件(98)的一端。
3.如权利要求2所述的回吸阀，其特征在于还包括具有曲面(110)的凸缘部(108)，使得当上述隔膜(72)与上述圆筒件(98)一起向上述流体通道(62)移动时，上述第二膜(80)邻接上述曲面(110)并沿着上述曲面(110)受到支承。
4.如权利要求1所述的回吸阀，其特征在于，上述驱动器包括线性音圈式位移装置(134a)，该装置(134a)具有通过起动上述线性音圈式位移装置(134a)而被移动的杆(140a)，其中上述隔膜(72)与上述杆(140a)整体地移动。
5.如权利要求1所述的回吸阀，其特征在于还包括开/关阀(164)，该阀配置在上述阀体(42)中，用于建立和切断上述第一和第二输送口(48、50)之间的连通。
6.如权利要求5所述的回吸阀，其特征在于上述开/关阀(164)还包括：
开/关阀隔膜(168)，用于建立和切断上述第一和第二输送口(48、50)之间的连通；
开/关阀驱动器(134b)，用于移动上述开/关阀隔膜(168)；
其中，通过起动负压发生源(240)经配置在上述阀体(42)中的通道(188)将负压引入到配置上述开/关阀隔膜的室(187)中，并且上述开/关阀隔膜(168)沿与在上述负压作用下的位移方向相同的方向被抽吸。
7.如权利要求6所述的回吸阀，其特征在于，上述开/关阀隔膜(168)包括第一膜(170)和叠置在上述第一膜(170)一侧的第二膜(172)，其中，通过起动上述负压发生源(240)，上述第一膜(170)可经在上述第二膜(172)上形成的孔(174)被抽吸到与上述第二膜(172)接触。
8.如权利要求6所述的回吸阀，其特征在于还包括配置在上述开/关阀隔膜(168)上的围绕上述开/关阀隔膜(168)的一个厚壁部分(176)外表面的圆筒件(216)，以及插入上述圆筒件(216)内部空间中具有一个锥形部分(212)的螺纹部件(214)，上述锥形部分(212)插入到在上述厚壁部分(176)上形成的横截面为V形的凹槽(182)中，其中，上述开/关阀隔膜(168)的上述厚壁部分(176)通过上述厚壁部分(176)沿径向向外方向的扩张而被支承在上述圆筒件(216)的端部上。
9.如权利要求6所述的回吸阀，其特征在于，上述开/关阀驱动器(134b)包括线性音圈式位移装置(134b)，该线性音圈式位移装置(134b)具有可通过上述线性音圈式位移装置的作用而被移动的杆(140b)，其中，上述开/关阀隔膜(168)与上述杆(140b)成整体移动。
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