CN101603611A - 气体供给阀及部件输送装置 - Google Patents

Abstract

本发明的气体供给阀(10)设有导入气体的气体导入通道(11c)、该气体导入通道的导入开口(11e)向内部面对着的阀缸(12)、在该阀缸的内部具有可开闭上述导入开口地构成的闭塞部(15a)的阀体(15)、具有面对上述阀缸的内部的导出开口(12d)的气体导出通道(12c、11g)，及驱动上述阀体进行上述导入开口的开闭动作的压电执行机构(19)；其特征在于：至少在阀的开放时使上述导入开口与上述导出开口间的内部空间连通到外部的通气路径(12e、12f、11j)与上述气体导入通道和上述气体导出通道分别地设置。这样，能够实现气体供给阀的小型化，并减小气流喷吹开始和停止的延迟。

Description

气体供给阀及部件输送装置

技术领域

[0001]

本发明涉及气体供给阀及部件输送装置，特别是涉及适合于为了选择性地进行用于输送部件分选的气体喷吹而控制气体供给状态的场合的气体供给阀的结构。

背景技术

[0002]

一般，在部件供给器等部件输送装置(部件供给装置)中，要求按高速而且受到控制的姿势输送多个部件，但在这样的部件输送装置中，为了从部件输送通道上排除结构上的不良部件、不为正规姿势的部件，或为了将不为正规姿势的部件变换为正规的姿势，选择性地将气体喷吹到部件输送通道上的部件上。

[0003]

在将气体供给到上述那样的部件输送装置中的部件分选部的场合，为了进行气体的供给、停止，需要高速地动作的气体供给阀，例如提供出由压电执行机构驱动阀体地构成的阀结构(例如参照以下的专利文献1)。

[专利文献1]日本特开2003-10790号公报

[0004]

然而，在由上述压电执行机构驱动的气体供给阀中，当要将气体迅速地供给到部件输送通道上时，需要通过阀体的开闭部分使气流从阀的入口9高速地向阀的出口10流动，为此，需要增大压电执行机构的动作行程、阀的内部空间，确保流通截面积，或增大气体的供给侧压力，实现通过阀的内部空间的气流的高速化。可是，如增大压电执行机构的动作行程、阀的内部空间的截面积，则阀结构自身大型化，另外，当增大供给侧压力时，在阀的内部空间(阀开放时的导入开口和导出开口间的空间)发生负压，压电执行机构的驱动负荷变大，所以，无论如何都导致气体供给阀的大型化和消耗电力的增大，同时，存在由阀内部空间的残压使得在部件输送通道上的气体喷吹的开始和停止容易产生滞后的问题。

发明内容

[0005]

因此，本发明用于解决上述问题点，其课题在于实现气体供给阀的小型化，同时，减小气流喷吹的开始时刻的延迟。

[0006]

鉴于该实现情况，本发明的气体供给阀设有导入气体的气体导入通道、该气体导入通道的导入开口向内部面对着的阀缸、在该阀缸的内部具有可开闭上述导入开口地构成的闭塞部的阀体、具有面对上述阀缸的内部的导出开口的气体导出通道，及驱动上述阀体进行上述导入开口的开闭动作的压电执行机构；其特征在于：在阀的开放时使上述导入开口与上述导出开口间的内部空间连通到外部的通气路径与上述气体导入通道和上述气体导出通道分别地设置。

[0007]

按照本发明，在阀的开放时内部空间通过通气路径与外部连通，所以，即使压电执行机构的动作行程小，或通过内部空间的气流的速度高，阀的内部空间的负压的发生也受到抑制，能够减轻压电执行机构的驱动负荷，所以，能够避免气体供给阀的大型化、消耗电力的增大，同时，由于内部空间的通气阻力减小，所以，能够在阀开放时减小供给目的地的气体供给开始的延迟。另外，在使用气体供给阀将气流供给到部件输送装置的部件分选部的场合，能够通过阀的小型化而配置在喷吹气流的部件分选部的附近，所以，能够减轻气流喷吹的开始和停止的延迟。

[0008]

在本发明的一形式中，上述通气路径与阀的开闭状态无关地使上述内部空间与外部连通。这样，通气路径与阀的开闭状态无关地使内部空间与外部连通，从而在阀关闭时将内部空间的残压通过通气路径泄往外部，所以，能够减轻供给目的地的气体供给的停止延迟。

[0009]

在本发明的另一形式中，在上述阀缸内，上述闭塞部朝上述导入开口按在与上述阀缸周围内面间具有间隔的形式突出，上述通气路径在上述间隔内开口。这样，阀体的闭塞部在与阀缸的周围内面的至少一部分间具有间隔地朝导入开口突出，上述通气路径在该间隔内开口，从而使上述间隔在阀的开放时连通到内部空间，所以，即使导入开口与闭塞部间的间隔小，内部空间的容积也实质地扩大，同时，外气通过上述间隔从通气路径导入，所以，发生于内部空间的负压由通气路径有效地抑制。另外，通气路径在上述间隔内开口，从而使外气从闭塞部一侧朝内部空间导入，所以，能够提高由上述负压引起的、施加在阀体的吸引力的减轻效果。因此，即使压电执行机构的动作行程小，也能够进一步减轻驱动负荷，能够容易地避免气体供给阀的大型化、消耗电力的增大。

[0010]

在该场合，最好在前端具有上述导入开口的气体导入部按在与上述阀缸的周围内面间具有间隔的形式朝上述阀体突出，同时，上述气体导入部的前端构成为细头状。这样，能够减小气体导入部与闭塞部的相向面积，所以，能够抑制内部空间的负压的发生，所以，即使压电执行机构的动作行程小也能够进一步减轻驱动负荷。因此，能够更容易地避免气体供给阀的大型化、消耗电力的增大。

[0011]

在本发明的另一形式中，上述导出开口相对于上述导入开口的开口位置在与上述闭塞部的移动方向正交的方向开口。这样，导出开口相对于内部空间的开口位置相对于导入开口的开口位置配置在与闭塞部的移动方向正交的方向，所以，即使在阀的开放时闭塞部相对于导入开口的移动行程小，从导入开口到导出开口也不由闭塞部等遮挡，气体能够直接地流通，所以，通气阻力减小，能够提高气体供给速度。

[0012]

在本发明的不同形式中，还具有收容上述阀缸的壳体，上述通气路径包含形成在上述阀缸、使内外连通的内侧贯通孔，形成于上述阀缸的外面或上述壳体的内面、连通于上述内侧贯通孔的中间凹槽，及形成于上述壳体、使内外连通并且连通在上述中间凹槽的外侧贯通孔。这样，通气路径形成为包含内侧贯通孔、中间凹槽、及外侧贯通孔的形式，从而即使提高组装容易性、结构的自由度，也能够可靠地确保通气路径。另外，通过改变内侧贯通孔与外侧贯通孔的位置关系，能够容易地调整通气路径的通气阻力。在该场合，如后述的实施形式那样，阀缸的外面和壳体的内面都由圆筒面构成，上述中间凹槽形成为绕轴线延长的形状的凹槽(例如环状槽)，从而能够在壳体内按任意的角度收容阀缸，所以，通过在具有外侧贯通孔的壳体内改变具有内侧贯通孔的阀缸的绕轴线的角度姿势，能够更容易地改变通气路径的长度，调整通气阻力。

[0013]

在本发明中，虽然也可仅由压电执行机构的动作进行闭塞部的开闭，但例如有时还具有在闭塞部闭塞导入开口的方向对阀体施力的施力装置。在该场合，至少一部分使用施力装置的施力作用将阀关闭，所以，即使供给侧压力高，也能够减轻在压电执行机构的负荷。另外，有时还具有在闭塞部开放导入开口的方向对阀体施力的施力装置。在该场合，至少在一部分使用施力装置的施力作用开放阀，所以，能够迅速地开放阀，还能够减小向供给目的地的气体供给开始的延迟。

[0014]

在本发明中，最好具有设定上述闭塞部从上述导入开口离开的方向的上述阀体的移动极限的阀体限制装置。通过设置该阀体限制装置，设置阀体的开放动作时的移动极限，所以，防止由施力装置的施力作用、供给侧压力等使阀体过度动作而使压电执行机构破损等情况。

[0015]

另外，本发明的部件输送装置具有上述任一个所述的气体供给阀，选择地将通过该气体供给阀供给的气体喷吹到部件进行分选的部件分选部，及通过该部件分选部的部件输送通道。这样，能够避免气体供给阀的大型化、消耗电力的增大，同时，内部空间的通气阻力减小，所以，能够减小部件分选部的气体供给开始的延迟。特别是在通气路径与阀的开闭状态无关地将内部空间连通到外部的场合，内部空间的残压在阀关闭时通过通气路径泄到外部，所以，能够减小部件分选部的气体供给停止的延迟。

附图说明

[0049]

图1为气体供给阀的第1实施形式的概略纵剖面图。

图2为第1实施形式的沿图1的II-II线的概略剖面向视图。

图3为第1实施形式的沿图1的III-III线的概略剖面向视图。

图4为气体供给阀的第2实施形式的概略纵剖面图。

图5为第2实施形式的沿图4的V-V线的概略剖面向视图。

图6为模式地表示部件输送装置的构成的概略构成说明图。

具体实施方式

[0016]

下面，根据图示例说明本发明的实施形式。图1为表示本发明的气体供给阀的第1实施形式的内部结构的概略纵剖面图，图2表示与第1实施形式的图1正交的剖面的概略剖面图(图1的II-II线的剖面向视图)，图3为第1实施形式的概略剖面图(图1的III-III线剖面向视图)。

[0017]

气体供给阀10具有由金属、合成树脂等构成的壳体11，在该壳体11设置主结构部11A和延长部11B，该主结构部11A在内部具有圆柱状的凹孔11a；该延长部11B构成为从该主结构部11A朝侧方以直线状延伸的梁状，在前端部具有固定后述的压电执行机构的固定部位11b。在主结构部11A的底部，形成与上述凹孔11a连通的气体导入通道11c。该气体导入通道11c通过比凹孔11a的底面更朝图示上方突出的气体导入部11d的内部，具有在该气体导入部11d的前端(图示上端)开口的导入开口11e。气体导入部11d的前端形成为细头状(锥状)。虽然气体导入部11d在图示例中形成为柱状(前端为圆锥或圆锥台状)，但不特别限定，例如能够形成为棱柱状等任意的形状。

[0018]

在凹孔11a内收容具有沿图示垂直方向贯通的轴孔12a的圆筒状的阀缸12，该阀缸12由收容于其上部环状槽的密封圈等密封材料13使得与主结构部11A间气密地构成。在阀缸12的外面设置凹部(或凹槽)12b，由拧入到贯通形成于主结构部11A侧部的侧螺纹孔11f的固定螺钉14相对于主结构部11A保持固定。阀缸12的轴孔12a的下端具有余量地接受上述气体导入部11d。这样，在气体导入部11d与轴孔12a周围内面间设置沿全周的间隔。

[0019]

另外，在阀缸12设置与轴孔12a连通、内外贯通的横孔12c，该横孔12c与设在主结构部11A的气体导出孔11g连通，由此构成气体导出通道。该气体导出通道的导出开口12d由阀缸12的上述横孔12c的内部开口构成。

[0020]

该导出开口12d相对于导入开口11e的开口位置在与闭塞部15a的移动方向(阀缸12的轴线方向)正交的方向开口。在图示例的场合，导入开口11e的在上述移动方向看到的开口位置与导出开口12d的在上述移动方向看到的外缘位置一致(参照图1的虚线，图3也同样)，但只要在上述移动方向看到的导入开口11e的位置处于在该移动方向看到的导出开口12d的开口范围内即可。这样，导出开口相对于内部空间的开口位置相对于导入开口的开口位置配置在与闭塞部的移动方向正交的方向，所以，即使在阀开放时闭塞部相对于导入开口的移动行程小，从导入开口到导出开口也不由闭塞部等遮挡，气体能够直接地流通，所以，通气阻力减小，能够使气体的供给开始时刻提前。

[0021]

阀体15插入到轴孔12a内，该阀体15在轴孔12a内按在与阀缸12间确保气密性的状态能够自由滑动地配置。在阀体15的内端部在图示例中将由软质树脂材料等构成的密封材料15x固定在阀体15的主体。该内端部构成闭塞部15a，该闭塞部15a接触在上述导入开口11e，从而使阀成为关闭状态。阀体15与阀缸12的轴孔12a密接，在确保了气密性的状态下能够滑动地配置，但该内端的闭塞部15a按缩径、在与轴孔12a间具有间隔的形式朝导入开口11e突出地构成。在图示例的场合，闭塞部15a沿全周在阀缸12的轴孔12a的周围内面间具有间隔。

[0022]

在上述阀结构中，形成于导入开口11e与导出开口12d间的内部空间将气体导入部11d与阀缸12的轴孔12a周围内面的间隔和阀体15的闭塞部15a与阀缸12的轴孔12a的周围内面的间隔相互连通地构成。该内部空间的容积通过阀的开闭增减，但该空间自身与阀的开闭无关地时常存在。

[0023]

在阀缸12形成使轴孔12a连通到外侧的内侧贯通孔12e，在其外周形成内侧贯通孔12e开口的中间凹槽12f。该中间凹槽12f在图示例中将外周面形成为围绕轴线绕一周的环状凹槽。另外，在主结构部11A形成使凹孔11a内外连通的外侧贯通孔11j(参照图2)，该外侧贯通孔11j与上述中间凹槽12f连通。这样，上述内部空间通过由上述内侧贯通孔12e、中间凹槽12f、及外侧贯通孔11j构成的通气路径连通到外部。当构成该通气路径时，也可在凹孔11a内面上形成与内侧贯通孔12e连通的别的中间凹槽，代替形成于阀缸12的中间凹槽12f。

[0024]

在这里，内侧贯通孔12在设于上述闭塞部15a与阀缸12周围内面之间的间隔内开口。因此，通过在该间隔开口的上述通气路径使上述内部空间与外部连通。

[0025]

阀体15从阀缸12内朝图示上方延伸，在其中间部位设置伸到外侧的保持部16。该保持部16不特别限定，但在图示例中通过安装挡圈等别的构件而形成。另外，在主结构部11A的上部设置从侧方伸出到凹孔11a内的伸出部17(在图示例中为另成一体的伸出构件)，在上述保持部16与伸出部17间配置螺旋弹簧等弹性构件18。该弹性构件18为对阀体15朝阀关闭方向(图示下方，即上述闭塞部15a关闭导入开口11e的方向)施力的施力装置。阀体15的外端部15b通过设于伸出部17的开口部17a朝上方突出。在外端部15b接合从侧方伸出的压电执行机构19的驱动部19a。

[0026]

压电执行机构19包含由金属等构成的弹性板19A和接合在该弹性板19A的表背面的压电体层19B、19C，压电体层19B、19C通过在图中未示出的表背的电极施加电压而与弹性板19A一起朝图示上下方向产生挠曲地构成。在图示例中，压电执行机构19具有双压电晶片型的板状结构，但也可为仅有压电体层19B和19C中的任一方的单压电晶片型的板状结构，另外，也可具有交替地层叠压电体层与电极层的叠层型的结构。

[0027]

压电执行机构19的基端部19b固定在安装于延长部11B的固定部位11b的固定构件21上。在图示例中，固定构件21由螺栓22固定在固定部位11b。固定构件21按从在固定部位11b的安装部分伸出到形成于固定部位11b表面的凹部11h上的形式固定，在伸出到该凹槽11h上的部分将上述基端部19b夹持在与安装构件23间。固定构件21和安装构件23利用螺栓24夹压基端部19b，对其进行固定。在固定部位11b具有与上述凹槽11h连通的贯通螺纹孔11i，在该螺纹孔11i拧入固定螺钉25，固定螺钉25的前端从下方(突出到凹部11b内)对上述固定构件21进行抵接支承。通过调整固定螺钉25的位置，在上述凹槽11h上能够调整固定构件21的上下位置，因此，能够调整压电执行机构19的上下方向的安装位置(正确地说，是上下方向的安装位置和安装角度)地构成。

[0028]

压电执行机构19在将基端部19b固定在固定部位11b的状态下，前端驱动部19a连接在阀体15，通过驱动部19a与基端部19b间挠曲变形，能够在阀体15的轴线方向对阀体15进行驱动。

[0029]

在如以上那样构成的本实施形式中，在压电执行机构19未动作的状态(未通电的状态)下，阀体15在弹性构件18的弹性力的作用下朝下方移动，闭塞部15a关闭导入开口11e，所以，阀成为关闭状态。另一方面，通过压电执行机构19动作(通电)，朝上方挠曲，从而使阀体15反抗弹性构件18的弹性力朝上方移动，阀成为开放状态。因此，将压缩空气等受到加压的气体供给到上述气体导入通道11c，当阀成为开放状态时，能够从气体导出孔11g(即气体导出通道)放出受到加压的气体。

[0030]

可是，在阀体15朝上方移动、阀成为开放状态的场合，从导入开口11e流入的气体通过内部空间从导出开口12d出来，但当在内部空间的气流的速度变高时，发生负压，所以，阀体15被往下方吸引，存在对压电执行机构19施加负荷的可能性。然而，在本实施形式中，在阀的开放状态下通过上述通气路径将内部空间与外部连通，所以，产生于内部空间的负压由通过通气路径流入的外气缓和，能够减轻加在压电执行机构19的负荷。因此，即使在为了增加从阀放出的气体的量而提高供给侧压力的场合，也能够防止由上述负压导致的供给不良或压电执行机构19的破损等。

[0031]

另外，通过缓和上述负压，压电执行机构的负荷得到减轻，所以，能够避免压电执行机构的大型化，另外，为了使从阀放出的气体的量增加，增大内部空间的气体流通截面，由此还能够避免阀结构大型化，所以，能够实现气体供给阀的小型化，结果，能够将阀配置在更接近气体供给目的地的位置，所以，能够减轻气体供给的开始和停止的时刻的延迟。

[0032]

在本实施形式中，特别是由弹性构件18的弹性力使阀体15的闭塞部15a接触在导入开口11e，使阀成为关闭状态，所以，即使提高供给侧压力，也不在压电执行机构19施加负荷，能够防止压电执行机构19的损伤，还能够避免压电执行机构19的大型化。

[0033]

另外，在本实施形式中，与阀开闭状态无关地使内部空间与外部连通地构成上述通气路径。这样，如上述那样，当阀处于开放状态时，能够缓和内部空间的负压，而且，能够使气体供给的开始迅速化，此外，能够在阀关闭时使内部空间和导出开口12d侧的压力通过通气路径泄到外部，所以，能够更迅速地停止气体供给。

[0034]

另外，在本实施形式中，通气路径在阀体15的闭塞部15a与阀缸12周围内面间的间隔开口，从而与阀的开闭状态无关地时常通过通气路径将阀内部与外部连通。另外，在阀开放时，在形成于导入开口11e与导出开口12d间的内部空间发生负压的场合，从闭塞部15a侧(周围)将外气供给到该内部空间，所以，具有能够有效地减轻由该负压引起的阀体15的吸引力的效果的优点。

[0035]

在本实施形式中，弹性构件18朝阀成为关闭状态的方向对阀体15施力，当压电执行机构19不动作时成为关闭状态，即成为常型的阀。这是因为，在通常的使用形式下最好初始状态成为关闭状态，另外，如上述那样由弹性构件18的弹性力推压供给侧压力，能够减轻在压电执行机构19的负荷。另外，通过形成为常闭型，能够在阀成为关闭状态时由弹性构件18的弹性力迅速地使阀体动作，所以，还存在能够极大地提高气体供给的停止响应性的优点。但是，如愿意接受各种缺点，则也可以反抗弹性构件18的弹性力使阀成为开放状态地设定压电执行机构19的初始位置(非通电时的位置)，使通电时阀成为关闭状态，从而成为常开型的阀。

[0036]

而且，虽然在本实施形式中不特别希望这样，但也可使得能够改变主结构部11A与阀缸12的绕轴线的角度地构成。在该场合，沿内侧贯通孔12e的外侧开口与外侧贯通孔11j的内侧开口间的凹槽12f的距离变化，通气路径的路径长度变化，所以，能够容易地调整通气阻力。在这里，通过使凹部12b为凹槽状等，能够由固定螺钉14在任意的角度位置固定阀缸12。

[0037]

下面，参照图4和图5说明本发明第2实施形式的气体供给阀10′。图4为表示第2实施形式的结构的概略纵剖面图，图5为表示第2实施形式的与图4正交的剖面的概略纵剖面图(图4的V-V线剖面向视图)。第2实施形式的概略剖面图与图3大体相同。另外，在第2实施形式中，对与第1实施形式相同的部分采用相同符号，省略它们的说明。

[0038]

在该第2实施形式的气体供给阀10′中，设置作为朝成为阀开放状态的方向对阀体15′施力的施力装置的弹性构件18′，代替第1实施形式的弹性构件18。该弹性构件18′配置在主结构部11A的凹孔11a的底部与阀体15′的闭塞部15a′间，朝图示上方抬起阀体15′地作用。因此，该第2实施形式在压电执行机构19不动作的场合由弹性构件18′的弹性力将阀体15′抬起，使阀成为开放状态，为此，成为常开型的阀。在该实施形式中，由压电执行机构19的动作反抗弹性构件18′的弹性力使阀成为关闭状态，但当阀成为开放状态时由弹性构件18′的弹性力使气体的供给迅速开始，所以，具有能够极大地提高气体供给开始时的响应速度的优点。

[0039]

另外，在该第2实施形式中，使压电执行机构19的驱动部19a接触在阀体15′的外端部15b′的端面(图示上面)。这是因为，在本实施形式中，如上述那样，由弹性构件18′朝使阀体15′成为阀开放状态的方向施力，所以，压电执行机构19的驱动部19a形成为从阀体15′时常朝图示上方受到应力的状态，从而使得不需要将驱动部19a固定在阀体15′。其中，也可由粘接等将驱动部19a固定在阀体15′。这样，简单地使驱动部19a接触在阀体15′，即可防止从阀体15在压电执行机构19作用其轴线方向以外的其它方向的应力。

[0040]

而且，在本实施形式中，作为阀体限制装置的限制部(在图示例中为限制构件)16′伸出到阀体15′的外周。该保持部16′用于防止阀体15′朝图示上方超过需要地突出而对压电执行机构19产生损伤。

[0041]

在上述各实施形式中，设有在阀体15的移动方向(阀的开闭方向)对阀体15施力的弹簧构件(弹簧)，但也可不设置该弹性构件地构成。例如，在第1实施形式中，也可省略弹性构件18，作为其替代结构，当阀关闭时使压电执行机构19的驱动部19a朝下方推压阀体地构成。在该场合，例如能够在压电执行机构19的非驱动状态下由驱动部19a朝下方推压阀体15而使阀关闭地构成，另外，也能够对压电执行机构19通电，由其驱动力使驱动部19a推压阀体15地构成。在所有的场合，解除对上述阀体15的推压状态，从而由气体的供给使阀体15移动，使阀成为开放状态。此时，由压电执行机构19的驱动力使驱动部19a在开阀方向变形而将阀开放，由此使得能够更高速地供给气体，能够使气体的供给开始时刻提前。

[0042]

下面，说明将上述实施形式用于部件输送装置的部件分选部的例子。图6为包含上述各实施形式的气体供给阀10、10′的部件输送装置1的概略部分说明图。在该部件输送装置1中，在固定于励振机构2上的振动体3固定具有部件输送通道4a的输送体4。作为励振机构2，只要为使用电磁螺线管的电磁振动器、使用压电执行机构的压电振动器等在输送方向(与图6的纸面正交的方向)发生预定频率(在输送电子部件等小输送物的场合，通常为50～300Hz左右)的往复振动，则不特别限定。

[0043]

在部件分选部4X设置用于判别部件输送通道4a上的部件P的有无、良否、姿势等的传感器(光检测器等)4c，并设有根据该传感器4c的检测信号进行判别的判别部4d。判别部4d判别是否在部件分选部4X向部件输送通道4a的部件P喷吹气体、喷吹时刻是否正确等，控制气体供给阀10、10′。具体地说，作为该控制的内容，决定是否向上述压电执行机构19输送驱动信号，或输送什么样的驱动信号。该气体的喷吹用于从部件输送通道4a上排除部件P，使部件输送通道4a上的部件P翻转而改变姿势，或使部件输送通道4a上的部件P移动到别的输送通道上等目的。

[0044]

从压缩机5等通过供气管6将压缩空气供给到部件输送装置1，压缩空气通过流量调整器7供给到上述气体供给阀10、10′的气体导入部。然后，气体供给阀10、10′的气体导出部通过供气管8连接到设于上述输送体4的供气路径4b。供气路径4b在上述部件输送通道4a通过的部件分选部4X中在部件输送通道4a的输送面的一部分开口。通过使气体供给阀10、10′为开放状态，能够将气流喷吹到在部件输送通道4a上输送来的部件P。

[0045]

在部件输送通道4a上，在高速地进行部件输送的场合，由于多个部件P成列地输送来，所以，需要高速地按高响应速度在部件分选部4X进行上述气流的喷吹的开始和停止。例如，当气流喷吹的开始延迟时，不能在特定的部件P喷吹气流，当气流的喷吹的停止延迟时，在特定部件P以外的其它部件P也喷吹了气流，部件的分选精度恶化，对部件供给形成致命的障碍，而且输送效率也下降。

[0046]

在上述各实施形式的气体供给阀10、10′中，作为气体供给阀10、10′自身的结构，在阀的开放状态下通过通气路径将内部空间与外部连通，从而能够缓和内部空间的负压的发生，能够实现气体供给的效率化，实现阀结构的小型化，同时，能够迅速地进行气流喷吹的开始。因此，由阀结构的小型化使得能够设置在接近部件分选部4X的场所，同时，提高阀功能，从而能够减小部件输送通道4a上的气流喷吹的开始和停止的延迟，确保对于部件P的分选的高响应性。

[0047]

在本发明中，通过使用压电执行机构，能够相对于以往的电磁阀等获得十分之一以下(数msec或其以下)的高速响应，同时，能够根据具有通气路径的阀结构减小气体的供给开始和供给停止的延迟，所以，在气体供给切换时能够实现非常高的实质的响应性，非常适合作为将气体供给到部件输送装置的部件分选部的气体供给阀。

[0048]

本发明的气体供给阀和部件输送装置不限定于上述图示例，当然能够在不脱离本发明要旨的范围内施加各种变更。例如，上述压电执行机构19具有板状结构，在其延伸方向产生挠曲变形，由前端的驱动部19a在轴线方向对阀体15进行驱动，作为压电执行机构，不限于上述那样的结构，也可形成为使块状压电体在厚度方向变形，在轴线方向上推压阀体15的结构等，采用各种结构。

Claims (6)

1.一种气体供给阀，设有导入气体的气体导入通道、该气体导入通道的导入开口向内部面对着的阀缸、阀体、具有面对所述阀缸的内部的导出开口的气体导出通道，及驱动所述阀体进行所述导入开口的开闭动作的压电执行机构；所述阀体在该阀缸的内部具有可开闭所述导入开口地构成的闭塞部，其特征在于：

在阀的开放时使所述导入开口与所述导出开口间的内部空间连通到外部的通气路径与所述气体导入通道和所述气体导出通道分别地设置。

2.根据权利要求1所述的气体供给阀，其特征在于：在所述阀缸内，所述闭塞部朝所述导入开口按照在与所述阀缸的周围内面间具有间隔的形式突出，所述通气路径在所述间隔内开口。

3.根据权利要求2所述的气体供给阀，其特征在于：在前端具有所述导入开口的气体导入部按照在与所述阀缸的周围内面间具有间隔的形式朝所述阀体突出，而且，所述气体导入部的前端构成为细头状。

4.根据权利要求1～3中任何一项所述的气体供给阀，其特征在于：所述导出开口相对于所述导入开口的开口位置在与所述闭塞部的移动方向正交的方向开口。

5.根据权利要求1～4中任何一项所述的气体供给阀，其特征在于：具有阀体限制装置，该阀体限制装置设定所述闭塞部从所述导入开口离开的方向的所述阀体的移动极限。

6.一种部件输送装置，其特征在于：具有根据权利要求1～5中任何一项所述的气体供给阀、选择地将通过该气体供给阀供给的气体喷吹到部件上进行分选的部件分选部，及通过该部件分选部的部件输送通道。

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