CN102248780A - 液体喷射单元以及液体喷射装置 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供一种能够防止在调节流路部件的薄膜上产生折皱的液体喷射单元以及液体喷射装置。其中，在调节流路部件中被薄膜覆盖的一面，设置有：连通路(69)、将第1过滤器(52)配置在内部的第1过滤室(66)、配置于压力室和连通路之间的空室(70)。薄膜以在之间隔有空室的状态下从第1流路遍及至第2流路，并被贴附到压力室、空室以及连通路的各自的一面，并且在薄膜中与空室对置的区域形成有容许薄膜拉伸的脆弱部(87)。

Description

液体喷射单元以及液体喷射装置

技术领域

本发明涉及具有喷墨式记录头等的液体喷射头的液体喷射单元以及液体喷射装置。

背景技术

作为通过使压力室内的液体产生压力变动，而以液滴的形式从喷嘴喷射的液体喷射头具有如下的液体喷射头，例如，具有如下的喷射头，即、用于喷墨记录装置(以下，单指打印机)等的图像记录装置的喷墨式记录头(以下，单指记录头)、在液晶显示器等的彩色滤光片的制造中使用的色材喷射头、有机EL(Electro Luminescence)显示器、在FED(面发光的显示器)等的电极形成中使用的电极材料喷射头、在生物芯片(生物化学元件)制造中使用的生物体有机物喷射头等。

例如，在上述的记录头中，将封入液体状墨的墨盒(液体供给源的一种，以下单指墨盒)内的墨经由记录头的储液室(共通液室)导入压力室，驱动压电振子、发热元件等压力发生机构对压力室内的墨施加压力变动，且利用该压力变动，从与压力室连通的喷嘴喷射墨。对该构成的记录头而言，也有与设置于从墨盒向记录头供给墨的流路的中途的流路形成部件(也称之为自封闭单元或调节流路部件)组合而构成喷墨头单元(例如，参考专利文献1)。该流路形成部件在其内部的流路中途设置有开闭阀(也称之为自封闭阀。)，且该流路的一部由较薄的薄膜封闭。并且，墨滴从记录头的喷嘴喷射从而储液室的内部变成负压，伴随于此薄膜按压开关阀向打开方向弯曲，由此，开关阀被打开将来自墨盒的墨供给记录头的储液室侧。

另外，提出有如下的记录头，即、在流路形成部件中，为了防止流路内的异物和气泡流入记录头侧，而在流路的中途配置有过滤器。并且，在从记录头的喷嘴强制地排出墨和气泡的清洗动作时，若比过滤器更靠上游侧的过滤室内减压，则薄膜向内侧变形从而缩小墨的流路，由此可轻易地排出气泡。像这样构成的记录头是能够防止滞留在流路形成部件内的气泡堵塞过滤室的结构。并且，还提出有如下方案，即、为了在清洗中负压作用时使薄膜容易向过滤器一侧变形，而在将与过滤器对应的薄膜的部分进行积极地弯曲的状态下，通过超声波熔敷和热熔敷使该薄膜熔敷于流路形成部件。

【专利文献1】日本专利特开2009-184202号公报

可是，当上述流路形成部件的一面熔敷薄膜时，在向过滤器的一侧弯曲薄膜的状态而接合时，在过滤室以外的区域薄膜被拉入到过滤室侧，从而有时会在薄膜上产生折皱。若流路上的薄膜起了折皱，则有可能导致在该折皱形成部分留存气泡。此外，由于近年来记录头的小型化，因在薄膜产生折皱而捕捉气泡的问题变得更显著。

发明内容

本发明鉴于这样的事情而完成的，其目的在于提供一种能够防止在调节流路部件的薄膜上产生折皱的液体喷射单元，以及液体喷射装置。

为了实现上述目的，本发明的液体喷射单元，具有：

液体喷射头，其从喷嘴喷射液体；

调节流路部件，其配置在上述液体喷射头的上游侧，接受来自液体供给源的液体并供给至上述液体喷射头侧，

在上述调节流路部件的至少一面形成有第1流路和第2流路，且该第1流路和第2流路是以在两者之间设置有空室的状态形成的，在第1流路中配设有对液体进行过滤的第一过滤器，在第2流路的中途配设有第2过滤器，并且在上述调节流路部件的至少一面贴附薄膜，通过该薄膜，使上述第1流路、上述第2流路以及上述空室以分别相互独立的状态被封闭；

在上述薄膜的与上述空室对置的区域形成有容许薄膜拉伸的脆弱部。

根据上述结构，在以使与第1流路对应的部分向内侧弯曲的状态将薄膜贴附于调节流路部件时，或在与第1流路对应的薄膜受到负压而向内侧弯曲时，脆弱部容许薄膜的拉伸，所以能够抑制张力延及到第2流路。由此，能够抑制在薄膜中与第2流路对置的区域产生折皱。其结果，能够防止因折皱使得气泡被捕捉。

在上述构成中，优选地，使脆弱部沿与上述第1流路、上述第2流路以及上述空室的排列方向交叉的方向设置。

根据上述构成，因为脆弱部沿与第1流路和第2流路和空室的排列方向交叉的方向而设置，所以能够轻易地吸收第1流路和第2流路和空室的排列方向的张力。由此，在薄膜中与第1流路和第2流路对置的区域，更能够抑制折皱的产生。

在上述构成中，可采用如下构成，即、上述脆弱部是由沿与上述排列方向交叉的方向而形成的狭缝构成的。

根据上述结构，因为脆弱部是由沿与排列方向交叉的方向形成的狭缝构成的，所以能够容易地在薄膜上形成脆弱部。此外，在薄膜上产生张力时脆弱部易变形，且即使在变形时也很难产生折皱。

在上述构成中，也可以采用如下构成，即、上述脆弱部是由沿与上述排列方向交叉的方向排列设置的多个贯通孔构成的。

在上述构成中，优选地，上述薄膜以该薄膜中与上述第1流路对置的区域能够根据上述第1流路内的压力变化而弯曲的状态被贴附于上述调节流路部件，

上述脆弱部形成于上述空室中的相比上述第2流路而言更偏向上述第1流路侧的位置。

根据上述构成，因为脆弱部形成于空室中比第2流路更偏向于第1流路侧的位置，所以能够确实地抑制与第2流路对置的区域产生折皱。

另外，本发明的液体喷射装置的特征在于，具有：

上述各构成的液体喷射单元；

对向上述调节流路部供给的液体进行积存的液体供给源。

附图说明

图1是对打印机的构成进行说明的俯视图。

图2是对墨喷射单元构成进行说明的立体图。

图3是记录头的主要部分剖视图。

图4是调节路流部件的立体图。

图5是调节流路部件的俯视图。

图6是图4中的X-X线剖视图。

图7是图4中的Y-Y线剖视图。

图8是对脆弱部的构成进行说明的扩大图。

图9是对熔敷工序进行说明的简要剖视图。

图10是对在另一个实施方式中的脆弱部的构成进行说明的扩大图。

符号说明

1...打印机；2...液体喷射单元；13...墨盒；20...记录头；21...调节流路部件；22...薄膜；43...喷嘴；50...导入流路部件主体；52...第1过滤器；53...第2过滤器；62...划分部；65...自封闭阀；66...第1过滤室；67...压力调整室；70...空室；87...贯通孔；88...脆弱部；94...狭缝。

具体实施方式

以下，参照附图等对用于实施本发明的最佳方式进行说明。在以下所述的实施方式中，作为本发明优选的具体例子，进行了各种限定。但是，本发明的范围，在以下的说明中只要没有特别限定本发明的记载，就不限于这些具体列子。另外，在本实施方式中，作为液体喷射头的一例，例举了搭载于作为液体喷射装置的一种的喷墨式记录装置的喷墨式记录头(以下称之为“记录头”)来进行说明。

图1是表示搭载墨喷射单元10(图2)的喷墨式记录装置(以下称为打印机)的结构的俯视图。例示的打印机1是对记录纸等的记录介质(命中对象：未图示)的表面喷射液体状的墨(本发明相当于液体)进行记录图像等的装置。该打印机1具有框架2、配设于该框架2内的稿台3，通过因送纸马达的驱动而旋转的送纸辊(均未图示)，将记录纸输送到稿台3上。另外，框架2内与稿台3平行地架设有导杆4，在该导杆4上以可滑动的方式支承有滑架5，该滑架5对具有记录头20的墨喷射单元10进行收容。在通过脉冲马达6的驱动而旋转的驱动带轮7和设置于框架2的与该驱动带轮7相反侧的空转带轮8之间架设了同步带9，该滑架5与该同步带9连接。并且，通过驱动脉冲马达6，使滑架5沿导杆4在和送纸方向正交的主扫描方向往返移动。

在框架2的一侧设置有以可拆装的方式搭载墨盒13(液体供给源的一种)的盒座14。墨盒13经由空气管15与气泵16连接，来自该气泵16的空气供给各墨盒13内。并且，由该空气导致墨盒13内的加压，从而通过墨供给管17向墨喷射单元10侧供给(压送)墨。

墨供给管17是例如使用硅酮等的合成树脂制作的具有可挠性的中空部件，该墨供给管17的内部形成有与各墨盒13对应的墨流路。此外，在打印机1主体侧和墨喷射单元10侧之间，配设有用于从打印机1主体侧的控制部(未图示)向墨喷射单元10侧传输驱动信号等的FFC(挠性带状电缆)。

另外，关于墨喷射单元10的构成进行说明。此处，图2是安装在滑架5上的墨喷射单元10的立体图，图3是墨喷射单元10的记录头20的主要部分剖视图。例示的墨喷射单元10具有：记录头20(相当于本发明中的液体喷射头)，该记录头具有形成有喷嘴43的喷嘴形成基板36；调节流路部件21，该部件配置于记录头20的上部，即记录头20的上游侧。

记录头20是由记录头外壳25、振子单元26、流路单元27以及驱动基板28构成。记录头外壳25是中空箱体状部件，其前端面(下面)固定有流路单元27，在形成于壳内部的收容空部12内收容有振子单元26，在和前端面相反侧的上面侧配置有驱动基板28和液体导入流路部件21。该记录头外壳25的上面即是记录头20的基端面。另外，记录头外壳25的内部，贯通其高度方向形成有外壳流路34。该外壳流路34是为了将来自液体导入流路部件21侧的墨供给到共通墨室40而设置的流路，且对于一个共通墨室40各设置了2条该流路。在本实施方式中的记录头10与2条的喷嘴列(喷嘴群)对应且具有2个共通墨室40，合计4条外壳流路34形成于记录头外壳25的内部。并且，记录头外壳25的上面作为各外壳流路34的上游端突设有流入开口部35。调节流路部件21的墨导入路51经由连接孔59与该流入开口部35连接。

振子单元26是由排列设置为梳齿状的多个压电振子31、用于将来自驱动基板28的驱动信号供给到该压电振子31的挠性电缆32(配线部件)、固定压电振子31的固定板33构成。压电振子31与隔开压力室42的一部分的可挠面(振动板38)接合。并且，该压电振子31通过施加驱动信号而伸缩并对压力室42的容积进行膨胀或收缩，从而使压力室42内的墨产生压力变动，通过控制该压力变动能够使喷嘴43喷射墨。

流路单元27是通过如下的方式制作而成，即、将开设有喷嘴43的喷嘴形成基板36、形成墨流路的流路形成基板37、封闭流路形成基板37的开口面的振动板38以层叠状态将它们接合在一起并使他们成为一体，从而构成了流路单元27，流路单元27是形成从共通墨室40通过墨供给口41和压力室42至喷嘴43为止的一连串的墨流路(液体流路)的单元部件。从共通墨室40分支出的压力室42针对于每一个喷嘴43而形成，且从调节流路部件21侧经由外壳流路34和共通墨室40供给墨。该流路单元27以使喷嘴形成基板36朝向下侧(打印机主体的稿台3侧)的姿势与记录头外壳25的前端面接合。

驱动基板28一端通过焊接等的方法与挠性电缆32电接，另一端连接来自打印机主体侧的FFC18，通过该FFC从控制部侧接受驱动信号，使该驱动信号通过挠性电缆32向压电振子31侧供给。该驱动基板28由设置于调节流路部件21的基板保持部56内来保持姿势，该基板以相对于记录头外壳25的上面竖起且基板面与喷嘴列方向平行的状态而配置于记录头外壳25的上面的中央部。

此外，对将墨盒7内的墨导入记录头20的调节流路部件21的结构进行说明。图4是调节流路部件21的立体图，图5是调节部件21的俯视图，图6是图4中的X-X线剖视图。

调节流路部件21大致由下述部件构成，即、由使用合成树脂等在喷嘴列方向成型为长的长方体状的导入流路部件主体50、形成于该导入流路部件主体50的内部、第1面和第2面，且向记录头20供给墨的墨导入路51(相当于本发明的流路)、配置在墨导入路51的中途的过滤器52、53构成。该调节流路部件21以相对于喷嘴面竖起的姿势且以重叠的状态配置于记录头外壳25的上面(记录头20的基端面)，使从记录头20侧插入到形成于长度方向两端的固定孔57的螺丝54与螺母55旋固，来对该调节流路部件21进行固定。

在导入部件主体50且上面的长度方向的两侧分别形成有经由衬垫(未图示)与墨供给管17连接的墨导入孔58。在下面的长度方向的两侧形成有与记录头20的流入开口部35连接的连接孔59，且相对于一个墨导入孔58形成有一对连接孔，合计4个连接孔，包括墨导入路51的一连串的流路形成于各自的墨导入孔58和连接孔59之间。即，在本实施方式中的导入部件主体50，与2个墨导入孔58相对应，以互相独立的状态形成有2个墨导入路51。另外，在导入流路部件主体50的中央部设置有上下贯通的基板保持部56，对插通于基板保持部56的驱动基板28进行保持。

供给到一个(在图5、6的左侧)的墨导入孔58的墨，首先如图5中箭头A所示，通过内部流路51a，朝向图5的上侧，通过如图4、6所示的连通口63，流入形成于第1面的50a的第1过滤室66。流入第1过滤室66的墨通过配置在该第1过滤室66的第1过滤器52且被过滤之后，沿着内部通路51a朝向图5的下侧，在后述的自封闭阀65打开时，流入形成于第2面的50b的压力调整室67。流入第2压力调整室67的墨，通过上下一对的连通路64a、64b朝向纵流路69，且沿该纵流路69流下而流入第2过滤室68。流入第2过滤室68的墨通过设置于该第2过滤室68的第2过滤器53而被过滤后，分别朝向连通于该第2过滤室68的2个连接孔59，从这些连接孔59通过记录头20的流入开口部35，被供给到外壳流路34。

同样，被供给到另一个(图5、6的右侧)墨导入孔58的墨，如图5的箭头B所示，通过内部流路51b，朝向图5的下侧，通过连通口63流入形成于第2面的50b的第1过滤室66，通过第1过滤器52后，沿内部流路51b朝向图5的上侧，在自封闭阀65打开时，流入形成于第1面的50a的压力调整室67。流入第2压力调整室的墨，通过上下一对的连通路64a、64b朝向纵流路69，且沿该纵流路69流下并流入第2过滤室68。流入到第2过滤室68的墨通过设置于该第2过滤室68的第2过滤器53而被过滤后，分别朝向连通于该第2过滤室68的两个连接孔59，从这些连接孔59通过记录头20的流入开口部35，被供给到外壳流路34。

在导入部件主体50的两侧面，即第1面的50a和第2面的50b由从各面突出的划分壁、划分突棱等划分部62分别形成面流路，且该面流路构成了墨导入路51的一部分。形成于各面的50a、50b的面流路成为通过导入部件主体50的基板保持部56的中心且以垂直于上下面的假想中心轴呈旋转对称的关系。面流路由第1过滤室66、压力调整室67、沿导入部件主体50的高度方向形成的纵流路69、连通压力调整室67和纵流路69之间的上下一对的连通路64a、64b、设置于纵流路69的下侧的第2过滤室68组成。在该面流路中，第1过滤室66是2个墨导入路51中的一个流路的一部分，相当于本发明中的第1流路。另外，在面流路中，压力调整室67、连通路64a、64b、纵流路69以及第2过滤室68是2个墨导入路51中的另一个流路的一部分，纵流路69相当于本发明中的第2流路。另外，在第1过滤室66和纵流路69之间设置有空室70。该空室70是由分别划分第1过滤室66、纵流路69、第1过滤室66的划分部62围起来的区域，且与任意一个墨流路51也不连通，而是成为从这些流路独立出的空间。即墨不流入该空室70。

导入部件主体50的第1面50a以及第2面德50b分别贴附具有可挠性的较薄的薄膜22。该薄膜22，如后述那样，通过热熔敷或超声波熔敷而与划分部62的端面接合。第1过滤室66、压力调整室67、连通路64a、64b、纵流路69、第2过滤室68以及空室70的各开口面通过该薄膜22被封闭。换言之，第1流路、第2流路以及空室70通过薄膜22分别以互相独立的状态被封闭。

图7是图4中的Y-Y线的剖视图。第1过滤室66是通过连通空部71而与设置于另一侧面的压力调整室67连通的俯视大致矩形状的空部。该第1过滤室66配置于墨导入路51中且比第2过滤室68更上游侧。第1过滤室66的底部形成有以堵塞连通空部71的状态来安装弹簧座73的弹簧座安装阶梯部74、在该弹簧座安装阶梯部74的面方向外侧形成有浅一级的过滤器安装阶梯部75。在过滤器安装阶梯部75沿第1过滤室66的平面形状呈框状地形成有过滤器安装棱76。并且，第1过滤器52以与导入部件主体50的两侧面平行的姿势，熔敷固定于过滤器安装棱76的前端部。压力调整室67是收容后述的受压板77的空部。该压力调整室67的底部开设了供自封闭阀65的轴部78插通的插通孔79。

此处，对自封闭阀65进行说明。自封闭阀65进行如下的动作，即、记录头20从喷嘴43喷射墨而使得共通墨室40的压力下降，伴随于此，调节流路部件21内的压力相对于外部气压相对的下降时，自封闭阀65打开而容许墨从第1过滤室66向压力调整室67侧流通。即，在处于在规定压力下，墨从墨导入孔58被供给的状态的情况下，当记录头20的共通墨室40积存了足够的墨时，自封闭阀65成为了关闭状态。并且若墨从喷嘴43喷射使得比自封闭阀65更下游侧的压力下降，则因伴随于此产生的负压力使得自封闭阀65成为打开状态从而墨被供给。

如图7所示，在本实施方式中的自封闭阀65具有轴部78、和轴部78一体形成于轴部78的一端侧的圆板部80。轴部78插通于形成于压力调整室67的插通孔79。此外，圆板部80和后述的弹簧81一起收容于连通空部71内。在圆板部80的插通孔79侧遍及插通孔79的周围且朝向插通孔79侧以成为凸起的方式设有凸部83。圆板部80的背面(第1过滤器52侧的面)连接弹簧81(施力部件的一种)的一端，弹簧81的另一端连接弹簧座73。如上所述，弹簧座73固定于第1过滤室66的底面部，弹簧座73形成有可供墨流通的流通孔82。弹簧81对自封闭阀65向薄膜22侧施力。在压力调整室67内的压力与外部气压相比没有显著的下降时，由该弹簧81施力，使得圆板部80的凸部83与插通孔79的周缘部抵接并维持自封闭阀65的关闭状态。另外，在压力调整室67设置有受压板77，且受压板77以与轴部78抵接的方式设置。受压板77在本实施方式中没有固定于薄膜22。即，在本实施方式中，伴随压力的下降，薄膜22向第1过滤器52侧位移时薄膜22与受压板77抵接，从而当受压板77和薄膜22同时向第1过滤器52侧位移，所以受压板77通过位移而与自封闭阀65抵接从而使自封闭阀65移动。

在本实施方式中，因为受压板77未固定于薄膜22，为了使受压板77稳定地位移，在压力调整室67，且在插通孔79的周围壁面状的形成有限制受压板77位移的限制部件84a。并且，与限制部件84a嵌合的限制部件84b以围绕限制部件84a的方式，且遍及限制部件84a的周围设置于受压板77的限制部件84a侧。即受压板77动作时，限制部件84b与限制部件84a嵌合，受压板77能够稳定地动作，由此，也能够使自封闭阀65稳定地动作。此外，在该情况下，限制部件84a、84b分别设置有狭缝状开口(未图示)，自封闭阀65成为打开状态时，墨能够经由该狭缝状开口流通于限制部件84a、84b。

若向压力调整室67内作用负压，即，因墨的喷射而使压力调整室67内的压力比外气压低，则薄膜22向第1过滤器52侧位移，一边克服弹簧81的作用力一边经由受压板77使自封闭阀65向第1过滤器52侧移动从而使自封闭阀65成为打开状态。由此，容许从第1过滤室66侧向压力调整室67侧流入墨。

另外，薄膜22将设置有第1过滤器52的第1过滤室66封闭，在该第1过滤室66上的薄膜22也不再作用负压(或是很小，以下，同样。)的状态下，薄膜22以向第1过滤器52侧弯曲的状态而设置。换言之，第1过滤室66上的薄膜22在不作用负压的状态下是曲面状。像这样第1过滤室66上的薄膜22也以弯曲的方式设置，从而在进行对记录头20的喷嘴43给予负压而从该喷嘴43强制地排出墨和气泡的清洗动作后，能够抑制残留于第1过滤室66中的气泡。

如图8(a)所示，在该薄膜22中与空室70对置的区域，沿纵方向，即、沿与作为第1流路的第1过滤室66、作为第2流路的纵流路69、空室70的排列方向(横向)交叉的方向形成有容许薄膜22拉伸的脆弱部88。在本实施方式中的脆弱部88由纵方向排列的多个贯通孔87构成为点线状。此外，该贯通孔87的排列设置位置是在与空室70对应的区域中相比纵流路69更偏向于第1过滤室66侧的位置。并且，在薄膜22中，相邻的贯通孔87彼此之间的部分比其他部分更脆弱。通过设置这样的脆弱部88，如后述那样，当将薄膜22熔敷于导入部件主体50的两面时，或与第1过滤室66对应的区域的薄膜22向第1过滤器52侧弯曲时，如图8(b)所示，相邻的贯通孔87彼此之间的脆弱部分变形，从而容许薄膜22的拉伸。另外，图4中虽未表示薄膜22，但是表示了构成脆弱部88的贯通孔87。

此处，在第1过滤器52会有气泡被捕获，若该捕获的气泡聚集使第1过滤室66的第1过滤器52堵塞，则第1过滤器52的有效面积减少，所以打印机1定期地进行像上述那样的排除气泡的清洗。在该清洗中，将记录头20的喷嘴形成基板36的喷射侧的面用罩部件11等进行封闭，使泵动作从而使罩部件11内产生负压并对喷嘴43作用负压，从该喷嘴43吸引墨，并消除气泡。在该情况下，将清洗时的第1过滤室66的容积减小在减少清洗后产生的气泡的量的方面是有效的。原因是，在清洗时当从第1过滤室66吸引墨时存在于第1过滤室66内的空气会在清洗完了后变成气泡。因此，在本实施方式中，预先以不对封闭第1过滤室66的薄膜22作用负压的状态使薄膜22弯曲，从而与封闭第1过滤室的薄膜受到张力(张紧力)的状态的以往的调节流路部件相比，能够在清洗时减小第1过滤室66的容积(由第1过滤室66和薄膜22划分而成的空间的容积)。即，在以往的调节流路部件中，因为处于对于封闭第1过滤室的薄膜施加张力的状态，所以即使清洗时作用负压，薄膜也很难下陷到更下游侧，第1过滤室的容积在清洗时和平常时几乎没有变化。相对于此，在本实施方式中，由于在作用负压前的状态下封闭第1过滤室66的薄膜22已弯曲，所以清洗时容易下陷到下游侧(第1过滤器52侧)。此外，因为薄膜22是弯曲的状态，所以与薄膜受到张力的状态相比很难受到反作用力，薄膜22容易下陷到更下游侧。由此，因为与以往相比能够减小第1过滤室66的容积，能够减少清洗后残留的气泡的量，所以能够有效地使用第1过滤器52。另外，在本实施方式中，如上所述，薄膜22中与空室70对置的区域形成有脆弱部88，所以清洗时作用了负压而使得与第1过滤室66对置的区域的薄膜22向第1过滤器52侧弯曲，从而即使薄膜22整体向第1过滤室66侧拉伸，由于脆弱部88会容许薄膜22变形，所以薄膜22被拉时的张力很难延及到纵流路69侧。因此，与纵流路69相对应区域的薄膜22很难产生拉伸折皱。其结果是防止纵流路69内的气泡被折皱卡住、捕捉，能够提高清洗时纵流路69内的气泡排出性。另外，因为脆弱部88的贯通孔87是沿着与作为第1流路的第1过滤室66、作为第2流路的纵流路69、空室70的排列方向(横向)交叉的方向而设置的，所以能够轻易吸收排列方向的张力。由此，能够确实地对折皱的产生进行抑制。

可是，若预先薄膜22中对第1过滤室66进行封闭的区域在不作用负压的状态下未弯曲，则如上所述进行清洗时薄膜22无法向第1过滤室66侧下陷并减小第1过滤室66的容积。于是，将薄膜22熔敷于导入流路部件主体50时，以使第1过滤室66上的薄膜22弯曲的状态将该薄膜22熔敷于导入流路部件主体50。以下，进行详细的说明。

首先，如图9所示，将导入流路部件主体50收容于未图示的夹具，以相对于该导入流路部件主体50定位的状态将薄膜用基材22′载置于夹具上(载置工序)。在薄膜用基材22′上以与导入流路部件主体50的侧面大致相同的形状形成有未图示的点线。此外，在薄膜用基材22′中与空室70对置的区域用打孔机等形成贯通孔87而预先形成脆弱部88，并且以使由上述点线围绕的区域与导入流路部件主体50的侧面一致的方式，通过未图示的定位销将薄膜用基材22′定位在夹具上。之后，使与第1过滤室66对应的薄膜用基材22′的部分处于向第1过滤器53侧弯曲的状态(薄膜变形工序)，在该状态下，将薄膜用基材22′熔敷(固定)于导入流路部件主体50的侧面(熔敷工序)。即，如图9所示，由按压部件91按压薄膜用基材22′使之向第1过滤器52侧弯曲，并且由加热部件92覆盖熔敷区域加热薄膜用基材22′使之熔敷于侧面的划分部62，从而对薄膜用基材22′以在第1过滤室66上弯曲的状态进行熔敷。这样，能够以不作用负压的状态使第1过滤室66上的薄膜22弯曲。

此时，若在使与第1过滤室66对应的部分的薄膜用基材22′弯曲的状态下，将薄膜整体熔敷于导入流路部件主体的侧面，则在第1过滤室66以外的区域薄膜用基材22′被拉入到第1过滤室66侧而很容易产生折皱，而若在流路上的薄膜上产生折皱，则在该折皱形成的部分就会聚集气泡。但在本实施方式中，在薄膜22中与空室70对置的区域形成有脆弱部88，所以熔敷时，即使与第1过滤室66对置的区域的薄膜22向第1过滤器52侧弯曲，通过脆弱部88容许薄膜22变形，所以被拉时的张力很难延及到纵流路69侧。因此，特别是在与纵流路69对应的区域的薄膜22很难产生拉伸折皱。结果能够防止纵流路69内的气泡被折皱卡住而被捕捉。另外，在本实施方式中，由多个贯通孔87构成脆弱部88，在以使第1过滤室66上的薄膜用基材22′弯曲的状态将薄膜整体熔敷于导入流路部件主体50时，相邻的贯通孔87之间的脆弱部分变形，从而有可能在该贯通孔87的附近产生折皱。但如上所述将贯通孔87的开设位置设置在空室70的区域对应的区域中比纵流路69更偏向于第1过滤室66侧的位置，所以可抑制贯通孔87附近的折皱到达纵流路69侧。

之后，除去按压部件91、加热部件92，且从薄膜用基材22′除去由点线围绕的区域以外的区域，将薄膜22从夹具固定到导入流路部件主体50，并取出以向第1过滤室66弯曲的状态设置薄膜22的调节流路部件21。并且，将该制造的调节流路部件21的液体供给路，以与记录头流路连通的方式设置于记录头20。

图10是对本发明的另一个实施方式中的脆弱部88′的结构进行说明的图。在本实施方式中，在使脆弱部88′沿纵方向，即，沿与作为第1流路的第1过滤室66、作为第2流路的纵流路69、空室70的排列方向(横向)交叉的方向，由长条狭缝94构成这一点，与上述的第一实施方式不同。关于其他构成，与第1实施方式相同，所以省略对其的说明。像这样通过狭缝94来构成脆弱部有如下的优点，即、比贯通孔87更易变性，此外，即使在变形的情况下也很难产生折皱。另外，当在薄膜22上形成有狭缝94时，与形成多个贯通孔87的情况相比，能够防止因产生薄膜22的冲裁废料而带来的问题。

另外，对于脆弱部88′而言，只要比薄膜22的其他部分更脆弱、更易变形，则并不限于上述实施方式中所举出的例子。即，并不限于像贯通孔87和狭缝94那样的贯通了薄膜22的形状，例如，也可以采用如下的结构，即、通过使薄膜22的厚度比其他部分的厚度更薄来形成脆弱部。

另外，以上是对液体喷射装置的一种的打印机1进行举例说明。但是本发明也能够适用于其他的液体喷射装置。例如，可适用于制造液晶显示器等的彩色滤光片的显示器制造装置、形成有机EL(ElectroLuminescence)显示器、FED(面发光显示器)等的电极的电极制造装置、制造生物芯片(生物化学元件)的芯片制造装置等的装置中。

Claims (6)

1.一种液体喷射单元，其特征在于，具有：

液体喷射头，其从喷嘴喷射液体；

调节流路部件，其配置在上述液体喷射头的上游侧，接受来自液体供给源的液体并供给至上述液体喷射头侧，

在上述调节流路部件的至少一面形成有第1流路和第2流路，且该第1流路和第2流路是以在两者之间设置有空室的状态形成的，在第1流路中配设有对液体进行过滤的第一过滤器，在第2流路的中途配设有第2过滤器，并且在上述调节流路部件的至少一面贴附薄膜，通过该薄膜，使上述第1流路、上述第2流路以及上述空室以分别相互独立的状态被封闭；

在上述薄膜的与上述空室对置的区域形成有容许薄膜拉伸的脆弱部。

2.根据权利要求1所述的液体喷射单元，其特征在于，

上述脆弱部是沿与上述第1流路、上述第2流路和上述空室的排列方向交叉的方向而设置的。

3.根据权利要求2所述的液体喷射单元，其特征在于，上述脆弱部是由沿与上述排列方向交叉的方向而形成的狭缝构成的。

4.根据权利要求2所述的液体喷射单元，其特征在于，

上述脆弱部是由沿与上述排列方向交叉的方向排列设置的多个贯通孔构成的。

5.根据权利要求4所述的液体喷射单元，其特征在于，

上述薄膜以该薄膜中与上述第1流路对置的区域能够根据上述第1流路内的压力变化而弯曲的状态被贴附于上述调节流路部件，

上述脆弱部形成于上述空室中的相比上述第2流路而言更偏向上述第1流路侧的位置。

6.一种液体喷射装置，其特征在于，具有：

权利要求1或权利要求5中任意一项所述的液体喷射单元；和

向上述调节流路部件供给液体的液体供给源。

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