JP6380735B2 - 流路部材、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 - Google Patents

Description

本発明は流路部材、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置に関し、特に積層された流路基板に各色毎の複数の流路内圧力調整手段が設けられている場合に適用して有用なものである。

液滴を吐出する液体吐出ヘッドの代表例としては、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。このインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、インク滴をノズル開口から吐出するヘッド本体と、ヘッド本体が固定されると共にインクが貯留されたインクカートリッジからインクが供給されてインクカートリッジからのインクをヘッド本体に供給する流路部材と、を具備するものが提案されている。この種のインクジェット式記録ヘッドでは、連続吐出に対応できる位置にメニスカス位置を管理するため、通常ヘッド内（リザーバーや圧力室）の背圧は負圧に維持されている。しかしながら、ワイピング時等にノズル開口付近の気泡がその負圧によりノズル開口に引き込まれてしまう恐れがある。気泡がノズル開口に引き込まれてしまうと、ノズル詰まりを生じかねない。

そこで、ワイピング時等の必要なときには、負圧を解除する必要がある。このため、負圧発生手段（差圧弁）とヘッドとの間の流路脇に加圧機構としての偏心カムを配設し、ワイピング時には偏心カムを介して加圧機構によりヘッド内を加圧するものが提案されている（特許文献１参照）。また、加圧供給用のバイパス流路を設け、加圧ポンプによる加圧をヘッド内に直接行うように構成したものもある（特許文献２参照）。

特開２０１３−１６１８２７号公報 特開２０１１−１６１８４４号公報

ところが、特許文献１は、チューブに対する偏芯カムの当接により、流路の容積を変化させるものであるため、例えば、これより下流で分岐した場合等、ノズル数が多くなると必要な容積の変化を起こしにくい。一方、チューブを太くして大きな容積変化を得ようとすると、チューブが太くなる分だけ流速が低下して気排性を悪化させる。

特許文献２は、供給する液量の微妙な調整が難しく、多くの流体が無駄に廃棄されることになりかねない。

また、通常時の負圧を解除するため、流路内に流路内圧力調整手段を各色毎に個別に設けた場合には、流路部材の大型化を招来する。したがって、流路内圧力調整手段をはじめ、各部品のレイアウトを工夫する必要がある。

なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッド等の液体吐出ヘッドに用いられる流路部材だけではなく、液体吐出ヘッド以外のデバイスに用いられる流路部材においても同様に存在する。

本発明は、上述のような事情に鑑み、各色毎に流路内圧力調整手段等の各種部品のレイアウトを工夫することによりコストを低減し得るとともに小型化にも寄与し得る流路部材、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置を提供することを目的とする。

[態様１] 上記課題を解決する本発明の態様は、駆動素子の駆動によりノズル開口を介して液体を吐出する吐出部を備え、複数種類の液体をそれぞれ貯留する液体貯留部と連通する液体吐出ヘッドに用いる流路部材であって、前記液体貯留部と吐出部とを連通する流路の途中に配設され、液体の種類毎に形成された第１凹部が一体的に形成された第１流路基板と、前記第１凹部と、該第１凹部をそれぞれ封止する第１可撓部材とを備える一方、第１流体供給源から供給される流体の量の増減により前記第１可撓部材を変位させて、前記第１凹部と前記第１可撓部材とにより形成された流路の容積を変化させることで、その内部の圧力を調整する流路内圧力調整手段とを有することを特徴とする流路部材にある。
本態様によれば、色間での部品共通化を図ることができる。すなわち、各色に関する第１凹部が形成された単一の第１流路基板や第１凹部と第１可撓部材とを有する流路内圧力調整手段により、色間で、部品を共通化することができる。
また、特許文献１のように偏芯カムの当接により加圧する場合と比較すると第１凹部を第１可撓部材で封止する構成により、第１可撓部材が変位する面積を大きくすることができ、小型化しつつ容積変化を容易に生起する構造とすることができる。また、第１流体供給源から供給される流体により第１凹部の容積を調整しているので、小型化も可能となる。
また、第１流体供給源が供給する流体は、エア、液体（油圧）等を使用することができる。そこで、液体の場合には、第１可撓部材のバリア性が悪くても、第１可撓部材からの透過による水分蒸発を低減できる。

[態様２] ここで、態様１の流路部材において、第２凹部が形成された第２流路基板を備え、前記第１可撓部材は、相対向して配設される前記第１凹部および２凹部間を封止するように構成するのが望ましい。第１流体供給源から供給される、例えばエアー等の流体も、凹部にすることで、平坦（フラット）な場合と比較すると、第１可撓部材の貼り付きを抑制でき、また第２凹部が形成された第２流路基板により、色間で、部品を共通化することができるからである。

[態様３] また、態様１の流路部材において、前記第２凹部は、液体の種類毎にあり、複数の前記第２凹部は、一体的に前記第２流路基板に形成されているのが望ましい。第１流体供給源が供給する流体側の容積を小さくすることができるからである。この結果、液体の種類毎に第２凹部を設けることができるので、第２凹部の容積を小さくすることができ、第１可撓部材に対する充分な加圧効果を与えることができる。

[態様４] 態様１〜態様３の流路部材において、前記第１凹部からの液体の出口は、鉛直方向の上側にあるのが望ましい。鉛直方向の上側に出口があるので、第１凹部内に気泡が入ったとしても、浮力により鉛直方向の上側に気泡が留まるので、出口からの排出が行なわれ易いからである。

[態様５] 態様１〜態様４の流路部材において、さらに、前記液体貯留部と前記第１凹部とを連通する流路の途中に配設され、前記液体の種類毎の第３凹部が一体的に形成された第３流路基板と、複数の前記第３凹部をそれぞれ封止する第２可撓部材と、第２流体供給源から供給される流体の量の増減により前記第２可撓部材を変位させて、前記第３凹部内の流路を開閉する流路開閉手段とを有することが望ましい。

[態様６] 態様５の流路部材において、さらに、上記流路部材は、第４凹部が形成された第４流路基板を備え、前記第２可撓部材は、相対向して配設される前記第３凹部および第４凹部間を封止するように構成するのが望ましい。第２流体供給源から供給される流体側も凹部にすることで、平坦な場合と比較すると、第２可撓部材の貼り付きを抑制できるばかりでなく、第４流路基板により、複数の色間での部品の共通化を図ることができるからである。

[態様７] 態様６の流路部材において、前記第４凹部は、液体の種類毎にあり、複数の前記第４凹部は、一体的に第４流路基板に形成されているのが望ましい。第２可撓部材を変位させる駆動用の流体が供給される側の容積を小さくすることができるからである。

[態様８] 態様５〜態様７の流路部材において、前記第１流路基板と、前記第３流路基板とが、同一の部材であるのが望ましい。部品点数を減らすことができるからである。

[態様９] 態様５〜態様７の流路部材において、前記第１流路基板と、前記第３流路基板とは、別の部材であり、前記第１流路基板の両面のうち、前記第１凹部が形成されていない面と、前記第３流路基板の両面のうち、前記第３凹部が形成されていない面とが相対向するように、積層されるのが望ましい。第２可撓部材の駆動流体→吐出される液体→吐出される液体→第１可撓部材の駆動流体の順に、積層されるので、これ以外の積層順の場合と比較すると、第１凹部と第３凹部との間の流路を短くすることができる。また、積層により各部品の設置面積を小さくすることもできるからである。

[態様１０] 態様８または態様９の流路部材において、前記液体の種類毎に、前記第１凹部と前記第３凹部との少なくとも一部が、積層方向で重複するのが望ましい。かかる積層構造より設置面積を小さくできるからである。

[態様１１] 態様５〜態様１０の流路部材において、前記第１可撓部材により封止された前記第１凹部の容積は、前記第２可撓部材により封止された前記第３凹部の容積よりも大きいのが望ましい。第１凹部の容積が大きいほど圧力調整のための容積変化量を大きくできるので、流路内圧力調整手段の自由度が広がる。すなわち、ノズル数が多くなっても、効果的に加圧できるからである。また、流路開閉手段の容積が小さいほど、設置面積などの設置に要するスペースを小さくできるので、小型化に寄与できる。なお、ここでいう容積は、可撓部材が変位していない状態での容積とする。

[態様１２] 態様５〜態様１１の流路部材において、前記第１可撓部材の変位量は、前記第２可撓部材の変位量よりも大きいのが望ましい。第１可撓部材の変位量が大きいほど圧力調整のための容積変化量を大きくできるので、流路内圧力調整手段を効果的に用いることができる。ちなみに、第１可撓部材の変位量は、大気開放した状態と、流路を閉じた状態とにおける変位量（ストローク量）、第２可撓部材の変位量は、大気開放した状態と、加圧した状態、すなわち加圧の結果、対向する壁面に当接した状態とにおける変位量（ストローク量）である。

[態様１３] 本発明の他の態様は、吐出部と、態様１〜態様１２の流路部材を備えたことを特徴とする液体吐出ヘッドにある。
本態様によれば、流路部材の小型化、低コスト化に伴い、液体吐出ヘッドの小型化、低コスト化を図ることもできる。

[態様１４] ここで、態様１３の液体吐出ヘッドにおいて、液体吐出ヘッドは、前記吐出部の負圧を維持する負圧発生手段を有し、該負圧発生手段が、前記吐出部からの液体の吐出に応じて変位可能な可撓部材であって、単一の流路基板に複数の流路内圧力調整手段が配置された方向と交差する方向に変位する可撓部材を有するのが望ましい。負圧発生手段の可撓部材の変位方向が、単一の流路基板内において流路内圧力調整手段が配置された方向と交差する方向なっているので、負圧発生手段と流路部材とが占める全体的なスペースを小さくすることができるからである。

[態様１５] 本発明の他の態様は、負圧発生手段と、態様１３または態様１４の液体吐出ヘッドを備えた液体吐出装置にある。
本態様によれば、小型で、低コストの液体吐出装置を提供できる。

本発明の実施の形態に係る記録装置を示す概略斜視図である。 本発明の実施の形態に係る液体吐出ヘッドを示す概略断面図である。 自己封止ユニットを抽出して示す概略構成図である。 本発明の実施の形態に係る流路部材を示す分解斜視図である。 本発明の実施の形態に係るヘッド本体を示す分解斜視図である。 流路基板の上面図および裏面図である。 流路基板の上面図および裏面図である。 流路基板の上面図および裏面図である。 流路基板の上面図および裏面図である。 流路基板の上面図および裏面図である。 第１可撓部材を示す上面図および裏面図である。 第２可撓部材を示す上面図および裏面図である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。
Ａ：液体吐出装置
本形態に係る液体吐出装置は、インクジェット式記録装置であり、液体吐出ヘッドとしてインクジェット式記録ヘッドを備えたものである。そして、液体吐出ヘッドを移動することなく被噴射媒体である紙等の記録シートを搬送することで印刷を行う、いわゆるライン式記録装置である。

具体的には、図１（本実施形態に係る記録装置を示す概略斜視図である）に示すように、インクジェット式記録装置１００（以下、記録装置１００ともいう）は、装置本体２に配設したインクジェット式記録ヘッドユニット１（以下、液体吐出ヘッドユニット１ともいう）と、紙等の記録媒体である記録シートＳを搬送する搬送手段と、記録シートＳの印刷面とは反対の裏面側を支持する支持部材９と、装置本体２の床面に固定された一対のレール１１Ａ，１１Ｂと、装置本体２の床面に配設されたクリーニング手段１４と、記録装置１００の各部の動作の制御を行う制御装置１７と、を具備する。これらについては、後に詳述する。

なお、本実施形態では、記録シートＳの搬送方向を第１の方向Ｘと称する。また、液体吐出ヘッド３のノズル開口が開口する面内方向において、第１の方向Ｘと直交する方向を第２の方向Ｙと称する。さらに、第１の方向Ｘおよび第２の方向Ｙに直交する方向を第３の方向Ｚと称する。また、第３の方向Ｚについて、記録シートＳに対して液体吐出ヘッド３側をＺ１側と、反対側をＺ２側とする。

（Ａ−１−１）液体吐出ヘッドユニット
本形態に係る液体吐出ヘッドユニット１は、インクジェット式記録ヘッド３（以下、液体吐出ヘッド３ともいう）の複数個をベース板１０上に並設した液体吐出ヘッド３の集合体である。
（Ａ−１−２）液体吐出ヘッド
本形態における液体吐出ヘッド３は、ＣＭＹＫの４色に対応させて、それぞれ２色のインクが供給される自己封止ユニット４，４と各色に対応させて４種類の流路が形成された流路部材５とを、ヘッド本体６と組み合わせて一つのユニットを形成したものであり、本形態では、これがベース板１０上で第２の方向Ｙに４個並設されている。すなわち、液体吐出ヘッド３は、負圧発生手段である２個の自己封止ユニット４，４と、両側から自己封止ユニット４，４に挟まれ、自己封止ユニット４，４から供給されるインクをヘッド本体６に供給する流路部材５と、流路部材５を介して供給されたインクをインク滴として記録シートＳの印刷面に吐出するヘッド本体６とを備えている。

なお、本形態における、液体吐出ヘッド３は第１の方向Ｘに対し傾斜させてベース板１０に配設されている。そこで、第１の方向Ｘに対し傾斜させた液体吐出ヘッド３の配設方向を第４の方向Ｘａ、これに直交し、第２の方向Ｙに対して同量傾斜させた方向を第５の方向Ｙａと称する。いずれもＸ−Ｙ平面上の方向となる。

（Ａ−１−２−１）ヘッド本体
ヘッド本体６は、後に詳述するが、ノズルに連通する複数の圧力発生室を含む液体流路を形成するとともに、圧力発生室内のインクに圧力変動を生じさせる圧電素子等からなる圧力発生手段等を備えた吐出部６Ａ（図５参照；以下同じ）と、吐出部６Ａに供給するインクの異物を除去するフィルター手段６Ｂ（図５参照；以下同じ）とを有している。かかるヘッド本体６は、ベース板１０の下面から下方に突出させてベース板１０に配設してある。

（Ａ−１−２−２）自己封止ユニット
自己封止ユニット４は、後に詳述するが、ヘッド本体６のノズル形成面に交差する側面に設けられた凹部の開口をフィルムで封止した液体流路を有する。そして液体流路の途中に弁体を配設し、通常時は、弁体が液体流路を閉鎖するように付勢しておき、インクの吐出に伴い圧力発生室の負圧が所定値以上になった際は、その負圧で変位したフィルムに押圧された弁体が液体流路を開放するように構成されている。かくして、インクの吐出に伴いヘッド本体６の吐出部６Ａに所定値以上の負圧が生じれば、フィルムが弁体を押圧し、この押圧力により弁体が開放され、液体流路にインクが流れてヘッド本体６にインクを供給する。

（Ａ−１−２−３）分配ユニット
分配ユニット１８は、各ユニットの液体吐出ヘッド３の上面に載置されて第２の方向Ｙに伸びるとともに、各ユニットの液体吐出ヘッド３の自己封止ユニット４にインクカートリッジ等からの各色毎のインクをそれぞれ分配するとともに、流路部材５の流路内圧力調整弁（図１には図示せず）および流路開閉弁（図１には図示せず）の駆動制御用のエアーを流路部材５にそれぞれ分配する。ここで、自己封止ユニット４の、第３の方向の寸法（高さ）および流路部材５の、第３方向の寸法（高さ）は同一になるように構成されている。この結果、インクとエアーとの分配流路として機能させる分配ユニット１８の、各ユニットの液体吐出ヘッド３に対する設置を容易にしている。さらに詳言すると、自己封止ユニット４，流路部材５は、共通の分配ユニット１８に接続され、この接続は、分配ユニット１８の下面に設けられた突起（凸状の針）を、負圧発生手段である自己封止ユニット４および流路部材５のそれぞれの上面に設けられ穴（凹状の差し込み口）へ差し込むことで行われる。分配ユニット１８は、平面状の基板に第２の方向Ｙに沿って溝を設けるとともに、前記溝をフィルムで封止することで、各ユニットの液体吐出ヘッド３への分配機能を有した流路としている。そこで、分配ユニット１８の平面上に沿って設けられた溝に合わせるために、自己封止ユニット４と流路部材５との上面とを第３の方向Ｚである高さ方向で揃える。なお、分配ユニット１８の突起を、自己封止ユニット４と流路部材５の上面の穴とに差し込む際に、全ての突起に対して抗力が同時にかかるのを防ぐために、分配ユニット１８の突起の長さを長いものと短いものとに分けている。

（Ａ−１−２−４）流路部材
流路部材５は、後に詳述するが、積層した流路基板１０１，１０２，１０３，１０４，１０５と、第１可撓部材１６０と、第２可撓部材１６４とにより形成され、流路内圧力調整手段１６１および流路開閉手段１６５として機能する。
流路内圧力調整手段１６１は、自己封止ユニット４とヘッド本体６との液体流路の途中にあり、液体流路の容積を変化させて、液体流路内の圧力を調整する。
流路開閉手段１６５は、自己封止ユニット４と流路内圧力調整手段１６１との液体流路の途中にあり、液体流路を開閉する。

（Ａ−２）搬送手段
搬送手段は、液体吐出ヘッド３に対して記録シートＳを第１の方向に相対移動させる。搬送手段は、例えば、液体吐出ヘッド３に対して記録シートＳの搬送方向である第１の方向Ｘの両側に設けられた第１の搬送ローラー７と、第２の搬送ローラー８とを具備し、かかる第１の搬送ローラー７と第２の搬送ローラー８とによって、記録シートＳを液体吐出ヘッドユニット１の第１の方向Ｘの上流側及び下流側で搬送する。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラー７，８に限定されず、ベルトやドラム等であってもよい。

（Ａ−３）支持部材
支持部材９は、液体吐出ヘッドユニット１に相対向する位置で記録シートＳを支持する。支持部材９は、例えば、第１の搬送ローラー７と第２の搬送ローラー８との間に、液体吐出ヘッド３、特にヘッド本体６のノズル面に相対向して設けられた断面が矩形状を有する金属又は樹脂等が設けられ、第１の搬送ローラー７および第２の搬送ローラー８によって搬送された記録シートＳを、液体吐出ヘッドユニット１に相対向する位置で支持する。

なお、支持部材９には、搬送された記録シートＳを支持部材９上で吸着する吸着手段が設けられていてもよい。吸着手段としては、例えば、記録シートＳを吸引することで吸引吸着するものや、静電気力で記録シートＳを静電吸着するもの等が挙げられる。

かかる記録装置１００では、第１の搬送ローラー７によって記録シートＳが搬送され、各液体吐出ヘッド３によって支持部材９上で支持された記録シートＳに印刷が実行される。印刷された記録シートＳは、第２の搬送ローラー８によって搬送される。

（Ａ−４）一対のレール
一対のレール１１Ａ，１１Ｂは、第２の方向Ｙに伸張されるとともに、支持部材１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃおよび支持部材１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃを介して装置本体２の床面に固定してある。レール１１Ａ，１１Ｂは断面がＣ型の受部を有する棒状の部材である。前記受部にはベース板１０の第１の方向Ｘの両端部が挿入されている。かくして、ベース板１０はレール１１Ａ，１１Ｂ間に支持され、第２の方向Ｙに沿い移動し得る。この結果、液体吐出ヘッドユニット１は、ベース板１０に配設された状態でレール１１Ａ，１１Ｂに沿い第２の方向に移動可能となっている。すなわち、第２の方向Ｙにおいてレール１１Ａ，１１Ｂの一端側である基端部側から、他方側である先端側へ移動するとともに、反対側へも移動する。

（Ａ−５）クリーニング手段
レール１１Ａ，１１Ｂの途中の部位であって、レール１１Ａ，１１Ｂの間における装置本体２の床面には、ヘッド本体６のノズル面（図示せず）をクリーニングするクリーニング手段１４が配設されている。本形態におけるクリーニング手段１４はワイピング手段１５および吸引手段１６を有している。

ワイピング手段１５は、液滴吐出面であるノズル面をワイピングするワイピングブレードを有するもので、所定のタイミングで液体吐出ヘッドユニット１の第２の方向Ｙに沿う移動により、ノズル面にワイピングブレードの先端を摺動させ、ノズル面を払拭するワイピング動作が実行される。

吸引手段１６は、第２の方向Ｙでワイピング手段１５に隣接して装置本体２の床面に配設されており、所定のタイミングで液体吐出ヘッドユニット１の第２の方向Ｙに沿う移動により、ノズル面をキャップ部材で覆うとともに、負圧を作用させて前記キャップ部材の内部を吸引することによりノズル開口からインク等を強制的に排出させる吸引動作が実行される。ここで、ワイピングおよび吸引が行われるヘッド本体６は、ベース板１０のＹ方向に沿う移動に伴い、順次ワイピング手段１５および吸引手段１６の第３の方向Ｚにおける上方に位置して所定の作業が実行される。

（Ａ−６）制御装置
制御装置１７は記録装置１００の各部の動作の制御を行うもので、液体吐出ヘッド３におけるインク滴の吐出制御、記録シートＳの搬送制御とともに所定位置へのベース板１０の移動を伴う所定のタイミングでのクリーニング動作の制御を行う。

Ｂ：液体吐出ヘッド
図２は、本発明の実施の形態に係る液体吐出ヘッドを模式的に示す概略断面図である。
同図に示すように、本形態に係る液体吐出ヘッド３は、負圧発生手段である２個の自己封止ユニット４，４、流路部材５およびヘッド本体６を有している。自己封止ユニット４，４は流路部材５の第５の方向Ｙａにおける両側にそれぞれ配設されている。自己封止ユニット４，４は、後に詳述するが、それぞれ２個のインク供給口１２６，（１２７）を介して、ＣＭＹＫの４色のインクがそれぞれ供給される。なお、図２において、インク供給口１２７はインク供給口１２６に重なるので図示していない。インク供給口１２６、（１２７）には、インクカートリッジ等のインク貯留手段からＣＭＹＫの何れかの色のインクが供給される。

（Ｂ−１−１）流路内圧力調整手段の構造
流路部材５は、５枚の流路基板１０１，１０２，１０３，１０４，１０５を積層して形成してある。ここで、第３の方向Ｚにおける流路基板１０４のＺ２側の面（以下、下面という）には第１凹部１５８が形成され、また流路基板１０５のＺ１側の面（以下、上面という）には第１凹部１５８に相対向する第２凹部１５９が形成されている。第１凹部１５８と第２凹部１５９との間には、例えばゴムで形成した第１可撓部材１６０が介在させてある。この結果、第１凹部１５８と第２凹部１５９は第１可撓部材１６０で封止された２つの室となっている。かくして第１可撓部材１６０の第３の方向Ｚへの変位量により第１凹部１５８の容積を調整することができる。流路基板１０１の上面に開口するエアー流路１７２は流路基板１０１，１０２，１０３，１０４を貫通して流路基板１０５の上面に至る。流路基板１０５の上面には第２凹部１５９に連通する水平流路１７２Ａが形成されており、このことにより、流路基板１０１の上面に設けられたエアー供給口１７０から第２凹部１５９に至るエアー流路１７２が連通される。したがってエアー供給口１７０を介して、第１流体供給源たるエアー供給源（図示せず）から供給するエアーの量を調整することにより第１可撓部材１６０の変位量を調整し得る。なお、後述のように、第１凹部１５８はインク流路と連通している。すなわち第１凹部１５８、第２凹部１５９および第１可撓部材１６０でインク流路の容積を変化させて、インク流路内の圧力を調整する流路内圧力調整手段１６１を形成している。ここで、図示は省略するが、第１凹部１５８から第２凹部１５９へ向かう付勢力を与えるバネが第１凹部１５８に配設してある。

同様の構成の第１凹部１５８、第２凹部１５９が、流路基板１０４の下面および流路基板１０５の上面に残り３個形成され、さらに第１可撓部材１６０が、それらの第１凹部１５８と第２凹部１５９との間に介在させてある。すなわちＣＭＹＫの各色に対応させた合計４個の流路内圧力調整手段１６１が、流路基板１０４の下面および流路基板１０５の上面で形成するＸａ−Ｙａ平面に分散させて配設されている。残りの３個も含め、各第２凹部１５９には、エアー流路１７２の下端で水平方向に分岐する水平流路１７２Ａを介してエアーが供給され、同様の機能が発揮される。なお、第１凹部１５８がインク流路と連通し、第２凹部１５９がエアー流路と連通し、第１可撓部材１６０がそれらを封止するので、以下の説明では、インク室としての第１凹部１５８を第１凹部（インク室）１５８と、エアー室としての第２凹部１５９を第２凹部（エアー室）１５９ともいう。

（Ｂ−１−２）流路開閉手段の構造
一方、流路基板１０３の上面には第３凹部１６２が形成されるとともに、流路基板１０２の下面には第３凹部１６２に相対向する第４凹部１６３が形成されている。第３凹部１６２と第４凹部１６３との間には、例えばゴムで形成した第２可撓部材１６４が介在させてある。この結果、第３凹部１６２と第４凹部１６３は第２可撓部材１６４で封止された２つの室となっている。かくして第２可撓部材１６４の第３の方向Ｚへの変位により流路を閉塞または開放することができる。流路基板１０１の上面に開口するエアー流路１７１は流路基板１０１を貫通して流路基板１０２の上面に至る。流路基板１０２の上面には水平流路１７１Ａが形成されており、水平流路１７１Ａを介してエアー流路１７１が第４凹部１６３に連通している。このことにより、流路基板１０１の上面に設けられたエアー供給口１６９から第４凹部１６３に至るエアー流路１７１が連通される。したがってエアー供給口１６９を介して、第２流体供給源たるエアー供給源（図示せず）からエアーを供給することにより第２可撓部材１６４を変位させて流路を開閉する。なお、後述のように、第１凹部１５８はインク流路と連通している。すなわち第３凹部１６２，第４凹部１６３および第２可撓部材１６４でインク流路の開閉を行なう流路開閉手段１６５を形成している。

同様の構成の第３凹部１６２および第４凹部１６３が、流路基板１０３の上面および流路基板１０２の下面に残り３個形成され、さらに第２可撓部材１６４が、それらの第３凹部１６２と第４凹部１６３との間に介在させてある。すなわちＣＭＹＫの各色に対応させた合計４個の流路開閉手段１６５が、流路基板１０３の上面および流路基板１０２の下面で形成するＸａ−Ｙａ平面の中央部で分散させて配設されている。残りの３個も含め、各第４凹部１６３には、流路基板１０１の下面および流路基板１０２の上面の間に形成されて水平方向にそれぞれ分岐する水平流路１７１Ａを介してエアーが供給され、同様の機能が発揮される。なお、第３凹部１６２がインク流路と連通し、第４凹部１６３がエアー流路と連通し、第２可撓部材１６４がそれらを封止するので、以下の説明では、インク室としての第３凹部１６２を第３凹部（インク室）１６２と、エアー室としての第４凹部１６３を第４凹部（エアー室）１６３ともいう。

本形態では、第１または第２可撓部材１６０，１６４の変位量が大きいほど圧力調整のための体積変化量を大きくできるので、第１凹部１５８の容積は第３凹部１６２の容積よりも大きく構成してある。このことにより、流路内圧力調整手段１６１による所定の圧力調整を容易に、かつ高精度に行なうことができる。

（Ｂ−１−３）流路部材の流路
負圧発生手段である一方の自己封止ユニット４から流路部材５に供給されるインクは、流路部材５を介してヘッド本体６の吐出部６Ａに供給される。

このため流路部材５には、インク流路として、流路１５１，１５２，１５３が形成されている。流路１５１は、一方の自己封止ユニット１２６の２個ある自己封止弁（図２には図示せず）の一方から供給されるインクを第３凹部１６２に導入するものである。すなわち、流路１５１は、一方の自己封止ユニット１２６の下面から流路基板１０３を第３の方向Ｚに沿いＺ１からＺ２に向かって下降し、流路基板１０３の下面と流路基板１０４の上面との間で水平に第５の方向Ｙａに沿ってＹａ１からＹａ２に向かい伸張され、さらに流路基板１０３を第３の方向Ｚに沿いＺ２からＺ１に上昇して第３凹部１６２に開口している。流路１５２は流路基板１０３と流路基板１０４を介して第３凹部１６２と第１凹部１５８とを連通している。流路１５３は、第５の方向Ｙａにおいて流路１５２よりもＹａ１側で、第１凹部１５８から流路基板１０４を第３の方向Ｚに沿いＺ２からＺ１へ向かって上昇し、流路基板１０３の下面と流路基板１０４の上面との間で水平に第５の方向Ｙａに沿ってＹａ２からＹａ１に向かって伸張され、さらに流路基板１０４，１０５を貫通し、第３の方向に沿いＺ１からＺ２に向かって下降して、ヘッド本体６の流路に連通される。なお、流路１５３のうち、流路基板１０３の下面と流路基板１０４の上面との間で水平に、第５の方向Ｙａに沿ってＹａ２からＹａ１に向かって伸張されている部分は、流路１５１のうち、流路基板１０３の下面と流路基板１０４の上面との間で水平に第５の方向Ｙａに沿ってＹａ１からＹａ２に向かって伸張されている部分と第１の方向Ｘで重複するので図示はされていない。

（Ｂ−１−４）流路内圧力調整手段および流路開閉手段の機能
かくして負圧発生手段である自己封止ユニット４からヘッド本体６のフィルター手段６Ｂを介して吐出部６Ａに至る流路１５１，１５２，１５３が形成されるが、流路１５１と流路１５２との間に流路開閉手段１６５が配設されるとともに、流路１５２と流路１５３との間に流路内圧力調整手段１６１が配設される構造となっている。すなわち、自己封止ユニット４から下流に向かって流路開閉手段１６５および流路内圧力調整手段１６１を通り、ヘッド本体６に至る流路が形成されており、この流路内の圧力を流路内圧力調整手段１６１で調整するとともに、流路内圧力調整手段１６１と自己封止ユニット４との間を流路開閉手段１６５で開閉するようになっている。なお、流路１５１，１５２，１５３は、同様の構成の流路として各色に対応するよう流路基板１０３，１０４，１０５のＸａ−Ｙａ平面内に分散して形成されている。

かかる液体吐出ヘッド３によれば次のような作用、効果を得る。この種の液体吐出ヘッド３においては、連続吐出に対応できるようにメニスカスの位置を管理するために、ヘッド内（リザーバーや圧力室）の背圧は負圧に維持されているが、ワイピング時等にノズル開口付近の気泡がその負圧によりノズル開口に引き込まれてしまう恐れがある。気泡がノズル開口に引き込まれてしまうと、ノズル詰まりを生じかねない。

そこで、負圧を解除するために、流路内圧力調整手段１６１により、流路内の体積を減少させ、流路内を加圧する。その際、流路内圧力調整手段１６１による体積変動分に対して、流路内の全体の体積が大きいと、体積変動に対して流路内の加圧を効果的に行えない。さらに、流路内にコンプライアンス部分があると、そのコンプライアンス部分が体積変動を吸収してしまい、流路内圧力調整手段１６１の体積変動による加圧を効果的に行えない。特に、負圧発生手段として自己封止ユニット４を用いる場合は、後に詳述するように、可撓部材としてのフィルム１１２，１１３を用いるため、可撓部材がコンプライアンス部分となる。

そこで、加圧を効果的に行うために、自己封止ユニット４の下流側であって、流路内圧力調整手段１６１の上流側に流路開閉手段１６５を設け、流路内圧力調整手段１６１による加圧に先立って、流路開閉手段１６５により流路を閉塞する。

なお、加圧を解除し負圧にする際には、流路開閉手段１６５を開いてから流路内圧力調整手段１６１により容積を増やす。先に流路内圧力調整手段１６１により容積を増やしてしまうと、メニスカス位置が引き込まれる方向に変位する際に、気泡も引き込まれる可能性がある。これに対して、先に流路開閉手段１６５を開いておくと、流路内圧力調整手段１６１により体積を増やしても、流路開閉手段１６５やそれよりも上流からインクが供給され得るので、メニスカス位置の引き込みに伴い、気泡も引き込まれる可能性を低減できる。

（Ｂ−２）自己封止ユニットの構造
図３は自己封止ユニットを抽出して示す概略構成図で、図３（ａ）は第５の方向Ｙａから見た概略構成図、図３（ｂ）は第３の方向Ｚに関するＺ１側から見た概略構成図および図３（ｃ）は、図３（ａ）のＡ−Ａ′断面で見た概略構成図である。これらの図に示すように、自己封止ユニット４は、全体がほぼ直方体形状の部材であり、本体１１１の長手方向に沿う側面の両面に、フィルム１１２，１１３が熱溶着等により貼着してある。すなわち、自己封止ユニット４は、第４の方向Ｘａに沿ったフィルム面であって、第５の方向Ｙａにおいて相対向する２枚のフィルム面を有する。

一方、本体１１１において第５の方向Ｙａにおいて相対向する二つの面のうち、一方の面の第４の方向Ｘａに関する一方側（図中左側）には凹部（図３（ｃ）参照）が形成され、他方の面の第４の方向Ｘａに関する他方側（図中右側）にも同様の凹部（図３（ｃ）参照）が形成してある。かかる凹部は、フィルム１１２，１１３で封止された空間となっている。この結果、空間内の圧力の変化によりフィルム１１２，１１３は第５の方向Ｙａに変位する。すなわち、フィルム１１２，１１３と凹部とでダイヤフラム室１１４，１１５を形成している。ダイヤフラム室１１４，１１５の反対の面側には、連通孔１１６，１１７を介して、前記凹部よりは小さい凹部であり、フィルム１１３，１１２で封止された弁室１１８，１１９が形成されている。

弁体１２０には、連通孔１１６を通る軸１２２の他端が固定されている。軸１２２の一端は、図示しない受圧板等を介してフィルム１１２に固定されている。すなわち、弁体１２０は、この連通孔１１６に対してフィルム１１２とは反対側にある。本形態では、連通孔１１６に対する弁体１２０側を、第５の方向Ｙａに関するＹａ１側と、連通孔１１６に対するフィルム１１２側を、第５の方向Ｙａに関するＹａ２側とする。また、弁体１２０は、バネ１２４によりＹａ１側からＹａ２側へ向けて押圧される。フィルム１１２の変位とバネ１２４の付勢とにより、弁体１２０は、連通孔１１６を開いたり閉じたりする。なお、バネ１２４は、図示しないバネ受け等を介して、本体１１１に固定されている。

同様に、弁体１２１には、連通孔１１７を通る軸１２３の他端が固定されている。軸１２３の一端は、図示しない受圧板等を介してフィルム１１３に固定されている。すなわち、弁体１２１は、この連通孔１１７に対してフィルム１１３とは反対側にある。弁体１２１は、バネ１２５によりＹａ２側からＹａ１側へ向けて押圧される。フィルム１１３の変位とバネ１２５の付勢とにより、弁体１２１は、連通孔１１７を開いたり閉じたりする。なお、バネ１２５は、図示しないバネ受け等を介して、本体１１１に固定されている。このように、第４の方向Ｘａにおいて隣接する弁体１２０と弁体１２１とは、互いの連通孔１１６，１１７に対して第５の方向Ｙａの両側に位置する。

かくして、ダイヤフラム室１１４，１１５に負圧が作用した場合には、大気圧等によりフィルム１１２，１１３のダイヤフラム室１１４，１１５に対応する部分が第５の方向Ｙａに沿い変位する。この結果、弁体１２０は、図３（ｃ）中Ｙａ１側に、弁体１２１は、図３（ｃ）中Ｙａ２側にそれぞれ移動して連通孔１１６，１１７を開く。ここで、ダイヤフラム室１１４，１１５にはヘッド本体６がノズルを介してインクを吐出したことに伴うヘッド本体６の内部の負圧が作用するように構成している。

かくして、本形態における自己封止ユニット４は、フィルム１１２，ダイヤフラム室１１４を形成する凹部，弁体１２０、軸１２２およびバネ１２４で形成した自己封止弁Ｉと、フィルム１１３，ダイヤフラム室１１５を形成する凹部，弁体１２１，軸１２３およびバネ１２５で形成した自己封止弁IIとを有している。ここで自己封止弁Ｉ，IIは、第４の方向Ｘａに関して離間させて配設している。このことにより、弁体１２０，１２１の軸１２２，１２３が第３の方向Ｚにおいて重なることがないように構成して第３の方向Ｚに関する自己封止ユニット４の寸法を小さくしている。

本体１１１の第３の方向Ｚに関するＺ１側にある上面には、自己封止弁Ｉ側にインクを供給するインク供給口１２６と、自己封止弁II側にインクを供給するインク供給口１２７とが形成されており、内部の流路に連通している。かくして、インク供給口１２６を介して自己封止弁Ｉ側に流入する流入インクＦ１１１が流出インクＦ１１２として、本体１１１のＺ２側に形成した下面からヘッド本体６に供給され、インク供給口１２７を介して自己封止弁II側に流入する流入インクＦ１２１が流出インクＦ１２２として本体１１１の下面からヘッド本体６に供給される。さらに詳言すると、インク供給口１２６から供給されたインクは、弁室１１８に至る。かかる状態で、ヘッド本体６の内部の負圧が作用してダイヤフラム室１１４に所定以上の負圧が作用し、フィルム１１２の変位により弁体１２０が連通孔１１６を開けば、これに伴い連通孔１１６を介してインクがダイヤフラム室１１４内に流入し、該ダイヤフラム室１１４に出口部１２８が臨む流路１３０に導入されて本体１１１の裏面側を下降し、流出インクＦ１１２として本体１１１の下面の排出口（図示せず）を介してヘッド本体６に供給される。

一方、インク供給口１２７から供給されたインクは、弁室１１９に至る。かかる状態で、ダイヤフラム室１１５に負圧が作用し、フィルム１１３の変位により弁体１２１が連通孔１１７を開けば、これに伴い連通孔１１７を介してインクがダイヤフラム室１１５に流入し、このダイヤフラム室１１５に出口部１２９が臨む流路１３１に導入されて本体１１１の表面側を下降し、流出インクＦ１２２として本体１１１の下面の排出口（図示せず）を介してヘッド本体６に供給される。

さらに本形態においては、図３中の第４の方向Ｘａに関する本体１１１の両端面には面取り部１３２，１３３が形成されており、当該自己封止ユニット４を複数個配設する際の占有スペースを可及的に縮小できるように工夫している。すなわち、自己封止ユニット４は、フィルム１１２，１１３のフィルム面が第４の方向Ｘａに沿うように配置されるので、第３の方向Ｚに関するＺ１側から見た自己封止ユニット４の外形が長方形であると、第１の方向Ｘの寸法が大型化してしまう。これに対して、図３（ｂ）に示すように、自己封止ユニット４に面取り部１３２，１３３を設けることにより、第１の方向Ｘの寸法を小型化している。

また、自己封止弁Ｉ，IIにおける流路１３０，１３１の何れもが、隣接する自己封止弁Ｉ，IIの軸１２２，１２３の間に配設されている。この結果、流路１３０，１３１が軸１２２，１２３よりも本体１１１の第４の方向Ｘａに関する両端面側に配設されている場合に較べ、自己封止ユニット４の第４の方向Ｘａに関する寸法を小さくすることができる。加えて、流路１３０，１３１の何れもが軸１２２，１２３の間に配設されることで、本体１１１の第４の方向Ｘａに関する端面に面取り部１３２，１３３を形成する際に、流路１３０，１３１の位置が障害となることがなく、当該自己封止ユニット４を複数個配設する際の占有スペースを可及的に縮小できるように工夫している。

また、本形態における自己封止弁Ｉ，IIは、図３（ａ）に明示するように、第５の方向Ｙａから透視した場合に、ダイヤフラム室１１４，１１５の一部が重複するように形成してある。このように一部重複させることにより自己封止弁Ｉ，IIを第４の方向Ｘａにおける本体１１１の中央部に寄せることが出来るので、このことによっても、第４の方向Ｘａに関する寸法を小さくするとともに、面取り部１３２，１３３を容易に形成することができるようになる。

かかる本形態における自己封止ユニットにおいては、分配ユニット１８から圧送して供給されたインクが、自己封止弁機能を発揮するダイヤフラム室１１４，１１５を介して、流路部材５に向けて排出される。それにより、インク供給源から供給されるインクが加圧されていても、ヘッド本体６の内部を負圧に維持することができる。

（Ｂ−３）流路部材の積層構造
図４は本発明の実施の形態に係る流路部材を示す分解斜視図である。なお、同図中、図２と同一部分には同一番号を付し、重複する説明は省略する。

流路部材５は、流路基板１０１（図２参照），１０２（図２参照），１０３，１０４，１０５を積層してなる。ただ、流路基板１０１，１０２はハウジング１７３の内部に収納されているので、図示はされていない。また、エアー供給口１６９，１７０がハウジング１７３の上面に設けてあり、エアー供給口１６９，１７０は、それぞれブッシング１７８およびワッシャ１７９を介して図示しない分配ユニット１８に連結され、図示しないエアー供給源と連通される。また、図示は省略しているが、ハウジング１７３の側壁面１７３Ａ，１７３Ｂには２個の自己封止ユニット４，４を当接させて配設してある。ハウジング１７３および積層された流路基板１０３〜１０５は複数の締結ネジ１７４およびそれぞれに螺合されるナット１７６で強固に締結されて一体化されている。これは次の理由による。流路内圧力調整手段１６１の高さ方向の一番上の部材は、流路開閉手段１６５に連通するエアー流路１７２を形成する。このエアー流路１７２には加圧されたエアーが送られる。そこで、加圧されたエアーがエアー流路１７２内を流れてもエアー流路１７２としても強度を保つために、締結ネジ１７４およびナット１７６により強固に固定する。

一方、流路内圧力調整手段１６１の高さ方向の一番上の部材を固定する締結ネジ１７５はこれに螺合されるナット１７７とともに、流路基板１０３〜１０５のみを一体化している。これは、流路開閉手段１６５に設けられた第２可撓部材１６４であるゴムと重なる位置にあるためである。

上述の如く本形態においては、流路基板１０１〜１０５を積層構造としたが、その理由は次の通りである。流路内圧力調整手段１６１は、流路内の体積を容易に変動させるために、本形態では、流路途中の形状を、第１可撓部材１６０たるゴムの受圧面積が広くなるような部屋の形状にしたうえで、ゴムの姿勢を変位させている。しかも、後述する通り、ＣＭＹＫの色間のゴムを、別々の部材ではなく単一のゴムとしているために、各色の流路内圧力調整手段１６１は、同一平面上に配置している。そのため、ゴムを配置したＸａ−Ｙａ面内方向に余剰のスペースが少なくなっている。そこで、流路内圧力調整手段１６１と、流路開閉手段１６５とを異なる層に分けて積層している。

なお、ＣＭＹＫの各色について、流路内圧力調整手段１６１および流路開閉手段１６５の積層位置がそれぞれの色間で同じになっており、流路内圧力調整手段１６１の第１可撓部材１６０や流路開閉手段１６５の第２可撓部材１６４であるゴムを色間で同一平面上に配置することができる。このため、反力が生じる位置を同一平面上にすることができ、積層構造の流路基板１０１〜１０５の固定をより強固にすることができる。ここで、ＣＭＹＫの各色についての第２可撓部材１６４を単一のゴム部材としても良い。かかる構造は、ゴムの挟持の観点からは好ましい。

また、流路内圧力調整手段１６１および流路開閉手段１６５の積層位置が同じであるので、流路内圧力調整手段１６１および流路開閉手段１６５間のインク流路やエアー流路もＣＭＹＫで積層位置を同じにできる。よって、各流路を構成するための積層基板である流路基板１０３〜１０５もＣＭＹＫ間で単一の部材とすることができる。

また、本形態では、インクの上流側に流路開閉手段１６５を、下流側に流路内圧力調整手段１６１を積層している。このため、流路開閉手段１６５および流路内圧力調整手段１６１を構成する積層基板である流路基板１０３〜１０５は、上流側から、流路開閉手段１６５の第４凹部（エアー室）１６３→流路開閉手段１６５の第３凹部（インク室）１６２→流路内圧力調整手段１６１の第１凹部（インク室）１５８→流路内圧力調整手段１６１の第２凹部（エアー室）１５９となる順番で重ねている。インクのための積層用の流路基板１０３，１０４が上から３層目と４層目と、連続した順番にすることで、インク流路用の貫通口や溝を積層基板に設ける数を減らすことができる。なお、流路開閉手段１６５用のエアーと、流路内圧力調整手段１６１用のエアーとは、後述するように、異なるタイミングで加圧制御しなければならないため、それぞれ別々のエアー流路１７１，１７２とせざるを得ない。このエアーのための積層基板が上から２層目と３層目に連続しても、エアー流路用の積層基板をその間に挟むのであれば、積層基板の数が多くなってしまう。

なお、流路開閉手段１６５のインク室である第３凹部１６２と、流路内圧力調整手段１６１のインク室である第１凹部１５８とは、後者の容積が前者の容積よりも大きい。流路開閉手段１６５は、流路の開閉ができればよいのに対して、流路内圧力調整手段１６１は、流路体積を変動させて流路内の圧力を調整するために、より大きな変動幅を有するようにしたいからである。そのため、流路内圧力調整手段１６１の設置面積が、流路開閉手段１６５の設置面積よりも大きい。そして、筐体全体を小型化するために、負圧発生手段（自己封止ユニット４）からの流路を設けた層に対して、流路開閉手段１６５を負圧発生手段である自己封止ユニット４側に、流路内圧力調整手段１６１をその反対側に配置している。その結果、層のＸａ−Ｙａ面内方向において、流路開閉手段１６５は自己封止ユニット４の間に配置されている。なお、第１および第２可撓部材としてのゴムにより、インク室である第１および第３凹部１５８、１６２が封止された流路内圧力調整手段１６１と流路開閉手段１６５のそれぞれにおいて、容積という場合には、第１および第２可撓部材１６０，１６２が変位していない状態での容積を言うものとする。

また、流路内圧力調整手段１６１からの流路１５３は、それよりも下流側でＸ−Ｙ平面上に配置された中継基板へのアクセスを考慮して、ヘッドユニットの四隅へ持ってくる必要があり、積層方向に透視すると、流路開閉手段１６５のインク室である第３凹部１６２と、流路内圧力調整手段１６１のインク室である第１凹部１５８とは、一部が重複するような配置になっている。

また、流路内圧力調整手段１６１のエアー供給源が共通であるが、積層方向においてエアー供給口１７０から流路基板１０１〜１０４に貫通口を設けたエアー流路を引き回すので、流路内圧力調整手段１６１のエアー流路は、積層方向の最も下側で分岐する。これにより、例えば積層方向の最も上側で分岐する場合と比較すると、積層基板に設ける貫通口の数を減らすことができ、特にＸ−Ｙ方向における小型化に寄与する。

シール部材２０４は流路基板１０３と流路基板１０２（図４には図示せず）との間に挟持されてインク室である第３凹部１６２とエアー室である第４凹部１６３（図４には図示せず）とを封止する部材である。シール部材２０６は流路基板１０５と流路基板１０４との間に挟持されてエアー室である第２凹部１５９とインク室である第１凹部１５８（図４には図示せず）とを封止する可撓性のゴム部材で形成した第１可撓部材１６０である。本形態における第１可撓部材１６０はＣＹＭＫの４色分が一体的に形成されている。

第１可撓部材１６０は付勢手段であるバネ２０３で常時第２凹部１５９に向けて付勢されている。この結果、通常は、第１凹部１５８（図４には図示せず）の容積、すなわち流路内圧力調整手段１６１の容積は最大になっている。

自己封止ユニット４（図２参照）から供給されるインクは、流路基板１０３に設けた４個のインク流入口２０１からそれぞれ流れ込んで流路１５１に通じる。すなわち、第３の方向Ｚに沿いＺ１からＺ２に向かって下降した後、流路基板１０４に形成された水平流路を通り、その後第３の方向Ｚに沿いＺ２からＺ１に向かって上昇した後、孔１６２Ａを介して流路基板１０３の第３凹部１６２に至る。さらに、第３凹部１６２の孔１６２Ｂを介して、流路１５２を通り、流路基板１０４の裏面に形成された第１凹部１５８（図４には図示せず）に至る。その後、流路基板１０４に設けた流路１５３を経ることにより、ブッシング２０７を介して連通されているヘッド本体６（図４には図示せず）に供給される。

（Ｂ−４）ヘッド本体
図５は本発明の実施の形態に係るヘッド本体６を示す分解斜視図である。同図に示すように、ヘッド本体６は吐出部６Ａとフィルター手段６Ｂからなりフィルター手段６Ｂをビス２１１で吐出部６Ａに固定することで一体化されている。さらに、フィルター手段６Ｂはフィルター部６Ｂ１とケース部６Ｂ２からなる。ケース部６Ｂ２の各色ＣＭＹＫに対応させた４本のインク流入部２０８に、図４に示すブッシング２０７を介して流路部材５を連結することで流路部材５を介して自己封止ユニット４（図２参照）、さらにはインクカートリッジ等のインク供給源（図示せず）に接続する。フィルター２０９は金属細線をメッシュ状に編んで形成され、インクを流通させることによりインク中の異物を捕捉して除去する。フィルター２０９はフィルター部６Ｂ１のケース３００に形成された開口部２１０に配設される。この結果、流路部材５から供給されたインクはＣＭＹＫの各色毎にフィルター２０９で異物が除去されて吐出部６Ａに供給される。

吐出部６Ａは、例えば圧電アクチュエーター等の駆動素子の駆動により、ノズル開口（図示せず）を介してインク滴を吐出する。したがって、例えばインクが充填されている圧力発生室に圧力発生手段で圧力変化を生じさせることができれば、特に圧力発生手段を限定するものではないが、第３の方向Ｚに積層された圧電アクチュエーターを好適に適用し得る。この種の圧電アクチュエーターには、例えば、成膜及びリソグラフィ法によって形成された薄膜型や、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型等も含まれる。また、圧電アクチュエーターは、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型を使用することができる。さらに、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口からインク滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することもできる。

（Ｂ−５）各積層基板および各弾性部材の特性や形状
各流路基板１０１〜１０５の平面図のうちＺ１側から見た表面図を図６（ａ）〜図１０（ａ）として、Ｚ２側から見た裏面図を図６（ｂ）〜図１０（ｂ）としてそれぞれ示す。また、図１１（ａ）は第１可撓部材を示す上面図、同図（ｂ）はその裏面図、図１２（ａ）は第２可撓部材を示す平面図、同図（ｂ）はその裏面図である。これらの図面を追加して本形態に係る液体吐出ヘッド３の説明を続ける。なお、これらの図面中、図２および図４と同一部分には同一番号を付し、重複する説明は省略する。

本形態における負圧発生手段である自己封止ユニット４の弾性部材はフィルム１１２，１１３で形成しているのに対し、流路内圧力調整手段１６１や流路開閉手段１６５の弾性部材である第１および第２可撓部材１６０，１６４はゴムで形成している。その理由は次の通りである。可撓部材としてのゴムとフィルムとを比較すると、ゴムは、それを固定するためにネジを用いて強固に挟持する必要があるのに対して、フィルムは熱溶着等すれば良いだけなので、可撓部材の固定という点でフィルムの方が容易である。また、コストの観点からも、一般的にはフィルムの方が安価である。ただし、変位量という点では、特にゴムの形状にも依存するが、ゴムの方が大きいものを得やすい。変位に要する応答性も、特にゴムの形状にも依存するが、一般にゴムの方が良好である。負圧発生手段である自己封止ユニット４においては、大きな変位量が必要となるわけではないので、貼着作業の点や、コストを勘案して、フィルムを用いている。なお、後述のように、流路開閉手段１６５の動作に起因するインクの流れを吸収する点でも、フィルムの方が良い。他方で、流路内圧力調整手段１６１や流路開閉手段１６５は、その目的であるワイピング等に要する時間を短くするために、ワイピング等をする際や、これを終えた際の切り替えである応答性が良い方が好ましい。また、負圧発生手段である自己封止ユニット４よりも一般に変位量が大きい方が好ましい。よって第１および第２可撓部材１６０，１６４にはゴムを用いている。

また、本形態においては負圧発生手段を縦置きにする一方で、流路内圧力調整手段１６１や流路開閉手段１６５は、横置きにしている。すなわち、負圧発生手段たる自己封止ユニット４について、その可撓部材たるフィルムの変位の方向が、第３の方向Ｚに直交する方向となるように自己封止ユニット４を配置し、また、流路内圧力調整手段１６１や流路開閉手段１６５の可撓部材たる第１可撓部材１６０や第２可撓部材１６４の変位の方向が、第３の方向Ｚとなるように流路内圧力調整手段１６１や流路開閉手段１６５を配置している。その理由は次の通りである。縦置きの場合、気泡が浮力により上側に溜まってしまう恐れがある。横置きであれば、気泡が溜まってしまう可能性を低減できる。なお、流路開閉手段１６５における流路の出入口は、積層された流路基板１０３の下側にあるが、横置きなので問題はない。また、可撓部材であるフィルム１１２，１１３の受圧面積が大きい方が好ましい自己封止ユニット４を横置きにせずに縦置きにすることで、設置面積・スペースの観点からの小型化を図っている。比較例として、例えば、自己封止ユニット４を横置きにすると、その受圧面積を確保するには、流路内圧力調整手段１６１や流路開閉手段１６５と層を変えて積層せざるを得ないが、その場合には積層方向（上下方向）の寸法が大きくなってしまう。なお、ＣＭＹＫの色間において、自己封止ユニット４から流路開閉手段１６５までの層を共通化することで、積層方向の寸法を小さくし、また部品点数を減らすことも行っている。

さらに本形態では、図２に示すように、自己封止ユニット４が流路部材５の両側に配設され、かつ流路内圧力調整手段１６１と流路開閉手段１６５とが流路部材５の中央部に配設されているが、このことにより自己封止ユニット４，４と流路開閉手段１６５との間の流路長や流路引き回しに要する寸法、および流路開閉手段１６５と流路内圧力調整手段１６１との間の流路長や流路引き回しに要する寸法を小さくできる。比較例として、例えば、流路部材５の片側にＣＭＹＫの自己封止ユニット４，４の両方を配設し、もう片側にＣＭＹＫの流路開閉手段１６５と流路内圧力調整手段１６１とを配設した場合、流路長が長くなってしまい、圧力損失・気排性の観点から好ましくない。また、一方の自己封止ユニット４および流路部材５を連通する流路と、他方の自己封止ユニット４および流路部材５を連通する流路とが、第１の方向Ｘに並ぶような引き回しになってしまい、引き回しに要する寸法も大きくなってしまうとともに、液体吐出ヘッド３の全体としての小型化を図るためには好ましくない。

本形態において流路内圧力調整手段１６１により加圧する程度やバッファ量に関し、流路内圧力調整手段１６１が加圧する程度は、１）下流側のノズル開口数、２）メニスカスの半球の程度、３）吐出部６Ａにおけるリザーバーや圧力室内のコンプライアンス機能に依存する。流路内圧力調整手段１６１による流路体積の変化量の一例としては（必ずしもこれに限らないが）、吐出部６Ａのリザーバーの体積よりも大きいことが挙げられる。この程度あれば、リザーバーに対して多数のノズルが設けられているとしても効果的に加圧を行うことができる。

なお、第１可撓部材１６０の変位量は、第１可撓部材１６０に対向するインク室である第１凹部１５８の壁面と第１可撓部材１６０との間隔により特定している。すなわち、第１可撓部材１６０が変位して、対応する第１凹部１５８の壁面に当接した段階において、狙い値としての流体に対する加圧がなされているようにする。これにより、際限なく第１可撓部材１６０が変位してしまう場合と比較すると、所望する程度まで加圧を行うのが容易となるとともに、過度の加圧によりゴムの破断等を防ぐことができる。

本形態においては、流路内圧力調整手段１６１により流路体積を変動させる前に、流路開閉手段１６５により流路を閉じているが、流路開閉手段１６５に第３凹部１６２と第２可撓部材１６４を用いるため、流路開閉手段１６５によっても流路体積および流路内圧力が変動しうる。それに伴い、ノズル開口からインクが流れないように、例えばメニスカス耐圧およびリザーバー等のコンプライアンスや、自己封止ユニット４のフィルム１１２，１１３の張力を適宜設定している。具体的には、流路開閉手段１６５から負圧発生手段である自己封止ユニット４までの流路抵抗が、流路開閉手段１６５からノズル開口までの流路抵抗よりも小さくなるようにする。それにより、流路開閉手段１６５により流路を閉じても、ノズル開口からインクが流れないようすることができる。

本形態における流路内圧力調整手段１６１のインク室である第１凹部１５８内の上面には、図９（ｂ）に示すように、供給口１６７から放射線状に敷衍された溝１６６が設けられている。これは、流路内圧力調整手段１６１のインク室である第１凹部１５８が、断面円形となっており、円の中心の供給口１６７から流入したインクが、中心から円弧上の任意の点の方向に配置された排出口１６８から流出するからである。すなわち、流路内圧力調整手段１６１をインク室であるエアー室である第２凹部１５９への加圧により、第１凹部１５８と第２凹部１５９とを仕切る第１可撓部材１６０が、インク室である第１凹部１５８側へ撓んだ場合に、第１可撓部材１６０の撓み量によっては流体の供給口を第１可撓部材１６０であるゴムが塞いでしまう可能性がある。また、それ以外にも、チョーク吸引（ノズル開口の面へのキャップにより設けられた密閉空間内を吸引して、ノズル開口からインクを強制的に出させる場合に、流路途中を閉じて負圧をためて行う吸引）においても、供給口をゴムが塞いでしまう可能性がある。そこで、流路内圧力調整手段１６１のインク室側の供給口１６７を、円の中心に設けた溝１６６の底に設け、かつ、その溝１６６を円の中心から円弧上の任意の点の方向へ敷衍させることで、第１可撓部材１６０が撓んでも、溝１６６がインク流路としてインクの経路を確保し、供給口１６７や供給口１６７から排出口１６８までの経路を塞いでしまわないようにしている。

なお、インク室である第１凹部１５８内の気排性を考慮すると、溝１６６が敷衍する方向は、供給口１６７から排出口１６８までの直線上にない方が良い。直線上になければ、第１可撓部材１６０の撓みにより第１凹部１５８内をインクが流れる方向が変わり、流れが変化する前に第１凹部１５８内に滞っていた気泡が流れの変化により排出され易くなるからである。

特に、図４に示すように、流路内圧力調整手段１６１内で第１可撓部材１６０を、第１凹部（インク室）１５８から第２凹部（エアー室）１５９側へ向けて付勢するバネ２０３がある場合、流路内圧力調整手段１６１内の第１可撓部材１６０は、第２凹部（エアー室）１５９側に変位した状態と、第１凹部（インク室）１５８側に変位した状態とを、それぞれ維持できる形状になっている。仮に、第１凹部（インク室）１５８側に変位した状態が印刷中に生じると、供給口１６７と第１可撓部材１６０との隙間が狭まるなどして、圧力損失が大きくなってしまう。そこで、そうした変位を印刷中に生じさせないように、第１凹部（インク室）１５８側から第２凹部（エアー室）１５９側へ向けて付勢するバネ２０３を設けるのが望ましい。なお、流路内圧力調整手段１６１内の第１可撓部材１６０としてゴムを用いる場合には、変位した状態を維持するために２安定ゴムを用いるのが好ましく、第２凹部（エアー室）１５９側を大気開放した状態（デフォルトの状態）では、バネ２０３の付勢により、第２凹部（エアー室）１５９側に凹んだ姿勢を維持できる。また、バネ２０３の付勢に代えて、あるいは併せて、第２凹部（エアー室）１５９側を吸引などしてもよい。それにより、印刷中の第１可撓部材１６０の変位を確実に抑えることができる。
また、第２凹部（エアー室）１５９側を大気開放した状態（デフォルトの状態）では、第１可撓部材１６０が第２凹部（エアー室）１５９側に凹み、さらに付勢される結果、第２凹部（エアー室）１５９側の対応する側面に当接していることが好ましい。それにより、第１可撓部材１６０がどこにも当接していない場合と比較すると、印刷中の第１可撓部材１６０の変位を確実に抑えることができる。

一方、流路開閉手段１６５内の第２可撓部材１６４を付勢するバネは設けていない。その理由は次の通りである。流路内圧力調整手段１６１と流路開閉手段１６５とは、共通のネジにより積層して固定される。その際に、流路内圧力調整手段１６１と流路開閉手段１６５との両方にバネがあると組立が難しくなる。また、流路開閉手段１６５の第２可撓部材１６４としてゴムを用いる場合には、流路内圧力調整手段１６１内の第１可撓部材１６０と異なり、膜状のゴムとすることが好ましい（図１２参照）。それにより、変位した姿勢を維持するようにならず、流路開閉手段１６５内の第２可撓部材１６４のゴムが流路開閉手段１６５内のインクの流れを閉塞する状態を、流路内圧力調整手段１６１内のそれと比較すると、起こりにくくすることができる。そこで、流路開閉手段１６５内には、第２可撓部材１６４を付勢するバネは設けないことで、組み立てを容易にすることができる。

なお、流路開閉手段１６５と流路内圧力調整手段１６１とを同一平面上に配置する場合には、組み立ての困難性は生じないので、流路開閉手段１６５内の第２可撓部材１６４を付勢するバネを設けてもよい。それにより、印刷中の第２可撓部材１６４の変位を抑えることができる。また、バネの付勢に代えて、あるいは併せて、第４凹部（エアー室）１６３側を吸引などしてもよい。

流路内圧力調整手段１６１内の第１可撓部材１６０は、負圧解除する場合には、第１凹部１５８（インク室）内の体積を小さくする必要がある。このため、図１１に示すように、流路開閉手段１６５内の第２可撓部材１６４よりも変位量が大きくなるような形状としている。具体的には、円の中心部分厚みより円弧側の厚みを薄くし、かつ薄くした部分を変位方向に屈曲させることで、変位量が大きくなるようにしている。また、負圧解除したい場合とそうでない場合との２段階に、ゴムの姿勢を切り替えたいため、いわゆる２安定ゴムを用いることで、安定的にゴムの姿勢を切り替え可能としている。

なお、流路開閉手段１６５の第２可撓部材１６４は、いわゆる２安定ゴムではなく、図１２に示すように、膜状のゴムとしてもよい。いわゆる２安定ゴムを配置するには、膜状のゴムよりも設置面積が多く必要になってしまうが、流路開閉手段１６５の第２可撓部材１６４を膜状のゴムとすることで、流路開閉手段１６５に要する設置面積を小さくすることができる。本形態では、図２に示すように、第５の方向Ｙａにおいて流路基板１０３よりも流路基板１０２を小型化して、自己封止ユニット４が流路開閉手段１６５の両側に配設されるようにしている。すなわち、自己封止ユニット４が、第３の方向Ｚにおいて、流路開閉手段１６５を形成する流路基板１０２、１０３の少なくとも１つと同じ積層位置に配置されるようにしている。これにより、液体吐出ヘッド３を小型化している。

エアー流路の分配に関して、本形態では流路開閉手段１６５内のインク室である第３凹部１６２と、流路内圧力調整手段１６１内のインク室である第１凹部１５８とは、インクの種類（色）毎に設ける必要がある。もし、設けない場合には、ノズル面に対するワイピングのタイミングをインクの種類ごとに切り替える前提で、これらの流路開閉手段１６５内のインク室である第３凹部１６２や流路内圧力調整手段１６１内のインク室である第１凹部１５８へ流すインクの種類も切り替えるようなインク流路切替機構が必要になる。一方、流路開閉手段１６５内の第３凹部１６２や流路内圧力調整手段１６１内の第１凹部は、これらの第１および第２可撓部材１６０，１６４を変位させるエアーが共通であるので、インクの種類（色）毎に設ける必要はない。

そこで、インクの種類毎に設けられた流路開閉手段１６５内の第３凹部１６２は、エアー流路により連通していてもよいし、共通のエアー室となっていてもよい。同様に、インクの種類毎に設けられた流路内圧力調整手段１６１内の第１凹部１５８は、連通していてもよいし、共通のエアー室となっていてもよい。ただし、共通のエアー室とする場合には、体積が大きくなってしまうので、可撓部材の受圧面積に対して、エアーの加圧する効果が小さくなってしまう。これに対して、インクの種類毎にエアー室を設ける場合には、エアー室の体積が大きすぎることがないので、加圧の効果は小さくはならない。

なお、負圧解除の動作をさせる際に、１）流路開閉手段１６５内の第２可撓部材１６４の変位により流路を閉塞し、その後、２）流路内圧力調整手段１６１内の第１可撓部材１６０の変位により流路体積を小さくする必要があるので、流路開閉手段１６５内の第４凹部１６３と流路内圧力調整手段１６１内の第２凹部１５９とを共通のエアー室とすることはできない。また、互いのエアー室を連通させる場合には、エアー流路切替機構が必要になる。

流路開閉手段１６５の動作は、流路開閉手段１６５内の第４凹部（エアー室）１６３の加圧と減圧とを切り替えて行われる。流路開閉手段１６５内の第３凹部（インク室）１６２の流路を閉塞する場合には、加圧する。閉塞を解除する場合には、大気開放させる。なお、流路開閉の応答性を速めるために、大気開放に加え（代えて）、減圧することで閉塞を解除してもよい。

また、ノズル開口面をキャップによりキャッピング（密閉）し、キャップ側に設けた吸引ポンプの吸引により密閉空間内を負圧にして強制的にヘッド内のインクを排出する場合に、チョークしたくなければ減圧する。チョークしたければ加圧する。チョークした状態で吸引を行うと、負圧がヘッド本体６内で貯められ、流路開閉手段１６５より下流側に設けられたフィルター手段６Ｂのフィルター部６Ｂ１よりも上流の流路に滞った気泡を、フィルターを通過させて排出させることができる。

流路開閉手段１６５の第２可撓部材１６４について、インクの種類毎の第２可撓部材１６４が同一平面上にある場合には、インクの種類ごとの第２可撓部材１６４を単一の部材とすることができる。すなわち、１つの可撓部材が、インクの種類の数に必要な大きさを有していればよい。また、流路内圧力調整手段１６１の第１可撓部材１６０も同様である。また、流路開閉手段１６５や流路内圧力調整手段１６１内の可撓部材が設けられる平面上には、流路開閉手段１６５や流路内圧力調整手段１６１へ供給されるインク流路も配置されている。こうしたインク流路と流路開閉手段１６５や流路内圧力調整手段１６１とを同じ部材で形成し、かつ、これらの部材を積層しているので、可撓部材が設けられる平面でインク流路が分断される。分断されたインク流路をシールするために、Ｏリングを用いてもよいが、Ｏリングも流路開閉手段１６５や流路内圧力調整手段１６１内のゴムと単一の部材で設けてもよい。

上記実施の形態では、負圧発生手段として自己封止ユニット４を用いる場合を説明したが、負圧発生の態様は、これ以外に、カートリッジ内の負圧を用いるものであってもよく、ヘッド本体６と流路が連通したタンクの位置をヘッド本体６に対して調整した水頭圧差を用いるものであってもよい。要は、ヘッド本体６の液体流路内が負圧となるように構成することができれば良い。

また、上記実施の形態では、液体吐出装置が一対のレール１１Ａ，１１Ｂや、クリーニング手段１４を備えていたが、これに限らず、液体吐出ヘッドユニット１を備えていればよい。また、ヘッド本体６は、圧力発生室と、圧力発生室内のインクに圧力変動を生じさせる圧力発生手段とを備えていればよい。

また、流路開閉手段１６５は、流路を開閉するために、第２可撓部材１６４を変位させて第３凹部１６２のインク流路を閉塞したり開放したりして、流路内圧力調整手段１６１による流路内の体積変動が流路開閉手段１６５より上流側で吸収されないようにしたが、これに限られない。すなわち、流路内圧力調整手段１６１による流路内の体積変動が流路開閉手段１６５より上流側で吸収されないようにできれば、流路開閉手段１６５による開閉により液体流路を完全に閉塞しなくてもよく、例えば流路開閉手段１６５による開閉により流路内圧力調整手段１６１と負圧発生手段との間の流路抵抗が小さい状態と大きい状態とで切り替えることができればよい。これにより、印刷中の圧力損失を低減するとともに、流路内圧力調整手段１６１による流路内の体積変動が流路開閉手段１６５より上流側で吸収されないようにもできる。すなわち、流路開閉手段１６５により流路を閉じるという場合には、流路を完全に閉塞する場合だけでなく、流路の流路抵抗が小さい状態から大きい状態へ切り替わる場合をも含む。流路内圧力調整手段１６１による体積変動分に対する流路内の全体の体積を小さくするために、流路開閉手段１６５を用いる場合も同様である。

また、上記実施の形態では、インクジェット式記録装置１００として、液体吐出ヘッドユニット１が装置本体２に固定されて、記録シートＳを搬送するだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置を例示したが、特にこれに限定されず、液体吐出ヘッド３を記録シートＳの搬送方向である第１の方向Ｘとは交差する方向、例えば、第２の方向Ｙに移動するキャリッジに搭載して、液体吐出ヘッド３を搬送方向とは交差する方向に移動しながら印刷を行う、所謂シリアル型記録装置にも本発明を適用することができる。

さらに、上記実施の形態では、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドを例示して本発明を説明したが、本発明は、広く液体吐出ヘッド全般を対象としたものである。液体吐出ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。

１ 液体吐出ヘッドユニット、 ２ 装置本体、 ３ 液体吐出ヘッド、 ４ 自己封止ユニット、 ５ 流路部材、 ６ ヘッド本体、 １８ 分配ユニット、 １００ 記録装置、 １０１，１０２，１０３，１０４，１０５ 流路基板、 １１２，１１３ フィルム、 １２０，１２１ 弁体、 １３０，１３１ 流路、 １５１，１５２，１５３ 流路、 １５８ 第１凹部、 １５９ 第２凹部、 １６０ 第１可撓部材、 １６１ 流路内圧力調整手段、 １６２ 第３凹部、 １６３ 第４凹部、 １６４ 第２可撓部材、 １６５ 流路開閉手段、 １７１，１７２ エアー流路

Claims (15)

1. 駆動素子の駆動によりノズル開口を介して液体を吐出する吐出部を備え、複数種類の液体をそれぞれ貯留する液体貯留部と連通する液体吐出ヘッドに用いる流路部材であって、
   前記液体貯留部と吐出部とを連通する流路の途中に配設され、液体の種類毎に形成された第１凹部が一体的に形成された第１流路基板と、
   前記第１凹部と、該第１凹部をそれぞれ封止する第１可撓部材とを備える一方、第１流体供給源から供給される流体の量の増減により前記第１可撓部材を変位させて、前記第１凹部と前記第１可撓部材とにより形成された流路の容積を変化させることで、その内部の圧力を調整する流路内圧力調整手段とを有することを特徴とする流路部材。
2. 請求項１に記載する流路部材において、
   さらに、第２凹部が形成された第２流路基板を備え、
   前記第１可撓部材は、相対向して配設される前記第１凹部および第２凹部間を封止するように構成したことを特徴とする流路部材。
3. 請求項２に記載する流路部材において、
   前記第２凹部は、液体の種類毎にあり、複数の前記第２凹部は、一体的に前記第２流路基板に形成されていることを特徴とする流路部材。
4. 請求項１〜請求項３の何れか一項に記載する流路部材において、
   前記第１凹部からの液体の出口は、鉛直方向の上側にあることを特徴とする流路部材。
5. 請求項１〜請求項４の何れか一項に記載する流路部材において、
   さらに、前記液体貯留部と前記第１凹部とを連通する流路の途中に配設され、前記液体の種類毎の第３凹部が一体的に形成された第３流路基板と、
   複数の前記第３凹部をそれぞれ封止する第２可撓部材と、
   第２流体供給源から供給される流体の量の増減により前記第２可撓部材を変位させて、前記第３凹部内の流路を開閉する流路開閉手段とを有することを特徴とする流路部材。
6. 請求項５に記載する流路部材において、
   さらに、第４凹部が形成された第４流路基板を備え、
   前記第２可撓部材は、相対向して配設される前記第３凹部および第４凹部間を封止するように構成したことを特徴とする流路部材。
7. 請求項６に記載する流路部材において、
   前記第４凹部は、液体の種類毎にあり、複数の前記第４凹部は、一体的に第４流路基板に形成されていることを特徴とする流路部材。
8. 請求項５〜請求項７の何れか一項に記載する流路部材において、
   前記第１流路基板と、前記第３流路基板とが、同一の部材であることを特徴とする流路部材。
9. 請求項５〜請求項７の何れか一項に記載する流路部材において、
   前記第１流路基板と、前記第３流路基板とは、別の部材であり、前記第１流路基板の両面のうち、前記第１凹部が形成されていない面と、前記第３流路基板の両面のうち、前記第３凹部が形成されていない面とが相対向するように、積層されることを特徴とする流路部材。
10. 請求項８または請求項９に記載する流路部材において、
    前記液体の種類毎に、前記第１凹部と前記第３凹部との少なくとも一部が、積層方向で重複することを特徴とする流路部材。
11. 請求項５〜請求項１０の何れか一項に記載する流路部材において、
    前記第１可撓部材により封止された前記第１凹部の容積は、前記第２可撓部材により封止された前記第３凹部の容積よりも大きいことを特徴とする流路部材。
12. 請求項５〜請求項１１の何れか一項に記載する流路部材において、
    前記第１可撓部材の変位量は、前記第２可撓部材の変位量よりも大きいことを特徴とする流路部材。
13. 請求項１〜請求項１２の何れか一項に記載する流路部材を備えたことを特徴とする液体吐出ヘッド。
14. 請求項１３に記載する液体吐出ヘッドにおいて、
    さらに前記吐出部の負圧を維持する負圧発生手段を有し、該負圧発生手段は、前記吐出部からの液体の吐出に応じて変位可能な可撓部材であって、単一の流路基板に複数の流路内圧力調整手段が配置された方向と交差する方向に変位する可撓部材を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
15. 請求項１３または請求項１４に記載する液体吐出ヘッドを備えた液体吐出装置。

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