JP7056216B2 - 流路部材、液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置 - Google Patents

Description

本発明は、例えば、液体や気体が流通する流路部材、液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置に関する。

液体噴射ヘッドは、液体供給部材から液体の供給を受け、圧電素子等のアクチュエーターの駆動によりノズルから液体を噴射するように構成されている。この液体噴射ヘッドを備える液体噴射装置では、液体供給部材から液体噴射ヘッドのノズルに至るまでの流路の途中に、当該流路を開閉して液体の供給を制御する制御弁を有する構成のものがある（例えば、特許文献１参照）。この特許文献１の構成は、弾性変形可能な袋状体の可撓部材により一部が塞がれた気体室内を加圧することで可撓部材を膨張させ、この膨張した可撓部材により押圧して制御弁である弁体を強制的に開くことができる。これにより、液体噴射ヘッドに液体を充填する初期充填動作や、液体噴射ヘッドのノズルから液体や気泡を強制的に排出させるメンテナンス動作を行うことができる。また、特許文献１の構成では、インク流路の一部と気体透過膜を挟んで隣接して形成された脱気空間を減圧することで、インクに含まれる気泡を除去、即ち脱気（換言すると、脱泡）することができる。この構成では、気体室と脱気室とは連通されているため、脱気の際には気体室も減圧され、これに応じて可撓部材は収縮する。

特開２０１７－２０２６７７号公報

上記の脱気は、より効果を得るためにはできるだけ長時間に亘って脱気室の減圧状態を維持することが望ましい。ところが、上記構成では、ゴム等の弾性材料で形成された可撓部材から気体が透過することにより、減圧状態を維持することが難しいという問題があった。また、同様な理由から加圧状態を維持することも難しいという問題があった。

本発明はこのような事情に鑑み、可撓部材における気体の透過を抑制して減圧状態又は加圧状態をより長期に亘って維持することが可能な流路部材、液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置を提供することを目的とする。

本発明の流路部材は、上記目的を達成するために提案されたものであり、気体が流入又は流出することが可能な気体室と、
前記気体室の一部を区画し、当該気体室内の圧力変化に応じて変形する可撓部材と、
を備え、
前記可撓部材は、変形が規制された規制部よりも内側に、他の部材と接触する接触部を有し、前記気体室の減圧時又は加圧時の少なくとも何れか一方において前記接触部で前記他の部材と接触して前記他の部材をシールすることを特徴とする。

本発明の流路部材によれば、気体室の減圧時又は加圧時の少なくとも何れか一方において可撓部材が接触部で他の部材と接触して他の部材をシールするので、可撓部材を気体が透過することが抑制される。その結果、気体室の減圧した状態または加圧した状態をより長期に亘って維持することが可能となる。

上記構成において、前記可撓部材は、気体が透過しやすい第１部分と、当該第１部分よりも気体が透過しにくい第２部分と、を有し、
前記他の部材は、気体の流通部位である通気口を有し、
前記第２部分に含まれる前記接触部にて前記通気口をシールする構成を採用することができる。

この構成によれば、気体透過しにくい第２部分で他の部材に設けられた通気口をシールするので、気体がより透過しにくくなり、減圧した状態または加圧した状態をさらに長期に亘って維持することが可能となる。

上記構成において、前記第２部分の厚さは、前記第１部分の厚さよりも厚い構成を採用することができる。

この構成によれば、第２部分は、第１部分と比較して厚いので気体が透過しにくいため、当該部分でシールをとることでシール性を高めることができる。これに対して、第１部分は、第２部分と比較して薄いので気体室内の圧力変化に応じて変形しやすい。これにより、可撓部材の機能をより効果的に発揮することができる。

また、前記可撓部材の前記接触部と前記通気口の開口部との少なくとも一方は、他方に向けて突出している構成を採用することもできる。

この構成によれば、可撓部材の接触部と通気口の開口部との少なくとも一方が、他方に向けて突出していることで、両者が接触する部分が突出部分の突出端面に限定されることにより接触圧をより高められるので、シール性をさらに向上させることが可能となる。

さらに、上記構成において、前記接触部は、前記可撓部材と比較して単位厚み当たりの気体の遮蔽性が高い遮蔽部材を有する構成を採用することができる。

この構成によれば、可撓部材と比較して単位厚み当たりの気体の遮蔽性が高い遮蔽部材を接触部に有することにより、気体の透過を抑制しつつ、接触部の厚みを削減することができる。これにより、気体室内の圧力変化に応じて可撓部材が変形しやすくなり、また、流路部材の小型化に寄与する。

また、上記構成において、前記可撓部材の少なくとも一方の面が充填液で覆われている構成を採用することができる。

この構成によれば、可撓部材の少なくとも一方の面が充填液で覆われていることにより、可撓部材における気体の透過を抑制することができる。

また、上記構成において、前記可撓部材の両側の面における圧力が揃った状態において、前記接触部が前記他の部材に接触している構成を採用することが望ましい。

この構成によれば、可撓部材の両側の面における圧力が揃った状態において、接触部が他の部材に接触していることにより、可撓部材の両側の圧力が揃った状態で接触部が他の部材に当接していない構成と比較して、他の部材をシールするために可撓部材を大きく変化させる必要がないため、可撓部材の形状が変形して元の状態で戻らなくなってしまう所謂クリープを抑制することが可能となる。

さらに、上記構成において、前記可撓部材と前記他の部材との少なくとも一方の部材における他方の部材と接触する部分は、前記他方の部材と比較して平滑度が高い構成を採用することが望ましい。

この構成によれば、シール性を確保しつつも、シール状態を解除する際により円滑に両者を離間させることができる。即ち、シール状態が解除されない不具合を抑制することができる。

そして、上記構成において、前記他の部材は、液体が流れる液体流路の一部を密封し、かつ、前記可撓部材との接触により変形可能な密封部材である構成を採用することができる。

この構成によれば、他の部材は、液体が流れる液体流路の一部を密封し、かつ、可撓部材との接触により変形可能な密封部材であることにより、可撓部材が密封部材に当接して押圧することで、液体流路内の液体の圧力を高める動作、或は、液体流路の体積を変化させる動作を行うことができる。また、可撓部材が密封部材に当接してシールすることで気体の透過を抑制することができる。

さらに、本発明の液体噴射ヘッドは、上記何れかの構成の流路部材から導入された液体を噴射することを特徴とする。

そして、本発明の液体噴射装置は、上記何れかの構成の流路部材と、上記液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする。

液体噴射装置の一形態の構成を説明する平面図である。 流路部材の一形態である弁ユニット、フィルターユニット、及び液体噴射ヘッドの構成を説明する模式図である。 弁機構の構成を説明する図である。 弁機構の構成を説明する図である。 第２の実施形態に係る弁機構及び強制開弁機構の構成を説明する図である。 第３の実施形態に係る弁機構及び強制開弁機構の構成を説明する図である。 第３の実施形態に係る弁機構及び強制開弁機構の構成を説明する図である。 第４の実施形態に係る弁機構及び強制開弁機構の構成を説明する図である。 第４の実施形態に係る弁機構及び強制開弁機構の構成を説明する図である。 第４の実施形態の変形例の弁機構及び強制開弁機構の構成を説明する図である。 第４の実施形態の変形例の弁機構及び強制開弁機構の構成を説明する図である。 第５の実施形態に係る弁機構及び強制開弁機構の構成を説明する図である。 第６の実施形態に係る弁機構及び強制開弁機構の構成を説明する図である。

以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、液体噴射装置として、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）１０を搭載したインクジェット式プリンター（以下、プリンター）１を例に挙げて行う。

図１は、プリンター１の一形態の構成を示す平面図である。本実施形態におけるプリンター１は、記録用紙、布、あるいは樹脂フィルム等の記録媒体の表面に記録ヘッド１０から液体状のインク（本発明における液体の一種）を噴射させて画像やテキスト等の記録を行う装置である。このプリンター１は、フレーム２と、このフレーム２内に配設されたプラテン３と、を備えており、図示しない搬送機構によってプラテン３上に記録媒体が搬送される。また、フレーム２内には、プラテン３と平行にガイドロッド４が架設されており、このガイドロッド４には、記録ヘッド１０を収容したキャリッジ５が摺動可能に支持されている。このキャリッジ５は、キャリッジ移動機構によってガイドロッド４に沿って紙送り方向と直交する主走査方向に往復移動するように構成されている。このキャリッジ移動機構は、パルスモーター６と、このパルスモーター６の駆動により回転する駆動プーリー７と、この駆動プーリー７とはフレーム２における反対側に設けられた遊転プーリー８と、駆動プーリー７および遊転プーリー８の間に架設されたタイミングベルト９とを有する。本実施形態におけるプリンター１は、記録媒体に対してキャリッジを相対的に往復移動させながら記録ヘッド１０のノズル３０（図２等参照）からインクを噴射させて記録動作、即ち、液体噴射動作を行う。

フレーム２の一側には、液体貯留容器の一種であるインクカートリッジ１３を着脱可能に搭載するカートリッジホルダー１４が設けられている。インクカートリッジ１３は、エアーチューブ１５を介して、圧力調整機構であるポンプユニット１６と接続されており、このポンプユニット１６からの空気が各インクカートリッジ１３内に供給される。そして、この加圧空気によってインクカートリッジ１３内に配設された図示しないインクパックが加圧されることにより、インクパック内のインクがインク供給チューブ１７を通じて記録ヘッド１０側に供給される。このポンプユニット１６は、当該ポンプユニット１６に接続された流路や空間に空気を送り込む加圧動作と、当該流路等から空気を吸引する減圧動作とを、図示しないプリンター１の制御部からの指示に応じて選択的に実行可能に構成されている。そして、このポンプユニット１６は、インクカートリッジ１３の他、後述するキャッピング機構１１や後述する弁ユニット２１の気体流路２０に接続を切り替えることができるように構成されている。即ち、このポンプユニット１６は、弁ユニット２１に設けられた制御弁５１を強制的に開く際に気体流路２０を通じて気体室４７を加圧したり、インクの脱気を行う際に気体流路２０を通じて脱気室７０を減圧したりする際の圧力調整機構としても機能する。

インクカートリッジ１３からインク供給チューブ１７から送られてくるインクは、まず、キャリッジ５に搭載された弁ユニット２１に導入される。弁ユニット２１に導入されたインクは、制御弁５１により供給圧力が調整された後、後述するフィルターユニット２２のフィルター７４を通って、記録ヘッド１０内部のインク流路に供給される。なお、液体貯留容器としては、例示したものには限られず、カートリッジ型、パック型、タンク型等、種々の構成のものを採用することができる。インク供給チューブ１７は、例えば、合成樹脂で作製された可撓性を有する中空部材であり、このインク供給チューブ１７の内部には、各インクカートリッジ１３に対応するインク流路が形成されている。また、プリンター１本体側と記録ヘッド１０側との間には、プリンター１本体側の制御部（図示せず）から記録ヘッド１０側に駆動信号等を伝送するＦＦＣ（フレキシブルフラットケーブル）１８が配線されている。

フレーム２の内側において、記録ヘッド１０の移動範囲における一側に設けられたホームポジションには、記録ヘッド１０のノズル面を封止するキャッピング機構１１、及び、記録ヘッド１０のノズル面を払拭するワイピング機構１２が並設されている。キャッピング機構１１は、ホームポジションで待機状態にある記録ヘッド１０のノズル３０が形成された面を封止してノズル３０からインクの溶媒が蒸発することを抑制する。また、キャッピング機構１１は、記録ヘッド１０のノズル３０が開口した面であるノズル面を封止した状態で封止空部内をポンプユニット１６によって負圧化し、ノズル３０からインクや気泡を強制的に吸引するメンテナンス動作を行うこともできる。ワイピング機構１２は、ノズル面に接触した状態で相対移動することによりノズル面に付着したインク等を払拭するワイピング動作を行う機構である。

図２は、弁ユニット２１（本発明における流路部材の一形態）、フィルターユニット２２、及び記録ヘッド１０の構成を説明する模式図である。本実施形態における記録ヘッド１０は、ノズルプレート２４、連通板２５、アクチュエーター基板２６、コンプライアンス基板２７、及びケース２８等の複数の構成部材が積層されて接着剤等によって接合されてユニット化されている。

本実施形態におけるアクチュエーター基板２６は、ノズルプレート２４に形成された複数のノズル３０とそれぞれ連通する複数の圧力室３３と、各圧力室３３内のインクに圧力変動を生じさせるアクチュエーターである複数の圧電素子３１とを有している。圧力室３３と圧電素子３１との間には、振動板３６が設けられており、この振動板３６によって圧力室３３の上部開口が封止されて当該圧力室３３の一部が区画されている。この振動板３６は、例えば、二酸化シリコン（ＳｉＯ_２）からなる弾性膜と、この弾性膜上に形成された酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_２）からなる絶縁体膜と、から成る。そして、この振動板３６上における各圧力室３３に対応する領域に圧電素子３１がそれぞれ積層されている。本実施形態における圧電素子３１は、所謂撓みモードの圧電素子である。この圧電素子３１は、例えば、振動板３６上に、下電極層、圧電体層および上電極層（いずれも図示せず）が順次積層されてなる。このように構成された圧電素子３１は、下電極層と上電極層との間に両電極の電位差に応じた電界が付与されると撓み変形する。

アクチュエーター基板２６の下面には、このアクチュエーター基板２６よりも広い面積を有する連通板２５が接合される。本実施形態における連通板２５には、圧力室３３とノズル３０とを連通するノズル連通口３４と、各圧力室３３に共通に設けられたリザーバー３７と、このリザーバー３７と圧力室３３とを連通する個別連通口３５と、が形成されている。リザーバー３７は、ノズル３０が並設された方向に沿って延在する液室である。本実施形態においては、ノズルプレート２４に設けられた２つのノズル３０の列にそれぞれ対応して２つのリザーバー３７が形成されている。個別連通口３５は、各圧力室３３にそれぞれ対応してノズル列方向に沿って複数形成されている。この個別連通口３５は、圧力室３３のノズル連通口３４と連通する部分とは反対側の端部と連通する。

上記の連通板２５の下面の略中央部分には、複数のノズル３０が形成されたノズルプレート２４が接合される。本実施形態におけるノズルプレート２４は、連通板２５よりも小さい外形の板材である。このノズルプレート２４は、連通板２５の下面において、リザーバー３７の開口から外れた位置であって、ノズル連通口３４が開口した領域に、これらのノズル連通口３４と複数のノズル３０とがそれぞれ連通する状態で接着剤等により接合される。本実施形態におけるノズルプレート２４には、複数のノズル３０が列設されてなるノズル列が合計２条形成されている。また、連通板２５の下面において、ノズルプレート２４から外れた位置にコンプライアンス基板２７が接合される。このコンプライアンス基板２７は、連通板２５の下面に位置決めされて接合された状態で、連通板２５の下面におけるリザーバー３７の開口を封止している。このコンプライアンス基板２７は、インク流路内、特にリザーバー３７内の圧力変動を緩和する機能を有する。

アクチュエーター基板２６及び連通板２５は、ケース２８に固定されている。このケース２８の内部において、アクチュエーター基板２６を間に挟んだ両側には、連通板２５のリザーバー３７と連通する導入液室４２が形成されている。また、ケース２８の上面には、各導入液室４２と連通する導入口４３がそれぞれ開設されている。導入口４３は、フィルターユニット２２におけるインク供給路７５と連通する。このため、弁ユニット２１及びフィルターユニット２２から送られてきたインクは、導入口４３、導入液室４２、およびリザーバー３７へと導入され、リザーバー３７から個別連通口３５を通じて各圧力室３３に供給される。そして、上記構成の記録ヘッド１０では、導入液室４２からリザーバー３７および圧力室３３を通ってノズル３０に至るまでの流路内がインクで満たされた状態で、圧電素子３１が駆動されることにより、圧力室３３内のインクに圧力変動が生じ、この圧力振動によって所定のノズル３０からインクが噴射される。なお、液体噴射ヘッドとしては、例示した記録ヘッド１０に限られず、周知の種々の構成のものを採用することができる。例えば、液体貯留容器との間でインクが循環する構成の液体噴射ヘッドを採用することもできる。また、記録媒体の搬送方向に交差する方向に単位ヘッドを複数配列した単位ヘッド群を有し、この単位ヘッド群によって形成されるノズル群の全長が記録媒体の最大記録幅に対応した所謂ライン型液体噴射ヘッドを採用することも可能である。

図３及び図４は、弁ユニット２１の弁機構４８及び強制開弁機構４９の構成を説明する断面図であり、図３は閉弁された状態、図４は強制開弁機構４９により開弁された状態、をそれぞれ示している。本実施形態における弁ユニット２１は、例えば合成樹脂製のユニット本体４４内に気体流路２０とインク流路４５（本発明における液体流路の一種）とを備えている。気体流路２０の一端はポンプユニット１６と接続され、気体流路２０の他端は後述するフィルターユニット２２の脱気室と連通されている。また、インク流路４５の一端はインクカートリッジ１３と連通され、インク流路４５の他端は、弁機構４８を介してフィルターユニット２２のインク導入路６９と連通されている。弁機構４８は、インク流路４５を開閉する制御弁５１と、制御弁５１が配設された弁収容室５２と、当該弁収容室５２に連通する制御室５３と、制御室５３の強制開弁機構４９側の開口部を封止する受圧部材５４と、を備えて概略構成されている。弁収容室５２及び制御室５３は、インク流路４５の一部を構成している。弁収容室５２と制御室５３とを仕切る仕切壁には流入口５５が開設されており、当該流入口５５を通じて弁収容室５２と制御室５３とが互いに連通している。また、制御室５３は、インク流路４５の一部であるインク導出路５６を通じてフィルターユニット２２のインク導入路６９と連通されている。

受圧部材５４は、制御室５３の圧力変化に伴って当該制御室５３の内側、即ち、制御弁５１側へ向けて弾性変形するフィルム部材５７と、このフィルム部材５７の内側（制御室５３側）に設けられた受圧板５８とにより構成されている。フィルム部材５７は、制御室５３の開口部を密封している。即ち、フィルム部材５７は、インク流路４５の一部を密封する密封部材として機能する。本実施形態におけるフィルム部材５７は、例えば、ポリエチレンテレフタラートフィルムやポリプロピレンフィルム等の合成樹脂製の可撓性フィルムの表面に気密層としてシリカ（ＳｉＯ_２）を蒸着した構成となっている。即ち、この気密層が設けられていることによって、気体がフィルム部材５７を透過することが抑制される。また、当該構成を採用することによりフィルム部材５７の耐インク性も高められている。このようにフィルム部材５７は、後述する可撓部材６１と比較して単位厚み当たりの気体の遮蔽性が高くなっている。受圧板５８は、フィルム部材５７よりも硬質な平面視で略円形状の板材からなり、制御室５３内における制御弁５１と対向する位置に設けられている。この受圧板５８は、フィルム部材５７の変形に伴って変位するように構成されている。

制御弁５１は、弁収容室５２側から制御室５３へのインクの導入を許容する開弁状態と、制御室５３へのインクの導入を遮断する閉弁状態とに変換可能に構成されており、付勢部材５９によって閉弁位置側へ付勢された状態で弁収容室５２内に配設されている。制御弁５１は、円柱状の軸部５１ａと、この軸部５１ａの途中から側方に延出した略円盤状の鍔部５１ｂと、鍔部５１ｂの流入口５５側の面に設けられたシール部５１ｃと、により構成されている。軸部５１ａの先端部（鍔部５１ｂよりも先端側）は、その外径が流入口５５の内径よりも小さくなるように形成され、収容室５２側から流入口５５を通じて制御室５３内に一部が突出する状態で挿入されている。そして、この軸部５１ａと流入口５５の内周面との間の隙間を介して、インクカートリッジ１３側からのインクが制御室５３内に導入されるようになっている。鍔部５１ｂは、流入口５５の内径よりも大きい直径に設定された略円盤状に形成されている。この鍔部５１ｂに配設されたシール部５１ｃは、例えば、エラストマーやシリコーンゴム等の弾性材から構成されている。そして、図３に示されるように、閉弁時においては、シール部５１ｃが流入口５５の開口周縁部に対して弾性により密着することにより、流入口５５の開口周縁部を液密にシールする。すなわち、インク流路４５の一部である流入口５５を閉じる。

付勢部材５９は、制御弁５１における鍔部５１ｂのシール部５１ｃ側とは反対側の面に当接し、制御弁５１全体を制御室５３側に付勢する。そして、付勢部材５９は、記録ヘッド１０によるインクの消費によって制御室５３と後述する空間６２との間の圧力差が所定値となるまで、または、強制開弁機構４９からの押圧力を受けるまで、鍔部５１ｂのシール部５１ｃが流入口５５の開口周縁部に密着する閉弁位置に保持される。そして、この閉弁位置では、制御弁５１は、弁収容室５２側から制御室５３側へのインクの流入を遮断する。

制御弁５１が閉弁されることによって制御室５３へのインクの流入が遮断されると、ポンプユニット１６による加圧よってインクカートリッジ１３からインクが送られてくるので、制御室５３の内部の圧力よりも弁収容室５２内の圧力が高まる。これに対し、弁収容室５２よりも下流側の制御室５３の内部の圧力は、記録ヘッド１０によるインクの消費に伴って次第に低下し、制御室５３と受圧部材５４を挟んで外側の空間との間に圧力差が生じる。なお、本実施形態においては、制御室５３と受圧部材５４を挟んで外側の空間６２、即ち、受圧部材５４と後述する強制開弁機構４９の可撓部材６１との間の空間６２は、大気圧に調整されている。制御室５３と空間６２との間に圧力差により、受圧部材５４のフィルム部材５７が制御室５３の内側へ弾性変形し、受圧板５８を制御弁５１側へ押圧する。これに伴い、受圧板５８は、閉弁位置にある制御弁５１の軸部５１ａの先端部を押圧し、当該制御弁５１に作用する付勢部材５９の付勢力とインクカートリッジ１３側からのインクの圧力との合力に抗しながら当該制御弁５１を開方向、即ち、弁収容室５２側に移動させる。これにより、鍔部５１ｂのシール部５１ｃが流入口５５の開口周縁部から離間して密着状態が解除された開弁位置まで制御弁５１が変位した開弁状態となる。また、後述するように、強制開弁機構４９の可撓部材６１から押圧力を受けた場合においても、制御室５３内の圧力に拘わらず、閉弁状態から強制的に開弁状態とすることもできる。

上記の開弁状態では、弁収容室５２側から流入口５５を通じて制御室５３内へのインクの流入が許容される。制御室５３に流入したインクは、インク導出路５６を通じてフィルターユニット２２のインク導入路６９に流入する。開弁後、収容室５２側から制御室５３内にインクが流入すると、これに伴って制御室５３の内部の圧力が次第に上昇する。制御室５３の内圧の上昇により、受圧部材５４が、制御室５３の底部側、即ち、制御弁５１側から開口面側に向かって次第に変位する。最終的には、付勢部材５９の付勢力とインクカートリッジ１３側からのインクの圧力とによって制御弁５１が閉弁位置まで変位し、これにより鍔部５１ｂのシール部５１ｃが流入口５５の開口周縁部に密着して流入口５５を閉塞し、制御室５３へのインクの流入を遮断して閉弁状態となる。また、強制開弁機構４９の可撓部材６１の押圧による開弁状態から当該可撓部材６１による押圧力が解除された場合にも閉弁状態となる。

本実施形態において、弁機構４８の受圧部材５４と対向する位置に強制開弁機構４９が配設されている。本実施形態における強制開弁機構４９は、気体室４７と可撓部材６１とを備えている。気体室４７は、弁機構４８側の面から反対側の面に向けて窪んだ凹部である。即ち、気体室４７は、弁機構４８の受圧部材５４と対向する対向面６０と、当該対向面６０の外周縁から弁機構４８側に向けて延在する側面６５と、を有する。そして、当該気体室４７の弁機構４８側の開口が可撓部材６１によって封止されている。このため、可撓部材６１は、気体室４７の一部を区画している。気体室４７において対向面６０の略中央部には、当該対向面６０から弁機構４８側、換言すると、可撓部材６１側に向けて突出した円筒状の突出部６３が形成されている。この突出部６３の内部には、気体が流通可能な通気路４６が形成されている。この通気路４６の一端、即ち、気体室４７側とは反対側の端は気体流路２０と連通されている。また、通気路４６の他端は通気口６４（本発明における流通部位の一種）として突出部６３の端面に開口している。即ち、気体室４７は、通気路４６を介して気体流路２０と連通されている。したがって、ポンプユニット１６の作動により、気体室４７の内部に気体が流出又は流入することで、気体室４７の内部を減圧したり又は加圧したりすることができるように構成されている。なお、気体室４７は、本来は気体、即ち、空気が流入する空間であるが、後述するように液体が充填された構成を採用することも可能である。つまり、この気体室４７は、内部の圧力変化により可撓部材６１を変位させる圧力調整室ともいえる。

可撓部材６１は、気体室４７の内部の圧力変化に応じて弾性変形可能な弾性材から作成された部材である。制御弁５１の開閉方向で見て可撓部材６１の面積は、気体室４７の凹部の開口を充分に覆うことが可能な程度に当該気体室４７の凹部の開口面積よりも広く設定されている。この可撓部材６１は、気体室４７の凹部の開口よりも外側においてユニット本体４４に固定されている。このユニット本体４４に固定されて、その動きが規制された部分が規制部６６である。また、可撓部材６１は、規制部６６よりも内側、即ち、気体室４７を封止し、気体室４７の内部の圧力変化に応じて実際に弾性変形する可動部に、薄肉部６７（本発明における第１部分に相当）と、当該薄肉部６７と比較して厚さが厚く設定された厚肉部６８（本発明における第２部分に相当）を有する。薄肉部６７は、気体室４７内の圧力変化に応じてより変形しやすくするために厚みが薄くされており、その分、気体が透過しやすい。これに対し、厚肉部６８の厚みは薄肉部６７よりも厚く設定されているので、薄肉部６７と比較して気体が透過しにくくなっている。この厚肉部６８は、可撓部材６１の中央部における通気口６４、及び、弁機構４８の受圧部材５４にそれぞれ対向する位置に設けられ、本発明における接触部として機能する。

ポンプユニット１６により気体室４７の内部が減圧、即ち、気体室４７の可撓部材６１を挟んで外側の空間６２の圧力よりも減圧されると、可撓部材６１の可動部は気体室４７の内側、即ち、対向面６０側に向けて変位する。気体室４７の内部が減圧された状態では、図３に示されるように、通気口６４が開口した突出部６３の端面（換言すると、突出端面）に厚肉部６８が当接して通気口６４を塞ぐことで気密にシールした状態となる。なお、本実施形態において、ユニット本体４４は、本発明における他の部材の一種であり、突出部６３の端面の通気口６４の開口部は、ユニット本体４４よりも狭義の他の部材の一種である。このように、通気口６４が開口した開口部、即ち、突出部６３の端面が気体室４７の対向面６０から可撓部材６１側に向けて突出しているので、厚肉部６８が接触する部分が通気口６４の開口部に限定されることで接触圧をより高められるので、厚肉部６８による通気口６４のシール性を向上させることが可能となる。また、厚肉部６８は、薄肉部６７と比較して厚いので気体が透過しにくくなっている。このため、減圧時に空間６２側から気体が厚肉部６８を透過して気体室４７へ移動することが抑制される。これに対して、薄肉部６７は、厚肉部６８と比較して薄いので気体室４７内の圧力変化に応じて変形しやすい。これにより、可撓部材６１の機能をより効果的に発揮することができる。即ち、本実施形態においては、後述するように弁機構４８の制御弁５１を強制的に開く動作をより確実に且つ円滑に行うことができる。なお、通気口６４をシールした状態とは、通気口６４の開口部と可撓部材６１とが接触した部分が途切れることなく環状に通気口６４の周囲を囲んでいる状態である。

なお、本実施形態においては、気体室４７内の圧力と空間６２内の圧力とが揃った状態、即ち、ポンプユニット１６による気体室４７内の減圧又は加圧が行われていない状態において、厚肉部６８が通気口６４の開口周縁部に当接するように構成されている。このため、減圧又は加圧が行われていない状態において厚肉部６８が通気口６４の開口部に当接していない、即ち、厚肉部６８が通気口６４の開口部から離れている構成と比較して、厚肉部６８を通気口６４の開口部に当接させるために可撓部材６１を大きく変形させる必要がなくなる。これにより、減圧又は加圧が行われていない状態で厚肉部６８が通気口６４の開口部に当接していない構成において厚肉部６８を通気口６４の開口部に当接させるために気体室４７内の減圧をより長期に亘って維持する場合と比較して、薄肉部６７の形状が変形して元の状態で戻らなくなってしまう所謂クリープを抑制することが可能となる。本実施形態において、厚肉部６８が通気口６４の開口部に当接してシールした状態では、薄肉部６７は、気体室４７の凹部の形状に倣って対向面６０側に撓んだ状態となる。ここで、気体室４７において可撓部材６１が接触する部分（即ち、通気口６４の開口部）と可撓部材６１の一方の部材における他方の部材と接触する部分は、他方の部材と比較して平滑度が高いことが望ましい。例えば、通気口６４が開口した突出部６３の端面に対してラップ加工を施す一方、可撓部材６１の表面に粗面加工を施すことで、通気口６４の開口部の平滑度が可撓部材６１の表面の平滑度よりも高い構成を採用することができる。このように、一方の部材の接触する部分の平滑度が他の部材の平滑度よりも高いのでシール性を確保しつつ、シール状態を解除する際により円滑に両者を離間させることができる。即ち、両者が密着してシール状態が解除されない不具合を抑制することができる。

ポンプユニット１６により気体室４７の内部が加圧されると、図４に示されるように、可撓部材６１の可動部は気体室４７の外側、即ち、弁機構４８側に向けて変位する。そして、気体室４７の内部が所定の圧力まで加圧されると、弁機構４８における受圧部材５４のフィルム部材５７（本発明における他の部材の一種）に厚肉部６８が当接して、受圧部材５４を制御弁５１側に押圧する。この気体室４７の圧力を調整することで、制御室５３内の圧力の如何に関わらず、制御弁５１を強制的に開くことが可能である。なお、本実施形態において、厚肉部６８における突出部６３の端面に接触する部分、及び、フィルム部材５７と接触する部分が、それぞれ本発明における接触部として機能する。

図２に示されるように、フィルターユニット２２は、インク導入路６９、脱気室７０、フィルター室（より具体的には上部フィルター室７２及び下部フィルター室７３）、フィルター７４、及び、インク供給路７５を内部に備えている。インク導入路６９は、弁ユニット２１のインク流路４５と連通されており、当該インク流路４５のインク導出路５６からのインクが導入される。インク導入路６９に導入されたインクは、フィルター室に流入する。フィルター室は、上部フィルター室７２と下部フィルター室７３とから構成されている。また、これらのフィルター室７２，７３の間を仕切るようにフィルター７４が設けられている。上部フィルター室７２は、上方、即ちフィルター７４とは反対側から、下方、即ちフィルター７４側に向かって拡大した空間となっている。フィルター７４は、フィルターユニット２２の流路を塞ぐ状態で配置され、フィルター室に流入したインクに混入した気泡や異物を捕集する。下部フィルター室７３は、上方、即ちフィルター７４側から、下方、即ちフィルター７４側とは反対側に向かって縮小する空間である。この下部フィルター室７３の底部にインク供給路７５が連通している。インク供給路７５は、下部フィルター室７３から分岐し、分岐した先がフィルターユニット２２の底部において記録ヘッド１０の導入口４３とそれぞれ連通されている。

脱気室７０は、上部フィルター室７２の上方に設けられた空間である。そして、この脱気室７０と上部フィルター室７２とは透過膜７６によって仕切られている。このため、上部フィルター室７２の天井面は、透過膜７６で構成されている。この透過膜７６は、気体（空気）の透過は許容する一方、インク等の液体の透過を阻止する気液分離膜であり、例えば高分子材料で形成される。インク導入路６９から上部フィルター室７２内に流入したインクに含まれる気泡はフィルター７４で捕捉され、浮力によって上部フィルター室７２の天井面に溜まる。そして、この上部フィルター室７２の天井面に溜まった気泡が透過膜７６を透過することで脱気室７０に排出される。この脱気室７０は、弁ユニット２１の気体流路２０と連通されている。

上記構成において、記録ヘッド１０の内部の流路にインクを導入する初期充填の際、或は、記録ヘッド１０の内部の流路のインクや気泡をノズル３０から強制的に排出させるメンテナンス動作の際、ポンプユニット１６によりインクカートリッジ１３の内部及び気体室４７の内部が加圧される加圧動作が行われる。これにより、図４に示されるように、気体室４７の内部の圧力の上昇に応じて可撓部材６１が弁機構４８側に変位し、厚肉部６８が受圧部材５４のフィルム部材５７に当接して受圧部材５４を制御弁５１側に押圧する。これに伴って、受圧部材５４が、閉弁位置にある制御弁５１を押圧し、当該制御弁５１に作用する付勢部材５９の付勢力とインクカートリッジ１３側からのインクの圧力との合力に抗しながら当該制御弁５１を弁収容室５２側に移動させて開弁状態とする。これにより、制御室５３と弁収容室５２とが流入口５５を介して互いに連通し、インクカートリッジ１３側からのインクがインク流路４５を通ってフィルターユニット２２のインク導入路６９へ流入し、フィルター７４を通過した後、インク供給路７５を通じて記録ヘッド１０の内部の流路へと送られる。これにより、初期充填動作やメンテナンス動作を行うことができる。このような初期充填動作やメンテナンス動作では、これらの動作が終了するまで気体室４７の内部の加圧状態が維持される。このときの気体室４７の内部圧力は、可及的に一定に維持されることが望ましい。

初期充填動作やメンテナンス動作が完了すると、ポンプユニット１６による加圧動作が停止し、気体室４７の内部の圧力が初期状態、即ち、ポンプユニット１６による加圧動作及び減圧動作が行われていないときの圧力まで戻る。これにより、可撓部材６１が弁機構４８側から気体室４７の対向面６０側に向けて変位し、フィルム部材５７から離間する。これに伴って受圧部材５４も、制御室５３の底部側、即ち、制御弁５１側から制御室５３の開口面側、即ち、強制開弁機構４９側に向かって変位して元の状態へと戻る。その結果、制御弁５１が流入口５５の開口周縁部に密着して流入口５５を閉塞し、収容室５２側から制御室５３へのインクの流入を遮断して閉弁状態となる。

次に、インクに含まれる空気を除去する脱気動作について説明する。上述したように、フィルター７４に捕捉された気泡は、上部フィルター室７２の天井面に留まる。このような気泡を除去するために、ポンプユニット１６の減圧動作によって脱気室７０の減圧状態を維持する脱気動作が行われる。脱気動作は、例えばプリンター１の電源投入の直後や、印刷動作が行われていない待機状態のとき等の任意のタイミングで実行される。脱気動作ではポンプユニット１６が気体流路２０を通じた減圧動作を実行する。これにより、気体流路２０と連通する気体室４７と脱気室７０とがポンプユニット１６の空気の吸引により減圧される。

気体室４７の内部が減圧されると、可撓部材６１は気体室４７の内側に向けて変位し、図３に示されるように、通気口６４の開口部に厚肉部６８が当接して当該通気口６４を塞ぐことでシールする。なお、本実施形態においては、気体室４７内の減圧又は加圧が行われていない状態において厚肉部６８が可撓部材６１の弾性により通気口６４の開口部に当接するように構成されているので、減圧時には厚肉部６８が通気口６４の開口部をシールした状態を維持することになる。そして、減圧状態が維持されることにより、上部フィルター室７２の天井面に溜まった気泡、即ち空気が次第に透過膜７６を透過して脱気室７０内に移動し、脱気室７０に移動した空気は、気体流路２０を通じて外部に排出される。このような脱気動作では、より効果を得るためにはできるだけ長時間に亘って脱気室７０の減圧状態を維持することが望ましい。なお、このような脱気を行う機構は、例示した部分に限られず、例えば、液体貯留容器との間でインクが循環する構成の液体噴射ヘッドの場合には、往路及び復路の両方に上記のような脱気機構（即ち、液体が流通する流路等の一部を区画する透過膜、気体流路２０に連通する脱気室）を設けることもできる。

ここで、従来の可撓部材に関し、圧力変化に追従して変形しやすいように薄手なものが使われていた上、気体室の通気口の開口部をシールする構成も採用されていなかったため、当該可撓部材から気体が透過することにより、減圧状態を維持することが難しいという問題があった。これに対し、本発明に係る可撓部材６１は、気体室４７の内部が減圧されると通気口６４の開口部に当接して当該通気口６４をシールするので、可撓部材６１において気体の透過が問題となる領域が実質的に通気口６４に対応する範囲に限られる。即ち、このようにシールをとることで、可撓部材６１において気体の透過が問題となる領域が減少する。このため、通気口６４のような流通部位が可撓部材によってシールされない従来の構成と比較して減圧した状態をより長期に亘って維持することができる。また、本実施形態における可撓部材６１は、気体が透過しやすい薄肉部６７と、気体が透過しにくい厚肉部６８とを有し、厚肉部６８によって通気口６４をシールするので、より気体が透過しにくくなり、シール性がより向上する。このため、減圧した状態をさらに長期に亘って維持しやすい。

加圧時においては、インク流路４５の一部を密封する密封部材であるフィルム部材５７に可撓部材６１が接触してシールすることで可撓部材６１において気体が透過する面積が減少するので、加圧した状態をより長期に亘って維持することができる。即ち、本実施形態においては、フィルム部材５７が気密層を有することで気体が透過しにくいので、当該フィルム部材５７に対して可撓部材６１が接触してシールすることで、気体が透過することがより確実に抑制され、加圧した状態を可及的に一定の圧力で維持することができる。そして、このように可撓部材とは別に液体流路を密封する密封部材が設けられていることにより、一つの部材に両者の機能を持たせる構成と比較して可撓部材と密封部材のそれぞれの機能をより効果的に発揮させることができる。即ち、可撓部材については、気体室の圧力変化に応じて変形すると共に接触部により他の部材に接触してシールする機能を発揮させる一方、密封部材は耐インク性や気密性を発揮させることができる。

そして、本発明に係る弁ユニット２１によれば可撓部材６１における気体の透過を抑制して減圧状態又は加圧状態をより長期に亘って維持することが可能であるので、当該弁ユニット２１からのインクが導入される記録ヘッド１０及びこれを備えるプリンター１では、上記の初期充填動作、メンテナンス動作、或は、脱気動作をより確実に実現することが可能となる。可撓部材６１が接触してシールする対象は、通気口６４のみ、あるいはフィルム部材５７のみでもよい。

図５は、第２の実施形態における弁機構４８及び強制開弁機構４９の構成を説明する図である。上記第１の実施形態では、気体室４７の対向面６０から可撓部材６１側に向けて突出部６３が形成され、当該突出部６３の端面に可撓部材６１の厚肉部６８が当接する構成を例示したが、これには限られない。本実施形態においては、気体室４７の対向面６０には突出部６３は設けられておらず、平坦な対向面６０に通気口６４が開口している。これに対し、可撓部材６１には、厚肉部６８から対向面６０側に向けて突出した突出部８０が設けられている。そして、気体室４７が減圧されると、厚肉部６８に設けられた突出部８０の端面が通気口６４の開口部と当接して通気口６４をシールするように構成されている。本実施形態においては、突出部８０の通気口６４の開口部と接触する部分が、本発明における接触部として機能する。本実施形態の構成においても、気体室４７の減圧時に通気口６４の開口部と可撓部材６１との接触部分が突出部８０の端面に限定され、接触圧をより高められるので、気体が透過しにくくなり、シール性を向上させることが可能となる。なお、気体室４７に突出部６３が設けられると共に、可撓部材６１に突出部８０が設けられ、これらの突出部同士が接触する構成を採用することも可能である。また、他の構成について第１の実施形態と同様である。

図６及び図７は、第３の実施形態における弁機構４８及び強制開弁機構４９の構成を説明する図であり、図６は減圧時の状態、図７は加圧時の状態をそれぞれ示している。本実施形態において、可撓部材６１における気体室４７を封止している部分、即ち、規制部６６よりも内側の可動部に関し、第１の実施形態における厚肉部６８に相当する部分が設けられておらず、厚さが概ね一定とされている点で上記第１の実施形態と相違している。本実施形態における可動部の厚さは、例えば、上記第１の実施形態における薄肉部６７の厚さと揃えられている。本実施形態において気体室４７が減圧されると、図６に示されるように、可撓部材６１における可動部が、気体室４７側の突出部６３の端面の通気口６４の開口部と当接して通気口６４をシールするように構成されている。これにより、当減圧時に通気口６４の開口部と可撓部材６１との接触部分が突出部６３の端面に限定され、単位面積当たりの接触圧をより高められるので、気体が透過しにくくなり、シール性を向上させることが可能となる。

本実施形態において気体室４７が加圧されると、図７に示されるように、可撓部材６１における可動部が、密封部材であるフィルム部材５７に可撓部材６１が接触してシールすることで可撓部材６１において気体が透過する面積が減少する。この際、可撓部材６１の可動部とフィルム部材５７との接触面積がより大きくなるようにすることが望ましい。これにより、気体室４７側から可撓部材６１を透過して空間６２側へ気体が移動することが抑制される。その結果、気体室４７が加圧された状態をより長期に亘って維持することができる。即ち、本実施形態においては、フィルム部材５７が気密層を有することで気体が透過しにくいので、当該フィルム部材５７に対して可撓部材６１が接触してシールすることで、可撓部材６１を気体が透過することがより確実に抑制され、加圧した状態を可及的に一定の圧力で維持することができる。なお、他の構成については第１の実施形態と同様である。

図８及び図９は、第４の実施形態における弁機構４８及び強制開弁機構４９の構成を説明する図であり、図８は減圧時の状態、図９は加圧時の状態をそれぞれ示している。本実施形態において、気体室４７に液体として充填液８１が充填されており、可撓部材６１の一方の面、即ち、可動部の気体室４７側の面が充填液８１で覆われている。充填液８１としては、シリコーンオイル等、可撓部材６１と化学的に反応しにくいものであって、気体が透過しにくく、温度変化による粘度変化が可及的に低く、また、揮発性が可及的に低い液体を用いることが望ましい。本実施形態においては、充填液８１が気体室４７に充填されていることにより、気体室４７の減圧時又は加圧時の両方において可撓部材６１の可動部の気体室４７側の面が気体に直接触れないように構成されている。これにより、可撓部材６１における気体の透過をより一層抑制することが可能となる。その結果、気体室４７が減圧された状態又は加圧された状態をさらに長期に亘って維持することが可能となる。なお、他の構成については第１の実施形態と同様である。

図１０及び図１１は、第４の実施形態の変形例における弁機構４８及び強制開弁機構４９の構成を説明する図であり、図１０は減圧時の状態、図１１は加圧時の状態をそれぞれ示している。上記充填液８１は、気体室４７の減圧時又は加圧時において可撓部材６１の少なくとも一部を覆う構成であってもよい。この変形例では、気体室４７の減圧時において薄肉部６７のみが充填液８１に覆われる構成となっている。このように、充填液８１が可撓部材６１の一部を覆う構成においても、可撓部材６１において気体が透過する領域が削減されるので、可撓部材６１における気体の透過を抑制することが可能となる。なお、他の構成については第１の実施形態と同様である。

図１２は、第５の実施形態における弁機構４８及び強制開弁機構４９の構成を説明する図である。同図においては気体室４７の減圧時の状態が示されている。本実施形態において、可撓部材６１において通気口６４の開口部と接触する接触部には、気体の透過を抑制する遮蔽部材８２が設けられている。この遮蔽部材８２は、可撓部材６１と比較して単位厚み当たりの気体の遮蔽性が高い材料から形成され、通気口６４の開口部の面積と同程度の面積又はより広い面積を有する板状の部材である。この遮蔽部材８２としては、気体の遮蔽性が高いものであれば、合成樹脂や金属等により形成されたものを用いることができるが、例えば、ブチルゴム等のように通気口６４の開口部と接触する際により気密性を確保することができるように弾性を有するものがより望ましい。また、このような遮蔽部材８２は、可撓部材６１の接触部において気体室４７側の面または気体室４７側とは反対側の面のうち少なくとも何れか一方の面に設けられていれば良い。このように可撓部材６１の接触部に遮蔽部材８２が設けられていることにより、可撓部材６１における気体の透過を抑制しつつ、接触部の厚みを削減することができる。これにより、気体室４７内の圧力変化に応じて可撓部材６１が変形しやすくなり、また、強制開弁機構４９の小型化に寄与する。

図１３は、第６の実施形態における弁機構４８及び強制開弁機構４９の構成を説明する図である。本実施形態では、気体室４７の内部が減圧された状態において厚肉部６８が通気口６４の開口部に当接しない一方、薄肉部６７が気体室４７の対向面６０に接触部として当接することで、通気口６４の開口部をシールするように構成されている。この構成では、厚肉部６８と比較して気体が透過しやすい薄肉部６７が対向面６０に当接することで、可撓部材６１において気体が透過しやすい領域を削減することができる。一方、厚肉部６８は、薄肉部６７よりも気体が透過しにくいので、通気口６４の開口部に対して接触することなく離れていてもこの部分における気体の透過は抑制される。この構成において、薄肉部６７が可及的に広い面積で対向面６０又は側面６５に接触することが望ましい。これにより、薄肉部６７において気体が透過する領域をより小さくすることができるので、シール性の向上に寄与する。なお、他の構成については第１の実施形態と同様である。

上記各実施形態においては、気体室４７の加圧時に密封部材であるフィルム部材５７に可撓部材６１が接触して当該フィルム部材５７を押圧することにより制御弁５１を強制的に開く構成を例示したが、このような制御弁５１を有する構成には限られず、可撓部材が密封部材に当接して押圧することで液体流路内の液体の圧力を高める、或は、液体流路の体積を変化させる構成に適用することもできる。例えば、可撓部材が密封部材を押圧することにより、この押圧により減少した液体流路の体積分の液体を液体噴射ヘッドのノズルから排出したり、或は、上記ワイピング機構によってノズル面を払拭するワイピング動作の際にノズル内に気泡が巻き込まれないように、予備動作としてノズル内の液体をノズル面側に押し出したりする構成を採用することもできる。さらには、可撓部材が密封部材を押圧することにより、当該封止部材が封止している液体流路を閉塞して当該液体流路の液体の流通を規制する弁として機能させる構成にも本発明を適用することができる。

そして、以上では、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド１０を例に挙げて説明したが、本発明は、本発明に係る弁ユニットからの液体を噴射する他の液体噴射ヘッドおよびこれを備える液体噴射装置にも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を複数備える液体噴射ヘッド、および、これを備える液体噴射装置にも本発明を適用することができる。

１…プリンター，２…フレーム，３…プラテン，４…ガイドロット，５…キャリッジ，６…パルスモーター，７…駆動プーリー，８…遊転プーリー，９…タイミングベルト，１０…記録ヘッド，１１…キャッピング機構，１２…ワイピング機構，１３…インクカートリッジ，１４…カートリッジホルダー，１５…エアーチューブ，１６…エアーポンプ，１７…インク供給チューブ，１８…ＦＦＣ，１９…回路基板，２０…気体流路，２１…弁ユニット，２２…フィルターユニット，２４…ノズルプレート２５…連通板，２６…アクチュエーター基板，２７…コンプライアンス基板，２８…ケース，３０…ノズル，３１…圧電素子，３２…保護基板，３３…圧力室，３４…ノズル連通口，３５…個別連通口，３６…振動板，３７…リザーバー，３８…コンプライアンスシート，３９…支持板，４０…貫通開口，４１…コンプライアンス空間，４２…導入液室，４３…導入口，４４…ユニット本体，４５…インク流路，４６…通気路，４７…気体室，４８…弁機構，４９…強制開弁機構，５１…制御弁，５２…弁収容室，５３…制御室，５４…受圧部材，５５…流入口，５６…インク導出路，５７…フィルム部材，５８…受圧板，５９…付勢部材，６０…天井面，６１…可撓部材，６２…空間，６３…突出部，６４…通気口，６５…側壁，６６…規制部，６７…薄肉部，６８…厚肉部，６９…インク導入路，７０…脱気室，７２…上部フィルター室，７３…下部フィルター室，７４…フィルター，７５…インク供給路，７６…透過膜，７７…脱気口，８０…突出部，８１…充填液，８２…遮蔽部材

Claims (12)

1. 気体が流入又は流出することが可能な気体室と、
   前記気体室の一部を区画し、当該気体室内の圧力変化に応じて変形する可撓部材と、
   を備え、
   前記可撓部材は、変形が規制された規制部よりも内側に、他の部材と接触する接触部を有し、前記気体室の減圧時又は加圧時の少なくとも何れか一方において前記接触部で前記他の部材と接触して前記他の部材をシールし、
   前記可撓部材は、気体が透過しやすい第１部分と、当該第１部分よりも気体が透過しにくい第２部分と、を有し、
   前記他の部材は、気体の流通部位である通気口を有し、
   前記第２部分に含まれる前記接触部にて前記通気口をシールすることを特徴とする流路部材。
2. 前記第２部分の厚さは、前記第１部分の厚さよりも厚いことを特徴とする請求項１に記載の流路部材。
3. 前記可撓部材の前記接触部と前記通気口の開口部との少なくとも一方は、他方に向けて突出していることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の流路部材。
4. 前記接触部は、前記可撓部材と比較して単位厚み当たりの気体の遮蔽性が高い遮蔽部材を有することを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の流路部材。
5. 気体が流入又は流出することが可能な気体室と、
   前記気体室の一部を区画し、当該気体室内の圧力変化に応じて変形する可撓部材と、
   を備え、
   前記可撓部材は、変形が規制された規制部よりも内側に、他の部材と接触する接触部を有し、前記気体室の減圧時又は加圧時の少なくとも何れか一方において前記接触部で前記他の部材と接触して前記他の部材をシールし、
   前記接触部は、前記可撓部材と比較して単位厚み当たりの気体の遮蔽性が高い遮蔽部材を有することを特徴とする流路部材。
6. 前記可撓部材の少なくとも一方の面が充填液で覆われていることを特徴とする請求項１から請求項５の何れか一項に記載の流路部材。
7. 気体が流入又は流出することが可能な気体室と、
   前記気体室の一部を区画し、当該気体室内の圧力変化に応じて変形する可撓部材と、
   を備え、
   前記可撓部材は、変形が規制された規制部よりも内側に、他の部材と接触する接触部を有し、前記気体室の減圧時又は加圧時の少なくとも何れか一方において前記接触部で前記他の部材と接触して前記他の部材をシールし、
   前記可撓部材の少なくとも一方の面が充填液で覆われていることを特徴とする流路部材。
8. 前記可撓部材の両側の面における圧力が揃った状態において、前記接触部が前記他の部材に接触していることを特徴とする請求項１から請求項７の何れか一項に記載の流路部材。
9. 前記可撓部材と前記他の部材との少なくとも一方の部材における他方の部材と接触する部分は、前記他方の部材と比較して平滑度が高いことを特徴とする請求項１から請求項８の何れか一項に記載の流路部材。
10. 前記他の部材は、液体が流れる液体流路の一部を密封し、かつ、前記可撓部材との接触により変形可能な密封部材であることを特徴とする請求項５又は７に記載の流路部材。
11. 請求項１から請求項１０の何れ一項に記載の流路部材から導入された液体を噴射することを特徴とする液体噴射ヘッド。
12. 請求項１１に記載の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。

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