JP6097545B2 - ダイヤフラム弁 - Google Patents

Description

本発明は、流体の充填等に使用されて好適なダイヤフラム弁に関する。

従来のダイヤフラム弁は、図６に示すように、空気等の流体圧、ばね力等を受けてシリンダ１０１内を往復するピストン１０２が、このピストン１０２に取り付けられたスピンドル１０３、及びスピンドル１０３に取り付けられたコンプレッサ１０４を介して、ゴム等の弾性材からなるダイヤフラム１０５を作動させる。そして、このダイヤフラム１０５が、バルブ本体１０６内の通路１０７に堰状に突設された立上げ部１０８の弁座１０９に圧接して、この通路１０７を閉じることにより、ダイヤフラム弁は閉弁する。このようなダイヤフラム弁は、その他種々なものが使用されている（例えば、特許文献１参照）。

また、ダイヤフラム弁は、薬剤等の流体を容器に充填する場合の充填弁として使用されることがある。この場合、大口径のダイヤフラム弁を使用してその流量を多くすると、充填時間を減少させることができる一方、規定量の流体が充填されたと判断して閉弁させても、流量が多いため充填量を一定にすることが極めて困難である。この一方、微小なダイヤフラム弁を使用して流量が少なすぎると、充填作業に多大な時間を要し、作業性が極めて悪くなる。

このため、薬剤等を容器に充填するための充填弁として使用する際に必要とされるダイヤフラム弁は、充填作業の中間段階では流量が多く、充填作業時間を短くすることができる一方、充填作業の最終段階では流量が少くなり、閉弁による規定量の調整が正確にできるダイヤフラム弁である。しかも生産設備の単純化のため、１つのダイヤフラム弁でその充填作業を完了できることが望まれる。

そこで、従来は中間開度を任意に調整することができるダイヤフラム弁を使用して、ダイヤフラム弁１つで、充填作業の中間段階では流量を多く、充填作業の最終段階では流量を少くして、充填作業の正確性と作業効率の向上を図ってきた（例えば、特許文献２参照）。

特開２００４−１４４２２５号公報 特開平１０−２９９９１５号公報

上述のように、従来のダイヤフラム弁は、薬剤等の流体を容器に充填する場合の充填弁として使用される場合には、１つのダイヤフラム弁だけで、充填作業の中間段階では流量が多く、充填作業時間を短くすることができる一方、充填作業の最終段階では流量が少くなり、閉弁による規定量の調整が正確にできるものであることが要求される。このため、中間開度を任意に調整できるダイヤフラム弁を使用し、充填作業の中間段階では流量を多く、充填作業の最終段階では流量を少くして、充填作業の正確性と作業効率の向上を図ってきた。

しかしながら、上述の従来の中間開度を任意に調整することができるダイヤフラム弁は、最小の中間開度に設定しても、その流量は最大流量の高々１０％までにしか絞ることができない。この一方、作業時間の短縮に必要な最大流量を確保するために大口径のダイヤフラムを使用しなければならず、このため、１つのダイヤフラム弁だけでは、閉弁による規定量の調整を正確に行なうことができないという問題がある。

本発明はこのような問題を解決するためになされたもので、１つのダイヤフラム弁だけで、作業の中間段階では流量が多く、作業時間の短縮に必要な最大流量を従来どおり確保できると共に、作業の最終段階では流量を少くして閉弁による規定量の調整を極めて正確に行なうことができる、ダイヤフラム弁を提供することを課題とする。

上述の課題を解決するために、本発明が採用する手段は、第１弁座と第１弁座を挟んで上流側及び下流側に配設された第１流路とからなる第１通路を有する弁本体と、弁本体の第１弁座に圧接して第１通路を閉じることができる第１ダイヤフラムと、第１ダイヤフラムを開閉させる第１駆動部とを備えたダイヤフラム弁において、その流量が前記第１通路の流量よりも少ないと共に第１弁座の上流側に上流側開口部を第１弁座の下流側に下流側開口部をそれぞれ有して第１弁座の上流側の第１流路と第１弁座の下流側の第１流路とを連通させる第２通路と、第２通路に配設されて第２通路を開閉させる弁装置とを備えたことにある。

このように、本発明のダイヤフラム弁は、その流量が、第１弁座とこの第１弁座を挟んで上流側及び下流側に配設された第１流路とからなる第１通路の流量よりも少ないと共に、第１弁座の上流側に上流側開口部を、下流側に下流側開口部をそれぞれ有して第１通路の第１弁座の上流側の第１流路と下流側の第１流路とを連通させる第２通路と、この第２通路に配設されて第２通路を開閉させることができる弁装置とを備えているから、第２通路の流量を第１通路の流量とは無関係に設定することができ、例えば極めて微少に設定することもできる。

上記ダイヤフラム弁において、ダイヤフラム弁は、流体の充填作業に使用されるダイヤフラム弁であって、充填作業の中間段階では第１駆動部により第１ダイヤフラムを開弁させる一方、充填作業の最終段階では第１駆動部により第１ダイヤフラムを閉弁させて第１通路を閉じると共に弁装置を開弁させて第２通路を開くようにすることが望ましい。

このように、充填作業の中間段階では第１ダイヤフラムを開弁させるから、充填作業時間の短縮に必要な最大流量を従来どおり確保することができる。この一方、充填作業の最終段階では、第１ダイヤフラムを閉弁させて第１通路を閉じると共に、弁装置により第２通路を開くことにより、流量を少く、例えば極めて微少にすることもできる。このため、弁装置の閉弁によって行なう容器等への流体の充填量の最終調整を、極めて容易に行なうことができる。したがって、流体の充填作業を極めて正確に行うことができる。

上記ダイヤフラム弁において、第２通路は、第２流路と、内円筒状に形成されて第２流路よりも半径方向の断面積が広く形成されて上流側の第２流路に対して段付き状に拡径して連続する拡径部を有すると共に拡径部の上流側の端面に第２弁座が形成され、弁装置は、先端部が円筒状に形成されて拡径部内に配設される第２ダイヤフラムを有する第２ダイヤフラム弁であり、第２ダイヤフラムを作動させる第２駆動部により第２ダイヤフラムの先端部が第２通路に設けられた第２弁座に圧接されて閉弁することが望ましい。

第２通路に配設される弁装置をこのように構成にすることにより、第２通路の開閉弁を極めて正確に、かつ短時間で行なうことができ、弁装置の閉弁による流体の充填量の最終調整をさらに容易に行うことができ、流体の充填作業をより正確に行うことができる。

上記ダイヤフラム弁において、第２ダイヤフラムは、先端に環状に形成された環状凸部を有し、第２ダイヤフラムの環状凸部は、第２ダイヤフラム弁が閉弁するときに第２弁座に圧接して液漏れを防止することが望ましい。

このように、第２ダイヤフラムは環状に形成された環状凸部を先端に有し、この第２ダイヤフラムの環状凸部が、第２ダイヤフラム弁が閉弁するときに第２弁座に圧接することにより、第２通路の弁装置の閉弁がさらに確実に行われ、閉弁後に流体の液漏れを確実に防止することができる。

上記ダイヤフラム弁において、弁本体の第１通路は、第１流路から堰状に立ち上がる立上げ部を有し、第１弁座は、立上げ部の先端部に形成され、第２通路の上流側開口部と第２通路の下流側開口部は、立上げ部の上流側壁部と立上げ部の下流側壁部とにそれぞれ形成されることが望ましい。

このように、弁本体の第１通路に第１流路から堰状に立ち上がる立上げ部を形成し、この立上げ部の先端部に第１弁座を、また立上げ部の上流側壁部と下流側壁部とに第２通路の上流側開口部と下流側開口部とをそれぞれ形成することにより、第１通路を挟んで第１ダイヤフラムの反対側に第２通路を開閉するための弁装置を配設することができるようになり、ダイヤフラム弁全体を小型化することができる。

上記ダイヤフラム弁において、弁本体の第１通路は、第１弁座の上流側の第１流路と第１弁座の下流側の第１流路とが略同軸上にある直管状に形成され、第２通路の上流側開口部の近傍の第２流路と第２通路の下流側開口部の近傍の第２流路は、第１通路に対して略平行に形成されることが望ましい。

このように、弁本体の第１通路を直管状に形成すると共に、第２通路の上流側開口部の近傍の第２流路と下流側開口部の近傍の第２流路を第１通路に対して略平行に形成することにより、第１通路及び第２通路を通る流体の流れを極めてスムーズにすることができ、作業の効率向上を図ることができると共に、第２通路の弁装置が閉弁したときに第２通路を流れる流体を反応よく止めることができる。したがって、流体の充填作業を極めて正確に行うことができる。

上記ダイヤフラム弁において、第１ダイヤフラム弁と弁装置とが閉弁した後に第１弁座の下流側の第１通路内に残る残存流体を吸引して液垂れを防止するためのサクションバック機構を第２通路の下流側開口部よりもさらに下流側の第１通路に備えることが望ましい。

このように、第２通路の下流側開口部のさらに下流側に、第１ダイヤフラム弁及び弁装置が閉弁した後に、第１弁座の下流側の第１通路内及び第２弁座の下流側の第２通路内に残る残留流体を吸引するためのサクションバック機構を備えることにより、第１ダイヤフラム弁及び弁装置が閉弁した後の液垂れを確実に防止することができる。

本発明のダイヤフラム弁は、第１弁座と第１弁座を挟んで上流側及び下流側に配設された第１流路とからなる第１通路を有する弁本体と、弁本体の第１弁座に圧接して第１通路を閉じることができる第１ダイヤフラムと、第１ダイヤフラムを開閉させる第１駆動部とを備えたダイヤフラム弁において、その流量が前記第１通路の流量よりも少ないと共に第１弁座の上流側に上流側開口部を第１弁座の下流側に下流側開口部をそれぞれ有して第１弁座の上流側の第１流路と第１弁座の下流側の第１流路とを連通させる第２通路と、第２通路に配設されて第２通路を開閉させる弁装置とを備える。

したがって、第２通路の流量を第１通路の流量とは無関係に設定することができ、１つのダイヤフラム弁だけで、作業の中間段階では流量を多く、作業時間の短縮に必要な最大流量を従来どおり確保できると共に、作業の最終段階では流量を少くして閉弁による規定量の調整を極めて正確に行なうことができる、という優れた効果を奏する。

本発明に係るダイヤフラム弁を示す外観図である。 本発明に係るダイヤフラム弁を示す断面図である。 図２の弁本体の一部を示す詳細断面図である。 図３の第２ダイヤフラムの先端部を示す断面図である。 図１のダイヤフラム弁の作動を示す表である。 従来のダイヤフラム弁を示す断面図である。

本発明に係るダ６ヤフラム弁を実施するための最良の形態を、図１ないし図５を参照して詳細に説明する。

図１に示すように、本ダイヤフラム弁１は、容器等への流体の充填作業に使用されるダイヤフラム弁であって、弁本体２と、第１ダイヤフラム弁３、第２ダイヤフラム弁（弁装置）４と、サクションバック弁（サクションバック機構）５とから構成される。

図２に示すように、弁本体２には、第１弁座１１と、この第１弁座１１を挟んで上流側及び下流側にそれぞれ配設された第１流路１２，１３とからなる第１通路１０が形成される。この第１通路１０は、第１弁座１１の上流側と下流側とが略同軸上にある直管状に形成され、中間部に第１流路１２，１３から堰状に立ち上がる立上げ部１４を有し、第１弁座１１は、この立上げ部１４の先端部（図示上端部）に形成される。

弁本体２には、上述の第１弁座１１の上流側の第１流路１２に開口する上流側開口部２３と、第１弁座１１の下流側の第１流路１３に開口する下流側開口部２４をそれぞれ有して、第１弁座１１の上流側の第１流路１２と下流側の第１流路１３とを連通させる第２通路２０が形成される。すなわち、第２通路２０は、第１弁座１１を挟んで立上げ部１４を上流側から下流側へ貫通している。

上流側開口部２３と下流側開口部２４は、第１通路１０の立上げ部１４の上流側壁部１４ａと下流側壁部１４ｂとにそれぞれ形成され、上流側開口部２３の近傍の第２流路２１と下流側開口部２４の近傍の第２流路２２は、第１通路１０に対して、すなわち第１流路１２，１３に対して略平行に形成される。

第２通路２０の流量は、第２流路２１，２２の口径を調整することにより、従来の１個のダイヤフラム弁では不可能であった第１通路１０の流量の１０％未満に設定される。後述するように、本ダイヤフラム弁１では、特にこの第２通路２０の流量を第１通路１０の流量よりも極めて少なく、例えば第１通路１０の流量の、より詳細には第１通路１０の第１弁座１１と第１ダイヤフラム６との間を通過する流体の流量の、１％前後あるいはそれ以下に設定される。

第２通路２０は、第２流路２１，２２と、第２流路２１，２２の中間部に内円筒状に形成され、第２流路２１，２２よりも半径方向の断面積が広く形成されて、上流側の第２流路２１に対して段付き状に拡径して連続する拡径部２５とを有する。拡径部２５の上流側の端面２６に、第２ダイヤフラム弁４の弁座となる平面状の第２弁座２７が形成される。また、図４に示すように、第２通路２０の拡径部２５は、内円筒状の内周部２８に、かつ上記第２弁座２７の近傍に、下流側の第２流路２２への出口となる弁出口開口部２９ａを有する。

図２に示すように、第１ダイヤフラム弁３は、弁本体２の第１弁座１１に圧接して第１通路１０を閉じることができる第１ダイヤフラム６と、この第１ダイヤフラム６を開閉させる第１駆動部３０とを備える。この第１ダイヤフラム弁３は、中間開度に任意に調整することができるダイヤフラム弁であってもよい。

第１駆動部３０は、コイルバネ３５により図示下方に付勢されたピストン３６が、空気シリンダ３７内を気密に往復摺動する。作動空気がピストン３６の図示下側の空気室３８内に注入されると、ピストン３６はコイルバネ３５のばね力に抗して上昇する。ピストン３６にはスピンドル３９が取り付けられ、スピンドル３９はピストン３６によって上下に往復する。

図２に示すように、スピンドル３９の先端部にピン４１を介してコンプレッサ４２が取り付けられる。スピンドル３９が、コイルバネ３５の付勢力又は作動空気によって往復することにより、コンプレッサ４２を介して第１ダイヤフラム６を作動させる。第１ダイヤフラム６が第１弁座１１に圧接することにより、第１ダイヤフラム弁３は閉弁する。なお、この第１駆動部３０は必ずしもこのような構成のものに限定されるものではない。

図３に示すように、第２ダイヤフラム弁４は、弁本体２の第２通路２０に形成された第２弁座２７に圧接して第２通路２０を閉じるための第２ダイヤフラム７と、この第２ダイヤフラム７を開閉させる第２駆動部５０とを有する。

図４に示すように、第２ダイヤフラム７は、先端部が円筒状に形成されて第２通路２０の拡径部２５内に配設される。図３の第２駆動部５０により、第２ダイヤフラム７の先端部が第２通路２０に設けられた第２弁座２７に圧接されて閉弁する。この第２ダイヤフラム７は、先端に環状に形成された環状凸部８を有し、この第２ダイヤフラムの環状凸部８は、第２ダイヤフラム７が閉弁したときに第２弁座２７に圧接して、閉弁後の流体の液漏れを防止する。

第２ダイヤフラム弁４の第２駆動部５０は、基本的には上述の第１ダイヤフラム弁３の第１駆動部３０と同様の構成であり、その説明は省略する。

第１ダイヤフラム弁３及び第２ダイヤフラム弁４が閉弁した後に、第１弁座１１の下流側の第１通路１０内、及び第２弁座２７の下流側の第２通路２０内に残る残留流体を吸引するためのサクションバック弁５が、第１通路１０に配設される。

図１に示すように、サクションバック弁５は、第２通路２０の下流側開口部２４よりもさらに下流側の第１通路１０に配設される。サクションバック弁５が開弁することにより、図２に示すサクションバック弁５のサクションダイヤフラム５ａが一定長さだけ弁５側へ引っ込む。これにより、第１弁座１１の下流側の第１流路１３と、第２弁座２７の下流側の第２流路２２に負圧を形成し、それらに残る残留流体を吸引して、第１ダイヤフラム弁及び第２ダイヤフラム弁４が閉弁した後の液垂れを確実に防止する。なお、サクションバック機構は、必ずしもサクションバック弁５に限定されるものではない。

次に、本ダイヤフラム弁１の作動について説明する。図５に示すように、初期状態において、上述の第１ダイヤフラム弁３及び第２ダイヤフラム弁４は閉弁しており、ダイヤフラム弁１及び第２ダイヤフラム７を通過する流体の流量は零である。また、サクションバック弁５は開弁しており、第１弁座１１の下流側の第１流路１３と、第２弁座２７の下流側の第２流路２２に残る残留流体が、ダイヤフラム弁１内に吸引されている。

充填作業が開始されると、ステップ１として第２ダイヤフラム弁４だけが開弁し、上記弁本体２の第２通路２０を通して、微少な流量の流体を容器へ充填し始める。次に、中間段階のステップ２として、上述の第２ダイヤフラム弁４は開弁のまま、さらに第１ダイヤフラム弁３を開弁させる。これにより、容器への流体の充填流量は、第２ダイヤフラム弁４だけの場合の、例えば１００倍以上に増加する。これにより、容器への流体の充填は急速に行われる。

次に、最終段階のステップ３として、第２ダイヤフラム弁４は開弁のまま、第１ダイヤフラム弁３だけを閉弁させる。これにより、容器への流体の充填流量は、第２ダイヤフラム弁４も同時に開弁していたときの例えば１００分の１、あるいはそれ以下に減少し、微少になる。このように、第２ダイヤフラム弁４により、容器への流体の充填量の最終調整が行われる。上述のステップ１からステップ３までの間は、サクションバック弁５は閉弁しており、吸引状態は形成されない。

容器への流体の充填作業の終了時には、上述の初期状態と同様に、第１ダイヤフラム弁３及び第２ダイヤフラム弁４は閉弁し、このダイヤフラム弁１を通過する流体の流量は零となる。これと共に、サクションバック弁５が開弁し、第１弁座１１の下流側の第１流路１３と、第２弁座２７の下流側の第２流路２２に負圧を形成し、それらに残る残留流体を吸引して、第１ダイヤフラム弁３及び第２ダイヤフラム弁４が閉弁した後のダイヤフラム弁１からの液垂れを確実に防止する。

以上のように、本ダイヤフラム弁１は、大口径の第１ダイヤフラム弁３と、その流量が第１弁座１１と第１ダイヤフラム３との間を通過する流体の通過流量、つまり、第１通路１０の流体の流量よりも極めて少ないと共に、第１弁座１１の上流側に上流側開口部２３を下流側に下流側開口部２４をそれぞれ有して、第１弁座１１の上流側の第１流路１２と下流側の第１流路１３とを連通させる第２通路２０と、この第２通路２０を開閉する第２ダイヤフラム弁４とを備えているから、第２通路の流量を第１通路の流量とは無関係に設定することができ、例えば、上述のように極めて微少に設定することもできる。

したがって、本ダイヤフラム弁１は、１つのダイヤフラム弁１だけで、作業の中間段階では流量が多く、作業時間の短縮に必要な最大流量を従来どおり確保できると共に、作業の最終段階では流量を少くして、閉弁による規定量の調整を極めて正確に行なうことができるものである。

より具体的には、充填作業の中間段階では大口径の第１ダイヤフラム３を開弁させ、充填作業の最終段階では第１ダイヤフラムを閉弁させると共に、第２ダイヤフラム弁４によって第２通路２０を開くように作動させることにより、充填作業時間の短縮に必要な最大流量を従来どおり確保できると共に、充填作業の最終段階では極めて微少にすることもでき、第２ダイヤフラム４の閉弁によって行なう容器等への流体の充填量の調整を極めて容易に行なうことができる。したがって、流体の充填作業を極めて正確に行うことができる。

さらに、第２通路２０は、内円筒状に形成されてその上流側の第２流路２１よりも半径方向の断面積が広く形成されて、この上流側の第２流路２１に対して段付き状に拡径して連続する拡径部２５を有すると共に、この拡径部２５の上流側の端面２６に第２弁座２７が形成される。また、第２ダイヤフラム弁４は、先端部が円筒状に形成されて拡径部２５内に配設される第２ダイヤフラム７を有し、第２ダイヤフラム７の先端部がこの第２弁座２７に圧接されて閉弁する。

したがって、第２通路の開閉弁を極めて正確に、かつ短時間で行なうことができ、第２ダイヤフラム弁４の閉弁による流量の規定量の調整をさらに容易に行うことができ、流体の充填作業を一段と正確に行うことができる。

また、第２ダイヤフラム７は、先端に環状に形成された環状凸部８を有し、第２ダイヤフラム７が閉弁するときに、第２ダイヤフラム７の環状凸部８が平面状の第２弁座２７に圧接することにより、第２通路２０の閉弁がさらに確実に行われ、閉弁後の液漏れを確実に防止することができる。

さらに、弁本体２の第１通路１０は、第１流路１０から堰状に立ち上がる立上げ部１４を有し、第１弁座１１は、この立上げ部１４の先端部に形成され、また、第２通路２０の上流側開口部２３と下流側開口部２４は、立上げ部１４の上流側壁部１４ａと下流側壁部１４ｂとにそれぞれ形成されるから、図１に示すように、第１通路１０を挟んで第１ダイヤフラム６の反対側に第２通路２０を開閉するための第２ダイヤフラム７を配設することができ、ダイヤフラム弁１全体を小型化することができる。

また、弁本体２の第１通路１０を直管状に形成すると共に、第２通路２０の上流側開口部２３の近傍の第２流路２１と下流側開口部２４の近傍の第２流路２２を第１通路１０に対して略平行に形成することにより、第１通路１０及び第２通路２０を通る流体の流れを極めてスムーズにすることができ、作業の効率向上を図ることができると共に、第２ダイヤフラム弁４が閉弁したときに、第２通路２０を流れる流体を反応よく止めることができる。したがって、流体の充填作業を極めて正確に行うことができる。

さらに、第２通路２０の下流側開口部２４のさらに下流側に、第１ダイヤフラム弁３及び第２ダイヤフラム弁４が閉弁した後に、第１弁座１１の下流側の第１通路１０内及び第２弁座２７の下流側の第２通路２０内に残る残留流体を吸引するためのサクションバック弁５を備えたことにより、第１ダイヤフラム弁３及び第２ダイヤフラム弁４が閉弁した後の液垂れを確実に防止することができる。

なお、上述のダイヤフラム弁は一例にすぎず、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、それらを本発明の範囲から排除するものではない。例えば、本発明の弁装置は、必ずしもダイヤフラム弁に限定されるものではない。

１ ダイヤフラム弁
２ 弁本体
３ 第１ダイヤフラム弁
４ 第２ダイヤフラム弁（弁装置）
５ サクションバック弁（サクションバック機構）
５ａ サクションダイヤフラム
６ 第１ダイヤフラム
７ 第２ダイヤフラム
８ 環状凸部
１０ 第１通路
１１ 第１弁座
１２，１３ 第１流路
１４ 立上げ部
１４ａ 上流側壁部
１４ｂ 下流側壁部
２０ 第２通路
２１，２２ 第２流路
２３ 上流側開口部
２４ 下流側開口部
２５ 拡径部
２６ 端面
２７ 第２弁座
２９ 弁入口開口部
２９ａ 弁出口開口部
３０ 第１駆動部
３５ コイルバネ
３６ ピストン
３７ 空気シリンダ
３８ 空気室
３９ スピンドル
４１ ピン
４２ コンプレッサ
５０ 第２駆動部
１０１ シリンダ
１０２ ピストン
１０３ スピンドル
１０４ コンプレッサ
１０５ ダイヤフラム
１０６ バルブ本体
１０７ 通路
１０８ 立上げ部
１０９ 弁座

Claims (6)

1. 第１弁座（１１）と前記第１弁座を挟んで上流側及び下流側に配設された第１流路（１２，１３）とからなる第１通路（１０）を有する弁本体（２）と、前記弁本体の前記第１弁座に圧接して前記第１通路を閉じることができる第１ダイヤフラム（６）と、前記第１ダイヤフラムを開閉させる第１駆動部（３０）とを備えたダイヤフラム弁において、流量が前記第１通路の流量の１０％未満であると共に前記第１弁座の上流側に上流側開口部（２３）を前記第１弁座の下流側に下流側開口部（２４）をそれぞれ有して前記第１弁座の上流側の前記第１流路と前記第１弁座の下流側の前記第１流路とを連通させる第２通路（２０）と、前記第２通路に配設されて前記第２通路を開閉させる弁装置とをさらに備え、前記弁装置は、前記第２通路を閉弁させるための第２ダイヤフラム（７）及び第２弁座（２７）と、前記第２ダイヤフラムを開閉させる第２駆動部（５０）とを有する第２ダイヤフラム弁（４）からなることを特徴とするダイヤフラム弁。
2. 前記ダイヤフラム弁（１）は、流体の充填作業に使用され、前記第２通路の流量は、前記第１通路の流量の１％前後あるいは１％以下に設定されることを特徴とする請求項１に記載のダイヤフラム弁。
3. 前記第２ダイヤフラム（７）は、前記第１通路（１０）を挟んで前記第１ダイヤフラム（６）の反対側に配設されることを特徴とする請求項１又は２に記載のダイヤフラム弁。
4. 前記流体の充填作業の中間段階では前記第１駆動部（３０）により前記第１ダイヤフラム（６）を開弁させる一方、前記充填作業の最終段階では前記第１駆動部により前記第１ダイヤフラムを閉弁させて前記第１通路（１２，１３）を閉じると共に前記第２ダイヤフラム弁（４）を開弁させて前記第２通路（２０）を開くようにしたことを特徴とする請求項２に記載のダイヤフラム弁。
5. 前記第２通路（２０）は、第２流路（２１，２２）と、内円筒状に形成されて前記第２流路よりも半径方向の断面積が広く形成されて上流側の前記第２流路に対して段付き状に拡径して連続する拡径部（２５）を有すると共に前記拡径部の上流側の端面（２６）に第２弁座（２７）が形成され、前記第２ダイヤフラム弁（４）は、先端部が円筒状に形成されて前記拡径部内に配設される前記第２ダイヤフラム（７）を有して前記第２駆動部（５０）により前記第２ダイヤフラムの前記先端部が前記第２通路に設けられた前記第２弁座に圧接されて閉弁することを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のダイヤフラム弁。
6. 前記弁本体（２）の前記第１通路（１０）は、前記第１弁座（１１）の上流側の前記第１流路（１２）と前記第１弁座の下流側の前記第１流路（１３）とが略同軸上にある直管状に形成され、前記第２通路（２０）の前記上流側開口部の近傍の前記第２流路（２１）と前記第２通路の前記下流側開口部の近傍の前記第２流路（２２）は、前記第１通路（１０）に対して略平行に形成されることを特徴とする請求項５に記載のダイヤフラム弁。
   

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