JP6097545B2 - ダイヤフラム弁 - Google Patents

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本発明は、流体の充填等に使用されて好適なダイヤフラム弁に関する。

従来のダイヤフラム弁は、図6に示すように、空気等の流体圧、ばね力等を受けてシリンダ101内を往復するピストン102が、このピストン102に取り付けられたスピンドル103、及びスピンドル103に取り付けられたコンプレッサ104を介して、ゴム等の弾性材からなるダイヤフラム105を作動させる。そして、このダイヤフラム105が、バルブ本体106内の通路107に堰状に突設された立上げ部108の弁座109に圧接して、この通路107を閉じることにより、ダイヤフラム弁は閉弁する。このようなダイヤフラム弁は、その他種々なものが使用されている(例えば、特許文献1参照)。

また、ダイヤフラム弁は、薬剤等の流体を容器に充填する場合の充填弁として使用されることがある。この場合、大口径のダイヤフラム弁を使用してその流量を多くすると、充填時間を減少させることができる一方、規定量の流体が充填されたと判断して閉弁させても、流量が多いため充填量を一定にすることが極めて困難である。この一方、微小なダイヤフラム弁を使用して流量が少なすぎると、充填作業に多大な時間を要し、作業性が極めて悪くなる。

このため、薬剤等を容器に充填するための充填弁として使用する際に必要とされるダイヤフラム弁は、充填作業の中間段階では流量が多く、充填作業時間を短くすることができる一方、充填作業の最終段階では流量が少くなり、閉弁による規定量の調整が正確にできるダイヤフラム弁である。しかも生産設備の単純化のため、1つのダイヤフラム弁でその充填作業を完了できることが望まれる。

そこで、従来は中間開度を任意に調整することができるダイヤフラム弁を使用して、ダイヤフラム弁1つで、充填作業の中間段階では流量を多く、充填作業の最終段階では流量を少くして、充填作業の正確性と作業効率の向上を図ってきた(例えば、特許文献2参照)。

特開2004−144225号公報 特開平10−299915号公報

上述のように、従来のダイヤフラム弁は、薬剤等の流体を容器に充填する場合の充填弁として使用される場合には、1つのダイヤフラム弁だけで、充填作業の中間段階では流量が多く、充填作業時間を短くすることができる一方、充填作業の最終段階では流量が少くなり、閉弁による規定量の調整が正確にできるものであることが要求される。このため、中間開度を任意に調整できるダイヤフラム弁を使用し、充填作業の中間段階では流量を多く、充填作業の最終段階では流量を少くして、充填作業の正確性と作業効率の向上を図ってきた。

しかしながら、上述の従来の中間開度を任意に調整することができるダイヤフラム弁は、最小の中間開度に設定しても、その流量は最大流量の高々10%までにしか絞ることができない。この一方、作業時間の短縮に必要な最大流量を確保するために大口径のダイヤフラムを使用しなければならず、このため、1つのダイヤフラム弁だけでは、閉弁による規定量の調整を正確に行なうことができないという問題がある。

本発明はこのような問題を解決するためになされたもので、1つのダイヤフラム弁だけで、作業の中間段階では流量が多く、作業時間の短縮に必要な最大流量を従来どおり確保できると共に、作業の最終段階では流量を少くして閉弁による規定量の調整を極めて正確に行なうことができる、ダイヤフラム弁を提供することを課題とする。

上述の課題を解決するために、本発明が採用する手段は、第1弁座と第1弁座を挟んで上流側及び下流側に配設された第1流路とからなる第1通路を有する弁本体と、弁本体の第1弁座に圧接して第1通路を閉じることができる第1ダイヤフラムと、第1ダイヤフラムを開閉させる第1駆動部とを備えたダイヤフラム弁において、その流量が前記第1通路の流量よりも少ないと共に第1弁座の上流側に上流側開口部を第1弁座の下流側に下流側開口部をそれぞれ有して第1弁座の上流側の第1流路と第1弁座の下流側の第1流路とを連通させる第2通路と、第2通路に配設されて第2通路を開閉させる弁装置とを備えたことにある。

このように、本発明のダイヤフラム弁は、その流量が、第1弁座とこの第1弁座を挟んで上流側及び下流側に配設された第1流路とからなる第1通路の流量よりも少ないと共に、第1弁座の上流側に上流側開口部を、下流側に下流側開口部をそれぞれ有して第1通路の第1弁座の上流側の第1流路と下流側の第1流路とを連通させる第2通路と、この第2通路に配設されて第2通路を開閉させることができる弁装置とを備えているから、第2通路の流量を第1通路の流量とは無関係に設定することができ、例えば極めて微少に設定することもできる。

上記ダイヤフラム弁において、ダイヤフラム弁は、流体の充填作業に使用されるダイヤフラム弁であって、充填作業の中間段階では第1駆動部により第1ダイヤフラムを開弁させる一方、充填作業の最終段階では第1駆動部により第1ダイヤフラムを閉弁させて第1通路を閉じると共に弁装置を開弁させて第2通路を開くようにすることが望ましい。

このように、充填作業の中間段階では第1ダイヤフラムを開弁させるから、充填作業時間の短縮に必要な最大流量を従来どおり確保することができる。この一方、充填作業の最終段階では、第1ダイヤフラムを閉弁させて第1通路を閉じると共に、弁装置により第2通路を開くことにより、流量を少く、例えば極めて微少にすることもできる。このため、弁装置の閉弁によって行なう容器等への流体の充填量の最終調整を、極めて容易に行なうことができる。したがって、流体の充填作業を極めて正確に行うことができる。

上記ダイヤフラム弁において、第2通路は、第2流路と、内円筒状に形成されて第2流路よりも半径方向の断面積が広く形成されて上流側の第2流路に対して段付き状に拡径して連続する拡径部を有すると共に拡径部の上流側の端面に第2弁座が形成され、弁装置は、先端部が円筒状に形成されて拡径部内に配設される第2ダイヤフラムを有する第2ダイヤフラム弁であり、第2ダイヤフラムを作動させる第2駆動部により第2ダイヤフラムの先端部が第2通路に設けられた第2弁座に圧接されて閉弁することが望ましい。

第2通路に配設される弁装置をこのように構成にすることにより、第2通路の開閉弁を極めて正確に、かつ短時間で行なうことができ、弁装置の閉弁による流体の充填量の最終調整をさらに容易に行うことができ、流体の充填作業をより正確に行うことができる。

上記ダイヤフラム弁において、第2ダイヤフラムは、先端に環状に形成された環状凸部を有し、第2ダイヤフラムの環状凸部は、第2ダイヤフラム弁が閉弁するときに第2弁座に圧接して液漏れを防止することが望ましい。

このように、第2ダイヤフラムは環状に形成された環状凸部を先端に有し、この第2ダイヤフラムの環状凸部が、第2ダイヤフラム弁が閉弁するときに第2弁座に圧接することにより、第2通路の弁装置の閉弁がさらに確実に行われ、閉弁後に流体の液漏れを確実に防止することができる。

上記ダイヤフラム弁において、弁本体の第1通路は、第1流路から堰状に立ち上がる立上げ部を有し、第1弁座は、立上げ部の先端部に形成され、第2通路の上流側開口部と第2通路の下流側開口部は、立上げ部の上流側壁部と立上げ部の下流側壁部とにそれぞれ形成されることが望ましい。

このように、弁本体の第1通路に第1流路から堰状に立ち上がる立上げ部を形成し、この立上げ部の先端部に第1弁座を、また立上げ部の上流側壁部と下流側壁部とに第2通路の上流側開口部と下流側開口部とをそれぞれ形成することにより、第1通路を挟んで第1ダイヤフラムの反対側に第2通路を開閉するための弁装置を配設することができるようになり、ダイヤフラム弁全体を小型化することができる。

上記ダイヤフラム弁において、弁本体の第1通路は、第1弁座の上流側の第1流路と第1弁座の下流側の第1流路とが略同軸上にある直管状に形成され、第2通路の上流側開口部の近傍の第2流路と第2通路の下流側開口部の近傍の第2流路は、第1通路に対して略平行に形成されることが望ましい。

このように、弁本体の第1通路を直管状に形成すると共に、第2通路の上流側開口部の近傍の第2流路と下流側開口部の近傍の第2流路を第1通路に対して略平行に形成することにより、第1通路及び第2通路を通る流体の流れを極めてスムーズにすることができ、作業の効率向上を図ることができると共に、第2通路の弁装置が閉弁したときに第2通路を流れる流体を反応よく止めることができる。したがって、流体の充填作業を極めて正確に行うことができる。

上記ダイヤフラム弁において、第1ダイヤフラム弁と弁装置とが閉弁した後に第1弁座の下流側の第1通路内に残る残存流体を吸引して液垂れを防止するためのサクションバック機構を第2通路の下流側開口部よりもさらに下流側の第1通路に備えることが望ましい。

このように、第2通路の下流側開口部のさらに下流側に、第1ダイヤフラム弁及び弁装置が閉弁した後に、第1弁座の下流側の第1通路内及び第2弁座の下流側の第2通路内に残る残留流体を吸引するためのサクションバック機構を備えることにより、第1ダイヤフラム弁及び弁装置が閉弁した後の液垂れを確実に防止することができる。

本発明のダイヤフラム弁は、第1弁座と第1弁座を挟んで上流側及び下流側に配設された第1流路とからなる第1通路を有する弁本体と、弁本体の第1弁座に圧接して第1通路を閉じることができる第1ダイヤフラムと、第1ダイヤフラムを開閉させる第1駆動部とを備えたダイヤフラム弁において、その流量が前記第1通路の流量よりも少ないと共に第1弁座の上流側に上流側開口部を第1弁座の下流側に下流側開口部をそれぞれ有して第1弁座の上流側の第1流路と第1弁座の下流側の第1流路とを連通させる第2通路と、第2通路に配設されて第2通路を開閉させる弁装置とを備える。

したがって、第2通路の流量を第1通路の流量とは無関係に設定することができ、1つのダイヤフラム弁だけで、作業の中間段階では流量を多く、作業時間の短縮に必要な最大流量を従来どおり確保できると共に、作業の最終段階では流量を少くして閉弁による規定量の調整を極めて正確に行なうことができる、という優れた効果を奏する。

本発明に係るダイヤフラム弁を示す外観図である。 本発明に係るダイヤフラム弁を示す断面図である。 図2の弁本体の一部を示す詳細断面図である。 図3の第2ダイヤフラムの先端部を示す断面図である。 図1のダイヤフラム弁の作動を示す表である。 従来のダイヤフラム弁を示す断面図である。

本発明に係るダ6ヤフラム弁を実施するための最良の形態を、図1ないし図5を参照して詳細に説明する。

図1に示すように、本ダイヤフラム弁1は、容器等への流体の充填作業に使用されるダイヤフラム弁であって、弁本体2と、第1ダイヤフラム弁3、第2ダイヤフラム弁(弁装置)4と、サクションバック弁(サクションバック機構)5とから構成される。

図2に示すように、弁本体2には、第1弁座11と、この第1弁座11を挟んで上流側及び下流側にそれぞれ配設された第1流路12,13とからなる第1通路10が形成される。この第1通路10は、第1弁座11の上流側と下流側とが略同軸上にある直管状に形成され、中間部に第1流路12,13から堰状に立ち上がる立上げ部14を有し、第1弁座11は、この立上げ部14の先端部(図示上端部)に形成される。

弁本体2には、上述の第1弁座11の上流側の第1流路12に開口する上流側開口部23と、第1弁座11の下流側の第1流路13に開口する下流側開口部24をそれぞれ有して、第1弁座11の上流側の第1流路12と下流側の第1流路13とを連通させる第2通路20が形成される。すなわち、第2通路20は、第1弁座11を挟んで立上げ部14を上流側から下流側へ貫通している。

上流側開口部23と下流側開口部24は、第1通路10の立上げ部14の上流側壁部14aと下流側壁部14bとにそれぞれ形成され、上流側開口部23の近傍の第2流路21と下流側開口部24の近傍の第2流路22は、第1通路10に対して、すなわち第1流路12,13に対して略平行に形成される。

第2通路20の流量は、第2流路21,22の口径を調整することにより、従来の1個のダイヤフラム弁では不可能であった第1通路10の流量の10%未満に設定される。後述するように、本ダイヤフラム弁1では、特にこの第2通路20の流量を第1通路10の流量よりも極めて少なく、例えば第1通路10の流量の、より詳細には第1通路10の第1弁座11と第1ダイヤフラム6との間を通過する流体の流量の、1%前後あるいはそれ以下に設定される。

第2通路20は、第2流路21,22と、第2流路21,22の中間部に内円筒状に形成され、第2流路21,22よりも半径方向の断面積が広く形成されて、上流側の第2流路21に対して段付き状に拡径して連続する拡径部25とを有する。拡径部25の上流側の端面26に、第2ダイヤフラム弁4の弁座となる平面状の第2弁座27が形成される。また、図4に示すように、第2通路20の拡径部25は、内円筒状の内周部28に、かつ上記第2弁座27の近傍に、下流側の第2流路22への出口となる弁出口開口部29aを有する。

図2に示すように、第1ダイヤフラム弁3は、弁本体2の第1弁座11に圧接して第1通路10を閉じることができる第1ダイヤフラム6と、この第1ダイヤフラム6を開閉させる第1駆動部30とを備える。この第1ダイヤフラム弁3は、中間開度に任意に調整することができるダイヤフラム弁であってもよい。

第1駆動部30は、コイルバネ35により図示下方に付勢されたピストン36が、空気シリンダ37内を気密に往復摺動する。作動空気がピストン36の図示下側の空気室38内に注入されると、ピストン36はコイルバネ35のばね力に抗して上昇する。ピストン36にはスピンドル39が取り付けられ、スピンドル39はピストン36によって上下に往復する。

図2に示すように、スピンドル39の先端部にピン41を介してコンプレッサ42が取り付けられる。スピンドル39が、コイルバネ35の付勢力又は作動空気によって往復することにより、コンプレッサ42を介して第1ダイヤフラム6を作動させる。第1ダイヤフラム6が第1弁座11に圧接することにより、第1ダイヤフラム弁3は閉弁する。なお、この第1駆動部30は必ずしもこのような構成のものに限定されるものではない。

図3に示すように、第2ダイヤフラム弁4は、弁本体2の第2通路20に形成された第2弁座27に圧接して第2通路20を閉じるための第2ダイヤフラム7と、この第2ダイヤフラム7を開閉させる第2駆動部50とを有する。

図4に示すように、第2ダイヤフラム7は、先端部が円筒状に形成されて第2通路20の拡径部25内に配設される。図3の第2駆動部50により、第2ダイヤフラム7の先端部が第2通路20に設けられた第2弁座27に圧接されて閉弁する。この第2ダイヤフラム7は、先端に環状に形成された環状凸部8を有し、この第2ダイヤフラムの環状凸部8は、第2ダイヤフラム7が閉弁したときに第2弁座27に圧接して、閉弁後の流体の液漏れを防止する。

第2ダイヤフラム弁4の第2駆動部50は、基本的には上述の第1ダイヤフラム弁3の第1駆動部30と同様の構成であり、その説明は省略する。

第1ダイヤフラム弁3及び第2ダイヤフラム弁4が閉弁した後に、第1弁座11の下流側の第1通路10内、及び第2弁座27の下流側の第2通路20内に残る残留流体を吸引するためのサクションバック弁5が、第1通路10に配設される。

図1に示すように、サクションバック弁5は、第2通路20の下流側開口部24よりもさらに下流側の第1通路10に配設される。サクションバック弁5が開弁することにより、図2に示すサクションバック弁5のサクションダイヤフラム5aが一定長さだけ弁5側へ引っ込む。これにより、第1弁座11の下流側の第1流路13と、第2弁座27の下流側の第2流路22に負圧を形成し、それらに残る残留流体を吸引して、第1ダイヤフラム弁及び第2ダイヤフラム弁4が閉弁した後の液垂れを確実に防止する。なお、サクションバック機構は、必ずしもサクションバック弁5に限定されるものではない。

次に、本ダイヤフラム弁1の作動について説明する。図5に示すように、初期状態において、上述の第1ダイヤフラム弁3及び第2ダイヤフラム弁4は閉弁しており、ダイヤフラム弁1及び第2ダイヤフラム7を通過する流体の流量は零である。また、サクションバック弁5は開弁しており、第1弁座11の下流側の第1流路13と、第2弁座27の下流側の第2流路22に残る残留流体が、ダイヤフラム弁1内に吸引されている。

充填作業が開始されると、ステップ1として第2ダイヤフラム弁4だけが開弁し、上記弁本体2の第2通路20を通して、微少な流量の流体を容器へ充填し始める。次に、中間段階のステップ2として、上述の第2ダイヤフラム弁4は開弁のまま、さらに第1ダイヤフラム弁3を開弁させる。これにより、容器への流体の充填流量は、第2ダイヤフラム弁4だけの場合の、例えば100倍以上に増加する。これにより、容器への流体の充填は急速に行われる。

次に、最終段階のステップ3として、第2ダイヤフラム弁4は開弁のまま、第1ダイヤフラム弁3だけを閉弁させる。これにより、容器への流体の充填流量は、第2ダイヤフラム弁4も同時に開弁していたときの例えば100分の1、あるいはそれ以下に減少し、微少になる。このように、第2ダイヤフラム弁4により、容器への流体の充填量の最終調整が行われる。上述のステップ1からステップ3までの間は、サクションバック弁5は閉弁しており、吸引状態は形成されない。

容器への流体の充填作業の終了時には、上述の初期状態と同様に、第1ダイヤフラム弁3及び第2ダイヤフラム弁4は閉弁し、このダイヤフラム弁1を通過する流体の流量は零となる。これと共に、サクションバック弁5が開弁し、第1弁座11の下流側の第1流路13と、第2弁座27の下流側の第2流路22に負圧を形成し、それらに残る残留流体を吸引して、第1ダイヤフラム弁3及び第2ダイヤフラム弁4が閉弁した後のダイヤフラム弁1からの液垂れを確実に防止する。

以上のように、本ダイヤフラム弁1は、大口径の第1ダイヤフラム弁3と、その流量が第1弁座11と第1ダイヤフラム3との間を通過する流体の通過流量、つまり、第1通路10の流体の流量よりも極めて少ないと共に、第1弁座11の上流側に上流側開口部23を下流側に下流側開口部24をそれぞれ有して、第1弁座11の上流側の第1流路12と下流側の第1流路13とを連通させる第2通路20と、この第2通路20を開閉する第2ダイヤフラム弁4とを備えているから、第2通路の流量を第1通路の流量とは無関係に設定することができ、例えば、上述のように極めて微少に設定することもできる。

したがって、本ダイヤフラム弁1は、1つのダイヤフラム弁1だけで、作業の中間段階では流量が多く、作業時間の短縮に必要な最大流量を従来どおり確保できると共に、作業の最終段階では流量を少くして、閉弁による規定量の調整を極めて正確に行なうことができるものである。

より具体的には、充填作業の中間段階では大口径の第1ダイヤフラム3を開弁させ、充填作業の最終段階では第1ダイヤフラムを閉弁させると共に、第2ダイヤフラム弁4によって第2通路20を開くように作動させることにより、充填作業時間の短縮に必要な最大流量を従来どおり確保できると共に、充填作業の最終段階では極めて微少にすることもでき、第2ダイヤフラム4の閉弁によって行なう容器等への流体の充填量の調整を極めて容易に行なうことができる。したがって、流体の充填作業を極めて正確に行うことができる。

さらに、第2通路20は、内円筒状に形成されてその上流側の第2流路21よりも半径方向の断面積が広く形成されて、この上流側の第2流路21に対して段付き状に拡径して連続する拡径部25を有すると共に、この拡径部25の上流側の端面26に第2弁座27が形成される。また、第2ダイヤフラム弁4は、先端部が円筒状に形成されて拡径部25内に配設される第2ダイヤフラム7を有し、第2ダイヤフラム7の先端部がこの第2弁座27に圧接されて閉弁する。

したがって、第2通路の開閉弁を極めて正確に、かつ短時間で行なうことができ、第2ダイヤフラム弁4の閉弁による流量の規定量の調整をさらに容易に行うことができ、流体の充填作業を一段と正確に行うことができる。

また、第2ダイヤフラム7は、先端に環状に形成された環状凸部8を有し、第2ダイヤフラム7が閉弁するときに、第2ダイヤフラム7の環状凸部8が平面状の第2弁座27に圧接することにより、第2通路20の閉弁がさらに確実に行われ、閉弁後の液漏れを確実に防止することができる。

さらに、弁本体2の第1通路10は、第1流路10から堰状に立ち上がる立上げ部14を有し、第1弁座11は、この立上げ部14の先端部に形成され、また、第2通路20の上流側開口部23と下流側開口部24は、立上げ部14の上流側壁部14aと下流側壁部14bとにそれぞれ形成されるから、図1に示すように、第1通路10を挟んで第1ダイヤフラム6の反対側に第2通路20を開閉するための第2ダイヤフラム7を配設することができ、ダイヤフラム弁1全体を小型化することができる。

また、弁本体2の第1通路10を直管状に形成すると共に、第2通路20の上流側開口部23の近傍の第2流路21と下流側開口部24の近傍の第2流路22を第1通路10に対して略平行に形成することにより、第1通路10及び第2通路20を通る流体の流れを極めてスムーズにすることができ、作業の効率向上を図ることができると共に、第2ダイヤフラム弁4が閉弁したときに、第2通路20を流れる流体を反応よく止めることができる。したがって、流体の充填作業を極めて正確に行うことができる。

さらに、第2通路20の下流側開口部24のさらに下流側に、第1ダイヤフラム弁3及び第2ダイヤフラム弁4が閉弁した後に、第1弁座11の下流側の第1通路10内及び第2弁座27の下流側の第2通路20内に残る残留流体を吸引するためのサクションバック弁5を備えたことにより、第1ダイヤフラム弁3及び第2ダイヤフラム弁4が閉弁した後の液垂れを確実に防止することができる。

なお、上述のダイヤフラム弁は一例にすぎず、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、それらを本発明の範囲から排除するものではない。例えば、本発明の弁装置は、必ずしもダイヤフラム弁に限定されるものではない。

1 ダイヤフラム弁
2 弁本体
3 第1ダイヤフラム弁
4 第2ダイヤフラム弁(弁装置)
5 サクションバック弁(サクションバック機構)
5a サクションダイヤフラム
6 第1ダイヤフラム
7 第2ダイヤフラム
8 環状凸部
10 第1通路
11 第1弁座
12,13 第1流路
14 立上げ部
14a 上流側壁部
14b 下流側壁部
20 第2通路
21,22 第2流路
23 上流側開口部
24 下流側開口部
25 拡径部
26 端面
27 第2弁座
29 弁入口開口部
29a 弁出口開口部
30 第1駆動部
35 コイルバネ
36 ピストン
37 空気シリンダ
38 空気室
39 スピンドル
41 ピン
42 コンプレッサ
50 第2駆動部
101 シリンダ
102 ピストン
103 スピンドル
104 コンプレッサ
105 ダイヤフラム
106 バルブ本体
107 通路
108 立上げ部
109 弁座

Claims (6)

  1. 第1弁座(11)と前記第1弁座を挟んで上流側及び下流側に配設された第1流路(12,13)とからなる第1通路(10)を有する弁本体(2)と、前記弁本体の前記第1弁座に圧接して前記第1通路を閉じることができる第1ダイヤフラム(6)と、前記第1ダイヤフラムを開閉させる第1駆動部(30)とを備えたダイヤフラム弁において、流量が前記第1通路の流量の10%未満であると共に前記第1弁座の上流側に上流側開口部(23)を前記第1弁座の下流側に下流側開口部(24)をそれぞれ有して前記第1弁座の上流側の前記第1流路と前記第1弁座の下流側の前記第1流路とを連通させる第2通路(20)と、前記第2通路に配設されて前記第2通路を開閉させる弁装置とをさらに備え、前記弁装置は、前記第2通路を閉弁させるための第2ダイヤフラム(7)及び第2弁座(27)と、前記第2ダイヤフラムを開閉させる第2駆動部(50)とを有する第2ダイヤフラム弁(4)からなることを特徴とするダイヤフラム弁。
  2. 前記ダイヤフラム弁(1)は、流体の充填作業に使用され、前記第2通路の流量は、前記第1通路の流量の1%前後あるいは1%以下に設定されることを特徴とする請求項1に記載のダイヤフラム弁。
  3. 前記第2ダイヤフラム(7)は、前記第1通路(10)を挟んで前記第1ダイヤフラム(6)の反対側に配設されることを特徴とする請求項1又は2に記載のダイヤフラム弁。
  4. 前記流体の充填作業の中間段階では前記第1駆動部(30)により前記第1ダイヤフラム(6)を開弁させる一方、前記充填作業の最終段階では前記第1駆動部により前記第1ダイヤフラムを閉弁させて前記第1通路(12,13)を閉じると共に前記第2ダイヤフラム弁(4)を開弁させて前記第2通路(20)を開くようにしたことを特徴とする請求項に記載のダイヤフラム弁。
  5. 前記第2通路(20)は、第2流路(21,22)と、内円筒状に形成されて前記第2流路よりも半径方向の断面積が広く形成されて上流側の前記第2流路に対して段付き状に拡径して連続する拡径部(25)を有すると共に前記拡径部の上流側の端面(26)に第2弁座(27)が形成され、前記第2ダイヤフラム弁(4)は、先端部が円筒状に形成されて前記拡径部内に配設される前記第2ダイヤフラム(7)を有して前記第2駆動部(50)により前記第2ダイヤフラムの前記先端部が前記第2通路に設けられた前記第2弁座に圧接されて閉弁することを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載のダイヤフラム弁。
  6. 前記弁本体(2)の前記第1通路(10)は、前記第1弁座(11)の上流側の前記第1流路(12)と前記第1弁座の下流側の前記第1流路(13)とが略同軸上にある直管状に形成され、前記第2通路(20)の前記上流側開口部の近傍の前記第2流路(21)と前記第2通路の前記下流側開口部の近傍の前記第2流路(22)は、前記第1通路(10)に対して略平行に形成されることを特徴とする請求項に記載のダイヤフラム弁。
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