JP2015153813A - 希土類磁石の製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】主相率が高い場合でも、磁化のみならず保磁力性能にも優れた希土類磁石の製造方法を提供する。【解決手段】(Rl1-xR2x)aTMbBcMd(RlはYを含む1種以上の希土類元素、R2はRlと異なる希土類元素、TMはFe、Ni、Coの1種以上を含む遷移金属、Bはホウ素、MはTi、Ga、Zn、Si、Al、Nb、Zr、Ni、Co、Mn、V、W、Ta、Ge、Cu、Cr、Hf、Mo、P、C、Mg、Hg、Ag、Auの少なくとも1種類以上で、0.01≰x≰1、12≰a≰20、b=100-a-c-d、5≰c≰20、0≰d≰3で、いずれもat%)の組成式で表され、主相と粒界相からなる組織を有する焼結体を製造するステップ、熱間塑性加工を施し希土類磁石前駆体を製造するステップ、R3-M改質合金(R3はR1、R2を含む希土類元素)の融液を前駆体の粒界相に拡散浸透させ希土類磁石を製造するステップからなる。【選択図】図５

Description

本発明は、希土類磁石の製造方法に関するものである。
希土類元素を用いた希土類磁石は永久磁石とも称され、その用途は、ハードディスクやMRIを構成するモータのほか、ハイブリッド車や電気自動車等の駆動用モータなどに用いられている。
この希土類磁石の磁石性能の指標として残留磁化（残留磁束密度）と保磁力を挙げることができるが、モータの小型化や高電流密度化による発熱量の増大に対し、使用される希土類磁石にも耐熱性に対する要求は一層高まっており、高温使用下で磁石の保磁力を如何に保持できるかが当該技術分野での重要な研究課題の一つとなっている。
車両駆動用モータに多用される希土類磁石の一つであるNd-Fe-B系磁石を取り挙げると、結晶粒の微細化を図ることやNd量の多い組成合金を用いること、保磁力性能の高いDy、Tbといった重希土類元素を添加することなどによってその保磁力を増大させる試みがおこなわれている。
希土類磁石としては、組織を構成する結晶粒のスケールが3〜5μm程度の一般的な焼結磁石のほか、結晶粒を50nm〜300nm程度のナノスケールに微細化したナノ結晶磁石がある。
希土類磁石の磁気特性の中でも保磁力を高めるべく、遷移金属元素と軽希土類元素からなる改質合金として、たとえばNd-Cu合金、Nd-Al合金等を粒界相に拡散浸透させて粒界相を改質する方法が特許文献１に開示されている。
このような遷移金属元素と軽希土類元素からなる改質合金は、Dy等の重希土類元素を含まないことから融点が低く、せいぜい700℃程度で溶融し、粒界相に拡散浸透させることができる。そのため、300nm程度かそれ以下の結晶粒径のナノ結晶磁石の場合には、結晶粒の粗大化を抑制しながら粒界相の改質をおこない、保磁力性能を向上できることから好適な処理方法と言える。
ところで、希土類磁石の磁化を向上させるべく、主相率を高めていく試み（たとえば主相率を95%程度かそれ以上）がなされるが、主相率が高まることで逆に粒界相率は低減する。そのため、改質合金を粒界拡散させた際に、溶融した改質合金が希土類磁石の内部まで十分に浸透できず、磁化は向上するものの保磁力性能が低下するといった課題が生じ得る。
たとえば特許文献１においても上記する課題は取り上げられておらず、したがってこの課題を解決する手段の開示はない。
国際公開第２０１２／０３６２９４号パンフレット
本発明は上記する問題に鑑みてなされたものであり、主相率が高い場合でも、磁化のみならず保磁力性能にも優れた希土類磁石を製造することのできる希土類磁石の製造方法を提供することを目的とする。
前記目的を達成すべく、本発明による希土類磁石の製造方法は、(Rl1-xR2x)aTMbBcMd (RlはYを含む1種以上の希土類元素、R2はRlと異なる希土類元素、TMはFe、Ni、Coの少なくとも1種以上を含む遷移金属、Bはホウ素、MはTi、Ga、Zn、Si、Al、Nb、Zr、Ni、Co、Mn、V、W、Ta、Ge、Cu、Cr、Hf、Mo、P、C、Mg、Hg、Ag、Auの少なくとも1種類以上で、0.01≦x≦1、 12≦a≦20、b=100-a-c-d、 5≦c≦20、0≦d≦3で、いずれもat%)の組成式で表され、主相と粒界相からなる組織を有する焼結体を製造する第１のステップ、焼結体に熱間塑性加工を施して希土類磁石前駆体を製造する第２のステップ、希土類磁石前駆体に対し、R3-M改質合金(R3はR1、R2を含む希土類元素)の融液を希土類磁石前駆体の粒界相に拡散浸透させて希土類磁石を製造する第３のステップからなるものである。
本発明の希土類磁石の製造方法は、(Rl1-xR2x)aTMbBcMd (RlはYを含む1種以上の希土類元素、R2はRlと異なる希土類元素)の組成を有する焼結体に熱間塑性加工を施してなる希土類磁石前駆体に対して、R3-M改質合金(R3はR1、R2を含む希土類元素)の融液を拡散浸透させることにより、主相率が高い場合であっても、主相界面に改質合金による元素の置換現象を促進しながら改質合金を磁石内部に十分に浸透させることができ、高い主相率に起因した高い磁化性能に加えて、保磁力性能も高い希土類磁石を製造することのできる製造方法である。
ここで、本明細書において「高い主相率」とは、95%程度かそれ以上の主相率のことを意味している。
ここで、本発明の製造方法が製造対象とする希土類磁石には、組織を構成する主相（結晶）の粒径が300nm以下程度のナノ結晶磁石は勿論のこと、粒径が300nmを超えるもの、さらには粒径が1μm以上の焼結磁石や樹脂バインダーで結晶粒が結合されたボンド磁石などが包含される。
第１のステップでは、まず、上記組成式で表され、主相と粒界相からなる組織を有する磁粉を製作する。たとえば、液体急冷にて微細な結晶粒である急冷薄帯（急冷リボン）を製作し、これを粗粉砕等して希土類磁石用の磁粉を製作することができる。
この磁粉をたとえばダイス内に充填してパンチで加圧しながら焼結してバルク化を図ることにより、等方性の焼結体が得られる。この焼結体は、たとえばナノ結晶組織のRE-Fe-B系の主相（RE:Nd、Prの少なくとも一種で、より具体的にはNd、Pr、Nd-Prのいずれか一種もしくは二種以上）と、該主相の周りにあるRE-X合金（X:金属元素）の粒界相からなる金属組織を有しており、粒界相には、Nd等の他にGa、Al、Cuの少なくとも1種類以上が含まれている。
第２のステップでは、等方性の焼結体に対して磁気的異方性を付与するべく、熱間塑性加工が実施される。この熱間塑性加工には、据え込み鍛造加工、押出し鍛造加工（前方押出し法、後方押出し法）などがあり、これらのうちの１種、もしくは２種以上を組み合わせて焼結体内部に加工歪みを導入し、たとえば加工率が60〜80%程度の強加工を実施することにより、高い配向を有して磁化性能に優れた希土類磁石が製造される。
第２のステップでは、焼結体が熱間塑性加工されて配向磁石である希土類磁石前駆体が製造される。この希土類磁石前駆体に対し、第３のステップでは、R3-M改質合金(R3はR1、R2を含む希土類元素)、たとえば遷移金属元素と軽希土類元素からなる改質合金の融液を比較的低温（たとえば450〜700℃程度）の温度雰囲気下で熱処理することによって、希土類磁石前駆体の粒界相に拡散浸透させて希土類磁石が製造される。
希土類磁石前駆体を構成する主相内にR1元素であるたとえばNdのほかに、R2元素であるPrが含まれていることにより、改質合金とR2元素が主相界面にて置換現象を起こして改質合金の磁石内部への浸透が促進される。
たとえば改質合金にNd-Cu合金を使用した場合を例に挙げてより詳細に説明すると、Ndに対して低融点のPrが主相内に入っていることで、Nd-Cu合金の粒界拡散の際の熱によって主相の外側（粒界相との界面領域）が溶解し、溶解状態の粒界相とともに溶解領域が広がる。その結果、高主相率に起因してNd-Cu合金の浸透流路となる粒界相の比率が低く、したがってNd-Cu合金の浸透率が低かったものが、浸透流路の拡大によってNd-Cu合金の浸透効率が高まり、結果として磁石内部までNd-Cu合金が十分に浸透することになる。
仮にPrが含まれていない場合は、主相も粒界相もNdリッチな状態であり、Nd-Cu合金を浸透させる際の熱によっても主相の外側が溶解することはなく、したがって、低粒界相率に基づいたNd-Cu合金の浸透流路は狭い状態のままであり、Nd-Cu合金の浸透効率は低いままであり、磁石の保磁力性能を高めることはできない。
第３のステップにおける熱処理によってNd-Cu合金を粒界拡散させた後、希土類磁石を常温に戻すことで、これまで溶解していた主相の外側領域が再結晶化し、主相の中央領域のコアと、再結晶化した外側領域のシェルから構成される、コア−シェル構造の主相が形成される。
そして、形成されたコア−シェル構造の主相は当初の高主相率を維持することから磁化性能に優れ、Nd-Cu合金が粒界相内に十分に粒界拡散していることで保磁力性能も優れた希土類磁石が得られることになる。このコアシェル構造に関しては、主相を構成するコア組成として、たとえばPrリッチな(PrNd)FeB相があり、その周囲にシェル組成として相対的にNdリッチな(NdPr)FeB相があるコアシェル構造の主相を挙げることができる。
第３のステップにおいて、R3-M改質合金(R3はR1、R2を含む希土類元素)、たとえば遷移金属元素と軽希土類元素からなる改質合金を拡散浸透させることにより、Dy等の重希土類元素を含む改質合金を使用する場合に比して低温での改質が可能となり、特にナノ結晶磁石の場合には結晶粗大化といった問題を解消することができる。
ここで、遷移金属元素と軽希土類元素からなる改質合金としては、450〜700℃の温度範囲に融点もしくは共晶温度を有する改質合金が挙げられ、Nd、Prのいずれかの軽希土類元素と、Cu、Mn、In、Zn、Al、Ag、Ga、Feなどの遷移金属元素からなる合金を挙げることができる。より具体的には、Nd-Cu合金（共晶点520℃）、Pr-Cu合金（共晶点480℃）、Nd-Pr-Cu合金、Nd-Al合金（共晶点640℃）、Pr-Al合金（650℃）、Nd-Pr-Al合金などを挙げることができる。
以上の説明から理解できるように、本発明の希土類磁石の製造方法によれば、(Rl1-xR2x)aTMbBcMd (RlはYを含む1種以上の希土類元素、R2はRlと異なる希土類元素)の組成を有する焼結体に熱間塑性加工を施してなる希土類磁石前駆体に対して、R3-M改質合金(R3はR1、R2を含む希土類元素)の融液を拡散浸透させることにより、主相率が高い場合であっても、主相界面に改質合金による元素の置換現象を促進しながら改質合金を磁石内部に十分に浸透させることができ、高い主相率に起因した高い磁化性能に加えて、保磁力性能も高い希土類磁石を製造することができる。
（ａ）、（ｂ）の順で本発明の希土類磁石の製造方法の第１のステップを説明した模式図であり、（ｃ）は第２のステップを説明した模式図である。 （ａ）は図１ｂで示す焼結体のミクロ構造を説明した図であり、（ｂ）は図１ｃの希土類磁石前駆体のミクロ構造を説明した図である。 本発明の希土類磁石の製造方法の第３のステップを説明した模式図である。 製造された希土類磁石の結晶組織のミクロ構造を示した図である。 図４における主相と粒界相をさらに拡大した図である。 試験体を製造する際の第３のステップにおける加熱経路を説明した図である。 実験における改質合金の浸透温度と製造された希土類磁石の保磁力の関係を、Pr置換量ごとに示した図である。 浸透温度580℃での実験におけるPr置換量と保磁力増加量の関係を示した図である。 主相中にPrを含み、改質合金の粒界拡散のない希土類磁石と、主相中にPrを含み、かつ改質合金の粒界拡散のある希土類磁石の温度と保磁力の関係を示した図である。 常温における、主相中のPr量と保磁力の関係を示した図である。 200℃雰囲気下における、主相中のPr量と保磁力の関係を示した図である。 希土類磁石のTEM写真図である。 EDXライン分析結果を示した図である。
（希土類磁石の製造方法）
図１ａ、図１ｂの順で本発明の希土類磁石の製造方法の第１のステップを説明した模式図であり、図１ｃは第２のステップを説明した模式図である。また、図３は本発明の希土類磁石の製造方法の第３のステップを説明した模式図である。また、図２ａは図１ｂで示す焼結体のミクロ構造を説明した図であり、図２ｂは図１ｃの希土類磁石前駆体のミクロ構造を説明した図である。さらに、図４は製造された希土類磁石の結晶組織のミクロ構造を示した図であり、図５は図４における主相と粒界相をさらに拡大した図である。
図１ａで示すように、たとえば50kPa以下に減圧したArガス雰囲気の不図示の炉中で、単ロールによるメルトスピニング法により、合金インゴットを高周波溶解し、希土類磁石を与える組成の溶湯を銅ロールＲに噴射して急冷薄帯Ｂ（急冷リボン）を製作し、これを粗粉砕する。
粗粉砕された急冷薄帯Ｂを図１ｂで示すように超硬ダイスＤとこの中空内を摺動する超硬パンチＰで画成されたキャビティ内に充填し、超硬パンチＰで加圧しながら（Ｘ方向）加圧方向に電流を流して通電加熱することにより、(Rl1-xR2x)aTMbBcMd (RlはYを含む1種以上の希土類元素、R2はRlと異なる希土類元素、TMはFe、Ni、Coの少なくとも1種以上を含む遷移金属、Bはホウ素、MはTi、Ga、Zn、Si、Al、Nb、Zr、Ni、Co、Mn、V、W、Ta、Ge、Cu、Cr、Hf、Mo、P、C、Mg、Hg、Ag、Auの少なくとも1種類以上で、0.01≦x≦1、 12≦a≦20、b=100-a-c-d、 5≦c≦20、0≦d≦3で、いずれもat%)の組成式で表され、主相と粒界相からなる組織を有し、主相が50nm〜300nm程度の結晶粒径を有している焼結体Ｓを製造する（以上、第１のステップ）。
図２ａで示すように、焼結体Ｓはナノ結晶粒ＭＰ（主相）間を粒界相ＢＰが充満する等方性の結晶組織を呈している。そこで、この焼結体Ｓに磁気的異方性を与えるべく、図１ｃで示すように焼結体Ｓの長手方向（図１ｂでは水平方向が長手方向）の端面に超硬パンチＰを当接させ、超硬パンチＰで加圧しながら（Ｘ方向）熱間塑性加工を施すことにより、図２ｂで示すように異方性のナノ結晶粒ＭＰを有する結晶組織の希土類磁石前駆体Ｃが製造される（以上、第２のステップ）。
なお、熱間塑性加工による加工度（圧縮率）が大きい場合、たとえば圧縮率が10%程度以上の場合を、熱間強加工もしくは単に強加工と称することができるが、60〜80%程度の圧縮率で強加工するのがよい。
図２ｂで示す希土類磁石前駆体Ｃの結晶組織において、ナノ結晶粒ＭＰは扁平形状をなし、異方軸とほぼ平行な界面は湾曲したり屈曲しており、特定の面で構成されていない。
次に、図３で示すように、第３のステップとして、希土類磁石前駆体Ｃの表面に改質合金粉末ＳＬを散布して高温炉Ｈ内に収容し、高温雰囲気下、一定の保持時間載置することで、改質合金ＳＬの融液を希土類磁石前駆体Ｃの粒界相に拡散浸透させる。なお、この改質合金粉末ＳＬは、板状に加工されたものを希土類磁石前駆体の表面に載置してもよいし、改質合金粉末のスラリーを製作して希土類磁石前駆体の表面に塗布してもよい。
ここで、改質合金粉末ＳＬは遷移金属元素と軽希土類元素からなり、合金の共焦点が450℃〜700℃と低温の改質合金を使用するものとし、たとえば、Nd-Cu合金（共晶点520℃）、Pr-Cu合金（共晶点480℃）、Nd-Pr-Cu合金、Nd-Al合金（共晶点640℃）、Pr-Al合金（650℃）、Nd-Pr-Al合金、Nd-Co合金（共晶点566℃）、Pr-Co合金（共晶点540℃）、Nd-Pr-Co合金のいずれか一種を適用するのよく、中でも580℃以下と比較的低温のNd-Cu合金（共晶点520℃）、Pr-Cu合金（共晶点480℃）、Nd-Co合金（共晶点566℃）、Pr-Co合金（共晶点540℃）の適用がより好ましい。
改質合金ＳＬの融液が希土類磁石前駆体Ｃの粒界相ＢＰに拡散浸透することにより、図２ｂで示す希土類磁石前駆体Ｃの結晶組織が組織変化して、図４で示すように結晶粒ＭＰの界面が明りょうになり、結晶粒ＭＰ，ＭＰ間の磁気分断が進行して保磁力が向上された希土類磁石ＲＭが製造される（第３のステップ）。なお、図４で示す改質合金による組織改質の途中段階においては、異方軸とほぼ平行な界面は形成されない（特定の面で構成されない）が、改質合金による改質が十分に進んだ段階では、異方軸とほぼ平行な界面（特定の面）が形成され、異方軸に直交する方向から見た際の結晶粒ＭＰの形状は長方形やそれに近似した形状を呈した希土類磁石が形成される。
希土類磁石前駆体Ｃを構成する主相ＭＰ内にR1元素であるたとえばNdのほかに、R2元素であるPrが含まれていることにより、改質合金ＳＬとR2元素が主相界面にて置換現象を起こして改質合金ＳＬの磁石内部への浸透が促進される。
たとえば改質合金ＳＬにNd-Cu合金を適用した場合、Ndに対して低融点のPrが主相内に入っていることで、Nd-Cu合金の粒界拡散の際の熱によって主相の外側（粒界相との界面領域）が溶解し、溶解状態の粒界相ＢＰとともに溶解領域が広がる。
その結果、高主相率に起因してNd-Cu合金の浸透流路となる粒界相ＢＰの比率が低く、したがってNd-Cu合金の浸透率が低かったものが、浸透流路の拡大によってNd-Cu合金の浸透効率が高まり、結果として磁石内部までNd-Cu合金が十分に浸透することになる。
第３のステップにおける熱処理によってNd-Cu合金を粒界拡散させた後、常温に戻すことで、これまで溶解していた主相ＭＰの外側領域が再結晶化し、主相の中央領域のコア相と、再結晶化した外側領域のシェル相から構成される、コア−シェル構造の主相が形成される（図５参照）。
そして、形成されたコア−シェル構造の主相は当初の高主相率を維持することから磁化性能に優れ、Nd-Cu合金が粒界相内に十分に粒界拡散していることで保磁力性能も優れた希土類磁石が得られることになる。このコアシェル構造に関しては、主相を構成するコア組成として、たとえばPrリッチな(PrNd)FeB相があり、その周囲にシェル組成として相対的にNdリッチな(NdPr)FeB相があるコアシェル構造の主相を挙げることができる。
[本発明の製造方法で製造された希土類磁石の磁気特性を検証した実験とその結果]
本発明者等は、本発明の製造方法を適用し、磁石材料中のPrの濃度を種々変化させて複数の希土類磁石を製作し、改質合金の浸透温度とそれぞれの希土類磁石の保磁力の関係を特定する実験をおこなった。また、各希土類磁石の保磁力の温度依存性を特定する実験もおこなった。また、Pr置換率と常温、高温雰囲気下における保磁力の関係を特定する実験をおこなった。さらに、EDX分析をおこない、主相がコア−シェル構造を呈していることを確認した。
（実験方法）
(Nd(100-x)Prx)13.2FebalB5.6Co4.7Ga0.5組成(at%)の液体急冷リボンを単ロール炉にて作製(X=0, 1.35, 25, 50, 100)し、得られた急冷リボンを焼結し焼結体を製作し（焼結温度：650℃、400MPa）、焼結体に強加工（加工温度：780℃、加工度：75％）を実施して希土類磁石前駆体を製作した。得られた希土類磁石前駆体に対し、図６で示す加熱経路図に従って熱処理をおこなってNd-Cu合金の浸透処理をおこない、希土類磁石を製作した（使用した改質合金はNd70Cu30材:5%、拡散前の磁石の厚みは2mm）。製作されたそれぞれの希土類磁石に対し、磁気特性評価をVSM、TPMにて評価した。改質合金の浸透温度と製造された希土類磁石の保磁力の関係に関する実験結果を図７に示し、浸透温度580℃におけるPr置換量と保磁力増加量の関係に関する実験結果を図８に示し、保磁力の温度依存性に関する実験結果を図９に示す。さらに、Pr置換率と常温、高温雰囲気下(200℃)における保磁力の関係に関する実験結果をそれぞれ図１０，１１に示す。
図７より、浸透温度を580〜700℃まで変化させても各組成で大きな変化がないことが分かった。ここで、図８で示す浸透温度580℃でのPr濃度と保磁力の変化割合の関係より、Pr濃度が0%のときは浸透が効率的におこなわれず、保磁力が低下する結果となっているが、それ以外の濃度では保磁力が大きく向上することが分かる。
これは、主相にPrが少量添加されることでNd-Cu合金の浸透効率が高まり、磁石の内部まで浸透が十分におこなわれているためであると推察される。
次に、図９より、主相内にPrが含まれていることに加えて、Nd-Cu合金が浸透している希土類磁石は、Nd-Cu合金が浸透していない希土類磁石に比して全ての温度範囲で5kOe程度も保磁力が向上することが分かる。
また、図１０，１１より、常温においては、Pr濃度が変化してもNd-Cu合金の浸透前後で保磁力の向上する範囲では保磁力が並行移動して増加する傾向があるのに対して、200℃においては、保磁力の向上する範囲において、保磁力が並行移動ではなく、並行移動＋αで増加する傾向があることが分かった。
これは、常温ではNd-Cu合金による主相粒子の分断性の向上が大きく寄与しているのに対して、200℃では分断性向上の効果に加えて、主相の界面での元素置換によるコア−シェル構造の形成によって、高温での平均的な結晶磁気異方性が向上したと考えられる。
より詳細には、Pr置換量が1〜50%の領域では、＋αの利得分となる保磁力の増加量が観測されるが、置換率が100％になると、コア相の高温雰囲気下における磁気異方性の悪化分の影響を大きく受けてしまい、利得分が消失するものと推察される。
また、図１２に希土類磁石の組織のTEM写真図を示し、図１３にEDXライン分析結果を示す。
図１３において、横軸のゼロは図１２の矢印の起点を示し、横軸はこの起点からの組織の長さを示しており、主相１はコア相、主相２はシェル相であり、主相１，２を合わせた主相の長さは23nm程度であり、その外側に粒界相が存在している。
この実験で使用した磁石組成においては、主相１はPr含有率が高く、主相２はNd含有質が高くなっており、組成の異なるコア−シェル構造の主相が形成されていることが本EDXライン分析にて確認されている。
コア相を形成する主相１は常温で高い保磁力を有し、その外側のシェル相を形成する主相２は高温で高い保磁力を有する相となっている。そして、本発明の製造方法にて製造されていることにより、Nd-Cu合金の浸透が十分におこなわれている結果、分断性向上によって保磁力の高い磁石となっている。なお、製造された希土類磁石は主相率が96〜97%と非常に高いことから、保磁力に加えて磁化の高い磁石である。
本発明による希土類磁石の製造方法は、主相率が高く、したがって粒界相を介した改質合金の融液の浸透が往々にして不十分になり得る希土類磁石に対して、磁化のみならず保磁力も高めることができる画期的な製造方法であることが本実験にて証明されている。
以上、本発明の実施の形態を図面を用いて詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における設計変更等があっても、それらは本発明に含まれるものである。
Ｒ…銅ロール、Ｂ…急冷薄帯（急冷リボン）、Ｄ…超硬ダイス、Ｐ…超硬パンチ、Ｓ…焼結体、Ｃ…希土類磁石前駆体、Ｈ…高温炉、ＳＬ…改質合金粉末（改質合金）、Ｍ…改質合金粉末、ＭＰ…主相（ナノ結晶粒、結晶粒）、ＢＰ…粒界相、ＲＭ…希土類磁石

Claims (3)

  1. (Rl1-xR2x)aTMbBcMd (RlはYを含む1種以上の希土類元素、R2はRlと異なる希土類元素、TMはFe、Ni、Coの少なくとも1種以上を含む遷移金属、Bはホウ素、MはTi、Ga、Zn、Si、Al、Nb、Zr、Ni、Co、Mn、V、W、Ta、Ge、Cu、Cr、Hf、Mo、P、C、Mg、Hg、Ag、Auの少なくとも1種類以上で、0.01≦x≦1、 12≦a≦20、b=100-a-c-d、 5≦c≦20、0≦d≦3で、いずれもat%)の組成式で表され、主相と粒界相からなる組織を有する焼結体を製造する第１のステップ、
    焼結体に熱間塑性加工を施して希土類磁石前駆体を製造する第２のステップ、
    希土類磁石前駆体に対し、R3-M改質合金(R3はR1、R2を含む希土類元素)の融液を希土類磁石前駆体の粒界相に拡散浸透させて希土類磁石を製造する第３のステップからなる希土類磁石の製造方法。
  2. R1がNd、R2がPrからなる請求項１に記載の希土類磁石の製造方法。
  3. 第３のステップにおいて主相率が95%以上の希土類磁石を製造する請求項１または２に記載の希土類磁石の製造方法。
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