JP2015148728A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 基板上に、薄膜トランジスタを備える画素を複数配置した表示部と、
   前記薄膜トランジスタの動作を制御するための信号が入力される複数の端子が配列された端子部と、を有する表示装置の製造方法であって、
   前記基板上に第１絶縁膜を形成し、
   前記第１絶縁膜上に前記薄膜トランジスタを形成し、
   前記薄膜トランジスタの形成後に前記表示部と前記端子部とに第２絶縁膜を形成し、
   前記第２絶縁膜に、前記薄膜トランジスタの少なくとも一部を露出させるコンタクトホールを形成するとともに、前記端子部において複数の開口部を形成し、
   前記第２絶縁膜上に、前記薄膜トランジスタに前記コンタクトホールを介して接続される複数の信号線と、前記複数の信号線の形成と同時に、前記開口部を間に挟むように複数の端子配線を形成し、
   前記複数の信号線及び前記複数の端子配線上に有機絶縁膜からなる第３絶縁膜を形成することを含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
2. 前記端子部において、前記第３絶縁膜を一部除去して前記複数の端子配線を露出させ、
   前記複数の端子配線の前記露出された部分を覆う導電膜を形成することをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の表示装置の製造方法。
3. 基板上に、薄膜トランジスタを備える画素を複数配置した表示部と、
   前記薄膜トランジスタの動作を制御するための信号が入力される複数の端子が配列された端子部と、を有する表示装置の製造方法であって、
   前記基板上に第１絶縁膜を形成し、
   前記第１絶縁膜上に前記薄膜トランジスタを形成し、
   前記薄膜トランジスタの形成後に前記表示部と前記端子部とに第２絶縁膜を形成し、
   前記第２絶縁膜に、前記薄膜トランジスタの少なくとも一部を露出させるコンタクトホールを形成するとともに、前記端子部において複数の開口部を形成し、
   前記第２絶縁膜上に、前記薄膜トランジスタに前記コンタクトホールを介して接続される複数の信号線と、前記複数の信号線の形成と同時に、前記開口部を間に挟むように複数の端子配線を形成し、
   前記複数の信号線上に有機絶縁膜からなる第３絶縁膜を形成し、
   前記第３絶縁膜及び前記複数の端子配線上に、無機絶縁膜からなる第４絶縁膜を形成し、
   前記端子部において、前記第４絶縁膜を一部除去して前記複数の端子配線を露出させ、
   前記複数の端子配線の前記露出された部分を覆う導電膜を形成し、
   前記導電膜上に、第５絶縁膜を形成することを含み、
   前記第５絶縁膜を一部除去して前記導電膜を露出させることをさらに含むこと特徴とする表示装置の製造方法。
4. 前記導電膜を、透光性を有する導電膜を用いて形成することを特徴とする請求項２または３に記載の表示装置の製造方法。
5. 前記第３絶縁膜を、アクリルまたはポリイミドを用いて形成することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の表示装置の製造方法。
6. 基板上に、薄膜トランジスタを備える画素を複数配置した表示部と、
   前記薄膜トランジスタの動作を制御するための信号が入力される複数の端子が配列された端子部と、を有する表示装置であって、
   前記基板上に配置された第１絶縁膜と、
   前記第１絶縁膜上に配置された前記薄膜トランジスタと、
   前記表示部及び前記端子部に配置され、前記複数の端子の間に配置される開口部を備える第２絶縁膜と、
   前記第２絶縁膜上に配置され、前記薄膜トランジスタに接続される複数の信号線と、前記端子部に配置される複数の端子配線と、
   前記複数の信号線及び前記複数の端子配線上に配置される有機絶縁膜からなる第３絶縁膜と、を備えることを特徴とする表示装置。
7. 前記複数の端子は、前記第３絶縁膜上に配置され、前記第３絶縁膜に形成された複数の貫通孔を介してそれぞれ前記複数の端子配線と接続されることを特徴とする請求項６に記載の表示装置。
8. 基板上に、薄膜トランジスタを備える画素を複数配置した表示部と、
   前記薄膜トランジスタの動作を制御するための信号が入力される複数の端子が配列された端子部と、を有する表示装置であって、
   前記基板上に配置された第１絶縁膜と、
   前記第１絶縁膜上に配置された前記薄膜トランジスタと、
   前記表示部及び前記端子部に配置され、前記複数の端子の間に配置される開口部を備える第２絶縁膜と、
   前記第２絶縁膜上に配置され、前記薄膜トランジスタに接続される複数の信号線と、前記端子部に配置される複数の端子配線と、
   前記複数の信号線上に配置される有機絶縁膜からなる第３絶縁膜と、
   前記第３絶縁膜及び前記複数の端子配線上に配置される無機絶縁膜からなり、前記複数の端子配線の一部を露出させる複数の貫通孔を備える第４絶縁膜と、
   前記第４絶縁膜上に配置され、前記複数の貫通孔を介してそれぞれ前記複数の端子配線に接続される前記複数の端子と、
   前記複数の端子上に、前記複数の端子の一部を露出させて配置される第５絶縁膜と、を備えること特徴とする表示装置。
9. 前記複数の端子は、透光性を有する導電膜を用いて形成されることを特徴とする請求項６乃至８のいずれか一項に記載の表示装置。
10. 前記第３絶縁膜は、アクリルまたはポリイミドを用いて形成されることを特徴とする請求項６乃至９のいずれか一項に記載の表示装置。
11. 前記第３絶縁膜は、前記開口部に重畳するように形成されることを特徴とする請求項６乃至９のいずれか一項に記載の表示装置。
12. 前記第４絶縁膜及び前記第５絶縁膜は、前記開口部に重畳するように形成されることを特徴とする請求項８又は９に記載の表示装置。