JP2015109423A - シリコンウェーハ用研磨液組成物 - Google Patents
シリコンウェーハ用研磨液組成物 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015109423A JP2015109423A JP2014213109A JP2014213109A JP2015109423A JP 2015109423 A JP2015109423 A JP 2015109423A JP 2014213109 A JP2014213109 A JP 2014213109A JP 2014213109 A JP2014213109 A JP 2014213109A JP 2015109423 A JP2015109423 A JP 2015109423A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- silicon wafer
- water
- mass
- soluble polymer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 187
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 134
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 title claims abstract description 132
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 131
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 131
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 131
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 61
- 229920003169 water-soluble polymer Polymers 0.000 claims abstract description 62
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 60
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 claims abstract description 56
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 claims abstract description 56
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 claims abstract description 42
- -1 nitrogen-containing basic compound Chemical class 0.000 claims abstract description 40
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims abstract description 38
- 229920000578 graft copolymer Polymers 0.000 claims abstract description 27
- 229920002557 polyglycidol polymer Polymers 0.000 claims abstract description 12
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 claims description 68
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 claims description 56
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 25
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 18
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 18
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 125000001570 methylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])[*:2] 0.000 claims description 6
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims description 3
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 claims description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 abstract description 52
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 42
- 230000009467 reduction Effects 0.000 abstract description 41
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 abstract description 39
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 19
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 abstract 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 abstract 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 abstract 1
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 111
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 83
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 73
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 39
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 36
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 31
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 25
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 18
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 14
- 238000005481 NMR spectroscopy Methods 0.000 description 13
- 239000012736 aqueous medium Substances 0.000 description 13
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 12
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 12
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 12
- 238000004108 freeze drying Methods 0.000 description 12
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 12
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 12
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 12
- OPQYOFWUFGEMRZ-UHFFFAOYSA-N tert-butyl 2,2-dimethylpropaneperoxoate Chemical compound CC(C)(C)OOC(=O)C(C)(C)C OPQYOFWUFGEMRZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 10
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 description 10
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229920000663 Hydroxyethyl cellulose Polymers 0.000 description 9
- 239000004354 Hydroxyethyl cellulose Substances 0.000 description 9
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 235000019447 hydroxyethyl cellulose Nutrition 0.000 description 9
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 7
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 7
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 7
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 7
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 7
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 6
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 6
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 5
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 5
- 239000011163 secondary particle Substances 0.000 description 5
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 4
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 4
- 239000002738 chelating agent Substances 0.000 description 4
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 4
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 4
- 229920000223 polyglycerol Polymers 0.000 description 4
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 4
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 3
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 3
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 3
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 3
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 3
- 150000007514 bases Chemical class 0.000 description 3
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 3
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 3
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 3
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 238000002296 dynamic light scattering Methods 0.000 description 3
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 3
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 3
- 239000002609 medium Substances 0.000 description 3
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 3
- 239000003002 pH adjusting agent Substances 0.000 description 3
- 239000003755 preservative agent Substances 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 3
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 3
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YRAJNWYBUCUFBD-UHFFFAOYSA-N 2,2,6,6-tetramethylheptane-3,5-dione Chemical compound CC(C)(C)C(=O)CC(=O)C(C)(C)C YRAJNWYBUCUFBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATRRKUHOCOJYRX-UHFFFAOYSA-N Ammonium bicarbonate Chemical compound [NH4+].OC([O-])=O ATRRKUHOCOJYRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ROSDSFDQCJNGOL-UHFFFAOYSA-N Dimethylamine Chemical compound CNC ROSDSFDQCJNGOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N EDTA Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 2
- QUSNBJAOOMFDIB-UHFFFAOYSA-N Ethylamine Chemical compound CCN QUSNBJAOOMFDIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-N Glycolic acid Chemical compound OCC(O)=O AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BAVYZALUXZFZLV-UHFFFAOYSA-N Methylamine Chemical compound NC BAVYZALUXZFZLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GLUUGHFHXGJENI-UHFFFAOYSA-N Piperazine Chemical compound C1CNCCN1 GLUUGHFHXGJENI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 2
- 125000005037 alkyl phenyl group Chemical group 0.000 description 2
- 239000001099 ammonium carbonate Substances 0.000 description 2
- 150000003868 ammonium compounds Chemical class 0.000 description 2
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1 WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FUWUEFKEXZQKKA-UHFFFAOYSA-N beta-thujaplicin Chemical compound CC(C)C=1C=CC=C(O)C(=O)C=1 FUWUEFKEXZQKKA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000011362 coarse particle Substances 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N ether Substances CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 2
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 2
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 description 2
- NAQMVNRVTILPCV-UHFFFAOYSA-N hexane-1,6-diamine Chemical compound NCCCCCCN NAQMVNRVTILPCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WQYVRQLZKVEZGA-UHFFFAOYSA-N hypochlorite Chemical compound Cl[O-] WQYVRQLZKVEZGA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- 239000002198 insoluble material Substances 0.000 description 2
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 2
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 2
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 2
- 230000002335 preservative effect Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 238000004513 sizing Methods 0.000 description 2
- 125000001273 sulfonato group Chemical class [O-]S(*)(=O)=O 0.000 description 2
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 2
- GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N trimethylamine Chemical compound CN(C)C GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LNAZSHAWQACDHT-XIYTZBAFSA-N (2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-dimethoxy-2-(methoxymethyl)-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-trimethoxy-6-(methoxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6r)-4,5,6-trimethoxy-2-(methoxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxane Chemical compound CO[C@@H]1[C@@H](OC)[C@H](OC)[C@@H](COC)O[C@H]1O[C@H]1[C@H](OC)[C@@H](OC)[C@H](O[C@H]2[C@@H]([C@@H](OC)[C@H](OC)O[C@@H]2COC)OC)O[C@@H]1COC LNAZSHAWQACDHT-XIYTZBAFSA-N 0.000 description 1
- BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N (S)-malic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N 0.000 description 1
- OTIXUSNHAKOJBX-UHFFFAOYSA-N 1-(aziridin-1-yl)ethanone Chemical compound CC(=O)N1CC1 OTIXUSNHAKOJBX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PVOAHINGSUIXLS-UHFFFAOYSA-N 1-Methylpiperazine Chemical compound CN1CCNCC1 PVOAHINGSUIXLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HXKKHQJGJAFBHI-UHFFFAOYSA-N 1-aminopropan-2-ol Chemical compound CC(O)CN HXKKHQJGJAFBHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005160 1H NMR spectroscopy Methods 0.000 description 1
- VILCJCGEZXAXTO-UHFFFAOYSA-N 2,2,2-tetramine Chemical compound NCCNCCNCCN VILCJCGEZXAXTO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IWSZDQRGNFLMJS-UHFFFAOYSA-N 2-(dibutylamino)ethanol Chemical compound CCCCN(CCO)CCCC IWSZDQRGNFLMJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical compound NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- URDCARMUOSMFFI-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[bis(carboxymethyl)amino]ethyl-(2-hydroxyethyl)amino]acetic acid Chemical compound OCCN(CC(O)=O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O URDCARMUOSMFFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BFSVOASYOCHEOV-UHFFFAOYSA-N 2-diethylaminoethanol Chemical compound CCN(CC)CCO BFSVOASYOCHEOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940100555 2-methyl-4-isothiazolin-3-one Drugs 0.000 description 1
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910000013 Ammonium bicarbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004438 BET method Methods 0.000 description 1
- 239000005711 Benzoic acid Substances 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical group [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- 229920002134 Carboxymethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- RPNUMPOLZDHAAY-UHFFFAOYSA-N Diethylenetriamine Chemical compound NCCNCCN RPNUMPOLZDHAAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N Ethylenediamine Chemical compound NCCN PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTKINSOISVBQLD-UHFFFAOYSA-N Glycidol Chemical compound OCC1CO1 CTKINSOISVBQLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YZCKVEUIGOORGS-UHFFFAOYSA-N Hydrogen atom Chemical compound [H] YZCKVEUIGOORGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001479 Hydroxyethyl methyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 229920002153 Hydroxypropyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- UEEJHVSXFDXPFK-UHFFFAOYSA-N N-dimethylaminoethanol Chemical compound CN(C)CCO UEEJHVSXFDXPFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OPKOKAMJFNKNAS-UHFFFAOYSA-N N-methylethanolamine Chemical compound CNCCO OPKOKAMJFNKNAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001214 Polysorbate 60 Polymers 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N Succinic acid Natural products OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930006000 Sucrose Natural products 0.000 description 1
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SLINHMUFWFWBMU-UHFFFAOYSA-N Triisopropanolamine Chemical compound CC(O)CN(CC(C)O)CC(C)O SLINHMUFWFWBMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 150000005215 alkyl ethers Chemical class 0.000 description 1
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005529 alkyleneoxy group Chemical group 0.000 description 1
- TUFYVOCKVJOUIR-UHFFFAOYSA-N alpha-Thujaplicin Natural products CC(C)C=1C=CC=CC(=O)C=1O TUFYVOCKVJOUIR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N alpha-hydroxysuccinic acid Natural products OC(=O)C(O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000003368 amide group Chemical group 0.000 description 1
- LHIJANUOQQMGNT-UHFFFAOYSA-N aminoethylethanolamine Chemical compound NCCNCCO LHIJANUOQQMGNT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IMUDHTPIFIBORV-UHFFFAOYSA-N aminoethylpiperazine Chemical compound NCCN1CCNCC1 IMUDHTPIFIBORV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000012538 ammonium bicarbonate Nutrition 0.000 description 1
- 235000012501 ammonium carbonate Nutrition 0.000 description 1
- 239000000908 ammonium hydroxide Substances 0.000 description 1
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- DXGKKTKNDBFWLL-UHFFFAOYSA-N azane;2-[bis(carboxymethyl)amino]acetic acid Chemical compound N.N.N.OC(=O)CN(CC(O)=O)CC(O)=O DXGKKTKNDBFWLL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LDDQLRUQCUTJBB-UHFFFAOYSA-O azanium;hydrofluoride Chemical compound [NH4+].F LDDQLRUQCUTJBB-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229960000686 benzalkonium chloride Drugs 0.000 description 1
- UREZNYTWGJKWBI-UHFFFAOYSA-M benzethonium chloride Chemical compound [Cl-].C1=CC(C(C)(C)CC(C)(C)C)=CC=C1OCCOCC[N+](C)(C)CC1=CC=CC=C1 UREZNYTWGJKWBI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229960001950 benzethonium chloride Drugs 0.000 description 1
- DMSMPAJRVJJAGA-UHFFFAOYSA-N benzo[d]isothiazol-3-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)NSC2=C1 DMSMPAJRVJJAGA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000010233 benzoic acid Nutrition 0.000 description 1
- CADWTSSKOVRVJC-UHFFFAOYSA-N benzyl(dimethyl)azanium;chloride Chemical compound [Cl-].C[NH+](C)CC1=CC=CC=C1 CADWTSSKOVRVJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N butanedioic acid Chemical compound O[14C](=O)CC[14C](O)=O KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 239000001768 carboxy methyl cellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010948 carboxy methyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 150000007942 carboxylates Chemical class 0.000 description 1
- 125000003262 carboxylic acid ester group Chemical group [H]C([H])([*:2])OC(=O)C([H])([H])[*:1] 0.000 description 1
- 239000008112 carboxymethyl-cellulose Substances 0.000 description 1
- 239000004359 castor oil Substances 0.000 description 1
- 235000019438 castor oil Nutrition 0.000 description 1
- 238000005119 centrifugation Methods 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 235000015165 citric acid Nutrition 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- GHVNFZFCNZKVNT-UHFFFAOYSA-M decanoate Chemical compound CCCCCCCCCC([O-])=O GHVNFZFCNZKVNT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N diethanolamine Chemical compound OCCNCCO ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N diethylamine Chemical compound CCNCC HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LVTYICIALWPMFW-UHFFFAOYSA-N diisopropanolamine Chemical compound CC(O)CNCC(C)O LVTYICIALWPMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940043276 diisopropanolamine Drugs 0.000 description 1
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- POULHZVOKOAJMA-UHFFFAOYSA-M dodecanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCC([O-])=O POULHZVOKOAJMA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000003480 eluent Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 229910021485 fumed silica Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- ZEMPKEQAKRGZGQ-XOQCFJPHSA-N glycerol triricinoleate Natural products CCCCCC[C@@H](O)CC=CCCCCCCCC(=O)OC[C@@H](COC(=O)CCCCCCCC=CC[C@@H](O)CCCCCC)OC(=O)CCCCCCCC=CC[C@H](O)CCCCCC ZEMPKEQAKRGZGQ-XOQCFJPHSA-N 0.000 description 1
- VXZOOXXSYPYWEP-UHFFFAOYSA-H hexasodium hexaacetate Chemical compound C(C)(=O)[O-].[Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[Na+].C(C)(=O)[O-].C(C)(=O)[O-].C(C)(=O)[O-].C(C)(=O)[O-].C(C)(=O)[O-] VXZOOXXSYPYWEP-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229920013819 hydroxyethyl ethylcellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001863 hydroxypropyl cellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010977 hydroxypropyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 239000001866 hydroxypropyl methyl cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920003088 hydroxypropyl methyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 235000010979 hydroxypropyl methyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- UFVKGYZPFZQRLF-UHFFFAOYSA-N hydroxypropyl methyl cellulose Chemical compound OC1C(O)C(OC)OC(CO)C1OC1C(O)C(O)C(OC2C(C(O)C(OC3C(C(O)C(O)C(CO)O3)O)C(CO)O2)O)C(CO)O1 UFVKGYZPFZQRLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 229940070765 laurate Drugs 0.000 description 1
- 239000001630 malic acid Substances 0.000 description 1
- 235000011090 malic acid Nutrition 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 1
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010981 methylcellulose Nutrition 0.000 description 1
- BEGLCMHJXHIJLR-UHFFFAOYSA-N methylisothiazolinone Chemical compound CN1SC=CC1=O BEGLCMHJXHIJLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229930014626 natural product Natural products 0.000 description 1
- MGFYIUFZLHCRTH-UHFFFAOYSA-N nitrilotriacetic acid Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CC(O)=O MGFYIUFZLHCRTH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940049964 oleate Drugs 0.000 description 1
- ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N oleic acid Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(O)=O ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- 125000005702 oxyalkylene group Chemical group 0.000 description 1
- 239000008363 phosphate buffer Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229960005141 piperazine Drugs 0.000 description 1
- 229960003506 piperazine hexahydrate Drugs 0.000 description 1
- AVRVZRUEXIEGMP-UHFFFAOYSA-N piperazine;hexahydrate Chemical compound O.O.O.O.O.O.C1CNCCN1 AVRVZRUEXIEGMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000765 poly(2-oxazolines) Polymers 0.000 description 1
- 229920002401 polyacrylamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 description 1
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 description 1
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000012925 reference material Substances 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 239000000344 soap Substances 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001415 sodium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- DZCAZXAJPZCSCU-UHFFFAOYSA-K sodium nitrilotriacetate Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[O-]C(=O)CN(CC([O-])=O)CC([O-])=O DZCAZXAJPZCSCU-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000005720 sucrose Substances 0.000 description 1
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 1
- 125000000542 sulfonic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- QEMXHQIAXOOASZ-UHFFFAOYSA-N tetramethylammonium Chemical compound C[N+](C)(C)C QEMXHQIAXOOASZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 230000004580 weight loss Effects 0.000 description 1
- 229930007845 β-thujaplicin Natural products 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02002—Preparing wafers
- H01L21/02005—Preparing bulk and homogeneous wafers
- H01L21/02008—Multistep processes
- H01L21/0201—Specific process step
- H01L21/02024—Mirror polishing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/042—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces operating processes therefor
- B24B37/044—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces operating processes therefor characterised by the composition of the lapping agent
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K3/00—Use of inorganic substances as compounding ingredients
- C08K3/34—Silicon-containing compounds
- C08K3/36—Silica
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K7/00—Use of ingredients characterised by shape
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09G—POLISHING COMPOSITIONS; SKI WAXES
- C09G1/00—Polishing compositions
- C09G1/02—Polishing compositions containing abrasives or grinding agents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
- C09K3/1454—Abrasive powders, suspensions and pastes for polishing
- C09K3/1463—Aqueous liquid suspensions
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明のシリコンウェーハ用研磨液組成物は、シリカ粒子を0.01〜0.5質量%と、含窒素塩基性化合物と、水溶性高分子とを含み、水溶性高分子は、下記一般式(1)で表される構成単位を含み、水溶性高分子において、水酸基由来の酸素原子数とポリオキシアルキレン由来の酸素原子数の比(水酸基由来の酸素原子数/ポリオキシアル
キレン由来の酸素原子数)が、0.8〜10である。水溶性高分子は、好ましくは、ポリグリシドール、ポリグシドール誘導体、ポリグリセリン、ポリグリセリン誘導体、ポリビニルアルコールを側鎖とするポリビニルアルコール・ポリエチレングリコール・グラフトコポリマーからなる群から選ばれる少なくとも1種である。
[化1]
【選択図】なし
Description
。
た研磨では、シリコンウェーハの表面粗さ(ヘイズ)と表面欠陥(LPD)の低減を十分に両立できない。
(成分A)シリカ粒子
(成分B)含窒素塩基性化合物
(成分C)水溶性高分子
シリコンウェーハ用研磨液組成物におけるシリカ粒子の含有量は0.01〜0.5質量%であり、前記水溶性高分子(成分C)は、下記一般式(1)で表される構成単位を含み、前記水溶性高分子において、水酸基由来の酸素原子数とポリオキシアルキレン由来の酸素原子数の比(水酸基由来の酸素原子数/ポリオキシアルキレン由来の酸素原子数)が、0
.8〜10である。
ウェーハ用研磨液組成物(以下、「研磨液組成物」と略称する場合もある。)に含まれることにより、研磨液組成物で研磨されたシリコンウェーハの表面(研磨面)における、表
面粗さ(ヘイズ)の低減と表面欠陥(LPD)の低減とを両立できる、という知見に基づく。
本発明の研磨液組成物には、研磨材としてシリカ粒子が含まれる。シリカ粒子の具体例としては、コロイダルシリカ、フュームドシリカ等が挙げられるが、シリコンウェーハの表面平滑性を向上させる観点から、コロイダルシリカがより好ましい。
会合度=平均二次粒子径/平均一次粒子径
本発明の研磨液組成物は、研磨液組成物の保存安定性の向上、研磨速度の確保、及びシリコンウェーハの表面粗さ(ヘイズ)の低減と表面欠陥(LPD)の低減の両立の観点から、水溶性の塩基性化合物を含有する。水溶性の塩基性化合物としては、アミン化合物及びアンモニウム化合物から選ばれる少なくとも1種類以上の含窒素塩基性化合物である。
ここで、「水溶性」とは、水に対して2g/100ml以上の溶解度を有することをいい、「水溶性の塩基性化合物」とは、水に溶解したとき、塩基性を示す化合物をいう。
性化合物としては、例えば、アンモニア、水酸化アンモニウム、炭酸アンモニウム、炭酸水素アンモニウム、メチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、エチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、N一メチルエタノールアミン、N−メチル−N,N一ジエタノ−ルアミン、N,N−ジメチルエタノールアミン、N,N−ジエチルエタノールアミン、N,N−ジブチルエタノールアミン、N−(β−アミノエチル)エタノ−ルアミン、モノイソプロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、トリイソプロパノールアミン、エチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、ピペラジン・六水和物、無水ピペラジン、1−(2−アミノエチル)ピペラジン、N−メチルピペラジン、ジエチレントリアミン、及び水酸化テトラメチルアンモニウムが挙げられる。これらの含窒素塩基性化合物は2種以上を混合して用いてもよい。本発明の研磨液組成物に含まれ得る含窒素塩基性化合物としては、シリコンウェーハの表面粗さ(ヘイズ)の低減と表面欠陥(LPD)の低減の両立の観点、研磨液組成物の保存安定性の向上、及び、研磨速度の確保の観点からアンモニアがより好ましい。
本発明の研磨液組成物は、シリコンウェーハの表面粗さ(ヘイズ)の低減と表面欠陥(LPD)の低減の両立の観点から、下記一般式(1)で表される構成単位を含む水溶性高分子(成分C)を含む。ここで、「水溶性」とは、水に対して2g/100ml以上の溶解度を有することをいう。
R3、R4、R5は、それぞれ独立して、H(水素原子)、―OH(水酸基)、―CH2OH、又はポリビニルアルコールであるが、R2、R3、R4、R5が各々すべて同時にはH(水素原子)、―OH(水酸基)、又は―CH2OHとはならない。
本発明の研磨液組成物に含まれる水系媒体(成分D)としては、イオン交換水や超純水等の水、又は水と溶媒との混合媒体等が挙げられ、上記溶媒としては、水と混合可能な溶媒(例えば、エタノール等のアルコール)が好ましい。水系媒体としては、なかでも、イオン交換水又は超純水がより好ましく、超純水が更に好ましい。水系媒体(成分D)が、水と溶媒との混合媒体である場合、成分Dである混合媒体全体に対する水の割合は、特に限定されるわけではないが、経済性の観点から、95質量%以上が好ましく、98質量%以上がより好ましく、実質的に100質量%が更に好ましい。
本発明の研磨液組成物には、本発明の効果が妨げられない範囲で、更に、水溶性高分子化合物(成分C)以外の水溶性高分子化合物(成分E)、pH調整剤、防腐剤、アルコール類、キレート剤、アニオン性界面活性剤、及びノニオン性界面活性剤から選ばれる少なくとも1種の任意成分が含まれてもよい。
本発明の研磨液組成物には、シリコンウェーハの表面粗さ(ヘイズ)の低減と表面欠陥(LPD)の低減の両立の観点から、更に水溶性高分子化合物(成分C)以外の水溶性高分子化合物(成分E)を含有してもよい。この水溶性高分子化合物(成分E)は、親水基を有する高分子化合物であり、水溶性高分子化合物(成分E)の重量平均分子量は、研磨速度の確保、シリコンウェーハの表面欠陥の低減の観点から、10,000以上が好ましく、100,000以上がより好ましい。上記成分Eを構成する供給源である単量体としては、例えば、アミド基、水酸基、カルボキシル基、カルボン酸エステル基、スルホン酸基等の水溶性基を有する単量体が挙げられる。このような水溶性高分子化合物(成分E)としては、ポリアミド、ポリ(N−アシルアルキレンイミン)、セルロース誘導体、ポリビニルアルコール、ポリエチレンオキサイド等が例示できる。ポリアミドとしては、ポリビニルピロリドン、ポリアクリルアミド、ポリオキサゾリン、ポリジメチルアクリルアミド、ポリジエチルアクリルアミド、ポリイソプロピルアクリルアミド、ポリヒドロキシエチルアクリルアミド等が挙げられる。ポリ(N−アシルアルキレンイミン)としては、ポリ(N−アセチルエチレンイミン)、ポリ(N−プロピオニルエチレンイミン)、ポリ(N−カプロイルエチレンイミン)、ポリ(N−ベンゾイルエチレンイミン)、ポリ(N−ノナデゾイルエチレンイミン)、ポリ(N−アセチルプロピレンイミン)、ポリ(N−ブチオニルエチレンイミン)等があげられる。セルロース誘導体としては、カルボキシメチルセルロ−ス、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシエチルメチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、ヒドロキシプロピルメチルセルロース、メチルセルロース、エチルセルロース、ヒドロキシエチルエチルセルロース、及びカルボキシメチルエチルセルロース等が挙げられる。これらの水溶性高分子化合物は任意の割合で2種以上を混合して用いてもよい。
pH調整剤としては、酸性化合物等が挙げられる。酸性化合物としては、硫酸、塩酸、硝酸又はリン酸等の無機酸、酢酸、シュウ酸、コハク酸、グリコール酸、リンゴ酸、クエン酸又は安息香酸等の有機酸等が挙げられる。
防腐剤としては、ベンザルコニウムクロライド、ベンゼトニウムクロライド、1,2−ベンズイソチアゾリン−3−オン、(5−クロロ−)2−メチル−4−イソチアゾリン−3−オン、過酸化水素、又は次亜塩素酸塩等が挙げられる。
アルコール類としては、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、イソプロピルアルコール、2−メチル−2−プロパノオール、エチレングリコール、プロピレングリコール、ポリエチレングリコール、グリセリン等が挙げられる。本発明の研磨液組成物におけるアルコール類の含有量は、0.1質量%〜5質量%が好ましい。
キレート剤としては、エチレンジアミン四酢酸、エチレンジアミン四酢酸ナトリウム、ニトリロ三酢酸、ニトリロ三酢酸ナトリウム、ニトリロ三酢酸アンモニウム、ヒドロキシエチルエチレンジアミン三酢酸、ヒドロキシエチルエチレンジアミン三酢酸ナトリウム、トリエチレンテトラミン六酢酸、トリエチレンテトラミン六酢酸ナトリウム等が挙げられる。本発明の研磨液組成物におけるキレート剤の含有量は、0.01〜1質量%が好ましい。
アニオン性界面活性剤としては、例えば、脂肪酸石鹸、アルキルエーテルカルボン酸塩等のカルボン酸塩、アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキルナフタレンスルホン酸塩等のスルホン酸塩、高級アルコール硫酸エステル塩、アルキルエーテル硫酸塩等の硫酸エステル塩、アルキルリン酸エステル等のリン酸エステル塩などが挙げられる。
非イオン性界面活性剤としては、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビット脂肪酸エステル、ポリオキシエチレングリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシアルキレン(硬化)ヒマシ油等のポリエチレングリコール型と、ショ糖脂肪酸エステル、アルキルグリコシド等の多価アルコール型及び脂肪酸アルカノールアミド等が挙げられる。
0である、シリコンウェーハ用研磨液組成物。
<2> 前記水溶性高分子が、ポリビニルアルコール・ポリエチレングリコール・グラフトコポリマーである、前記<1>に記載のシリコンウェーハ用研磨液組成物。
<3> 前記水溶性高分子が、前記ポリビニルアルコール・ポリエチレングリコール・グラフトコポリマーが、ポリビニルアルコールを側鎖とし、ポリエチレングリコールを主鎖とする、ポリビニルアルコール・ポリエチレングリコール・グラフトコポリマーである、前記<1>又は<2>に記載のシリコンウェーハ用研磨液組成物。
<4> 前記ポリビニルアルコール・ポリエチレングリコール・グラフトコポリマーの重量平均分子量は、1万以上が好ましく、1.2万以上がより好ましく、1.5万以上が更に好ましく、3万以上が更により好ましく、40万以下が好ましく、30万以下がより好ましく、15万以下が更に好ましく、12万以下が更により好ましく、10万以下が更により好ましく、8万以下が更により好ましい、前記<2>又は<3>に記載のシリコンウェーハ用研磨液組成物。
<5> 前記水溶性高分子が、ポリグリシドール及び/又はポリグシドール誘導体である、前記<1>に記載のシリコンウェーハ用研磨液組成物。
<6> 前記ポリグリシドール及びポリグシドール誘導体の重量平均分子量は、3000以上が好ましく、1万以上がより好ましく、2万以上が更に好ましく、3万以上が更により好ましく、15万以下が好ましく、12万以下がより好ましく、10万以下が更に好ましく、8万以下が更により好ましい、前記<5>に記載のシリコンウェーハ用研磨液組成物。
<7> 前記水溶性高分子が、ポリグリセリン及び/又はポリグリセリン誘導体である、前記<1>に記載のシリコンウェーハ用研磨液組成物。
<8> 前記ポリグリセリン及びポリグリセリン誘導体の重量平均分子量は、500以上が好ましく、1000以上がより好ましく、1500以上が更に好ましく、2000以上が更により好ましく、5万以下が好ましく、4万以下がより好ましく、3万以下が更に好ましく、2万以下が更により好ましく、1万以下が更により好ましく、5000以下が更により好ましい、前記<7>に記載のシリコンウェーハ用研磨液組成物。
<9> 前記シリカ粒子と前記水溶性高分子の質量比(前記シリカ粒子の質量/前記水溶性高分子の質量)は、1以上が好ましく、3以上がより好ましく、5以上が更に好ましく、38以下が好ましく、30以下がより好ましく、25以下が更に好ましく、20以下が更により好ましい、<1>〜<8>のいずれかに記載のシリコンウェーハ用研磨液組成物。
<10> 前記比(水酸基由来の酸素原子数/ポリオキシアルキレン由来の酸素原子数)が、0.8以上であり、1.2以上が好ましく、1.5以上がより好ましく、1.8以上が更に好ましく、10以下であり、8.0以下が好ましく、7.0以下がより好ましく、6.0以下が更に好ましい。前記<1>〜<9>のいずれかに記載のシリコンウェーハ用研磨液組成物。
<11> 前記シリコンウェーハ用研磨液組成物に含まれるシリカ粒子の含有量は、SiO2換算で、0.01質量%以上であり、0.07質量%以上が好ましく、0.10質量%以上がより好ましく、0.50質量%以下であり、0.30質量%以下が好ましく、0.20質量%以下がより好ましい、前記<1>〜<10>のいずれかに記載のシリコンウェーハ用研磨液組成物。
<12> 前記シリコンウェーハ用研磨液組成物に含まれる前記水溶性高分子(成分C)の含有量は、0.001質量%以上が好ましく、0.002質量%以上がより好ましく、0.004質量%以上が更に好ましく、0.007質量%以上が更により好ましく、0.1質量%以下が好ましく、0.05質量%以下がより好ましく、0.035質量%以下が更に好ましく、0.030質量%以下が更により好ましい、前記<1>〜<11>のいずれかに記載のシリコンウェーハ用研磨液組成物。
<13> 前記<1>〜<12>のいずれかに記載のシリコンウェーハ用研磨液組成物を用いてシリコンウェーハを研磨する研磨工程を含む研磨方法。
<14> 前記<1>〜<12>のいずれかに記載のシリコンウェーハ用研磨液組成物を用いてシリコンウェーハを研磨する研磨工程を含む、半導体基板の製造方法。
<15> シリコンウェーハの研磨における前記<1>〜<12>のいずれかに記載のシリコンウェーハ用研磨液組成物の使用。
Sm(TMHD)3(和光純薬工業)を0.73g秤量し、窒素置換後ジオキサン30mlを添加して60℃でSm(TMHD)3を溶解させた。放冷後、得られた溶液に、撹拌しながら、MAOトルエン溶液(東ソー・ファインケム)0.44mlを滴下し、更に15分撹拌し、触媒溶液を得た。次に、グリシドール(和光純薬工業)23mlを、23mlのジオキサンに溶解させ、これを前記触媒溶液に添加した後、100℃で3時間反応させた。さらに触媒溶液にエタノール10ml添加した後、得られた沈殿物を濾取した。次いで、沈殿物に対してイソプロピルアルコールで浸漬洗浄を行った後、減圧乾燥させ、粗ポリグリシドールを得た。得られた粗ポリグリシドール10gをイオン交換水に溶解させ、更にヒノキチオール0.1gを加えて70℃で30分撹拌した。得られた沈殿物を濾別した後、濾別によって得られた水溶液を、ヘキサンで洗浄し、濃縮した後、イソプロピルアルコールにより浸漬洗浄、減圧乾燥を行って、再沈殿を行った。沈殿物の乾燥後、それを少量のイオン交換水に再度溶解させ、次いで凍結乾燥して、無色透明な固体(ポリグリシドール)を得た。
ポリグリセリン(商品名:ポリグリセリンX、重量平均分子量3000、ダイセル社製)
ポリエチレングリコール(重量平均分子量2000、和光純薬工業)10gを、重合容器に導入し、穏やかな窒素流の下で攪拌しながら80℃まで加熱した。ポリエチレングリコールを攪拌して80℃に保持しながら、酢酸ビニル36gを3時間かけて重合容器内に滴下し、それと同時に、tert-ブチルペルピバレート0.14gをメタノール5gに加えた溶液を、同様に、3時間かけて重合容器内に滴下した。これらの添加が終了した後、80℃で混合物を2時間攪拌した。冷却後、得られたポリマーをメタノール100mlに溶解させた。加水分解するために、30℃において濃度10質量%のメタノール性水酸化ナトリウム溶液を15ml、重合容器内に添加した。約40分後、濃度10質量%の酢酸を22.5ml、重合容器内に添加することによって反応を停止させた。得られた溶液を減圧蒸留して溶液からメタノールを除去した。次に、得られた溶液について3日間透析(ヴィスキングチューブ、分画分子量12,000〜14,000、日本メディカルサイエンス)を行った。その後凍結乾燥を行い、無色の粉末で、NMRよる分析結果から算出したPEGとPVAの重合度の比が1対1.8のポリビニルアルコール・ポリエチレングリコール・グラフトコポリマーを得た。
ポリエチレングリコール(重量平均分子量1000、和光純薬工業)10gを、重合容器に導入し、穏やかな窒素流の下で攪拌しながら80℃ まで加熱した。ポリエチレングリコールを攪拌して80℃ に保持しながら、酢酸ビニル60gを3時間かけて重合容器内に滴下し、それと同時に、tert-ブチルペルピバレート0.24gをメタノール5gに加えた溶液を、同様に、3時間かけて重合容器内に滴下した。これらの添加が終了した後、80℃で混合物を2時間攪拌した。冷却後、得られたポリマーをメタノール100mlに溶解させた。加水分解するために、30℃において濃度10質量%のメタノール性水酸化ナトリウム溶液を15ml、重合容器内に添加した。約40分後、濃度10質量%の酢酸を22.5ml、重合容器内に添加することによって反応を停止させた。得られた溶液を減圧蒸留して溶液からメタノールを除去した。次に、得られた溶液について3日間透析(ヴィスキングチューブ、分画分子量12,000〜14,000、日本メディカルサイエンス)を行った。その後凍結乾燥を行い、無色の粉末で、NMRより算出したPEGとPVAの重合度の比が1対3のポリビニルアルコール・ポリエチレングリコール・グラフトコポリマーを得た。
ポリエチレングリコール(重量平均分子量1000、和光純薬工業)10gを、重合容器に導入し、穏やかな窒素流の下で攪拌しながら80℃ まで加熱した。ポリエチレングリコールを攪拌して80℃ に保持しながら、酢酸ビニル140gを3時間かけて重合容器内に滴下し、それと同時に、tert-ブチルペルピバレート0.56gをメタノール5gに加えた溶液を、同様に、3時間かけて重合容器内に滴下した。これらの添加が終了した後、80℃で混合物を2時間攪拌した。冷却後、得られたポリマーをメタノール100mlに溶解させた。加水分解するために、30℃において濃度10質量%のメタノール性水酸化ナトリウム溶液を15ml、重合容器内に添加した。約40分後、濃度10質量%の酢酸を22.5ml、重合容器内に添加することによって反応を停止させた。得られた溶液を減圧蒸留して溶液からメタノールを除去した。次に、得られた溶液について3日間透析(ヴィスキングチューブ、分画分子量12,000〜14,000、日本メディカルサイエンス)を行った。その後凍結乾燥を行い、無色の粉末で、NMRより算出したPEGとPVAの重合度の比が1対7のポリビニルアルコール・ポリエチレングリコール・グラフトコポリマーを得た。
ポリビニルアルコール・ポリエチレングリコール・グラフトコポリマー(商品名:Kollicoat IR、重量平均分子量26500、BASF社製)
ポリエチレングリコール(重量平均分子量6000、和光純薬工業)10gを、重合容器に導入し、穏やかな窒素流の下で攪拌しながら80℃ まで加熱した。ポリエチレングリコールを攪拌して80℃ に保持しながら、酢酸ビニル86gを3時間かけて重合容器内に滴下し、それと同時に、tert-ブチルペルピバレート0.34gをメタノール5gに加えた溶液を、同様に、3時間かけて重合容器内に滴下した。これらの添加が終了した後、80℃で混合物を2時間攪拌した。冷却後、得られたポリマーをメタノール100mlに溶解させた。加水分解するために、30℃において濃度10質量%のメタノール性水酸化ナトリウム溶液を15ml、重合容器内に添加した。約40分後、濃度10質量%の酢酸を22.5ml、重合容器内に添加することによって反応を停止させた。得られた溶液を減圧蒸留して溶液からメタノールを除去した。次に、得られた溶液について3日間透析(ヴィスキングチューブ、分画分子量12,000〜14,000、日本メディカルサイエンス)を行った。その後凍結乾燥を行い、無色の粉末で、NMRより算出したPEGとPVAの重合度の比が1対4.3のポリビニルアルコール・ポリエチレングリコール・グラフトコポリマーを得た。
ポリエチレングリコール(重量平均分子量20000、和光純薬工業)10gを、重合容器に導入し、穏やかな窒素流の下で攪拌しながら80℃まで加熱した。ポリエチレングリコールを攪拌して80℃ に保持しながら、酢酸ビニル22gを3時間かけて重合容器内に滴下し、それと同時に、tert-ブチルペルピバレート0.09gをメタノール5gに加えた溶液を、同様に、3時間かけて重合容器内に滴下した。これらの添加が終了した後、80℃で混合物を2時間攪拌した。冷却後、得られたポリマーをメタノール100mlに溶解させた。加水分解するために、30℃において濃度10質量%のメタノール性水酸化ナトリウム溶液を15ml、重合容器内に添加した。約40分後、濃度10質量%の酢酸を22.5ml、重合容器内に添加することによって反応を停止させた。得られた溶液を減圧蒸留して溶液からメタノールを除去した。次に、得られた溶液について3日間透析(ヴィスキングチューブ、分画分子量12,000〜14,000、日本メディカルサイエンス)を行った。その後凍結乾燥を行い、無色の粉末で、NMRより算出したPEGとPVAの重合度の比が1対1.1のポリビニルアルコール・ポリエチレングリコール・グラフトコポリマーを得た。
ポリエチレングリコール(重量平均分子量20000、和光純薬工業)10gを、重合容器に導入し、穏やかな窒素流の下で攪拌しながら80℃ まで加熱した。ポリエチレングリコールを攪拌して80℃ に保持しながら、酢酸ビニル60gを3時間かけて重合容器内に滴下し、それと同時に、tert-ブチルペルピバレート0.24gをメタノール5gに加えた溶液を、同様に、3時間かけて重合容器内に滴下した。これらの添加が終了した後、80℃で混合物を2時間攪拌した。冷却後、得られたポリマーをメタノール100mlに溶解させた。加水分解するために、30℃において濃度10質量%のメタノール性水酸化ナトリウム溶液を15ml、重合容器内に添加した。約40分後、濃度10質量%の酢酸を22.5ml、重合容器内に添加することによって反応を停止させた。得られた溶液を減圧蒸留して溶液からメタノールを除去した。次に、得られた溶液について3日間透析(ヴィスキングチューブ、分画分子量12,000〜14,000、日本メディカルサイエンス)を行った。その後凍結乾燥を行い、無色の粉末で、NMRより算出したPEGとPVAの重合度の比が1対3のポリビニルアルコール・ポリエチレングリコール・グラフトコポリマーを得た。
ポリエチレングリコール(重量平均分子量20000、和光純薬工業)10gを、重合容器に導入し、穏やかな窒素流の下で攪拌しながら80℃ まで加熱した。ポリエチレングリコールを攪拌して80℃ に保持しながら、酢酸ビニル80gを3時間かけて重合容器内に滴下し、それと同時に、tert-ブチルペルピバレート0.32gをメタノール5gに加えた溶液を、同様に、3時間かけて重合容器内に滴下した。これらの添加が終了した後、80℃で混合物を2時間攪拌した。冷却後、得られたポリマーをメタノール100mlに溶解させた。加水分解するために、30℃において濃度10質量%のメタノール性水酸化ナトリウム溶液を15ml、重合容器内に添加した。約40分後、濃度10質量%の酢酸を22.5ml、重合容器内に添加することによって反応を停止させた。得られた溶液を減圧蒸留して溶液からメタノールを除去した。次に、得られた溶液について3日間透析(ヴィスキングチューブ、分画分子量12,000〜14,000、日本メディカルサイエンス)を行った。その後凍結乾燥を行い、無色の粉末で、NMRより算出したPEGとPVAの重合度の比が1対4のポリビニルアルコール・ポリエチレングリコール・グラフトコポリマーを得た。
ポリエチレングリコール(重量平均分子量20000、和光純薬工業)10gを、重合容器に導入し、穏やかな窒素流の下で攪拌しながら80℃ まで加熱した。ポリエチレングリコールを攪拌して80℃ に保持しながら、酢酸ビニル156gを3時間かけて重合容器内に滴下し、それと同時に、tert-ブチルペルピバレート0.62gをメタノール5gに加えた溶液を、同様に、3時間かけて重合容器内に滴下した。これらの添加が終了した後、80℃で混合物を2時間攪拌した。冷却後、得られたポリマーをメタノール100mlに溶解させた。加水分解するために、30℃において濃度10質量%のメタノール性水酸化ナトリウム溶液を15ml、重合容器内に添加した。約40分後、濃度10質量%の酢酸を22.5ml、重合容器内に添加することによって反応を停止させた。得られた溶液を減圧蒸留して溶液からメタノールを除去した。次に、得られた溶液について3日間透析(ヴィスキングチューブ、分画分子量12,000〜14,000、日本メディカルサイエンス)を行った。その後凍結乾燥を行い、無色の粉末で、NMRより算出したPEGとPVAの重合度の比が1対7.8のポリビニルアルコール・ポリエチレングリコール・グラフトコポリマーを得た。
ポリエチレングリコール(重量平均分子量40000、和光純薬工業)10gを、重合容器に導入し、穏やかな窒素流の下で攪拌しながら80℃ まで加熱した。ポリエチレングリコールを攪拌して80℃ に保持しながら、酢酸ビニル80gを3時間かけて重合容器内に滴下し、それと同時に、tert-ブチルペルピバレート0.32gをメタノール5gに加えた溶液を、同様に、3時間かけて重合容器内に滴下した。これらの添加が終了した後、80℃で混合物を2時間攪拌した。冷却後、得られたポリマーをメタノール100mlに溶解させた。加水分解するために、30℃において濃度10質量%のメタノール性水酸化ナトリウム溶液を15ml、重合容器内に添加した。約40分後、濃度10質量%の酢酸を22.5ml、重合容器内に添加することによって反応を停止させた。得られた溶液を減圧蒸留して溶液からメタノールを除去した。次に、得られた溶液について3日間透析(ヴィスキングチューブ、分画分子量12,000〜14,000、日本メディカルサイエンス)を行った。その後凍結乾燥を行い、無色の粉末で、NMRより算出したPEGとPVAの重合度の比が1対4のポリビニルアルコール・ポリエチレングリコール・グラフトコポリマーを得た。
ポリエチレングリコール(重量平均分子量80000、明成化学工業)10gを、重合容器に導入し、穏やかな窒素流の下で攪拌しながら80℃ まで加熱した。ポリエチレングリコールを攪拌して80℃ に保持しながら、酢酸ビニル80gを3時間かけて重合容器内に滴下し、それと同時に、tert-ブチルペルピバレート0.32gをメタノール5gに加えた溶液を、同様に、3時間かけて重合容器内に滴下した。これらの添加が終了した後、80℃で混合物を2時間攪拌した。冷却後、得られたポリマーをメタノール100mlに溶解させた。加水分解するために、30℃において濃度10質量%のメタノール性水酸化ナトリウム溶液を15ml、重合容器内に添加した。約40分後、濃度10質量%の酢酸を22.5ml、重合容器内に添加することによって反応を停止させた。得られた溶液を減圧蒸留して溶液からメタノールを除去した。次に、得られた溶液について3日間透析(ヴィスキングチューブ、分画分子量12,000〜14,000、日本メディカルサイエンス)を行った。その後凍結乾燥を行い、無色の粉末で、NMRより算出したPEGとPVAの重合度の比が1対4のポリビニルアルコール・ポリエチレングリコール・グラフトコポリマーを得た。
ポリエチレングリコール(重量平均分子量6000、和光純薬工業)20gを、重合容器に導入し、穏やかな窒素流の下で攪拌しながら80℃ まで加熱した。ポリエチレングリコールを攪拌して80℃に保持しながら、酢酸ビニル20gを3時間かけて重合容器内に滴下し、それと同時に、tert-ブチルペルピバレート0.08gをメタノール1gに加えた溶液を、同様に、3時間かけて重合容器内に滴下した。これらの添加が終了した後、80℃で混合物を2時間攪拌した。冷却後、得られたポリマーをメタノール100mlに溶解させた。加水分解するために、30℃において濃度10質量%のメタノール性水酸化ナトリウム溶液を15ml、重合容器内に添加した。約40分後、濃度10質量%の酢酸を22.5ml、重合容器内に添加することによって反応を停止させた。得られた溶液を減圧蒸留して溶液からメタノールを除去した。次に、得られた溶液について3日間透析(ヴィスキングチューブ、分画分子量12,000〜14,000、日本メディカルサイエンス)を行った。その後凍結乾燥を行い、無色の粉末で、NMRより算出したPEGとPVAの重合度の比が1対0.5のポリビニルアルコール・ポリエチレングリコール・グラフトコポリマーを得た。
ポリエチレングリコール(重量平均分子量80000、明成化学工業)20gを、重合容器に導入し、穏やかな窒素流の下で攪拌しながら80℃ まで加熱した。ポリエチレングリコールを攪拌して80℃に保持しながら、酢酸ビニル20gを3時間かけて重合容器内に滴下し、それと同時に、tert-ブチルペルピバレート0.08gをメタノール1gに加えた溶液を、同様に、3時間かけて重合容器内に滴下した。これらの添加が終了した後、80℃で混合物を2時間攪拌した。冷却後、得られたポリマーをメタノール100mlに溶解させた。加水分解するために、30℃において濃度10質量%のメタノール性水酸化ナトリウム溶液を15ml、重合容器内に添加した。約40分後、濃度10質量%の酢酸を22.5ml、重合容器内に添加することによって反応を停止させた。得られた溶液を減圧蒸留して溶液からメタノールを除去した。次に、得られた溶液について3日間透析(ヴィスキングチューブ、分画分子量12,000〜14,000、日本メディカルサイエンス)を行った。その後凍結乾燥を行い、無色の粉末で、NMRより算出したPEGとPVAの重合度の比が1対0.5のポリビニルアルコール・ポリエチレングリコール・グラフトコポリマーを得た。
ヒドロキシエチルセルロース(商品名CF-V、重量平均分子量80万、住友精化社製)
(ポリマーANo.17)
ヒドロキシエチルセルロース(商品名SE400、重量平均分子量25万、ダイセル社製)
(ポリマーANo.18、ポリマーB)
ポリエチレングリコール(重量平均分子量6000:和光純薬社製)
(ポリマーANo.19)
ポリビニルアルコール(商品名:PVA105、重量平均分子量43000、クラレ社製)
上記ポリマーANo.1〜19の、20℃の水に対する溶解度は、いずれも2g/100ml以上であった。
ポリマーANo.1〜19の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法を下記の条件で適用して得たクロマトグラム中のピークに基づき算出した。
装置:HLC-8320 GPC(東ソー株式会社、検出器一体型)
カラム:GMPWXL+GMPWXL(アニオン)
溶離液:0.2Mリン酸バッファー/CH3CN=9/1
流量:0.5ml/min
カラム温度:40℃
検出器:RI 検出器
標準物質:ポリエチレングリコール
ポリマーAがポリビニルアルコール・ポリエチレングリコール・グラフトコポリマーである場合、比(水酸基由来の酸素原子数/ポリオキシアルキレン由来の酸素原子数)は1HNMRによって算出した。具体的には、ポリマー主鎖のアルキレンオキシド部位のエチレンの積分比からポリオキシアルキレン由来の酸素原子数を算出し、側鎖のポリビニルアルコール部位のエチレンの積分比から水酸基由来の酸素原子数を算出し、これらの値をもって比(水酸基由来の酸素原子数/ポリオキシアルキレン由来の酸素原子数)を算出した。ポリマーAが、ポリグリシドール及びポリグリセリンの場合は、その構造から、比(水酸基由来の酸素原子数/ポリオキシアルキレン由来の酸素原子数)はほぼ1となる。
研磨材の平均一次粒子径(nm)は、BET(窒素吸着)法によって算出される比表面積S(m2/g)を用いて下記式で算出した。
平均一次粒子径(nm)=2727/S
(a)スラリー状の研磨材を硝酸水溶液でpH2.5±0.1に調整する。
(b)pH2.5±0.1に調整されたスラリー状の研磨材をシャーレにとり150℃の熱風乾燥機内で1時間乾燥させる。
(c)乾燥後、得られた試料をメノウ乳鉢で細かく粉砕する。
(d)粉砕された試料を40℃のイオン交換水に懸濁させ、孔径1μmのメンブランフィルターで濾過する。
(e)フィルター上の濾過物を20gのイオン交換水(40℃)で5回洗浄する。
(f)濾過物が付着したフィルターをシャーレにとり、110℃の雰囲気下で4時間乾燥させる。
(g)乾燥した濾過物(砥粒)をフィルター屑が混入しないようにとり、乳鉢で細かく粉砕して測定サンプルを得た。
研磨材の平均二次粒子径(nm)は、研磨材の濃度が0.25質量%となるように研磨材をイオン交換水に添加した後、得られた水溶液をDisposable Sizing Cuvette(ポリスチレン製 10mmセル)に下底からの高さ10mmまで入れ、動的光散乱法(装置名:ゼータサイザーNano ZS、シスメックス(株)製)を用い
て測定した。
シリカ粒子(コロイダルシリカ、平均一次粒子径35nm、平均二次粒子径70nm、会合度2)、水溶性高分子(ポリマーA)、28質量%アンモニア水(キシダ化学(株)試薬特級)、イオン交換水、必要に応じてポリマーBを攪拌混合して、実施例1〜17、及び比較例1〜11の研磨液組成物(いずれも濃縮液、pH10.6±0.1(25℃))を得た。シリカ粒子、水溶性高分子(ポリマーA)、アンモニア、及びポリマーBを除いた残余はイオン交換水である。尚、表1における各成分の含有量は、濃縮液を40倍に希釈して得た研磨液組成物についての値であり、シリカ粒子の含有量は、SiO2換算濃度である。
研磨液組成物(濃縮液)をイオン交換水で40倍に希釈して得た研磨液組成物(pH10.6±0.1(25℃))を研磨直前にフィルター(コンパクトカートリッジフィルター MCP−LX−C10S アドバンテック株式会社)にてろ過を行い、下記の研磨条件で下記のシリコンウェーハ(直径200mmのシリコン片面鏡面ウェーハ(伝導型:P、結晶方位:100、抵抗率0.1Ω・cm以上100Ω・cm未満)に対して仕上げ研磨を行った。当該仕上げ研磨に先立ってシリコンウェーハに対して市販の研磨液組成物を用いてあらかじめ粗研磨を実施した。粗研磨を終了し仕上げ研磨に供したシリコンウェーハの表面粗さ(ヘイズ)は、2.680ppmであった。表面粗さ(ヘイズ)は、KLA Tencor社製のSurfscan SP1−DLS(商品名)を用いて測定される暗視野ワイド斜入射チャンネル(DWO)での値である。
研磨機:片面8インチ研磨機GRIND-X SPP600s(岡本工作製)
研磨パッド:スエードパッド(東レ コーテックス社製 アスカー硬度64 厚さ 1.37mm ナップ長450um 開口径60um)
シリコンウェーハ研磨圧力:100g/cm2
定盤回転速度:60rpm
研磨時間:5分
研磨液組成物の供給速度:150g/cm2
研磨液組成物の温度:23℃
キャリア回転速度:60rpm
洗浄後のシリコンウェーハ表面の表面粗さ(ヘイズ)(ppm)の評価には、KLA Tencor社製のSurfscan SP1−DLS(商品名)を用いて測定される、暗視野ワイド斜入射チャンネル(DWO)での値を用いた。また、表面欠陥(LPD)(個)は、Haze測定時に同時に測定され、シリコンウェーハ表面の粒子径が45nm以上のパーティクル数を測定することによって評価した。Hazeの数値は小さいほど表面の平坦性が高いことを示す。また、LPDの数値(パーティクル数)が小さいほど表面欠陥が少ないことを示す。表面粗さ(ヘイズ)及び表面欠陥(LPD)の結果を表1に示した。表面粗さ(ヘイズ)及び表面欠陥(LPD)の測定は、各々2枚のシリコンウェーハに対して行い、各々平均値を表1に示した。
仕上げ研磨直後のシリコンウェーハ(直径200mm)鏡面の親水化部(濡れている部分)の面積を目視により観察し、下記の評価基準に従って濡れ性を評価し、その結果を表1に示した。
(評価基準)
A:濡れ部分面積の割合が95以上
B:濡れ部分面積の割合が90%以上95%未満
C:濡れ部分面積の割合が50%以上90%未満
D:濡れ部分面積の割合が50%未満
研磨液組成物(濃縮液)をイオン交換水で40倍に希釈して得た研磨液組成物(pH10.6±0.1(25℃))を用いて、研磨液組成物中のシリカ粒子の分散粒径の測定を行った。分散粒径測定に使用する粒径測定装置として、光子相関法(動的光散乱法)の原理に基づいているシスメックス社製の粒度分布測定機「ゼータサイザーナノZS」を使用した。前記研磨液組成物を測定液としてDisposable Sizing Cuvette(ポリスチレン製 10mmセル)に1.2mL採取し、測定部に入れて、分散粒径として体積中位粒径(D50)を測定した。この結果を下記表1に示した。D50の値が小さいほど、シリカ粒子の分散性は良好である。
40×40mm角にカットしたシリコンウェーハを、1質量%希フッ酸水溶液に2分浸漬させ酸化膜を除去した後、イオン交換水に瞬時浸漬し、リンスし、エアブロー乾燥した。次いでシリコンウェーハをプラスチック容器に入れ、当該プラスチック容器に研磨液組成物20gを加えて蓋をした。シリコンウェーハを、研磨液組成物に40℃で24時間浸漬した後、イオン交換水に瞬時浸漬し、リンスし、エアブロー乾燥した。エアブロー乾燥されたシリコンウェーハの研磨液組成物への浸漬前後での重量減少量を腐食量とした。
Claims (10)
- シリカ粒子を0.01〜0.5質量%と、含窒素塩基性化合物と、水溶性高分子とを含み、前記水溶性高分子は、下記一般式(1)で表される構成単位を含み、前記水溶性高分子において、水酸基由来の酸素原子数とポリオキシアルキレン由来の酸素原子数の比(水酸基由来の酸素原子数/ポリオキシアルキレン由来の酸素原子数)が、0.8〜10である、シリコンウェーハ用研磨液組成物。
- 前記水溶性高分子が、ポリビニルアルコール・ポリエチレングリコール・グラフトコポリマーである、請求項1に記載のシリコンウェーハ用研磨液組成物。
- 前記ポリビニルアルコール・ポリエチレングリコール・グラフトコポリマーの重量平均分子量が、1万以上15万以下である、請求項2に記載のシリコンウェーハ用研磨液組成物。
- 前記水溶性高分子が、ポリグリシドール及び/又はポリグシドール誘導体である、請求項1に記載のシリコンウェーハ用研磨液組成物。
- 前記ポリグリシドール及びポリグシドール誘導体の重量平均分子量が、3000以上15万以下である、請求項4に記載のシリコンウェーハ用研磨液組成物。
- 前記水溶性高分子が、ポリグリセリン及び/又はポリグリセリン誘導体である、請求項1に記載のシリコンウェーハ用研磨液組成物。
- 前記ポリグリセリン及びポリグリセリン誘導体の重量平均分子量が、500以上5万以下である、請求項6に記載のシリコンウェーハ用研磨液組成物。
- 前記シリカ粒子と前記水溶性高分子の質量比(前記シリカ粒子の質量/前記水溶性高分子の質量)が1〜38である請求項1〜7のいずれかの項に記載のシリコンウェーハ用研磨液組成物。
- 請求項1〜8のいずれかの項に記載のシリコンウェーハ用研磨液組成物を用いてシリコンウェーハを研磨する研磨工程を含むシリコンウェーハの研磨方法。
- 請求項1〜8のいずれかの項に記載のシリコンウェーハ用研磨液組成物を用いてシリコンウェーハを研磨する研磨工程を含む、半導体基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014213109A JP5893706B2 (ja) | 2013-10-25 | 2014-10-17 | シリコンウェーハ用研磨液組成物 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013222541 | 2013-10-25 | ||
JP2013222541 | 2013-10-25 | ||
JP2014213109A JP5893706B2 (ja) | 2013-10-25 | 2014-10-17 | シリコンウェーハ用研磨液組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015109423A true JP2015109423A (ja) | 2015-06-11 |
JP5893706B2 JP5893706B2 (ja) | 2016-03-23 |
Family
ID=52992887
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014213109A Active JP5893706B2 (ja) | 2013-10-25 | 2014-10-17 | シリコンウェーハ用研磨液組成物 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP3062337A4 (ja) |
JP (1) | JP5893706B2 (ja) |
KR (1) | KR101728646B1 (ja) |
CN (1) | CN105659357B (ja) |
TW (1) | TWI541335B (ja) |
WO (1) | WO2015060293A1 (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018006538A (ja) * | 2016-06-30 | 2018-01-11 | 花王株式会社 | シリコンウェーハ用研磨液組成物 |
WO2018043504A1 (ja) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物および研磨用組成物セット |
JP2018056229A (ja) * | 2016-09-27 | 2018-04-05 | 株式会社ダイセル | Cmp用研磨材組成物、及び該cmp用研磨材組成物を使用した半導体デバイスの製造方法 |
JP2018074048A (ja) * | 2016-10-31 | 2018-05-10 | 花王株式会社 | シリコンウェーハ用研磨液組成物 |
WO2018124226A1 (ja) * | 2016-12-28 | 2018-07-05 | ニッタ・ハース株式会社 | 研磨用組成物及び研磨方法 |
WO2018124229A1 (ja) * | 2016-12-28 | 2018-07-05 | ニッタ・ハース株式会社 | 研磨用組成物及び研磨方法 |
WO2018135290A1 (ja) * | 2017-01-17 | 2018-07-26 | 株式会社ダイセル | 半導体基板洗浄剤 |
JP2018174321A (ja) * | 2017-03-30 | 2018-11-08 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物および研磨方法 |
JP2019131641A (ja) * | 2018-01-29 | 2019-08-08 | ニッタ・ハース株式会社 | 研磨用組成物 |
JP2020109864A (ja) * | 2020-03-16 | 2020-07-16 | 花王株式会社 | シリコンウェーハ用研磨液組成物 |
JP2021100085A (ja) * | 2019-12-24 | 2021-07-01 | ニッタ・デュポン株式会社 | 研磨用組成物 |
JP7405567B2 (ja) | 2018-12-28 | 2023-12-26 | 花王株式会社 | 研磨液組成物 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6559936B2 (ja) * | 2014-09-05 | 2019-08-14 | 日本キャボット・マイクロエレクトロニクス株式会社 | スラリー組成物、リンス組成物、基板研磨方法およびリンス方法 |
JP6801964B2 (ja) * | 2016-01-19 | 2020-12-16 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物及びシリコン基板の研磨方法 |
KR102370806B1 (ko) | 2016-10-28 | 2022-03-04 | 카오카부시키가이샤 | 실리콘 웨이퍼용 린스제 조성물 |
JP7061862B2 (ja) * | 2016-10-28 | 2022-05-02 | 花王株式会社 | シリコンウェーハ用リンス剤組成物 |
JP6495230B2 (ja) | 2016-12-22 | 2019-04-03 | 花王株式会社 | シリコンウェーハ用リンス剤組成物 |
JP6756423B1 (ja) * | 2019-02-21 | 2020-09-16 | 三菱ケミカル株式会社 | シリカ粒子とその製造方法、シリカゾル、研磨組成物、研磨方法、半導体ウェハの製造方法及び半導体デバイスの製造方法 |
US20210292602A1 (en) * | 2019-03-22 | 2021-09-23 | Daicel Corporation | Polishing composition for semiconductor wiring |
CN115785820A (zh) * | 2022-11-17 | 2023-03-14 | 万华化学集团电子材料有限公司 | 一种硅抛光组合物及其应用 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11140427A (ja) * | 1997-11-13 | 1999-05-25 | Kobe Steel Ltd | 研磨液および研磨方法 |
JP2009099819A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Daicel Chem Ind Ltd | Cmp用研磨組成物及び該cmp用研磨組成物を使用したデバイスウェハの製造方法 |
JP2013105954A (ja) * | 2011-11-15 | 2013-05-30 | Kao Corp | シリコンウエハ用研磨液組成物 |
WO2013137212A1 (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-19 | 株式会社 フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物及び半導体基板の製造方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3364261B2 (ja) | 1993-03-01 | 2003-01-08 | 株式会社トクヤマ | 金属酸化物微粒子の製造方法 |
JP3825141B2 (ja) | 1997-07-16 | 2006-09-20 | Necトーキン株式会社 | インダクタンス素子 |
JP3195569B2 (ja) | 1997-08-11 | 2001-08-06 | 守 磯 | 繭型コロイダルシリカの製造方法 |
JPH11214338A (ja) | 1998-01-20 | 1999-08-06 | Memc Kk | シリコンウェハーの研磨方法 |
JP2002329688A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-11-15 | Kyoeisha Chem Co Ltd | 保湿剤を含有する研磨用懸濁液 |
JP4212861B2 (ja) | 2002-09-30 | 2009-01-21 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物及びそれを用いたシリコンウエハの研磨方法、並びにリンス用組成物及びそれを用いたシリコンウエハのリンス方法 |
JP4011566B2 (ja) | 2003-07-25 | 2007-11-21 | 扶桑化学工業株式会社 | シリカゾル及びその製造方法 |
JP4566645B2 (ja) | 2003-07-25 | 2010-10-20 | 扶桑化学工業株式会社 | シリカゾル及びその製造方法 |
JP5335183B2 (ja) | 2006-08-24 | 2013-11-06 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物及び研磨方法 |
JP2010095650A (ja) * | 2008-10-17 | 2010-04-30 | Hitachi Chem Co Ltd | 研磨剤組成物及びこの研磨剤組成物を用いた基板の研磨方法 |
JP2010272733A (ja) * | 2009-05-22 | 2010-12-02 | Hitachi Chem Co Ltd | 研磨剤及びこの研磨剤を用いた基板の研磨方法 |
WO2011093223A1 (ja) | 2010-01-29 | 2011-08-04 | 株式会社 フジミインコーポレーテッド | 半導体ウェーハの再生方法及び研磨用組成物 |
JP5711900B2 (ja) * | 2010-05-17 | 2015-05-07 | 四日市合成株式会社 | ガラスエッチング組成物、ガラスポリッシング加工用組成物及びガラスポリッシング加工方法 |
WO2012133561A1 (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-04 | 株式会社 フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物および研磨方法 |
JP5822356B2 (ja) * | 2012-04-17 | 2015-11-24 | 花王株式会社 | シリコンウェーハ用研磨液組成物 |
-
2014
- 2014-10-17 JP JP2014213109A patent/JP5893706B2/ja active Active
- 2014-10-21 WO PCT/JP2014/077924 patent/WO2015060293A1/ja active Application Filing
- 2014-10-21 CN CN201480057685.1A patent/CN105659357B/zh active Active
- 2014-10-21 KR KR1020167008351A patent/KR101728646B1/ko active IP Right Grant
- 2014-10-21 EP EP14856663.1A patent/EP3062337A4/en not_active Withdrawn
- 2014-10-24 TW TW103136874A patent/TWI541335B/zh active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11140427A (ja) * | 1997-11-13 | 1999-05-25 | Kobe Steel Ltd | 研磨液および研磨方法 |
JP2009099819A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Daicel Chem Ind Ltd | Cmp用研磨組成物及び該cmp用研磨組成物を使用したデバイスウェハの製造方法 |
JP2013105954A (ja) * | 2011-11-15 | 2013-05-30 | Kao Corp | シリコンウエハ用研磨液組成物 |
WO2013137212A1 (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-19 | 株式会社 フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物及び半導体基板の製造方法 |
Cited By (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018006538A (ja) * | 2016-06-30 | 2018-01-11 | 花王株式会社 | シリコンウェーハ用研磨液組成物 |
KR20190045249A (ko) | 2016-08-31 | 2019-05-02 | 가부시키가이샤 후지미인코퍼레이티드 | 연마용 조성물 및 연마용 조성물 세트 |
WO2018043504A1 (ja) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物および研磨用組成物セット |
JP7050684B2 (ja) | 2016-08-31 | 2022-04-08 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物および研磨用組成物セット |
KR20230085950A (ko) | 2016-08-31 | 2023-06-14 | 가부시키가이샤 후지미인코퍼레이티드 | 연마용 조성물 및 연마용 조성물 세트 |
JPWO2018043504A1 (ja) * | 2016-08-31 | 2019-06-24 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物および研磨用組成物セット |
JP2018056229A (ja) * | 2016-09-27 | 2018-04-05 | 株式会社ダイセル | Cmp用研磨材組成物、及び該cmp用研磨材組成物を使用した半導体デバイスの製造方法 |
JP2018074048A (ja) * | 2016-10-31 | 2018-05-10 | 花王株式会社 | シリコンウェーハ用研磨液組成物 |
WO2018124226A1 (ja) * | 2016-12-28 | 2018-07-05 | ニッタ・ハース株式会社 | 研磨用組成物及び研磨方法 |
JPWO2018124226A1 (ja) * | 2016-12-28 | 2019-10-31 | ニッタ・ハース株式会社 | 研磨用組成物及び研磨方法 |
JPWO2018124229A1 (ja) * | 2016-12-28 | 2019-10-31 | ニッタ・ハース株式会社 | 研磨用組成物及び研磨方法 |
WO2018124229A1 (ja) * | 2016-12-28 | 2018-07-05 | ニッタ・ハース株式会社 | 研磨用組成物及び研磨方法 |
JP7061968B2 (ja) | 2016-12-28 | 2022-05-02 | ニッタ・デュポン株式会社 | 研磨用組成物及び研磨方法 |
JP7061969B2 (ja) | 2016-12-28 | 2022-05-02 | ニッタ・デュポン株式会社 | 研磨用組成物及び研磨方法 |
WO2018135290A1 (ja) * | 2017-01-17 | 2018-07-26 | 株式会社ダイセル | 半導体基板洗浄剤 |
US11279905B2 (en) | 2017-01-17 | 2022-03-22 | Daicel Corporation | Semiconductor substrate cleaning agent |
JP2018174321A (ja) * | 2017-03-30 | 2018-11-08 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物および研磨方法 |
JP7074525B2 (ja) | 2017-03-30 | 2022-05-24 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物および研磨方法 |
JP2019131641A (ja) * | 2018-01-29 | 2019-08-08 | ニッタ・ハース株式会社 | 研磨用組成物 |
JP7002354B2 (ja) | 2018-01-29 | 2022-02-04 | ニッタ・デュポン株式会社 | 研磨用組成物 |
JP7405567B2 (ja) | 2018-12-28 | 2023-12-26 | 花王株式会社 | 研磨液組成物 |
JP2021100085A (ja) * | 2019-12-24 | 2021-07-01 | ニッタ・デュポン株式会社 | 研磨用組成物 |
JP2020109864A (ja) * | 2020-03-16 | 2020-07-16 | 花王株式会社 | シリコンウェーハ用研磨液組成物 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3062337A1 (en) | 2016-08-31 |
EP3062337A4 (en) | 2017-07-05 |
KR20160043120A (ko) | 2016-04-20 |
CN105659357A (zh) | 2016-06-08 |
JP5893706B2 (ja) | 2016-03-23 |
WO2015060293A1 (ja) | 2015-04-30 |
KR101728646B1 (ko) | 2017-04-19 |
TW201527506A (zh) | 2015-07-16 |
TWI541335B (zh) | 2016-07-11 |
CN105659357B (zh) | 2019-01-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5893706B2 (ja) | シリコンウェーハ用研磨液組成物 | |
JP5822356B2 (ja) | シリコンウェーハ用研磨液組成物 | |
JP6836671B2 (ja) | シリコンウェーハ用研磨液組成物、又はシリコンウェーハ用研磨液組成物キット | |
JP6087143B2 (ja) | シリコンウェーハ用研磨液組成物 | |
JP6039419B2 (ja) | シリコンウェーハ用研磨液組成物 | |
JP6678076B2 (ja) | シリコンウェーハ用研磨液組成物 | |
JP2018074048A (ja) | シリコンウェーハ用研磨液組成物 | |
JP6893835B2 (ja) | シリコンウェーハ用仕上げ研磨液組成物 | |
JP6245939B2 (ja) | シリコンウェーハ用研磨液組成物 | |
JP6086725B2 (ja) | シリコンウェーハ用研磨液組成物 | |
JP6265542B2 (ja) | 半導体基板の製造方法 | |
JP5995659B2 (ja) | シリコンウェーハ用研磨液組成物 | |
JP6168984B2 (ja) | シリコンウェーハ用研磨液組成物 | |
JP6831667B2 (ja) | 濡れ剤 | |
JP6169938B2 (ja) | シリコンウェーハ用研磨液組成物 | |
JP2016119418A (ja) | シリコンウェーハ用研磨液組成物 | |
JP6366139B2 (ja) | シリコンウェーハ用研磨液組成物の製造方法 | |
JP2020109864A (ja) | シリコンウェーハ用研磨液組成物 | |
JP6418941B2 (ja) | シリコンウェーハ用研磨液組成物 | |
TW202221099A (zh) | 矽基板之研磨 | |
JP2023008518A (ja) | シリコン基板の研磨方法 | |
TW202223058A (zh) | 研磨方法 | |
JP2023154963A (ja) | シリコン基板用研磨液組成物 | |
TW202227567A (zh) | 矽基板用研磨液組合物 | |
JP2018107263A (ja) | シリコンウェーハ用研磨液組成物 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150910 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20150910 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20151119 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151124 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160113 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160204 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160224 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5893706 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |