JP2015046239A - 発光装置、発光装置の製造方法、電子機器 - Google Patents
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Abstract
Description
透光性絶縁膜は、光反射層と対向電極との間の光学的な距離を調整する役割を有し、透光性絶縁膜の膜厚は、第1画素の発光領域>第2画素の発光領域>第3画素の発光領域>コンタクトホールの形成領域(コンタクト領域)という関係を満たすように、設定されている。
詳しくは、当該境界を越えて発光領域を広くすると、発光領域には、光学的な距離が異なる部分が生じる。光学的な距離が異なると共振波長が変化するので、発光領域から異なる共振波長の光が発せられることになり、発光領域から発する光の色純度が低下する。このため、当該境界を越えて発光領域を広くすることが難しいという課題があった。
「有機EL装置の概要」
実施形態1に係る有機EL装置100は、発光装置の一例であり、表示光の色純度を高めることができる光共振構造を有している。
まず、本実施形態に係る有機EL装置100の概要について、図1乃至図3を参照して説明する。図1は有機EL装置の構成を示す概略平面図であり、図2は有機EL装置の電気的な構成を示す等価回路図である、図3は発光画素の特徴部分を示す概略平面図である。
なお、図3では、発光画素の特徴部分を説明するために必要な構成要素が図示され、他の構成要素の図示は省略されている。また図3における二点鎖線は、発光画素20の輪郭を示している。
以降、該第1辺に沿った方向をX方向、及び該第1辺と直交し互いに対向する他の2辺(第2辺、第3辺)に沿った方向をY方向として説明する。
なお、X方向は、本発明における「第1の方向」の一例であり、Y方向は、本発明における「第2の方向」の一例である。
なお、画素電極31Bは本発明における「第1の画素電極」の一例であり、画素電極31Gは本発明における「第2の画素電極」の一例であり、画素電極31Rは本発明における「第3の画素電極」の一例である。
以降の説明では、発光画素20B,20G,20Rや画素電極31B,31G,31Rと称す場合と、これらをまとめて発光画素20や画素電極31と称す場合とがある。
X方向には、異なる色の発光が得られる発光画素20が、B,G,Rの順に繰り返して配置されている。なお、X方向における発光画素20の配置は、B,G,Rの順でなくてもよく、例えばR,G,Bの順であってもよい。
透光性の第1の絶縁層28は、発光画素20B(画素電極31B)が配置される第1の領域28Bと、発光画素20G(画素電極31G)が配置される第2の領域28Gと、発光画素20R(画素電極31R)が配置される第3の領域28Rとを有し、それぞれの領域で第1の絶縁層28の層厚(膜厚)が異なる。詳細は後述するが、第2の領域28Gにおける第1の絶縁層28の膜厚は、第1の領域28Bにおける第1の絶縁層28の膜厚よりも大きくなっている。第3の領域28Rにおける第1の絶縁層28の膜厚は、第2の領域28Gにおける第1の絶縁層28の膜厚よりも大きくなっている。つまり、第1の絶縁層28の膜厚は、第1の領域28B、第2の領域28G、第3の領域28Rの順に大きくなっている。
第2の領域28Gは、本発明における「第1の平坦部」の一例である。第3の領域28Rは、本発明における「第2の平坦部」の一例である。
表示領域Eにおいて、第1の領域28B、第2の領域28G、及び第3の領域28RのX方向寸法は、発光画素20のX方向寸法と略同じ、つまり発光画素20のX方向の繰り返しピッチと略同じである。
第2トランジスター22の一方の電流端は、電源線14に接続されると共に蓄積容量24の他方の電極に接続されている。第2トランジスター22の他方の電流端は、第3トランジスター23の一方の電流端に接続されている。言い換えれば、第2トランジスター22と第3トランジスター23とは一対の電流端のうち1つの電流端を共有している。
第3トランジスター23のゲート電極は点灯制御線13に接続され、他方の電流端は有機EL素子30の画素電極31に接続されている。
第1トランジスター21、第2トランジスター22及び第3トランジスター23のそれぞれにおける一対の電流端は、一方がソースであり、他方がドレインである。
なお、第3トランジスター23は、本発明における「トランジスター」の一例である。
また、走査線11、データ線12以外の信号線である点灯制御線13、電源線14の配置は、トランジスターや蓄積容量24の配置により左右され、これに限定されるものではない。
本実施形態では、発光画素20の画素回路を構成するトランジスターとして、半導体基板にアクティブ層を有するMOS型トランジスターを採用している。
次に、図3を参照して、発光画素20の特徴部分の概要を説明する。
図3に示すように、発光画素20は、中継電極106と、画素電極31と、第2の絶縁層29とを有している。発光画素20では、中継電極106と、画素電極31と、第2の絶縁層29とが順に積層されている(図5、図6参照)。第2の絶縁層29は、画素電極31の一部を露出させる開口29B,29G,29Rを有している。青色(B)の発光が得られる発光画素20Bは、画素電極31Bと中継電極106Bと開口29Bとを有している。緑色(G)の発光が得られる発光画素20Gは、画素電極31Gと中継電極106Gと開口29Gとを有している。赤色(R)の発光が得られる発光画素20Rは、画素電極31Rと中継電極106Rと開口29Rとを有している。
以降の説明では、中継電極106B,106G,106Rと称す場合と、これらをまとめて中継電極106と称す場合とがある。
なお、中継電極106は、本発明における「導電層」の一例である。中継電極106Bは本発明における「第1の導電層」の一例であり、中継電極106Gは本発明における「第2の導電層」の一例であり、中継電極106Rは本発明における「第3の導電層」の一例である。
なお、本願発明において、画素電極31は、発光領域(開口29B,29G,29R)において発光機能層32に接して有機EL素子30の電極として機能する電極部位と、トランジスターや配線と接続するコンタクト領域において電極部位と中継電極106とを接続する導電層として機能する導電部位とを少なくとも有している。
次に、発光画素20の断面構造について、図4乃至図8を参照して説明する。
図4は、図3のA−A’線に沿った概略断面図、つまり発光領域を規定する第2の絶縁層の開口が設けられた領域の概略断面図である。図5は、図3のB−B’線に沿った概略断面図、つまり画素電極と第3トランジスターとが電気的に接続された領域の概略断面図である。図6は、図3のC−C’線に沿った概略断面図、つまり赤色(R)の発光が得られる発光画素の概略断面図である。図7は、図3のD−D’線に沿った概略断面図、つまり緑色(G)の発光が得られる発光画素の概略断面図である。図8は、図3のE−E’線に沿った概略断面図、つまり青色(B)の発光が得られる発光画素の概略断面図である。
図4に示すように、有機EL装置100は、素子基板10、封止基板70、及び素子基板10と封止基板70とで挟持された樹脂層71などを有している。
電源線14は、本発明における「光反射層」の一例である。
なお、発光領域(開口29B,29G,29R)で発した光を反射する光反射層を、画素電極31ごとに島状に設ける構成であってもよい。
詳しくは、青色(B)の発光が得られる発光画素20Bの第1の絶縁層28は、第1絶縁膜25で構成され、膜厚Bd1を有している。そして、発光画素20Bにおいて、膜厚Bd1を有する第1の絶縁層28は、中継電極106Bと画素電極31Bとを接続するコンタクト領域を除き、開口29B(発光領域)からコンタクト領域に至るように設けられている。また、膜厚Bd1を有する第1の絶縁層28は、Y方向に並ぶ複数の発光画素20Bに跨って設けられている。また、換言すると、第1の領域28Bには、Y方向に並ぶ開口29B(発光領域)が複数設けられている。また、第1の領域28B内に中継電極106Bと画素電極31Bとを接続するコンタクト領域が設けられている。図5に示すように、当該コンタクト領域において、画素電極31Bは中継電極106Bに直接接している。
なお、膜厚Bd1は、本発明における「第1の層厚」の一例である。膜厚Gd1は、本発明における「第2の層厚」の一例である。膜厚Rd1は、本発明における「第3の層厚」の一例である。
画素電極31及び第2の絶縁層29を覆うように、発光機能層32と、対向電極33と封止層40とが、順に積層されている。
有機発光層は、赤色、緑色、及び青色の光成分を有する光を発する。有機発光層は、単層で構成してもよいし、複数の層(例えば、電流が流れると主に青色で発光する青色発光層と、電流が流れると赤色と緑色を含む光を発する黄色発光層)で構成してもよい。
なお、コンタクトホール28CT1は、本発明における「第1のコンタクトホール」の一例である。コンタクトホール28CT2は、本発明における「第2のコンタクトホール」の一例である。
図6乃至図8に示すように、基材10sには、第2トランジスター22と第3トランジスター23とが共用するウェル部10wが設けられている。当該ウェル部10wには、3つのイオン注入部10dが設けられている。3つのイオン注入部10dのうち中央側に位置するイオン注入部10dは、第2トランジスター22と第3トランジスター23とが共用するドレイン22d(23d)として機能するものである。当該ウェル部10wを覆う絶縁膜10aが設けられる。そして、絶縁膜10aの上には、例えばポリシリコンなどの導電膜からなるゲート電極22g,23g(第2トランジスター22のゲート電極22g、第3トランジスター23のゲート電極23g)が設けられている。ゲート電極22g,23gのそれぞれは、中央側のイオン注入部10dと端側のイオン注入部10dとの間のウェル部10wにおけるチャネルとして機能する部分に対向するように配置されている。
図6のように、第2絶縁膜26及び第3絶縁膜27は、コンタクトホール28CT2を介して画素電極31Rと中継電極106Rとが接続されるコンタクト領域を除いて発光画素20Rに設けられている。第1絶縁膜25は、コンタクトホール25CTを介して中継電極106Rと中継電極14cとが接続されるコンタクト領域を除いて発光画素20Rに設けられている。コンタクトホール28CT2、中継電極106R、コンタクトホール25CTは、本発明における「第3接続部」の一例である。第3接続部は、第3の領域28R(第3の層厚の部分)に設けられている。第3接続部は、第1絶縁膜25、第2絶縁膜26及び第3絶縁膜27により囲まれている。そして、第3の領域28R(第3の層厚の部分)には、開口29R(発光領域)がY方向に並んでいる。また、第1絶縁膜25、第2絶縁膜26及び第3絶縁膜27は、第3接続部の間を埋めるように設けられている。したがって、開口29R(発光領域)とコンタクト領域との間には第1の絶縁層28による段差がなく、段差がある場合と比して発光領域(開口29R)とコンタクト領域(中継電極106G)との間の距離DYを小さくできる。換言すると、開口29R(発光領域)を図6の右側のコンタクト領域に近づけることが可能である。さらに、開口29R(発光領域)を図6の左側のコンタクト領域にも近づけることが可能である。したがって、開口29R(発光領域)を大きくすることができる。
図7のように、第2絶縁膜26は、コンタクトホール28CT1を介して画素電極31Gと中継電極106Gとが接続されるコンタクト領域を除いて発光画素20Gに設けられている。また、第1絶縁膜25は、コンタクトホール25CTを介して中継電極106Gと中継電極14cとが接続される領域を除いて発光画素20Gに設けられている。コンタクトホール28CT1、中継電極106G、コンタクトホール25CTは、本発明における「第2接続部」「第4接続部」の一例である。第2接続部及び第4接続部は、第2の領域28G(第2の層厚の部分)に設けられている。第2接続部及び第4接続部は、第1絶縁膜25及び第2絶縁膜26により囲まれている。そして、第2の領域28G(第2の層厚の部分)には、開口29G(発光領域)がY方向に並んでいる。また、第1絶縁膜25及び第2絶縁膜26は、第2接続部と第4接続部との間を埋めるように設けられている。したがって、開口29G(発光領域)とコンタクト領域との間には第1の絶縁層28による段差がなく、段差がある場合と発光領域(開口29G)とコンタクト領域(中継電極106G)との間の距離DYを小さくできる。換言すると、開口29G(発光領域)を図7の右側のコンタクト領域に近づけることが可能である。さらに、開口29G(発光領域)を図7の左側のコンタクト領域にも近づけることが可能である。したがって、開口29G(発光領域)を大きくすることができる。
図8のように、コンタクトホール25CTを介して中継電極106Bと中継電極14cとが接続されるコンタクト領域を除き、第1絶縁膜25が設けられている。コンタクトホール25CT、中継電極106Bは、本発明における「第1接続部」の一例である。第1接続部は、第1の領域(第1の層厚の部分)に設けられている。第2接続部は、第1絶縁膜25、第1絶縁膜25及び第2絶縁膜26により囲まれている。そして第1の領域(第1の層厚の部分)には、開口29B(発光領域)がY方向に並んでいる。また、第1絶縁膜25は、第1接続部の間を埋めるように設けられている。したがって、開口29B(発光領域)とコンタクト領域との間には第1の絶縁層28による段差がなく、段差がある場合と比して発光領域(開口29B)とコンタクト領域(中継電極106G)との間の距離DYを小さくできる。換言すると、開口29B(発光領域)を図8の右側のコンタクト領域に近づけることが可能である。さらに、開口29R(発光領域)を図8の左側のコンタクト領域にも近づけることが可能である。したがって、開口29B(発光領域)を大きくすることができる。
画素電極31の上には、第2の絶縁層29と、発光機能層32と、対向電極33と、封止層40と、カラーフィルター50とが順に積層されている。
発光領域(開口29B,29G,29R)には、光反射性を有する電源線14と、第1の絶縁層28と、画素電極31と、発光機能層32と、光反射性と光透過性とを有する対向電極33とが積層されている。かかる構成によって、発光機能層32で発した光を電源線14と対向電極33との間で往復させ(反射し)、特定波長の光を共振させる。これにより特定波長の光が他の波長領域に比べて強められ、有機EL素子30から出射する。さらに、特定波長の光は、電源線14から対向電極33に向かう方向、つまり封止基板70から表示光として射出される。このように、有機EL装置100は、電源線14と第1の絶縁層28と画素電極31と発光機能層32と対向電極33とで構成される光共振構造を有し、特定波長の光を選択的に強めて、発光画素20から発する光の色純度を高める構成を有している。
以下に光共振構造の概要を説明する。
D={(2πm+φL+φU)/4π}λ・・・(1)
このように、本実施形態に係る有機EL装置100では、上述した光共振構造によって発光画素20から発する光の色純度を高め、鮮やかな表示を提供することができる。
このように、本実施形態に係る有機EL装置100では、明るく鮮やかな表示を提供することができる。
次に、図9乃至図11を参照して、有機EL装置100の製造方法を説明する。図9は、有機EL装置の製造方法を示す工程フローである。図10及び図11は、図5に対応し、図9に示す各工程を経た後の有機EL装置の状態を示す概略断面図である。なお、図10及び図11では、素子基板10における電源線14よりも下層に設けられた画素回路や配線の図示を省略している。
ここで、第1絶縁膜25が窒化シリコンで構成され、第3絶縁膜27が酸化シリコンで構成されているため、第1絶縁膜25と第3絶縁膜27との間にエッチング時の選択比がある。第1の領域28Bの発光領域に対応した領域では、第1絶縁膜25が露出したところで、エッチング速度が遅くなり、理想的にはエッチングがストップする。
第3の領域28Rのコンタクト領域では、コンタクトホール28CT2が形成されて中継電極106Rの表面が露出し、第2の領域28Gのコンタクト領域では、コンタクトホール28CT1が形成されて中継電極106Gの表面が露出したところで、エッチング速度が遅くなり、理想的にはエッチングがストップする。同様に、第1の領域28Bのコンタクト領域では、中継電極106Bの表面が露出しその周囲では第1絶縁膜25が露出したところで、エッチング速度が遅くなり、理想的にはエッチングがストップする。
その後、発光画素20の発光領域を規定する第2の絶縁層29を形成するステップ、発光機能層32を形成するステップ、対向電極33を形成するステップを有する。
上記製造方法によって、本実施形態に係る有機EL装置100を、安定して製造することができる。
「有機EL装置の概要」
図12は、図4に対応し、実施形態2に係る有機EL装置の構成を示す概略断面図、すなわち発光領域を規定する第2の絶縁層の開口が設けられた領域の概略断面図である。図13は、図5に対応し、実施形態2に係る有機EL装置の構成を示す他の概略断面図、すなわち画素電極と第3トランジスターとが電気的に接続された領域の概略断面図である。
以下、図12及び図13を参照して、本実施形態に係る有機EL装置200の概要を、実施形態1との相違点を中心に説明する。なお、実施形態1と同一の構成部位については、同一の符号を附し、重複する説明を省略する。
図12に示すように、第1の絶縁層28は、光反射層としての電源線14と画素電極31との間に配置された光学的な距離の調整層である。第1の絶縁層28は、電源線14の側から順に積層された第1絶縁膜25と有機絶縁層61とで構成されている。
次に、図13を参照して、画素電極31と第3トランジスター23とが電気的に接続された部分(コンタクト部)の概要を説明する。
次に、図14乃至図16を参照して、有機EL装置200の製造方法を説明する。図14は、有機EL装置の製造方法を示す工程フローである。図15及び図16は、図10及び図11に対応し、図14に示す各工程を経た後の有機EL装置の状態を示す概略断面図である。
また、第2有機絶縁膜61bは、中継電極106Rの一部を露出させるコンタクトホール28CT2bを有している。第1有機絶縁膜61aに設けられたコンタクトホール28CT2aと、第2有機絶縁膜61bに設けられたコンタクトホール28CT2bとで、中継電極106Rの一部を露出させるコンタクトホール28CT2が形成される。
「電子機器」
図17は、電子機器の一例としてのヘッドマウントディスプレイの概略図である。
図17に示すように、ヘッドマウントディスプレイ1000は、左右の目に対応して設けられた2つの表示部1001を有している。観察者Mはヘッドマウントディスプレイ1000を眼鏡のように頭部に装着することにより、表示部1001に表示された文字や画像などを見ることができる。例えば、左右の表示部1001に視差を考慮した画像を表示すれば、立体的な映像を見て楽しむこともできる。
上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。
なお、変形例1に係る有機EL装置において、Y方向は、本発明における「第1の方向」の一例であり、X方向は、本発明における「第2の方向」の一例である。X方向には、同じ色の発光が得られる発光画素20が配置されている。つまり、青色(B)の発光が得られる発光画素20Bは、X方向に配置され、矩形状(ストライプ形状)をなしている。緑色(G)の発光が得られる発光画素20Gは、X方向に配置され、矩形状(ストライプ形状)をなしている。赤色(R)の発光が得られる発光画素20Rは、X方向に配置され、矩形状(ストライプ形状)をなしている。Y方向には、異なる色の発光が得られる発光画素20が、B,G,Rの順に繰り返して配置されている。なお、Y方向における発光画素20の配置は、B,G,Rの順でなくてもよく、例えばR,G,Bの順であってもよい。
例えば、発光画素20B,20G,20Rがストライプ配置を有していれば、第1の領域28B、第2の領域28G、及び第3の領域28Rの配置は、実施形態1や実施形態2に示すような配置(図1、図18参照)となる。例えば、発光画素20B,20G,20Rがジグザグ配置を有していれば、第1の領域28B、第2の領域28G、及び第3の領域28Rの配置も、ジグザグ配置となる。
Claims (15)
- トランジスターと、
前記トランジスターの上方に設けられた光反射層と、
前記光反射層を覆い、第1の層厚の部分と、前記第1の層厚の部分よりも厚い第2の層厚の部分と、前記第2の層厚の部分よりも厚い第3の層厚の部分とを有する第1の絶縁層と、
前記第1の絶縁層の上に設けられ、光の透過性を有する画素電極と、
前記画素電極の周縁部を覆う第2の絶縁層と、
前記画素電極及び前記第2の絶縁層を覆う発光機能層と、
前記発光機能層を覆い、光の反射性と光の透過性とを有する対向電極と、
前記第1の層厚の部分の上に設けられ、少なくとも一部が前記画素電極と平面的に重なる導電層と、
を含み、
前記画素電極は、前記第1の層厚の部分に設けられた第1の画素電極と、前記第2の層厚の部分に設けられた第2の画素電極と、前記第3の層厚の部分に設けられた第3の画素電極と、を有し、
前記第1の画素電極と、前記第2の画素電極と、前記第3の画素電極とは、前記導電層を介して前記トランジスターに接続されていることを特徴とする発光装置。 - 前記第1の絶縁層は、前記反射層の側から順に積層された第1絶縁膜と、第2絶縁膜と、第3絶縁膜と、を有し、
前記第1絶縁膜は、前記第1の層厚を有し、
前記第1絶縁膜と前記第2絶縁膜とが積層された部分は、前記第2の層厚を有し、
前記第1絶縁膜と前記第2絶縁膜と前記第3絶縁膜とが積層された部分は、前記第3の層厚を有し、
前記導電層は、第1の導電層と、第2の導電層と、第3の導電層と、を有し、
前記第1の画素電極は、前記第1の導電層に直接接し、
前記第2の画素電極は、前記第2絶縁膜を貫く第1のコンタクトホールを介して、前記第2の導電層に接続され、
前記第3の画素電極は、前記第2絶縁膜及び前記第3絶縁膜を貫く第2のコンタクトホールを介して、前記第3の導電層に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の発光装置。 - 前記第1の画素電極は前記第1の層厚の部分の中に設けられ、前記第2の画素電極は前記第2の層厚の部分の中に設けられていることを特徴とする請求項2に記載の発光装置。
- 前記第1の画素電極、前記第2の画素電極、及び前記第3の画素電極は、第1の方向に並んで配置されており、
前記第1の層厚の部分、及び前記第2の層厚の部分は、前記第1の方向に交差する第2の方向に延在した矩形状をなしていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の発光装置。 - 前記第1の絶縁層は、前記光反射層の側に順に積層された第1絶縁膜と、有機絶縁層と、を有し、
前記有機絶縁層は、第1の平坦部と、前記第1の平坦部よりも厚い第2平坦部とを有し、
前記第1絶縁膜は、前記第1の層厚を有し、
前記第1絶縁膜と前記第1の平坦部とが積層された部分は、前記第2の層厚を有し、
前記第1絶縁膜と前記第2の平坦部とが積層された部分は、前記第3の層厚を有し、
前記導電層は、第1の導電層と、第2の導電層と、第3の導電層と、を有し、
前記第1の画素電極は、前記第1の導電層に直接接し、
前記第2の画素電極は、前記第1の平坦部を貫く第1のコンタクトホールを介して、前記第2の導電層に接続され、
前記第3の画素電極は、前記第2の平坦部を貫く第2のコンタクトホールを介して、前記第3の導電層に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の発光装置。 - 前記有機絶縁層は、感光性樹脂材料を用いて形成された第1有機絶縁膜と第2有機絶縁膜とを有し、
前記第1の平坦部は前記第1有機絶縁膜で構成され、前記第2の平坦部は前記第1有機絶膜と前記第2有機絶縁膜とで構成されていることを特徴とする請求項5に記載の発光装置。 - 第1のトランジスターと、
第2のトランジスターと、
第3のトランジスターと、
前記第1のトランジスター、前記第2のトランジスター、前記第3のトランジスターの上方に設けられた光反射層と、
前記光反射層を覆い、第1の層厚の部分と、前記第1の層厚の部分よりも厚い第2の層厚の部分と、前記第2の層厚の部分よりも厚い第3の層厚の部分とを有する第1の絶縁層と、
前記第1の層厚の部分の上に設けられた第1の画素電極と、
前記第1のトランジスターに電気的に接続された第1の中継電極と、
前記第2の層厚の部分の上に設けられた第2の画素電極と、
前記第2のトランジスターを電気的に接続された第2の中継電極と、
前記第3の層厚の部分の上に設けられた第3の画素電極と、
前記第3のトランジスターに電気的に接続された第3の中継電極と、
対向電極と、
前記第1の画素電極と前記対向電極との間、前記第2の画素電極と前記対向電極との間、及び前記第3の画素電極と対向電極との間に設けられた発光機能層と、
を備え、
前記第1の中継電極は、前記第1の層厚の部分に設けられた第1接続部を介して前記第1の画素電極に接続され、
前記第2の中継電極は、前記第2の層厚の部分に設けられた第2接続部を介して前記第2の画素電極に接続され、
前記第3の中継電極は、前記第3の層厚の部分に設けられた第3接続部を介して前記第3の画素電極に接続されてなることを特徴とする発光装置。 - 前記第1の画素電極上において第1の発光領域を規定し、前記第2の画素電極上において第2の発光領域を規定し、前記第3の画素電極上において第3発光領域を規定する第2の絶縁層をさらに備え、
前記第1の発光領域は、前記第1の層厚の部分の上に設けられ、
前記第2の発光領域は、前記第2の層厚の部分の上に設けられ、
前記第3の発光領域は、前記第3の層厚の部分の上に設けられることを特徴とする請求項7に記載の発光装置。 - 前記第1の層厚の部分は、前記第1の発光領域から前記第1接続部に至るように設けられ、
前記第2の層厚の部分は、前記第2の発光領域から前記第2接続部に至るように設けられ、
前記第3の層厚の部分は、前記第3の発光領域から前記第3接続部に至るように設けられることを特徴とする請求項8に記載の発光装置。 - 第4の発光領域をさらに備え、
前記第2の層厚の部分は、前記第2の発光領域及び前記第4の発光領域に跨って設けられることを特徴とする請求項8に記載の発光装置。 - 前記第1の層厚の部分は、前記第1接続部を囲むように設けられ、
前記第2の層厚の部分は、前記第2接続部を囲むように設けられ、
前記第3の層厚の部分は、前記第3接続部を囲むように設けられることを特徴とする請求項7乃至10のいずれか1項に記載の発光装置。 - 前記第1の絶縁層は、前記反射層の側から順に積層された第1絶縁膜と、第2絶縁膜と、第3絶縁膜と、を有し、
前記第1接続部は、前記第1絶縁膜を貫く第1のコンタクトホールを介して前記第1の中継電極に接続され、且つ前記第1の画素電極に接する第1の導電層を有し、
前記第2接続部は、前記第1絶縁膜を貫く第2のコンタクトホールを介して前記第2の中継電極に接続され、且つ前記第2絶縁膜を貫く第3のコンタクトホールを介して前記第2の画素電極に接続された第2の導電層を有し、
前記第3接続部は、前記第1絶縁膜を貫く第4のコンタクトホールを介して前記第3の中継電極に接続され、且つ前記第2絶縁膜及び前記第3絶縁膜を貫く第5のコンタクトホールを介して前記第3の画素電極に接続された第3の導電層を有することを特徴とする請求項7乃至11のいずれか1項に記載の発光装置。 - 第4のトランジスターと、
前記第2の層厚の部分の上に設けられた第4の画素電極と、
前記第4のトランジスターに電気的に接続された第4の中継電極と、
をさらに備え、
前記第4の中継電極は、前記第2の層厚の部分に設けられた第4接続部を介して前記第4の画素電極に接続され、
前記第1絶縁膜及び前記第2絶縁膜は、前記第2接続部と前記第4接続部との間を埋めるように設けられていることを特徴とする請求項12に記載の発光装置。 - 請求項1乃至請求項13のいずれか1項に記載の発光装置を備えていることを特徴とする電子機器。
- トランジスターと、前記トランジスターの上方に設けられた光反射層と、前記光反射層を覆い第1の層厚の部分と第2の層厚の部分と第3の層厚の部分とを有する第1の絶縁層と、前記第1の層厚の部分の上に設けられた画素電極と、前記画素電極の周縁部を覆う第2の絶縁層と、前記画素電極及び前記第2の絶縁層を覆う発光機能層と、前記発光機能層を覆う対向電極と前記第1の層厚の部分の上に設けられた導電層と、を含み、前記画素電極は、前記第1の層厚の部分に設けられた第1の画素電極と、前記第2の層厚の部分に設けられた第2の画素電極と、前記第3の層厚の部分に設けられた第3の画素電極と、を有し、前記第1の画素電極と前記第2の画素電極と前記第3の画素電極とは、前記導電層を介して前記トランジスターに接続されている発光装置の製造方法であって、
前記光反射層を形成する工程と、
前記第1の層厚となるように、第1絶縁膜を形成する工程と、
前記導電層を形成する工程と、
前記第1絶縁膜との間で前記第2の層厚となるように、第2絶縁膜を形成する工程と、
前記第1絶縁膜及び前記第2絶縁膜との間で前記第3の層厚となるように、第3絶縁膜を形成する工程と、
前記第2絶縁膜及び前記第3絶縁膜をパターニングして、前記第1の層厚の部分と、前記第2の層厚の部分と、前記第3の層厚の部分と、を有する前記第1の絶縁層を形成する工程と、
前記第2の層厚の部分に前記導電層の一部を露出させる第1のコンタクトホールと、前記第3の層厚の部分に前記導電層の一部を露出させる第2のコンタクトホールと、を形成する工程と、
前記第1の層厚の部分に前記導電層と部分的に重なる前記第1の画素電極と、前記第2の層厚の部分に前記第1のコンタクトホールを覆う前記第2の画素電極と、前記第3の層厚の部分に前記第2のコンタクトホールを覆う前記第3の画素電極と、を形成する工程と、
を備えていることを特徴とする発光装置の製造方法。
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