JP5024220B2 - 有機エレクトロルミネッセンス装置、有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法、電子機器 - Google Patents
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Description
この構成によれば、発光素子上を更に電極保護層にて覆うことにより、更にガスバリア性を高め封止性能を上げることができる。また、設ける電極保護層は、ガスバリア層と同様の構成の第3無機膜と第4無機膜との積層構造を備えるため、高いガスバリア性と高い耐久性とを兼ね備えた層となっている。したがって、更に信頼性の高い有機EL装置とすることができる。
第2無機膜におけるケイ素原子に対する酸素原子の原子数比が1未満であると、第1無機膜とのヤング率差が小さくなり、必要とする柔軟性が得られにくい。また、酸素原子数比が2の場合には酸化シリコン(SiO2)となるため、原子数比は2が上限である。したがって、この構成とすることで、応力に対して変形することが可能なガスバリア層とすることができる。
第4無機膜におけるケイ素原子に対する酸素原子の原子数比が1未満であると、第3無機膜とのヤング率差が小さくなり、必要とする柔軟性が得られにくい。また、酸素原子数比が2の場合には酸化シリコン(SiO2)となるため、原子数比は2が上限である。したがって、この構成とすることで、応力に対して変形することが可能な電極保護層とすることができる。
0.1nm未満の膜厚だと、ケイ素原子1原子分程度の厚みとなるために、第1無機膜と第2無機膜との層間方向に第2無機膜の広がりがない。そのため、層内方向において、第2無機膜が含む共有結合の角度変化等に基づく第2無機膜の変形ができず、ガスバリア層全体の変形ができなくなる。また、第1無機膜のガスバリア性に影響を与えないためには、第2無機膜の膜厚は10nm程度までの膜厚とすることが好ましい。したがって、この構成とすることで、耐久性とガスバリア性とを兼ね備えたガスバリア層とすることができる。
0.1nm未満の膜厚だと、第3無機膜と第4無機膜との層間方向に第4無機膜の広がりがなく、ガスバリア層全体の変形ができなくなる。また、第3無機膜のガスバリア性に影響を与えないためには、第4無機膜の膜厚は10nm程度までの膜厚とすることが好ましい。したがって、この構成とすることで、耐久性とガスバリア性とを兼ね備えたガスバリア層とすることができる。
この構成によれば、有機緩衝層の周縁端部において、有機緩衝層を覆って形成されるガスバリア層が急峻な角度を備えて形成されないため、有機緩衝層の周縁端部でのガスバリア層の損傷を抑制することが可能となる。したがって、ガスバリア層による封止を確実なものとすることができる。ここで、「有機緩衝層の周縁端部の角度」とは、有機緩衝層が形成された下地面に対する、有機緩衝層の周縁端部における接触角度(仰角)を示す。
この方法によれば、薄膜の酸化膜を容易に成膜でき、良好な耐久性を備えた有機EL装置を容易に製造することができる。
この構成によれば、耐久性が高く長寿命である電子機器とすることができる。
以下、図1〜図6を参照しながら、本発明の第1実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス装置(有機EL装置)について説明する。なお、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の膜厚や寸法の比率などは適宜異ならせてある。
素子基板20Aは、基板本体20と、基板本体20上に形成された各種配線やTFT素子を備える素子層14と、を備えている。基板本体20は、透明基板及び不透明基板のいずれも用いることができる。不透明基板としては、例えばアルミナ等のセラミックス、ステンレススチール等の金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したもの、また熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂、さらにはそのフィルム(プラスチックフィルム)などが挙げられる。透明基板としては、例えばガラス、石英ガラス、窒化ケイ素等の無機物や、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂等の有機高分子(樹脂)を用いることができる。また、光透過性を備えるならば、前記材料を積層または混合して形成された複合材料を用いることもできる。本実施形態では、基板本体20の材料としてガラスを用いる。
素子基板20A上には、発光素子21を覆い全面に複数の保護層が積層した薄膜封止層が形成されている。この薄膜封止層として、本実施形態の有機EL装置1は、有機緩衝層18とガスバリア層19とを備えている。
素子基板20Aに対向して、支持基板31と、支持基板31上に形成されたカラーフィルタ層32と、を備えている。
素子基板20Aと支持基板31とは、素子基板20Aの外周部近傍に配置されるシール層33によって貼り合わされている。
本実施形態の有機EL装置1は、以上のような構成となっている。
次に、図2から図6を参照して本実施形態における有機EL装置1の製造方法を説明する。
シール層33の形成材料の粘度は接着層34の形成材料の粘度よりも十分に高いため、シール層33の形成材料は接着層34の形成材料のはみ出しを防止する土手としての機能を発揮することができる。
以上より、本実施形態における有機EL装置1を得ることができる。
図7は、本発明の第2実施形態に係る有機EL装置の説明図である。本実施形態の有機ELは、第1実施形態の有機EL装置と一部共通している。異なるのは、補助配線に陰極の保護層としての機能も付与するのではなく、陰極を保護する電極保護層を設けることである。したがって、本実施形態において第1実施形態と共通する構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
次に、本発明に係る電子機器の実施形態について説明する。図8は、本発明の有機EL装置を用いた電子機器の例を示すものであり、図8(a)は携帯電話を示す斜視図、図8(b)はテレビジョン受像機を示す斜視図である。図8(a)は、本発明の有機EL装置を、携帯電話表示部のような小型パネルに応用した例であり、図8(b)は、本発明の有機EL装置を、薄型テレビの表示部のような大型パネルに応用した例である。
Claims (8)
- 基板と、
一対の電極間に有機発光層を挟持し、前記基板上に配置された複数の発光素子と、
前記複数の発光素子を覆って設けられた有機緩衝層と、
前記有機緩衝層を覆って設けられたガスバリア層と、を備え、
前記ガスバリア層は、
窒素を含有するケイ素化合物を含む第1無機膜と、
前記第1無機膜の形成材料の酸化物を形成材料に含み前記第1無機膜よりも薄く形成された第2無機膜と、が交互に積層された構造を有し、
前記第1無機膜および前記第2無機膜は、各々2層以上形成されており、
前記第2無機膜の膜厚は0.1nm以上10nm以下であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置。 - 前記複数の発光素子の表面を覆って、前記複数の発光素子と前記有機緩衝層との間に形成された電極保護層を備え、
前記電極保護層は、
窒素を含有するケイ素化合物を含む第3無機膜と、
前記第3無機膜の形成材料の酸化物を形成材料に含み前記第3無機膜よりも薄く形成された第4無機膜と、が交互に積層された構造を有し、
前記第3無機膜および前記第4無機膜は、各々2層以上形成されていることを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。 - 前記第2無機膜において、含有するケイ素原子に対する酸素原子の原子数比は、1以上2以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
- 前記第4無機膜において、含有するケイ素原子に対する酸素原子の原子数比は、1以上2以下であることを特徴とする請求項2に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
- 前記第4無機膜の膜厚は、0.1nm以上10nm以下であることを特徴とする請求項2または4に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
- 前記有機緩衝層の周縁端部の角度が、20度以下であることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
- 請求項1から6に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法であって、
窒素を含有するケイ素化合物を含む材料膜を成膜した後、前記材料膜の表面に酸素プラズマ処理を施し、前記材料膜の表面に該材料膜の形成材料の酸化物を含む酸化膜を形成して、複数の発光素子を覆う薄膜保護層の一部を形成する工程と、を備えることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置を備えていることを特徴とする電子機器。
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