JP2010251095A - 有機el装置および有機el装置の製造方法、ならびに電子機器 - Google Patents

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Abstract

【課題】反射層上に絶縁層を設けることによる光反射率の低下を抑え、画素間で明るさのばらつきの少ない有機EL装置を提供すること。
【解決手段】有機EL装置100は、基体20と、基体20上に配列された赤色、緑色、青色の光のいずれかを射出する画素2と、基体20上に設けられた光反射性を有する第1の反射層22と、基体20と第1の反射層22とを覆う光透過性を有する絶縁層26と、絶縁層26上に設けられた光反射性を有する第2の反射層23と、第1の反射層22および第2の反射層23上に設けられた光透過性を有する陽極24と、陽極24上に設けられた少なくとも発光層を含む有機機能層30と、有機機能層30上に設けられた光透過性を有する陰極32とを備え、画素2には、射出する光の波長に応じて、第1の反射層22または第2の反射層23のいずれか一方が配置されている。
【選択図】図3

Description

本発明は、有機EL装置および有機EL装置の製造方法、ならびに電子機器に関する。
有機エレクトロルミネセンス装置(以下有機EL装置と呼ぶ)は、陽極と、少なくとも発光層を含む有機機能層と、陰極とが積層された構成を有している。有機EL装置では、発光層で発生した光は陽極側または陰極側へ射出される。発光層で発生した光が陰極側へ射出される、いわゆるトップエミッション型の有機EL装置の場合、発光層から陽極側へ発せられた光は陽極の下層に配置された反射層で反射され、陰極側へ射出される。
このような反射層の材料として、光反射性を有する金属、例えば銀が好適に用いられる。銀は、光反射率が高い一方で極めて反応性に富むため、製造工程における成膜やパターン加工等で化学的あるいは物理的な損傷を受け易い。反射層がこのような損傷を受けた場合、光反射率が低下してしまうこととなる。これに対して、反射層上に絶縁層を配置することにより、製造工程等において反射層が損傷を受けることを防止する方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
特開2006−269329号公報
しかしながら、上記のような方法では、反射層上に絶縁層が配置されていることで、反射層の光反射率が低下してしまうという課題があった。また、反射する光の波長によっては他の光よりも光反射率が低下する度合いが大きい場合があり、反射層の光反射率が低下した結果、異なる波長の光を射出する画素間で反射層により反射される光の明るさがばらついてしまうという課題があった。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
[適用例1]本適用例に係る有機EL装置は、基体と、前記基体上に配列された、少なくとも2つの異なる波長の光のいずれかを射出する画素と、前記基体上に設けられた、光反射性を有する反射層と、少なくとも前記反射層に平面的に重なるように設けられた、光透過性を有する絶縁層と、前記反射層上に設けられた、光透過性を有する第1の電極と、前記第1の電極上に設けられた、少なくとも発光層を含む有機機能層と、前記有機機能層上に設けられた、光透過性を有する第2の電極と、を備え、前記反射層として、前記絶縁層の前記基体側に位置する第1の反射層と、前記絶縁層の前記第1の電極側に位置する第2の反射層と、を有し、前記画素には、射出する前記光の波長に応じて、前記第1の反射層または前記第2の反射層のいずれか一方が配置されていることを特徴とする。
この構成によれば、第1の反射層が配置された画素では第1の反射層の有機機能層側に絶縁層が位置しているが、第2の反射層が配置された画素では第2の反射層の有機機能層側に絶縁層が位置していない。反射層上に絶縁層が位置していると、有機機能層から発せられた光を反射する反射層の光反射率が低下する。また、光反射率が低下する度合いは反射される光の波長によって異なる。そこで、他の波長よりも光反射率が低下する度合いが大きい波長の光を射出する画素に対応して、絶縁層が上に位置しない第2の反射層を配置することで、この波長の光に対する光反射率の低下を抑えることができる。これにより、異なる波長の光を射出する画素間でより均一な明るさが得られる有機EL装置を提供できる。
[適用例2]上記適用例に係る有機EL装置であって、前記第1の反射層の層厚と前記第2の反射層の層厚とが異なっていてもよい。
この構成によれば、例えば、第2の反射層の層厚を第1の反射層の層厚に対して相対的に厚くすることで、第2の反射層の光反射率を第1の反射層の光反射率よりも向上させることができる。
[適用例3]上記適用例に係る有機EL装置であって、前記第1の反射層および前記第2の反射層は、銀または銀を含む合金からなっていてもよい。
この構成によれば、第1の反射層および第2の反射層は光反射率の高い銀または銀を含む合金からなるので、高い光反射率を有する反射層を構成できる。
[適用例4]上記適用例に係る有機EL装置であって、前記少なくとも2つの異なる波長は、赤色光に対応する波長と、緑色光に対応する波長と、青色光に対応する波長と、を含み、前記第1の反射層は、前記赤色光を射出する前記画素および前記緑色光を射出する前記画素に配置され、前記第2の反射層は、前記青色光を射出する前記画素に配置されていてもよい。
この構成によれば、赤色光、緑色光、青色光によるフルカラー表示またはフルカラー発光が可能な有機EL装置を提供できる。また、反射層上に絶縁層が位置している場合に赤色光、緑色光に比べて光反射率が低下する度合いが大きい青色光を射出する画素に、絶縁層が上に位置しない第2の反射層が配置される。これにより、青色光の光反射率の低下を抑えることができるので、赤色光、緑色光、青色光とで明るさがより均一な有機EL装置を提供できる。
[適用例5]上記適用例に係る有機EL装置であって、前記画素の前記光を射出する側に配置された、前記赤色光に対応するカラーフィルターと、前記緑色光に対応するカラーフィルターと、前記青色光に対応するカラーフィルターと、をさらに備えていてもよい。
この構成によれば、有機機能層からの光のうち、赤色光、緑色光、青色光がカラーフィルターを透過するので、より色再現性に優れた有機EL装置を提供できる。
[適用例6]上記適用例に係る有機EL装置であって、前記第2の電極は、光反射性をさらに有し、前記第1の反射層と前記第2の電極との間、および前記第2の反射層と前記第2の電極との間に、前記有機機能層からの光を共振させる光共振器が形成されていてもよい。
この構成によれば、光共振器により共振波長の光が増幅されるので、射出される光の輝度を高めることができる。また、赤色光、緑色光を射出する画素において第1の反射層と第2の電極との間に絶縁層が配置されており、赤色光、緑色光よりも波長の短い青色光を射出する画素において第2の反射層と第2の電極との間に絶縁層が配置されていないので、光共振器における共振波長の調整をより容易に行うことができる。
[適用例7]本適用例に係る電子機器は、上記に記載の有機EL装置を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、電子機器は上記の有機EL装置を備えているので、表示部において画素間でより均一な明るさが得られる電子機器を提供できる。
[適用例8]本適用例に係る有機EL装置の製造方法は、基体上に配列された少なくとも2つの異なる波長の光を射出する画素を備えた有機EL装置の製造方法であって、一部の前記画素に対応して、前記基体上に光反射性を有する第1の反射層を形成する第1の反射層形成工程と、前記基体と前記第1の反射層とを覆うように、光透過性を有する絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、前記一部の前記画素以外の前記画素に対応して、前記絶縁層上に光反射性を有する第2の反射層を形成する第2の反射層形成工程と、前記第1の反射層上および前記第2の反射層上に、光透過性を有する第1の電極を形成する第1の電極形成工程と、前記第1の電極上に少なくとも発光層を含む有機機能層を形成する有機機能層形成工程と、前記有機機能層上に光透過性を有する第2の電極を形成する第2の電極形成工程と、を備えたことを特徴とする。
この方法によれば、絶縁層形成工程で形成される絶縁層は、第1の反射層の有機機能層側には配置されるが、第2の反射層の有機機能層側には配置されない。反射層上に絶縁層が位置していると、有機機能層から発せられた光を反射する反射層の光反射率が低下する。また、光反射率が低下する度合いは反射される光の波長によって異なる。そこで、他の波長よりも光反射率が低下する度合いが大きい波長の光を射出する画素に対応して、絶縁層上に第2の反射層を形成することで、この波長の光に対する光反射率の低下を抑えることができる。これにより、異なる波長の光を射出する画素間でより均一な明るさが得られる有機EL装置を製造できる。
[適用例9]上記適用例に係る有機EL装置の製造方法であって、前記第1の反射層形成工程および前記第2の反射層形成工程では、前記第1の反射層の層厚と前記第2の反射層の層厚とを異ならせて形成してもよい。
この方法によれば、例えば、第2の反射層の層厚を第1の反射層の層厚に対して相対的に厚く形成することで、第2の反射層の光反射率を第1の反射層の光反射率よりも向上させることができる。
[適用例10]上記適用例に係る有機EL装置の製造方法であって、前記第1の反射層形成工程および前記第2の反射層形成工程では、前記第1の反射層および前記第2の反射層を銀または銀を含む合金で形成してもよい。
この方法によれば、第1の反射層および第2の反射層を光反射率の高い銀または銀を含む合金で形成するので、高い光反射率を有する反射層を形成できる。
[適用例11]上記適用例に係る有機EL装置の製造方法であって、前記少なくとも2つの異なる波長は、赤色光に対応する波長と、緑色光に対応する波長と、青色光に対応する波長と、を含み、前記第1の反射層形成工程では、前記赤色光を射出する前記画素および前記緑色光を射出する前記画素に対応して前記第1の反射層を形成し、前記第2の反射層形成工程では、前記青色光を射出する前記画素に対応して前記第2の反射層を形成してもよい。
この方法によれば、赤色光、緑色光、青色光によるフルカラー表示またはフルカラー発光が可能な有機EL装置を製造できる。また、反射層上に絶縁層が設けられた場合に赤色光、緑色光に比べて光反射率が低下する度合いが大きい青色光を射出する画素に対応して、絶縁層上に第2の反射層を形成するので、青色光の光反射率の低下を抑えることができる。これにより、赤色光、緑色光、青色光とで明るさがより均一な有機EL装置を製造できる。
[適用例12]上記適用例に係る有機EL装置の製造方法であって、前記第2の電極形成工程の後に、前記画素の前記光を射出する側に、前記赤色光に対応するカラーフィルターと、前記緑色光に対応するカラーフィルターと、前記青色光に対応するカラーフィルターと、を形成する工程をさらに含んでいてもよい。
この方法によれば、有機機能層からの光のうち、赤色光、緑色光、青色光がカラーフィルターを透過するので、より色再現性に優れた有機EL装置を製造できる。
第1の実施形態に係る有機EL装置の電気的構成を示すブロック図。 第1の実施形態に係る有機EL装置を模式的に示す平面図。 第1の実施形態に係る有機EL装置の概略構成を示す断面図。 反射層の光反射率を比較したグラフ。 第1の実施形態に係る有機EL装置の製造方法を説明するフローチャート。 第1の実施形態に係る有機EL装置の製造方法を説明する図。 第1の実施形態に係る有機EL装置の製造方法を説明する図。 第2の実施形態に係る有機EL装置の概略構成を示す断面図。 第3の実施形態に係る有機EL装置の概略構成を示す断面図。 電子機器としての携帯電話機を示す図。
以下に、本実施の形態について図面を参照して説明する。なお、参照する図面において、構成をわかりやすく示すため、構成要素の膜厚や寸法の比率等は適宜異ならせてある。また、説明に必要な構成要素以外は図示を省略する場合がある。
(第1の実施形態)
<有機EL装置>
まず、第1の実施形態に係る有機EL装置の構成について図を参照して説明する。図1は、第1の実施形態に係る有機EL装置の電気的構成を示すブロック図である。図2は、第1の実施形態に係る有機EL装置を模式的に示す平面図である。詳しくは、図3に示す封止部40側から見たときの平面図である。図3は、第1の実施形態に係る有機EL装置の概略構成を示す断面図である。詳しくは、図2のA−A’線に沿った部分断面図である。なお、本明細書では、有機EL装置の封止部40側表面の法線方向から見ることを「平面視」とも呼ぶ。
図1に示すように、有機EL装置100は、スイッチング素子として薄膜トランジスター(Thin Film Transistor、以下、TFTと呼ぶ)を用いたアクティブマトリクス型の有機EL装置である。有機EL装置100は、基板10と、基板10上に設けられた走査線16と、走査線16に対して交差する方向に延びる信号線17と、信号線17に並列に延びる電源線18とを備えている。有機EL装置100において、これら走査線16と信号線17とに囲まれた領域に画素2が配置されている。画素2は、例えば、走査線16の延在方向と信号線17の延在方向とに沿ってマトリクス状に配列されている。
画素2には、スイッチング用TFT11と、駆動用TFT12と、保持容量13と、第1の電極としての陽極24と、第2の電極としての陰極32と、有機機能層30と、を備えている。有機機能層30は、例えば、順に積層された正孔輸送層と発光層と電子輸送層とで構成されている。陽極24と、陰極32と、有機機能層30とによって有機エレクトロルミネセンス素子(有機EL素子)8が構成される。有機EL素子8では、正孔輸送層から注入される正孔と、電子輸送層から注入される電子とが発光層で再結合することにより発光が得られる。
信号線17には、シフトレジスター、レベルシフター、ビデオライン、およびアナログスイッチを備えたデータ線駆動回路14が接続されている。また、走査線16には、シフトレジスターおよびレベルシフターを備えた走査線駆動回路15が接続されている。
有機EL装置100では、走査線16が駆動されてスイッチング用TFT11がオン状態になると、信号線17を介して供給される画像信号が保持容量13に保持され、保持容量13の状態に応じて駆動用TFT12のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用TFT12を介して電源線18に電気的に接続したとき、電源線18から陽極24に駆動電流が流れ、さらに有機機能層30を通じて陰極32に電流が流れる。有機機能層30の発光層は、陽極24と陰極32との間に流れる電流量に応じた輝度で発光する。
図2に示すように、画素2は、例えば略矩形の平面形状を有している。画素2の矩形形状の4つの角は丸く形成されていてもよい。画素2は、有機EL装置100の表示の最小単位であり、少なくとも2つの異なる波長の光のうちのいずれかを射出する。なお、ここでいう波長はピーク波長を意味しており、実際に画素2から射出される光の波長はこのピーク波長を中心として分散性を有していてもよい。
本実施形態では、有機EL装置100は、赤色(R)光を射出する画素2Rと、緑色(G)光を射出する画素2Gと、青色(B)光を射出する画素2Bとを有している(以下では、対応する色を区別しない場合には単に画素2とも呼ぶ)。有機EL装置100では、画素2R,2G,2Bから一つの画素群4が構成され、それぞれの画素群4において画素2R,2G,2Bのそれぞれの輝度を適宜変えることで、種々の色の表示を行うことができる。したがって、フルカラー表示またはフルカラー発光が可能な有機EL装置を提供できる。
なお、図示しないが、基板10上には、画素2が配置された領域外に、有機EL装置100に駆動電圧を印加するための端子部、陰極用配線、検査回路等が配置されている。
図3に示すように、有機EL装置100は、基板10上に、回路層19と、第1の反射層22と、絶縁層26と、第2の反射層23と、陽極24と、隔壁28と、有機機能層30と、陰極32と、封止部40とを備えている。有機EL装置100は、有機機能層30から発した光が封止部40側に射出されるトップエミッション型である。
基板10は、有機EL装置100がトップエミッション型であることから、透光性材料および不透光性材料のいずれを用いてもよい。透光性材料としては、例えば、ガラス、石英、樹脂(プラスチック、プラスチックフィルム)等があげられる。不透光性材料としては、例えば、アルミナ等のセラミックス、ステンレススチール等の金属シートに表面酸化等の絶縁処理を施したもの、熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂、およびそのフィルム(プラスチックフィルム)等があげられる。基板10は、例えば二酸化シリコン(SiO2)等からなる保護層に覆われていてもよい。
回路層19は基板10上に設けられている。図示しないが、回路層19は、駆動用TFT12と層間絶縁層と平坦化層とを含んでいる。駆動用TFT12は、画素2に対応して設けられている。駆動用TFT12は、半導体膜とゲート絶縁層とゲート電極とドレイン電極とソース電極とを備えている。ゲート電極は、半導体膜を覆うゲート絶縁層を間に挟んで半導体膜のチャネル領域に平面的に重なるように位置している。
ドレイン電極は、ゲート電極とゲート絶縁層とを覆う層間絶縁層に設けられたコンタクトホールを介して、半導体膜のドレイン領域に導電接続されている。ソース電極は、同様にコンタクトホールを介して、半導体膜のソース領域に導電接続されている。平坦化層は、ドレイン電極およびソース電極を覆うように設けられており、これらの電極やその他の配線部による表面の凹凸を緩和している。なお、以降の説明では、基板10と、回路層19とを含めて基体20と呼ぶ。
基体20上には、画素2から射出される光の波長に対応して、第1の反射層22または第2の反射層23のいずれか一方が設けられている。また、平面視で第1の反射層22および第2の反射層23に重なるように、絶縁層26が設けられている。
第1の反射層22は、基体20上に形成されており、画素2R,2Gに配置されている。絶縁層26は、基体20と第1の反射層22とを覆うように形成されている。第2の反射層23は、絶縁層26上に形成されており、画素2Bに配置されている。したがって、第1の反射層22は絶縁層26の基体20側に位置しており、第2の反射層23は絶縁層26の陽極24側に位置している。
第1の反射層22および第2の反射層23は、画素2R,2G,2Bから高い輝度の光が射出されるように、高い光反射性を有していることが好ましい。第1の反射層22および第2の反射層23は、銀または銀を含む合金からなり、例えばAPC(Ag−Pd−Cuの合金)からなる。第1の反射層22および第2の反射層23の層厚は、例えば100nm〜150nm程度である。なお、第1の反射層22および第2の反射層23のそれぞれが、ITO等からなる2層の導電層の間に挟持されていてもよい。
絶縁層26は、光透過性を有する無機材料からなり、例えば窒化シリコン(SiN)からなる。絶縁層26の材料は、SiO2等であってもよい。絶縁層26の層厚は、例えば50nm〜100nm程度である。絶縁層26は、陽極24を形成する際のパターン加工等において、第1の反射層22の表面を保護する役割を果たす。
陽極24は、画素2毎に設けられており、第1の反射層22上および第2の反射層23上に配置されている。陽極24は、画素2R,2Gにおいては平面視で第1の反射層22に重なるように絶縁層26上に形成されており、画素2Bにおいては第2の反射層23上に形成されている。陽極24は、画素2Bにおいては、第2の反射層23の表面を覆うとともに、陽極24の周縁部が絶縁層26に接するように形成されていることが好ましい。陽極24をこのように形成することで、陽極24を形成する際のパターン加工等において第2の反射層23の表面を保護することができる。
陽極24は、光透過性を有するとともに、有機機能層30への正孔注入効率が高められるように、仕事関数の高い材料により構成されていることが好ましい。陽極24は、例えば多結晶のITO(Indium Tin Oxide)からなる。陽極24の材料は、非晶質のITOやIZO(Indium Zinc Oxide)等であってもよい。なお、図示しないが、陽極24は絶縁層26や平坦化層に設けられたコンタクトホールを介して駆動用TFT12のドレイン電極に導電接続されている。
隔壁28は絶縁層26上に設けられている。隔壁28は、画素2の領域を区画する開口部28aを有している。開口部28aは、平面視で陽極24よりも一回り小さく形成されている。隔壁28は、開口部28aの周囲に沿って陽極24の周縁部に所定幅で乗り上げるように形成されている。隔壁28は、アクリル樹脂等からなる。
有機機能層30は陽極24上に形成されている。図示しないが、有機機能層30は、順に積層された正孔輸送層と発光層と電子輸送層とで構成されている。正孔輸送層は、例えば、トリフェニルアミン誘導体(TPD)、ピラゾリン誘導体、アリールアミン誘導体、スチルベン誘導体、トリフェニルジアミン誘導体等によって形成されている。発光層は、例えば、アルミノウムキノリノール錯体(Alq3)等をホスト材料とし、ルブレン等をドーパントとして形成されている。電子輸送層は、例えば、Alq3等によって形成されている。
有機機能層30では、正孔輸送層から注入される正孔と、電子輸送層から注入される電子とが発光層で再結合することにより、画素2R,2G,2Bで共通色の発光が得られる。有機機能層30の発光色は、例えば白色である。なお、有機機能層30は、上記の構成に限定されず、発光層を含む4層以上の機能層で構成されていてもよい。
陰極32は有機機能層30上に設けられている。陰極32は光透過性を有している。陰極32は、例えばマグネシウムと銀との合金(Mg−Ag合金)からなる。陰極32の材料は、カルシウム、ナトリウム、リチウム、またはこれらの金属化合物等であってもよい。
陰極32上には封止部40が配置されている。封止部40は、例えば、封止基板42と接着層44とを含む。封止基板42および接着層44は、有機EL素子8を保護する機能を有している。接着層44は、陰極32を覆うように形成されており、陰極32上に封止基板42を固定させている。接着層44は、例えば、透光性を有するウレタン系樹脂、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリオレフィン系樹脂等からなる。封止基板42は、透光性を有するガラス、またはアクリル系樹脂やスチレン系樹脂等の樹脂類からなる。
なお、陰極32と接着層44との間に、酸素や水分が浸入することによる有機EL素子8の劣化を防止するために、例えばSiO2、SiN、酸化窒化シリコン(SiON)等からなるガスバリア層等が設けられていてもよい。
カラーフィルター38は、封止基板42の有機EL素子8側に設けられている。カラーフィルター38は、赤色(R)光に対応するカラーフィルター38Rと、緑色(G)光に対応するカラーフィルター38Gと、青色(B)光に対応するカラーフィルター38Bとを有している(以下では、対応する色を区別しない場合には単にカラーフィルター38とも呼ぶ)。カラーフィルター38R,38G,38Bは、画素2R,2G,2Bに対応して配置され、平面視で有機EL素子8に重なるように設けられている。
有機EL素子8により発せられる光が、カラーフィルター38R,38G,38Bを透過することで、画素2R,2G,2BにおいてR、G、Bの3つの異なる色の光が射出される。なお、隣り合うカラーフィルター38R,38G,38B同士の間に、遮光層が設けられていてもよい。また、カラーフィルター38R,38G,38Bの有機EL素子8側の表面を覆うとともにその表面の凹凸を緩和する平坦化層が設けられていてもよい。
有機EL装置100では、有機機能層30から陰極32側に発せられた光は、封止部40側に射出される。また、有機機能層30から陽極24側に発せられた光は、第1の反射層22および第2の反射層23により反射されて、封止部40側に射出される。
<反射層の光反射率>
次に、有機EL装置100が備える第1の反射層22および第2の反射層23の光反射率について、図を参照して説明する。図4は、反射層の光反射率を比較したグラフである。図4において、R1は反射層の光反射率Rの実測値であり、R2はその反射層上に絶縁層が設けられた場合の光反射率Rの実測値である。この反射層は、銀からなり、第1の反射層22(第2の反射層23)と同様のパターンおよび120nmの層厚で形成されたものである。絶縁層は、絶縁層26と同様にSiNにより50nmの層厚で形成されたものである。また、図4において、縦軸は光反射率R(%)であり、横軸は光の波長λ(nm)である。なお、光共振器による共振波長の光の増幅効果は加味されていない。
図4に示すように、R1では反射する光の波長λによって光反射率Rが異なり、波長λが500nm以上の光に対して90%以上の光反射率Rを示している。一方、波長λが400nm〜500nmの光に対しては90%以下の光反射率Rを示し、波長λが小さいほど光反射率Rは低くなっている。このように、R1では、波長λが470nmの青色(Blue)光に対する光反射率Rは、波長λが530nmの緑色(Green)光や610nmの赤色(Red)光に対する光反射率Rよりも低い値を示している。
次に、R2では、R1と同様に光の波長λによって光反射率Rが異なるとともに、いずれの波長λの光においてもR1よりも光反射率Rが低い値を示している。R1に対してR2の光反射率Rが低下する度合いは、波長λが500nm以上の光よりも波長λが400nm〜500nmの光において顕著であり、波長λが470nmの青色光に対する光反射率Rは85%を下回っている。
つまり、反射層上に絶縁層が設けられた場合、反射層のみの場合に比べて光反射率Rが低下し、青色光に対して光反射率Rが低下する度合いは緑色光や赤色光に対して光反射率Rが低下する度合いよりも大きいことがわかる。反射層上に絶縁層が設けられることで反射層の光反射率Rが低下する理由は明らかではないが、絶縁層を光が透過する際に絶縁層中で光の成分の一部が吸収されることや、反射層上に絶縁層を形成する工程における化学的あるいは物理的な作用により反射層の光反射率Rが低下すること等が考えられる。
したがって、画素2R,2Gと同様に画素2Bにおいても第1の反射層22上に絶縁層26が設けられた構成とした場合、画素2Bから射出される青色光の輝度が画素2R,2Gから射出される赤色光や緑色光の輝度よりも低くなり、有機EL装置の表示品質が低下してしまう。このような場合、従来の有機EL装置では、画素2Bの輝度低下を補う方法の一つとして、例えば、画素2Bの有機EL素子8に画素2R,2Gよりも大きな電流を流す方法が適用される。しかしながら、このような方法によれば、有機EL装置の消費電力の増大を招くとともに、有機EL装置の寿命を低下させることとなる。
ここで、図4において、R1での青色光に対する光反射率Rの値は90%を若干下回るが、R2での緑色光や赤色光に対する光反射率Rの値に近い。つまり、画素2Bにおいて反射層上に絶縁層を設けないようにすれば、反射層上に絶縁層が設けられた画素2R,2Gから射出される赤色光や緑色光の輝度と、画素2Bから射出される青色光の輝度との差を小さくすることができる。
本実施形態に係る有機EL装置100では、画素2R,2Gにおいて第1の反射層22上に絶縁層26が設けられているが、画素2Bにおいては第2の反射層23上には絶縁層26が設けられていないので、画素2Bにおける青色光の光反射率Rの低下を抑えることができる。これにより、異なるR、G、Bの波長の光を射出する画素2R,2G,2B間でより均一な明るさが得られるので、従来よりも優れた表示品質を有する有機EL装置100を提供できる。また、従来のように画素2Bの輝度低下を補うために、画素2Bの有機EL素子8に大きな電流を流さなくてもよいので、有機EL装置の消費電力の増大および寿命低下を避けることができる。
<有機EL装置の製造方法>
次に、第1の実施形態に係る有機EL装置の製造方法について図を参照して説明する。図5は、第1の実施形態に係る有機EL装置の製造方法を説明するフローチャートである。図6および図7は、第1の実施形態に係る有機EL装置の製造方法を説明する図である。
図5に示すように、有機EL装置の製造方法は、基体準備工程S10と、第1の反射層形成工程S20と、絶縁層形成工程S30と、第2の反射層形成工程S40と、陽極形成工程S50と、隔壁形成工程S60と、有機機能層形成工程S70と、陰極形成工程S80と、カラーフィルター形成工程S90と、封止部形成工程S100と、を含んでいる。
基体準備工程S10では、基板10上に駆動用TFT12と層間絶縁層と平坦化層とを含む回路層19を公知の方法で形成し、基体20を準備する。
次に、第1の反射層形成工程S20では、図6(a)に示すように、基体20上に第1の反射層22を形成する。まず、例えばスパッタリング法により、基体20上に銀またはAPC等からなる反射膜を成膜する。続いて、フォトリソグラフィ法を用いて反射膜のパターン加工を行い、画素2R,2Gの領域に第1の反射層22を形成する。パターン加工の際は、エッチング液として、例えば燐酸と硝酸と酢酸との混合液等の弱酸溶液を用いる。
次に、絶縁層形成工程S30では、図6(b)に示すように、基体20と第1の反射層22とを覆うように絶縁層26を形成する。絶縁層26は、例えば、SiNを材料としてCVD法等により形成する。絶縁層26は、50nm〜100nm程度の層厚で形成することが好ましい。絶縁層26の層厚が厚いと、絶縁層26に覆われた第1の反射層22の光反射率Rの低下が大きくなる。一方、絶縁層26の層厚が薄いと、次の第2の反射層形成工程S40や陽極形成工程S50におけるパターン加工で用いられるエッチング液が絶縁層26を浸透して、第1の反射層22が損傷を受けるリスクが大きくなる。
次に、第2の反射層形成工程S40では、図6(c)に示すように、絶縁層26上の画素2Bの領域に第2の反射層23を形成する。第2の反射層23を形成する方法は、フォトリソグラフィ法の露光に用いる露光マスクが異なる点以外は、第1の反射層形成工程S20において第1の反射層22を形成する方法と同様である。
次に、陽極形成工程S50では、図6(d)に示すように、画素2毎に陽極24を形成する。陽極24は、画素2R,2Gにおいては絶縁層26上に平面視で第1の反射層22に重なるように形成し、画素2Bにおいては第2の反射層23の表面を覆って陽極24の周縁部が絶縁層26に接するように形成する。
まず、例えば、スパッタリング法により、絶縁層26と第2の反射層23とを覆うように、多結晶のITOからなる陽極層を成膜する。図示しないが、陽極層は、絶縁層26や平坦化層に設けられたコンタクトホールを介して駆動用TFT12のドレイン電極に導電接続される。続いて、フォトリソグラフィ法を用いて陽極層のパターン加工を行う。パターン加工の際は、エッチング液として、例えば王水(塩酸と硝酸との混合液)等の強酸溶液を用いる。
このとき、第1の反射層22は、絶縁層26に覆われているのでエッチング液から保護される。また、第2の反射層23は、陽極24を形成する陽極層に覆われているのでエッチング液から保護される。これにより、画素2R,2G,2Bの領域に陽極24が形成される。なお、非晶質のITOからなる陽極24を形成し、後で焼成することにより結晶化させてもよい。非晶質ITOで陽極24を形成する場合、パターン加工の際はエッチング液として、例えば蓚酸等を含む弱酸溶液を用いる。
次に、隔壁形成工程S60では、図7(a)に示すように、絶縁層26上に隔壁28を形成する。例えばスピンコート法を用いて、絶縁層26と陽極24とを覆うようにアクリル樹脂等からなる隔壁層を形成する。そして、フォトリソグラフィ法により、隔壁層に各画素2の領域を区画する開口部28aを、平面視で陽極24よりも一回り小さく形成する。これにより、隔壁28が形成され、開口部28aにおいて陽極24が露出する。
次に、有機機能層形成工程S70では、図7(b)に示すように、陽極24上に白色の発光が得られる有機機能層30を形成する。詳細は図示を省略するが、例えば真空蒸着法により、陽極24と隔壁28とを覆うように正孔輸送層と発光層と電子輸送層とを順に積層して成膜する。これにより、陽極24上に有機機能層30が形成される。なお、正孔輸送層と発光層と電子輸送層とを形成する方法として、インクジェット法やスピンコート法等により塗布する方法を適用してもよい。
次に、陰極形成工程S80では、図7(c)に示すように、有機機能層30上に陰極32を形成する。例えば真空蒸着法により、有機機能層30を覆うように、Mg−Ag合金等からなる陰極32を形成する。これにより、画素2R,2G,2Bに有機EL素子8が形成される。
次に、カラーフィルター形成工程S90では、図3に示すように、封止基板42の有機EL素子8側にカラーフィルター38R,38G,38Bを形成する。カラーフィルター38R,38G,38Bは、例えばR、G、Bの異なる色の光を透過させるような顔料を含む感光性樹脂を塗布してパターン加工を行うことにより形成する。
なお、互いに隣り合うカラーフィルター38R,38G,38B同士の間に、例えばクロム(Cr)等からなる遮光層を形成してもよい。また、カラーフィルター38R,38G,38Bの有機EL素子8側の表面を覆うとともにその表面の凹凸を緩和する平坦化層をさらに形成してもよい。
次に、封止部形成工程S100では、図3に示すように、陰極32上に接着層44を介して封止基板42を配置し、封止部40を形成する。以上により、有機EL装置100が完成する。
上記第1の実施形態に係る有機EL装置の構成および製造方法によれば、画素2R,2Gにおいては、第1の反射層22上に絶縁層26を設けるので、第1の反射層22の有機機能層30側に絶縁層26が配置される。一方、画素2Bにおいては、絶縁層26上に第2の反射層23を設けるので、第2の反射層23の有機機能層30側には絶縁層26が配置されない。反射層上に絶縁層が位置している場合にR光、G光に比べて光反射率が低下する度合いが大きいB光を射出する画素2Bにおいて、第2の反射層23上に絶縁層26が配置されないので、画素2BにおけるB光の光反射率の低下を抑えることができる。これにより、R、G、Bの異なる波長の光を射出する画素2R,2G,2B間でより均一な輝度が得られるので、従来の有機EL装置よりも優れた表示品質を有する有機EL装置100を提供できる。
また、画素2BにおけるB光の光反射率の低下が抑えられるため、画素2Bの輝度低下を補うために画素2Bの有機EL素子8に大きな電流を流さなくてもよいので、従来の有機EL装置よりも低消費電力で寿命の長い有機EL装置100を提供できる。
(第2の実施形態)
<有機EL装置>
次に、第2の実施形態に係る有機EL装置の構成について図を参照して説明する。図8は、第2の実施形態に係る有機EL装置の概略構成を示す断面図である。なお、図8は図2のA−A’線に沿った断面に対応している。
第2の実施形態に係る有機EL装置200は、第1の実施形態に係る有機EL装置100に対して、第1の反射層と陰極との間および第2の反射層と陰極との間に光共振器が形成されている点が異なっているが、その他の構成はほぼ同じである。第1の実施形態と共通する構成要素については、同一の符号を付しその説明を省略する。
第2の実施形態に係る有機EL装置200は、図8に示すように、基体20上に、第1の反射層22と、絶縁層26と、第2の反射層23と、陽極24(24a,24b,24c)と、隔壁28と、有機機能層30と、陰極32と、封止部40とを備えている。
陽極24a,24b,24cは、画素2R,2G,2Bのそれぞれに対応して配置されている。陽極24a,24b,24cは、それぞれ層厚が異なっている。
陰極32は、光透過性と光反射性とを有している。つまり、陰極32は、半透過反射性を有するハーフミラー状である。
有機EL装置200では、第1の反射層22と陰極32との間、および第2の反射層23と陰極32との間に、有機機能層30で発せられた光を共振させる光共振器が形成されている。有機機能層30で発せられた光は、第1の反射層22と陰極32との間、および第2の反射層23と陰極32との間で往復し、その光学的距離に対応した共振波長の光が増幅されて、陰極32側に射出される。このため、射出される光の輝度を高めることができるとともに、幅が狭いスペクトルを有する光を取り出すことができる。
光共振器における共振波長は、第1の反射層22と陰極32との間、および第2の反射層23と陰極32との間の光学的距離Lを変えることによって調整が可能である。有機機能層30で発せられた光のうち取り出したい光のスペクトルのピーク波長をλとすると、次のような関係式が成り立つ。Φ(ラジアン)は、有機機能層30で発せられた光が光共振器の両端(例えば、第1の反射層22または第2の反射層23と陰極32と)で反射する際に生じる位相シフトを表す。
(2L)/λ+Φ/(2π)=m(mは整数)
ここでは、画素2R,2G,2Bに対応させて、光学的距離LR,LG,LBと呼ぶこととする。画素2Rにおいては、第1の反射層22と陰極32との間に位置する絶縁層26と、陽極24aと、有機機能層30とで光学的距離LRが決まる。画素2Gにおいては、第1の反射層22と陰極32との間に位置する絶縁層26と、陽極24bと、有機機能層30とで光学的距離LGが決まる。画素2Bにおいては、第2の反射層23と陰極32との間に位置する陽極24cと有機機能層30とで光学的距離LBが決まる。
有機EL装置200では、画素2R,2G,2Bが射出するR、G、Bの光に対応させて、それぞれにおける光共振器の共振波長が所定の波長λとなるように、絶縁層26の層厚と陽極24a,24b,24cのそれぞれの層厚とを適宜設定することにより光学的距離LR,LG,LBを最適化する構成となっている。
R、Gの光の波長はBの光の波長よりも長いので、画素2R,2Gにおける光学的距離LR,LGは画素2Bにおける光学的距離LBよりも長くなるが、光学的距離LR,LGに絶縁層26が含まれるのに対して、光学的距離LBには絶縁層26が含まれない。したがって、陽極24a,24b,24cのみで調整する場合に比べて、より容易に光学的距離LR,LG,LBを調整することができる。
<有機EL装置の製造方法>
第2の実施形態に係る有機EL装置の製造方法は、第1の実施形態に係る有機EL装置の製造方法に対して、陽極形成工程S50において層厚がそれぞれ異なる陽極24a,24b,24cを形成する点が異なっているが、その他の方法はほぼ同じである。
図示を省略するが、本実施形態の陽極形成工程S50では、画素2R,2G,2Bのそれぞれに対応して、陽極24a,24b,24cをそれぞれ層厚を異ならせて形成する。例えば、第1の実施形態の陽極形成工程S50において陽極24を形成する工程を3回繰り返して行い、3層の陽極層を形成する。画素2Rにおいては3層の陽極層を積層して陽極24aを構成し、画素2Gにおいては2層の陽極層を積層して陽極24bを構成し、画素2Bにおいては1層の陽極層で陽極24cを構成する。
画素2Bにおける陽極24cは、3層の陽極層のうち最初に形成される陽極層で構成することが好ましい。このようにすることで、その後に2層の陽極層を形成する際のパターン加工において、最初に形成された陽極層で第2の反射層23の表面を保護できる。また、最初に形成される陽極層の材料として多結晶のITOを用い、その後に形成される陽極層の材料として非晶質のITOを用いるようにしてもよい。非晶質のITOを用いる場合、パターン加工の際はエッチング液として弱酸溶液を用いるので、後に陽極層を形成する際のエッチング液により最初に形成された多結晶のITOからなる陽極層が損傷を受けることを抑制できる。
形成される陽極24a,24b,24cのそれぞれの層厚は、絶縁層26の層厚とともに、第1の反射層22と陰極32との間、および第2の反射層23と陰極32との間に形成される光共振器の光学的距離LR,LG,LBが最適化されるように適宜設定される。
画素2R,2Gにおける光学的距離LR,LGは画素2Bにおける光学的距離LBよりも長くなるが、画素2R,2Gにおいては絶縁層26を含めて光学的距離LR,LGが調整される。これにより、陽極24a,24b,24cの層厚のみで調整する場合に比べて、陽極24a,24bの層厚を薄くできるので、より容易に光共振器の光学的距離LR,LG,LBを調整することができる。
なお、2層の陽極層と絶縁層26との組み合わせで光学的距離LR,LG,LBを最適化することが可能な場合は、2層の陽極層を形成して陽極24a,24b,24cを構成してもよい。この場合、例えば、陽極24bと陽極24cとを同じ1層の陽極層で構成してもよい。このようにすれば、陽極層を形成する工程を減らすことができる。
第2の実施形態に係る有機EL装置200では、第1の実施形態に係る有機EL装置100と同様に、画素2BにおけるB光の光反射率の低下を抑えることができる。また、有機EL装置200では、第1の反射層22と陰極32との間、および第2の反射層23と陰極32との間に光共振器が形成されているので、画素2R,2G,2Bから射出される光の輝度を高めることができるとともに、幅が狭いスペクトルを有する光を取り出すことができる。これにより、第1の実施形態に係る有機EL装置100よりもさらに優れた表示品質を有する有機EL装置200を提供できる。
(第3の実施形態)
<有機EL装置>
次に、第3の実施形態に係る有機EL装置の構成について図を参照して説明する。図9は、第3の実施形態に係る有機EL装置の概略構成を示す断面図である。なお、図9は図2のA−A’線に沿った断面に対応している。
第3の実施形態に係る有機EL装置300は、第1の実施形態に係る有機EL装置100に対して、有機EL素子からR、G、Bのいずれかの発光が得られる点、およびカラーフィルターを備えていない点が異なっているが、その他の構成はほぼ同じである。第1の実施形態と共通する構成要素については、同一の符号を付しその説明を省略する。
第3の実施形態に係る有機EL装置300は、図9に示すように、基体20上に、第1の反射層22と、絶縁層26と、第2の反射層23と、陽極24と、隔壁28と、有機機能層30と、陰極32と、封止部40とを備えている。
有機機能層30は、各画素2毎に隔壁28の開口部28a内に配置されている。画素2RにはRの発光が得られる有機機能層30Rが配置され、画素2GにはGの発光が得られる有機機能層30Gが配置され、画素2BにはBの発光が得られる有機機能層30Bが配置されている。有機機能層30R,30G,30Bは、それぞれ異なる層厚を有していてもよい。
陽極24と、有機機能層30R,30G,30Bと、陰極32とにより、画素2RにはRに発光する有機EL素子8Rが構成され、画素2GにはGに発光する有機EL素子8Gが構成され、画素2BにはBに発光する有機EL素子8Bが構成される。封止基板42には、カラーフィルターは設けられていない。
<有機EL装置の製造方法>
第3の実施形態に係る有機EL装置の製造方法は、第1の実施形態に係る有機EL装置の製造方法に対して、有機機能層形成工程S70において有機機能層30R,30G,30Bをそれぞれ個別に形成する点、およびカラーフィルター形成工程S90を備えていない点が異なっているが、その他の方法はほぼ同じである。
図示を省略するが、本実施形態の有機機能層形成工程S70では、画素2R,2G,2Bのそれぞれに対応して有機機能層30R,30G,30Bを個別に形成する。例えば、画素2R,2G,2Bのそれぞれに対応した開口部を有する3つの蒸着マスクを用いて、有機機能層30Rの成膜と、有機機能層30Gの成膜と、有機機能層30Bの成膜とを個別に行う。インクジェット法により、有機機能層30R,30G,30Bを形成してもよい。これにより、有機機能層30R,30G,30Bが形成され、有機EL素子8R,8G,8Bが形成される。
第3の実施形態に係る有機EL装置300では、第1の実施形態に係る有機EL装置100と同様に、画素2BにおけるB光の光反射率の低下を抑えることができる。したがって、第1の実施形態に係る有機EL装置100と同様に、優れた表示品質を有する有機EL装置300を提供できる。
<電子機器>
上述した有機EL装置100,200,300は、例えば、図10に示すように、電子機器としての携帯電話機500に搭載して用いることができる。携帯電話機500は、表示部502に有機EL装置100,200,300を備えている。この構成により、表示部502を有する携帯電話機500は、画素間でより均一な明るさが得られる。
また、電子機器は、電子ブック、パーソナルコンピューター、デジタルスチルカメラ、ビューファインダー型あるいはモニター直視型のビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置の車載モニター等であってもよい。
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。変形例としては、例えば以下のようなものが考えられる。
(変形例1)
上記実施形態の有機EL装置では、第1の反射層の層厚と第2の反射層の層厚とが同じ構成を有していたが、上記の形態に限定されない。有機EL装置は、第1の反射層の層厚と第2の反射層の層厚とが異なる構成であってもよい。
例えば、有機EL装置100,200,300において、第2の反射層23の層厚を第1の反射層22の層厚に対して相対的に厚くすることで、第2の反射層23の光反射率Rを第1の反射層22の光反射率Rよりも向上させることができる。これにより、画素2BにおけるB光の光反射率Rの低下をより抑えることができるので、画素2R,2G,2B間でより均一な明るさを得ることができる。
また、第1の反射層22の層厚を第2の反射層23の層厚に対して相対的に薄くすることで、基体20と第1の反射層22とを覆って形成される絶縁層26の被覆性を向上させることも可能である。
(変形例2)
上記実施形態の有機EL装置は、画素2からR、G、Bの3色の光を射出する構成であったが、上記の形態に限定されない。有機EL装置は、画素2から、R、G、Bの3色のうちの2色、あるいはR、G、Bの他に、例えば白色やシアン等他の色の光を射出する構成であってもよい。このような構成であってもB光や、B光と同様に他の波長の光よりも光反射率が低下する度合いが大きい波長の光を射出する画素2に対応して絶縁層26上に第2の反射層23を配置することで、この波長の光を射出する画素2における明るさが向上し、異なる波長の光を射出する画素2間で明るさがより均一な有機EL装置を提供できる。
(変形例3)
上記実施形態の有機EL装置では、画素2は、略矩形の平面形状を有しており、マトリクス状に配列されていたが、上記の形態に限定されない。画素2は、円形や楕円形等の他の平面形状を有していてもよい。また、画素2は、千鳥格子状等に配列されていてもよい。
2…画素、20…基体、22…第1の反射層、23…第2の反射層、24…第1の電極としての陽極、26…絶縁層、30…有機機能層、32…第2の電極としての陰極、38R,38G,38B…カラーフィルター、100,200,300…有機EL装置、500…電子機器としての携帯電話機。

Claims (12)

  1. 基体と、
    前記基体上に配列された、少なくとも2つの異なる波長の光のいずれかを射出する画素と、
    前記基体上に設けられた、光反射性を有する反射層と、
    少なくとも前記反射層に平面的に重なるように設けられた、光透過性を有する絶縁層と、
    前記反射層上に設けられた、光透過性を有する第1の電極と、
    前記第1の電極上に設けられた、少なくとも発光層を含む有機機能層と、
    前記有機機能層上に設けられた、光透過性を有する第2の電極と、を備え、
    前記反射層として、前記絶縁層の前記基体側に位置する第1の反射層と、前記絶縁層の前記第1の電極側に位置する第2の反射層と、を有し、
    前記画素には、射出する前記光の波長に応じて、前記第1の反射層または前記第2の反射層のいずれか一方が配置されていることを特徴とする有機EL装置。
  2. 請求項1に記載の有機EL装置であって、
    前記第1の反射層の層厚と前記第2の反射層の層厚とが異なることを特徴とする有機EL装置。
  3. 請求項1または2に記載の有機EL装置であって、
    前記第1の反射層および前記第2の反射層は、銀または銀を含む合金からなることを特徴とする有機EL装置。
  4. 請求項1から3のいずれか一項に記載の有機EL装置であって、
    前記少なくとも2つの異なる波長は、赤色光に対応する波長と、緑色光に対応する波長と、青色光に対応する波長と、を含み、
    前記第1の反射層は、前記赤色光を射出する前記画素および前記緑色光を射出する前記画素に配置され、
    前記第2の反射層は、前記青色光を射出する前記画素に配置されていることを特徴とする有機EL装置。
  5. 請求項4に記載の有機EL装置であって、
    前記画素の前記光を射出する側に配置された、前記赤色光に対応するカラーフィルターと、前記緑色光に対応するカラーフィルターと、前記青色光に対応するカラーフィルターと、をさらに備えたことを特徴とする有機EL装置。
  6. 請求項1から5のいずれか一項に記載の有機EL装置であって、
    前記第2の電極は、光反射性をさらに有し、
    前記第1の反射層と前記第2の電極との間、および前記第2の反射層と前記第2の電極との間に、前記有機機能層からの光を共振させる光共振器が形成されていることを特徴とする有機EL装置。
  7. 請求項1から6のいずれか一項に記載の有機EL装置を備えたことを特徴とする電子機器。
  8. 基体上に配列された少なくとも2つの異なる波長の光を射出する画素を備えた有機EL装置の製造方法であって、
    一部の前記画素に対応して、前記基体上に光反射性を有する第1の反射層を形成する第1の反射層形成工程と、
    前記基体と前記第1の反射層とを覆うように、光透過性を有する絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、
    前記一部の前記画素以外の前記画素に対応して、前記絶縁層上に光反射性を有する第2の反射層を形成する第2の反射層形成工程と、
    前記第1の反射層上および前記第2の反射層上に、光透過性を有する第1の電極を形成する第1の電極形成工程と、
    前記第1の電極上に少なくとも発光層を含む有機機能層を形成する有機機能層形成工程と、
    前記有機機能層上に光透過性を有する第2の電極を形成する第2の電極形成工程と、を備えたことを特徴とする有機EL装置の製造方法。
  9. 請求項8に記載の有機EL装置の製造方法であって、
    前記第1の反射層形成工程および前記第2の反射層形成工程では、前記第1の反射層の層厚と前記第2の反射層の層厚とを異ならせて形成することを特徴とする有機EL装置の製造方法。
  10. 請求項8または9に記載の有機EL装置の製造方法であって、
    前記第1の反射層形成工程および前記第2の反射層形成工程では、前記第1の反射層および前記第2の反射層を銀または銀を含む合金で形成することを特徴とする有機EL装置の製造方法。
  11. 請求項8から10のいずれか一項に記載の有機EL装置の製造方法であって、
    前記少なくとも2つの異なる波長は、赤色光に対応する波長と、緑色光に対応する波長と、青色光に対応する波長と、を含み、
    前記第1の反射層形成工程では、前記赤色光を射出する前記画素および前記緑色光を射出する前記画素に対応して前記第1の反射層を形成し、
    前記第2の反射層形成工程では、前記青色光を射出する前記画素に対応して前記第2の反射層を形成することを特徴とする有機EL装置の製造方法。
  12. 請求項11に記載の有機EL装置の製造方法であって、
    前記第2の電極形成工程の後に、前記画素の前記光を射出する側に、前記赤色光に対応するカラーフィルターと、前記緑色光に対応するカラーフィルターと、前記青色光に対応するカラーフィルターと、を形成する工程をさらに含むことを特徴とする有機EL装置の製造方法。
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