JP2013161520A - 有機el装置の製造方法、有機el装置、及び電子機器 - Google Patents
有機el装置の製造方法、有機el装置、及び電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013161520A JP2013161520A JP2012019593A JP2012019593A JP2013161520A JP 2013161520 A JP2013161520 A JP 2013161520A JP 2012019593 A JP2012019593 A JP 2012019593A JP 2012019593 A JP2012019593 A JP 2012019593A JP 2013161520 A JP2013161520 A JP 2013161520A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflective film
- organic
- light emitting
- insulating layer
- pixel electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
【課題】表示品質を向上させることが可能な有機EL装置の製造方法、有機EL装置、及び電子機器を提供する。
【解決手段】第1色の光を共振させる第1画素と、第2色の光を共振させる第2画素と、第3色の光を共振させる第3画素と、を備える有機EL装置11の製造方法であって、第1反射膜41Rの表面と第2反射膜41Gの表面と第3反射膜41Bの表面との断面位置が異なるように反射膜41を形成する工程と、これら反射膜41上に絶縁層を形成する工程と、絶縁層の上面を平坦化する工程と、平坦化絶縁層42上に第1画素電極24R、第2画素電極24G、第3画素電極24Bを形成する工程と、を有する。
【選択図】図3
【解決手段】第1色の光を共振させる第1画素と、第2色の光を共振させる第2画素と、第3色の光を共振させる第3画素と、を備える有機EL装置11の製造方法であって、第1反射膜41Rの表面と第2反射膜41Gの表面と第3反射膜41Bの表面との断面位置が異なるように反射膜41を形成する工程と、これら反射膜41上に絶縁層を形成する工程と、絶縁層の上面を平坦化する工程と、平坦化絶縁層42上に第1画素電極24R、第2画素電極24G、第3画素電極24Bを形成する工程と、を有する。
【選択図】図3
Description
本発明は、共振構造を有する有機EL装置の製造方法、有機EL装置、及び電子機器に関する。
上記有機EL(エレクトロルミネッセンス)装置は、陽極(画素電極)と陰極(対向電極)との間に発光材料からなる発光層が挟持された構造を有している。また、例えば、特許文献1に記載のように、陽極における発光層とは反対側に反射膜を設け、発光層において発光した光を反射膜と陰極との間で往復させ、ピーク強度が高く幅が狭いスペクトルを有する光を取り出す構造が知られている。このような、光共振構造を設けることにより、発光の色再現性を向上させることができる。
有機EL装置の製造方法としては、例えば、反射膜上に陽極を形成し、その上に各色に応じて光路長を変えるために透明導電膜を積層する。そして、その上に発光層、陰極を順次形成する。これにより、各色ごとに最適な光路長となるように構成することが可能となり、色再現性を向上させることができる。
しかしながら、発光領域において透明導電膜などの積層膜に起因して画素領域の周囲などに段差が生じる場合、陰極と反射膜との間の光路長が変わる。これにより、最適な光路長(共振)の値がずれてしまい、段差部において異なる色が発光するという課題がある。
本発明の態様は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
[適用例1]本適用例に係る有機EL装置の製造方法は、第1反射膜、第1画素電極、第1発光層、及び対向電極とを有し、前記第1反射膜と前記対向電極との間で第1色の光を共振させる第1画素と、第2反射膜、第2画素電極、第2発光層、及び前記対向電極とを有し、前記第2反射膜と前記対向電極との間で第2色の光を共振させる第2画素と、を備える有機EL装置の製造方法であって、前記第1反射膜の表面と前記第2反射膜の表面との断面位置が異なるように前記第1反射膜及び前記第2反射膜を形成する反射膜形成工程と、前記第1反射膜及び前記第2反射膜上に絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、前記絶縁層の上面を平坦化する平坦化工程と、前記絶縁層上に前記第1画素電極及び前記第2画素電極を形成する画素電極形成工程と、を有することを特徴とする。
本適用例によれば、第1反射膜の表面位置と第2反射膜の表面位置とを断面的に異なるように形成し、その上に絶縁層を形成し、そのあと絶縁層の上面を平坦化するので、絶縁層上に第1画素電極及び第2画素電極を形成した際に、第1画素電極の表面と第2画素電極の表面との高さを等しくすることができる。つまり、各色の波長を共振させる共振構造において、画素電極の表面の高さを等しくすることができる。よって、画素電極の周辺部に発生する段差を緩和することが可能となり、所望の光路長を得ることができる。その結果、表示品質を向上させることができる。
[適用例2]上記適用例に係る有機EL装置の製造方法において、前記平坦化工程は、前記絶縁層の上面を研磨することによって平坦化することが好ましい。
本適用例によれば、研磨によって絶縁層の上面を平坦化するので、絶縁層の膜厚が比較的厚い場合でも、容易に短時間で所定の厚みに形成することができる。
[適用例3]上記適用例に係る有機EL装置の製造方法において、前記絶縁層は、有機樹脂であることが好ましい。
本適用例によれば、有機樹脂によって絶縁層を構成しているので、無機材料で絶縁層を構成する場合と比較して、容易に平坦化させやすくすることができる。
[適用例4]上記適用例に係る有機EL装置の製造方法において、前記反射膜形成工程は、前記第1反射膜の厚みを前記第2反射膜とは異なる厚みで形成することが好ましい。
本適用例によれば、反射膜の厚みを異ならせ、第1反射膜と第2反射膜との表面の断面位置を異ならせているので、反射膜の周囲にある絶縁層の上面を平坦化することにより、絶縁層上に形成する画素電極上に段差ができることを抑えることが可能となり、陰極と反射膜との間で各色の波長に応じた共振構造を得ることができる。
[適用例5]上記適用例に係る有機EL装置の製造方法において、前記反射膜形成工程及び前記絶縁層形成工程は、前記第1反射膜及び前記第2反射膜の表面の断面位置が異なるようにするべく、前記第1反射膜を形成する工程と、第1絶縁層を形成する工程と、前記第2反射膜を形成する工程と、第2絶縁層を形成する工程と、を有することが好ましい。
本適用例によれば、各発光領域に形成した反射膜と絶縁層とを繰り返しに形成することにより、各色ごとに陰極と反射膜との距離を変えることが可能となり、各色ごと所定の共振構造を得ることができる。
[適用例6]本適用例に係る有機EL装置は、第1反射膜、第1画素電極、第1発光層、及び対向電極とを有し、前記第1反射膜と前記対向電極との間で第1色の光を共振させる第1画素と、第2反射膜、第2画素電極、第2発光層、及び前記対向電極とを有し、前記第2反射膜と前記対向電極との間で第2色の光を共振させる第2画素と、を備える有機EL装置であって、前記第1反射膜の表面は、前記第2反射膜の表面の断面位置とは異なるように配置されており、前記第1画素電極と前記第1反射膜との間、及び前記第2画素電極と前記第2反射膜との間に介在する、表面が平坦化された平坦化絶縁層を備えることを特徴とする。
本適用例によれば、第1反射膜の表面位置と第2反射膜の表面位置とが断面的に異なって配置され、更に、第1反射膜及び第2反射膜が平坦化絶縁層で覆われているので、平坦化絶縁層上に第1画素電極及び第2画素電極を配置した際に、第1画素電極の表面と第2画素電極の表面との高さを等しくすることができる。つまり、各色の波長を共振させる共振構造において、画素電極の表面の高さを等しくすることができる。よって、画素電極の周辺部に発生する段差を緩和することが可能となり、所望の光路長を得ることができる。その結果、表示品質を向上させることができる。
[適用例7]本適用例に係る電子機器は、上記に記載の有機EL装置を備えることを特徴とする。
本適用例によれば、各色を最適な色で表示させることができ、表示品位を向上させることが可能な電子機器を提供することができる。
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大または縮小して表示している。
なお、以下の形態において、例えば「基板上に」と記載された場合、基板の上に接するように配置される場合、または基板の上に他の構成物を介して配置される場合、または基板の上に一部が接するように配置され、一部が他の構成物を介して配置される場合を表すものとする。
(第1実施形態)
<有機EL装置の構成>
図1は、有機EL装置の電気的な構成を示す等価回路図である。以下、有機EL装置の構成を、図1を参照しながら説明する。なお、本実施形態の有機EL装置は、トップエミッション構造で説明する。
<有機EL装置の構成>
図1は、有機EL装置の電気的な構成を示す等価回路図である。以下、有機EL装置の構成を、図1を参照しながら説明する。なお、本実施形態の有機EL装置は、トップエミッション構造で説明する。
図1に示すように、有機EL装置11は、複数の走査線12と、走査線12に対して交差する方向に延びる複数のデータ線13と、データ線13に並行に延びる複数の電源線14とが、それぞれ格子状に配線されている。そして、走査線12とデータ線13とにより区画された領域が画素領域として構成されている。データ線13は、データ線駆動回路15に接続されている。また、走査線12は、走査線駆動回路16に接続されている。
各画素領域には、走査線12を介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング用TFT(Thin Film Transistor)21と、このスイッチング用TFT21を介してデータ線13から供給される画素信号を保持する保持容量22と、保持容量22によって保持された画素信号がゲート電極に供給される駆動用TFT23(以下、「TFT素子23」と称する。)とが設けられている。更に、各画素領域には、TFT素子23を介して電源線14に電気的に接続したときに、電源線14から駆動電流が流れ込む画素電極24と、対向電極25と、この画素電極24と対向電極25との間に挟持された発光機能層26(第1発光層、第2発光層を含む)とが設けられている。
有機EL装置11は、画素電極24と対向電極25と発光機能層26とにより構成される発光素子27(画素)を複数備えている。また、有機EL装置11は、複数の発光素子27で構成される表示領域を備えている。
この構成によれば、走査線12が駆動されてスイッチング用TFT21がオン状態になると、そのときのデータ線13の電位が保持容量22に保持され、保持容量22の状態に応じて、TFT素子23のオン・オフ状態が決まる。そして、TFT素子23のチャネルを介して、電源線14から画素電極24に電流が流れ、更に、発光機能層26を介して対向電極25に電流が流れる。発光機能層26は、ここを流れる電流量に応じた輝度で発光する。
図2は、有機EL装置の構成を示す模式平面図である。以下、有機EL装置の構成を、図2を参照しながら説明する。
図2に示すように、有機EL装置11は、ガラス等からなる基板としての第1基材31に表示領域32(図中一点鎖線の内側の領域)と非表示領域33(一点鎖線の外側の領域)とを有する構成になっている。表示領域32には、実表示領域32a(二点鎖線の内側の領域)とダミー領域32b(図中二点鎖線の外側の領域)とが設けられている。
実表示領域32a内には、光が出射されるサブ画素34(発光領域)がマトリックス状に配列されている。この、サブ画素34の各々は、スイッチング用TFT21及びTFT素子23(図1参照)の動作に伴って、R(赤:第1色)、G(緑:第2色)、B(青)各色を発光する構成となっている。
ダミー領域32bには、主として各サブ画素34を発光させるための回路が設けられている。例えば、実表示領域32aの図中左辺及び右辺に沿うように走査線駆動回路16が配置されており、実表示領域32aの図中上辺に沿うように検査回路35が配置されている。
第1基材31の下辺には、フレキシブル基板36が設けられている。フレキシブル基板36には、各配線と接続された駆動用IC37が備えられている。
図3は、有機EL装置の構造を示す模式断面図である。以下、有機EL装置の構造を、図3を参照しながら説明する。なお、構成をわかりやすく示すため、各構成要素の層厚や寸法の比率、角度等は適宜異ならせてある。
図3に示すように、有機EL装置11は、複数の発光素子27(27R,27G,27B)(第1画素、第2画素を含む)が第1基材31の面上に配列された構成となっている。なお、第1基材31上に設けられた配線や回路、それらが形成されている層などの図示は省略する。各発光素子27(27R,27G,27B)は、複数の色彩(赤色、緑色、青色)のいずれかに対応した波長の光を発生する要素である。本実施形態では、発光素子27Rは赤色光を出射し、発光素子27Gは緑色光を出射し、発光素子27Bは青色光を出射するような構造でもよいし、各発光素子27が白色光を出射するような構造でもよい。
本実施形態の有機EL装置11は、上記したように、各発光素子27にて発生した光が第1基材31とは反対側に向かって進行するトップエミッション構造である。従って、ガラスなどの光透過性を有する板材の他、セラミックスや金属のシートなど不透明な板材を第1基材31として採用することができる。
図3に示すように、第1基材31上には、高さの異なる反射膜41(41R,41G,41B)が各発光素子27(27R,27G,27B)に対応して配置されている。そして、これらの反射膜41(41R,41G,41B)を覆うように、上面が平坦化された平坦化絶縁層42が設けられている。反射膜41は、光反射性を有する材料によって形成される。材料としては、例えば、アルミニウムや銀、又はアルミニウムや銀を主成分とする合金などが挙げられる。
平坦化絶縁層42としては、誘電体であり、例えば、酸化珪素、酸窒化珪素などの無機絶縁膜によって形成される。平坦化絶縁層42の上面は、例えば、研磨によって平坦化されている。このような構造において、反射膜41R,41G,41Bの厚みを変えることにより、反射膜41の上面(表面)の位置(断面位置)を各色ごとに相違させることができる。つまり、各発光領域101,102,103で要求される発光波長に最適な共振を生じるように光路長が最適化された、光共振構造が採用されている。
平坦化絶縁層42上には、発光素子27R,27G,27Bが設けられている。発光素子27の各々は、画素電極24と、発光機能層26と、対向電極25とを有する。画素電極24は、例えば、ITO(indium tin oxide)、またはZnO2のような透明酸化物導電材料から形成される。本実施形態では、画素電極24はITOで形成される。
発光機能層26は、画素電極24を覆うようにして形成される。詳述すると、発光機能層26は、複数の発光素子27に亘って連続して形成されている。発光機能層26の特性は、複数の発光素子27について共通である。なお、発光機能層26は、例えば、正孔注入層と、正孔輸送層と、発光層(第1発光層、第2発光層)と、電子輸送層と、電子注入層とを含むものとする。
発光層は、エレクトロルミネッセンス現象を発現する有機発光物質の層である。画素電極24と対向電極25との間に電圧を印加することによって、発光機能層26(発光層)には、正孔輸送層から正孔が、また、電子輸送層から電子が注入され、発光層においてこれらが再結合したときに発光が行われる。本実施形態では、例えば、白色光を発する。
対向電極25は、発光機能層26を覆うように形成される。言い換えれば、対向電極25は、複数の発光素子27に亘って連続して形成されている。対向電極25は、その表面に達した光の一部を透過するとともに他の一部を反射する性質(すなわち半透過反射性)を持った半透過反射層として機能する。
また、対向電極25は、マグネシウム(Mg)や銀(Ag)、又はこれらを主成分とするマグネシウム銀合金(MgAg)で形成される。本実施形態においては、マグネシウム及び銀を発光機能層26上に共蒸着させて対向電極25を形成する。
本実施形態における有機EL装置11では、反射膜41と対向電極25との間で発光機能層26が発する光を共振させる共振器構造が形成される。すなわち、発光機能層26が発する光は反射膜41と対向電極25との間で往復し、共振によって特定の波長の光が強められて対向電極25を透過して観察側(図3における上方)に進行する(トップエミッション方式)。
発光素子27Rでは発光機能層26で発した白色光のうち赤色が強められ、発光素子27Gでは緑色が強められ、発光素子27Bでは青色が強められるように、各発光領域における反射膜41(41R,41G,41B)の膜厚が調整される。
対向電極25上には、無機材料からなるパッシベーション層(図示せず)が形成される。パッシベーション層は、発光素子27に対する水や外気の浸入を防ぐための保護膜である。また、パッシベーション層は、窒化珪素や酸窒化珪素などのガス透過率が低い無機材料から形成される。
複数の発光素子27が形成された素子基板51(図6参照)上には、カラーフィルター基板61が対向配置される。カラーフィルター基板61は、ガラスなどの光透過性を有する材料で形成される。カラーフィルター基板61のうち第1基材31との対向面には、カラーフィルター62(62R,62G,62B)及び遮光膜63が形成される。
遮光膜63は、各発光素子27に対応して開口64が形成された遮光性の膜体である。開口64内には、カラーフィルター62(62R,62G,62B)が形成される。
発光素子27Rに対応する開口64内には、赤色光を選択的に透過させる赤色用カラーフィルター62Rが形成されている。発光素子27Gに対応する開口64内には、緑色光を選択的に透過させる緑色用カラーフィルター62Gが形成されている。発光素子27Bに対応する開口64内には、青色光を選択的に透過させる青色用カラーフィルター62Bが形成されている。
カラーフィルター62及び遮光膜63が形成されたカラーフィルター基板61は、封止層65を介して第1基材31と貼り合わされる。封止層65は、透明の樹脂材料、例えば、エポキシ樹脂などの硬化性樹脂から形成される。
<有機EL装置の製造方法>
図4〜図6は、有機EL装置の製造方法を工程順に示す模式断面図である。以下、有機EL装置の製造方法を、図4〜図6を参照しながら説明する。
図4〜図6は、有機EL装置の製造方法を工程順に示す模式断面図である。以下、有機EL装置の製造方法を、図4〜図6を参照しながら説明する。
図4(a)に示す工程(反射膜形成工程)では、アレイ基板52上に反射膜41R,41G,41Bを形成する。具体的には、例えば、蒸着法によってアレイ基板52上にアルミニウムを全面成膜する。次に、フォトグラフィ技術及びエッチング技術を用いて、この膜をパターニングして、第1発光領域101に第1反射膜41R、第2発光領域102に第2反射膜41G、第3発光領域103に第3反射膜41Bを形成する。
第1発光領域101は、赤色(R)を透過させる領域であり、第1反射膜41Rの膜厚が他と比較して一番薄い。第2発光領域102は、緑色(G)を透過させる領域であり、第2反射膜41Gの膜厚が2番目に厚い。第3発光領域103は、青色(B)を透過させる領域であり、第3反射膜41Bの膜厚が一番厚い。これら反射膜41の厚みは、各色の発光波長に最適な光路長となるように設定されている。
各反射膜41の製造方法の一つとして、最初は厚い反射膜前駆体膜を形成する。次に、ドライエッチング法を用いて、正規の厚みになるように形成する。なお、エッチング処理を行うことによって、反射膜41の上面の反射性が低下する恐れがある。
また、他の製造方法の一つとして、各反射膜41の高さに膜を積層させる方法がある。なお、積層させる場合、フォトマスクのずれに起因して材料を真上に積層させることが難しい。よって、反射膜41の下側から上側にいくに従って面積が小さくなるように積層することが好ましい。最上層の面積が正規の面積になるように形成することにより、上に積層した膜が端部で垂れ下がるような不具合を防ぐことができる。その後、例えば、反射膜41の全体が同じ面積になるように側壁をエッチングする。
このように形成することにより、反射膜41の上面をエッチングして形成する方法と比較して、反射膜41の反射性を維持することができる。なお、反射膜41の端部に段差が生じるようであれば、平面的に画素電極24の領域より反射膜41の領域を大きく形成することにより、光路長に影響を与えることを防ぐことができる。
図4(b)に示す工程(絶縁層形成工程)では、これら反射膜41の全体を覆うように、絶縁層42aを成膜する。具体的には、例えば、絶縁層42aとして無機絶縁膜を用いたものが設けられている。また、第1反射膜41Rから第3反射膜41Bの厚みが異なっているので、絶縁層42aの上面が凸凹になっている。
図4(c)に示す工程(平坦化工程)では、絶縁層42aの上面の凸凹を平坦化処理して平坦化絶縁層42を形成する。具体的には、CMP(Chemical Mechanical Polishing)などの研磨法を利用して絶縁層42aの上面を平坦化する。これにより、反射膜41の厚みの差に起因する絶縁層42a上の凸凹を平坦にすることができる。
図5(a)に示す工程(画素電極形成工程)では、平坦化された平坦化絶縁層42上に画素電極24を形成する。具体的には、例えば、蒸着法によって平坦化絶縁層42上に、例えばインジウム・スズ酸化物(ITO)を全面成膜する。次に、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術により、この膜をパターンニングし、画素電極24を形成する。
次に、図5(b)に示す工程では、画素電極24を含む平坦化絶縁層42上に発光機能層26を成膜する。まず、画素電極24を含む平坦化絶縁層42上に発光機能層26を構成する正孔輸送層(正孔注入層を含む)を形成する。具体的には、例えば、α−NPD等の材料を周知の蒸着法に基づいて蒸着することにより形成する。次に、正孔輸送層の上面に発光層及び電子輸送層(電子注入層を含む)を形成する。具体的には、周知の蒸着法に基づいて蒸着することにより形成する。
図5(c)に示す工程では、発光機能層26(電子輸送層)上に対向電極25を形成する。具体的には、発光機能層26上に、マグネシウム(Mg)や銀(Ag)、又はこれらを主成分とするマグネシウム銀合金(MgAg)を、例えば、共蒸着させて対向電極25を形成する。
図6に示す工程では、有機EL装置11を完成させる。まず、対向電極25上に、酸素や水分の影響による発光素子27の劣化を防止するためのパッシベーション層(図示せず)を形成する。具体的には、例えば、酸窒化珪素等の材料を周知の蒸着法に基づいて蒸着することにより形成する。
次に、パッシベーション層上の全体に亘って封止層65を形成する。封止層65は、例えば、エポキシ樹脂などの硬化性樹脂であり、CVD法で成膜する。封止層65は、水分の侵入を防ぎ、発光素子27を劣化させないよう、積層構造とすることが好ましい。
次に、カラーフィルター基板61側を形成する。まず、公知の成膜技術を用いて、カラーフィルター62及び遮光膜63を形成する。これにより、各発光素子27(27R,27G,27B)に対応して各カラーフィルター62(62R,62G,62B)が形成される。
次に、素子基板51側とカラーフィルター基板61側とを貼り合わせて、有機EL装置11を完成させる。具体的には、大気を遮断した窒素雰囲気内において、封止層65を介して貼り合わせる。以上により、有機EL装置11が完成する。
<電子機器の構成>
図7は、上記した有機EL装置を備えた電子機器の一例としてスマートフォンを示す模式図である。以下、有機EL装置を備えたスマートフォンの構成を、図7を参照しながら説明する。
図7は、上記した有機EL装置を備えた電子機器の一例としてスマートフォンを示す模式図である。以下、有機EL装置を備えたスマートフォンの構成を、図7を参照しながら説明する。
図7に示すように、スマートフォン71は、表示部72及びアイコン73を有している。表示部72は、内部に組み込まれた有機EL装置11によって、高品位な表示を行うことができる。なお、上記した有機EL装置11は、上記スマートフォン71の他、携帯電話機、ヘッドマウントディスプレイ、小型プロジェクター、モバイルコンピューター、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、車載機器、オーディオ機器、露光装置や照明機器など各種電子機器に用いることができる。
以上詳述したように、第1実施形態の有機EL装置11、及び電子機器によれば、以下に示す効果が得られる。
(1)第1実施形態の有機EL装置11の製造方法によれば、第1反射膜41Rの表面位置と、第2反射膜41Gの表面位置と、第3反射膜41Bの表面位置とを断面的に異なるように形成し(膜厚を変えて形成)、その上に平坦化絶縁層42を形成し、そのあと平坦化絶縁層42の上面をCMP法を用いて平坦化するので、平坦化絶縁層42の上に第1画素電極24R、第2画素電極24G、及び第3画素電極24Bを形成した際に、第1画素電極24Rの表面と、第2画素電極24Gの表面と、第3画素電極24Bの表面との高さを等しくすることができる。つまり、各色の波長を共振させる共振構造において、画素電極24R,24G,24Bの表面の高さを等しくすることができる。よって、画素電極24R,24G,24Bの周辺部に発生する段差を緩和することが可能となり、所望の光路長を得ることができる。その結果、表示品質を向上させることができる。
(2)第1実施形態の有機EL装置11によれば、平坦化絶縁層42上に第1画素電極24R、第2画素電極24G、及び第3画素電極24Bを設けるので、第1画素電極24Rの表面と第2画素電極24Gの表面と、第3画素電極24Bの表面との高さを等しくすることができる。つまり、各色の波長を共振させる共振構造においても、画素電極24R,24G,24Bの表面の高さを等しくすることができる。よって、画素電極24R,24G,24Bの周辺部に発生する段差を緩和することが可能となり、所望の光路長を得ることができる。その結果、表示品質を向上させることができる。
(3)第1実施形態の電子機器によれば、各色を最適な色で表示させることができ、表示品位を向上させることが可能な電子機器を提供することができる。
(第2実施形態)
<有機EL装置の構成>
図8は、第2実施形態の有機EL装置の構成を示す模式断面図である。以下、有機EL装置の構成について、図8を参照しながら説明する。
<有機EL装置の構成>
図8は、第2実施形態の有機EL装置の構成を示す模式断面図である。以下、有機EL装置の構成について、図8を参照しながら説明する。
第2実施形態の有機EL装置111は、上述の第1実施形態の有機EL装置11と比べて、平坦化絶縁層142中に配置された反射膜141(141R,141G,141B)の構造が異なっており、その他の構成については概ね同様である。このため第2実施形態では、第1実施形態と異なる部分について詳細に説明し、その他の重複する部分については適宜説明を省略する。
図8に示すように、第2実施形態に係る有機EL装置111は、第1実施形態で説明したように、TFTなどを含むアレイ基板52上に、反射膜141を有する平坦化絶縁層142が配置されている。
平坦化絶縁層142には、アレイ基板52側から順に第1反射膜141R、第2反射膜141G、第3反射膜141Bが、第1発光領域101〜第3発光領域103に亘って、対向電極25と所定の間隔をあけて配置されている。具体的には、第1反射膜141R、第2反射膜141G、及び第3反射膜141Bの厚みは略同じである。
平坦化絶縁層142の第1発光領域101において、第1反射膜141Rは、対向電極25と第1距離H1をおいて配置されている。平坦化絶縁層142の第2発光領域102において、第2反射膜141Gは、対向電極25と第2距離H2をおいて配置されている。平坦化絶縁層142の第3発光領域103において、第3反射膜141Bは、対向電極25と第3距離H3をおいて配置されている。
平坦化絶縁層142上には、第1実施形態と同様に、発光素子27R,27G,27Bが設けられている。発光素子27の各々は、画素電極24と、発光機能層26と、対向電極25とを有する。
対向電極25上には、無機材料からなるパッシベーション層が形成される。素子基板51上には、カラーフィルター62及び遮光膜63が形成されたカラーフィルター基板61が対向配置される。
<有機EL装置の製造方法>
図9及び図10は、第2実施形態の有機EL装置の製造方法を工程順に示す模式断面図である。以下、第2実施形態の有機EL装置の製造方法を、図9及び図10を参照しながら説明する。
図9及び図10は、第2実施形態の有機EL装置の製造方法を工程順に示す模式断面図である。以下、第2実施形態の有機EL装置の製造方法を、図9及び図10を参照しながら説明する。
図9(a)に示す工程では、アレイ基板52上の第1発光領域101に第1反射膜141Rを形成する。具体的には、例えば、蒸着法によってアレイ基板52上にアルミニウムを成膜する。次に、フォトグラフィ技術及びエッチング技術を用いて、この膜をパターニングして、第1発光領域101に第1反射膜141Rを形成する。
次に、第1反射膜141Rを含むアレイ基板52上の全面に第1絶縁層142aを成膜する。具体的には、例えば、第1絶縁層142aとして有機樹脂を用いたものが設けられている。なお、第1反射膜141Rを形成したので、第1絶縁層142aにおける第1反射膜141Rの上方の上面が盛り上がっている。
図9(b)に示す工程では、第1絶縁層142a上に第2反射膜141G及び第2絶縁層142bを形成する。具体的には、まず、蒸着法によって第1絶縁層142a上における第2発光領域102にアルミニウムを成膜する。次に、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を用いて、この膜をパターニングして、第2発光領域102に第2反射膜141Gを形成する。その後、第2反射膜141Gを含む第1絶縁層142a上に第2絶縁層142bを成膜する。これにより、第2絶縁層142bにおける第1反射膜141R及び第2反射膜141Gの上方の上面が盛り上がっている。
図9(c)に示す工程では、第2絶縁層142b上に第3反射膜141B及び第3絶縁層142cを形成する。具体的には、まず、蒸着法によって第2絶縁層142b上における第3発光領域103にアルミニウムを成膜する。次に、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を用いて、この膜をパターニングして、第3発光領域103に第3反射膜141Bを形成する。その後、第3反射膜141Bを含む第2絶縁層142b上に第3絶縁層142cを成膜する。これにより、第3絶縁層142cにおける反射膜141R,141G,141Bの上方の上面が盛り上がっている。
図10(a)に示す工程では、第3絶縁層142cの上面の凸凹を平坦化処理して平坦化絶縁層142を形成する。具体的には、CMP(Chemical Mechanical Polishing)などの研磨法を利用して第3絶縁層142cの上面を平坦化する。
図10(b)に示す工程では、有機EL装置111を完成させる。具体的には、第1実施形態と同様に、各発光領域101,102,103ごと、画素電極24R,24G,24B、発光機能層26、対向電極25を形成し、パッシベーション層及び封止層65を介して、カラーフィルター基板61を貼り合わせる。以上により、第2実施形態の有機EL装置111が完成する。
第1発光領域101は赤色(R)を透過させる領域であり、第2発光領域102は緑色(G)を透過させる領域であり、第3発光領域103は青色(B)を透過させる領域である。各反射膜141R,141G,141Bの上面から対向電極25までの距離H1,H2,H3(図8参照)は、各色の発光波長に最適な光路長となるように設定されている。
以上詳述したように、第2実施形態の有機EL装置111の製造方法によれば、以下に示す効果が得られる。
(4)第2実施形態の有機EL装置111の製造方法によれば、各発光領域101,102,103に形成した反射膜141R,141G,141Bと絶縁層142a,142b,142cとを繰り返しに形成することにより、各色ごとに対向電極25と反射膜141R,141Gとの距離を変えることが可能となり、各色ごと所定の共振構造を得ることができる。また、第3絶縁層142cの上面を平坦化処理することにより、画素電極24R,24G,24Bの周辺部に発生する段差を緩和することが可能となり、所望の光路長を得ることができる。その結果、表示品質を向上させることができる。加えて、光路長を調整しやすい。
なお、本発明の態様は、上記した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、本発明の態様の技術範囲に含まれるものである。また、以下のような形態で実施することもできる。
(変形例1)
上記した第2実施形態のように、有機EL装置111の製造方法は、第1絶縁層142a、第2絶縁層142b、第3絶縁層142cの順に絶縁層を積層していく方法に限定されず、例えば、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術によって絶縁層に段差を形成し、次に各段差部分に反射膜を形成し、その後、絶縁層で埋めて平坦化処理を行うようにしてもよい。また、ハーフトーンマスクを用いる方法によって制御性が確保できるようであれば、そのような方法で形成するようにしてもよい。
上記した第2実施形態のように、有機EL装置111の製造方法は、第1絶縁層142a、第2絶縁層142b、第3絶縁層142cの順に絶縁層を積層していく方法に限定されず、例えば、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術によって絶縁層に段差を形成し、次に各段差部分に反射膜を形成し、その後、絶縁層で埋めて平坦化処理を行うようにしてもよい。また、ハーフトーンマスクを用いる方法によって制御性が確保できるようであれば、そのような方法で形成するようにしてもよい。
(変形例2)
上記したように、平坦化絶縁層42の上面全体が平坦化されていることに限定されず、光が共振する際の光路長に影響を与えなければよく、例えば、平坦化絶縁層42の表面における、平面的に画素電極24R、画素電極24G、画素電極24Bの間(画素間)には凸凹が生じていてもよい。
上記したように、平坦化絶縁層42の上面全体が平坦化されていることに限定されず、光が共振する際の光路長に影響を与えなければよく、例えば、平坦化絶縁層42の表面における、平面的に画素電極24R、画素電極24G、画素電極24Bの間(画素間)には凸凹が生じていてもよい。
(変形例3)
上記したように、各反射膜41R,41G,41Bが配置された平坦化絶縁層42は、無機絶縁膜で構成されることに限定されず、例えば、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂などの有機樹脂によって形成されてもよい。
上記したように、各反射膜41R,41G,41Bが配置された平坦化絶縁層42は、無機絶縁膜で構成されることに限定されず、例えば、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂などの有機樹脂によって形成されてもよい。
(変形例4)
上記したように、カラーフィルター62を有する構成としたが、これに限定されず、発光素子27Rは赤色光を出射し、発光素子27Gは緑色光を出射し、発光素子27Bは青色光を出射するような構造である場合には、カラーフィルター62を設けなくてもよい。
上記したように、カラーフィルター62を有する構成としたが、これに限定されず、発光素子27Rは赤色光を出射し、発光素子27Gは緑色光を出射し、発光素子27Bは青色光を出射するような構造である場合には、カラーフィルター62を設けなくてもよい。
11,111…有機EL装置、12…走査線、13…データ線、14…電源線、15…データ線駆動回路、16…走査線駆動回路、21…スイッチング用TFT、22…保持容量、23…TFT素子、24…画素電極、25…対向電極、26…発光機能層、27,27B,27G,27R…発光素子、31…第1基材、32…表示領域、32a…実表示領域、32b…ダミー領域、33…非表示領域、34…サブ画素、35…検査回路、36…フレキシブル基板、37…駆動用IC、41,141…反射膜、41B,141B…第3反射膜、41G,141G…第2反射膜、41R,141R…第1反射膜、42,142…平坦化絶縁層、42a…絶縁層、51…素子基板、52…アレイ基板、61…カラーフィルター基板、62…カラーフィルター、62B…青色用カラーフィルター、62G…緑色用カラーフィルター、62R…赤色用カラーフィルター、63…遮光膜、64…開口、65…封止層、71…スマートフォン、72…表示部、73…アイコン、101…第1発光領域、102…第2発光領域、103…第3発光領域、142a…第1絶縁層、142b…第2絶縁層、142c…第3絶縁層。
Claims (7)
- 第1反射膜、第1画素電極、第1発光層、及び対向電極とを有し、前記第1反射膜と前記対向電極との間で第1色の光を共振させる第1画素と、
第2反射膜、第2画素電極、第2発光層、及び前記対向電極とを有し、前記第2反射膜と前記対向電極との間で第2色の光を共振させる第2画素と、
を備える有機EL装置の製造方法であって、
前記第1反射膜の表面と前記第2反射膜の表面との断面位置が異なるように前記第1反射膜及び前記第2反射膜を形成する反射膜形成工程と、
前記第1反射膜及び前記第2反射膜上に絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、
前記絶縁層の上面を平坦化する平坦化工程と、
前記絶縁層上に前記第1画素電極及び前記第2画素電極を形成する画素電極形成工程と、
を有することを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 請求項1に記載の有機EL装置の製造方法であって、
前記平坦化工程は、前記絶縁層の上面を研磨することによって平坦化することを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 請求項1又は請求項2に記載の有機EL装置の製造方法であって、
前記絶縁層は、有機樹脂であることを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の有機EL装置の製造方法であって、
前記反射膜形成工程は、前記第1反射膜の厚みを前記第2反射膜とは異なる厚みで形成することを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の有機EL装置の製造方法であって、
前記反射膜形成工程及び前記絶縁層形成工程は、前記第1反射膜及び前記第2反射膜の表面の断面位置が異なるようにするべく、前記第1反射膜を形成する工程と、第1絶縁層を形成する工程と、前記第2反射膜を形成する工程と、第2絶縁層を形成する工程と、を有することを特徴とする有機EL装置の製造方法。 - 第1反射膜、第1画素電極、第1発光層、及び対向電極とを有し、前記第1反射膜と前記対向電極との間で第1色の光を共振させる第1画素と、
第2反射膜、第2画素電極、第2発光層、及び前記対向電極とを有し、前記第2反射膜と前記対向電極との間で第2色の光を共振させる第2画素と、
を備える有機EL装置であって、
前記第1反射膜の表面は、前記第2反射膜の表面の断面位置とは異なるように配置されており、
前記第1画素電極と前記第1反射膜との間、及び前記第2画素電極と前記第2反射膜との間に介在する、表面が平坦化された平坦化絶縁層を備えることを特徴とする有機EL装置。 - 請求項6に記載の有機EL装置を備えることを特徴とする電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012019593A JP2013161520A (ja) | 2012-02-01 | 2012-02-01 | 有機el装置の製造方法、有機el装置、及び電子機器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012019593A JP2013161520A (ja) | 2012-02-01 | 2012-02-01 | 有機el装置の製造方法、有機el装置、及び電子機器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013161520A true JP2013161520A (ja) | 2013-08-19 |
Family
ID=49173641
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012019593A Pending JP2013161520A (ja) | 2012-02-01 | 2012-02-01 | 有機el装置の製造方法、有機el装置、及び電子機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013161520A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019215530A1 (ja) * | 2018-05-11 | 2019-11-14 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置、及び表示装置の作製方法 |
JP2022505661A (ja) * | 2018-10-24 | 2022-01-14 | コミサリア ア レネルジ アトミク エ オウ エネルジ アルタナティヴ | 有機マイクロスクリーンの画素の製造方法 |
-
2012
- 2012-02-01 JP JP2012019593A patent/JP2013161520A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019215530A1 (ja) * | 2018-05-11 | 2019-11-14 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置、及び表示装置の作製方法 |
CN112106446A (zh) * | 2018-05-11 | 2020-12-18 | 株式会社半导体能源研究所 | 显示装置及显示装置的制造方法 |
JPWO2019215530A1 (ja) * | 2018-05-11 | 2021-07-08 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置、及び表示装置の作製方法 |
JP2022100348A (ja) * | 2018-05-11 | 2022-07-05 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置 |
JP7304850B2 (ja) | 2018-05-11 | 2023-07-07 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置 |
JP2022505661A (ja) * | 2018-10-24 | 2022-01-14 | コミサリア ア レネルジ アトミク エ オウ エネルジ アルタナティヴ | 有機マイクロスクリーンの画素の製造方法 |
JP7403540B2 (ja) | 2018-10-24 | 2023-12-22 | コミサリア ア レネルジ アトミク エ オウ エネルジ アルタナティヴ | 有機マイクロスクリーンの画素の製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6164402B2 (ja) | 有機el装置の製造方法、および有機el装置 | |
JP4121514B2 (ja) | 有機発光素子、及び、それを備えた表示装置 | |
KR102447451B1 (ko) | 유기 발광 표시 장치 | |
JP6584099B2 (ja) | 表示装置およびその製造方法 | |
US8810129B2 (en) | Light emitting device with transmissive film patterned in a stepwise shape and method of manufacturing the light emitting device | |
US8242685B2 (en) | Organic electroluminescence device capable of preventing light from being not emitted | |
US10937838B2 (en) | Organic light emitting display device | |
US10811480B2 (en) | Organic light emitting display device | |
US20140319475A1 (en) | Organic light emitting diode display and manufacturing method thereof | |
JP2011018468A (ja) | 有機el表示装置 | |
KR20220061080A (ko) | 표시 장치 | |
JP2010272447A (ja) | 有機el装置、有機el装置の製造方法、および電子機器 | |
JP2013073884A (ja) | 有機el表示装置 | |
JP2019061927A (ja) | 表示装置 | |
KR101904466B1 (ko) | 유기 발광 표시 장치 및 그 제조방법 | |
JP6223070B2 (ja) | 有機el表示装置及び有機el表示装置の製造方法 | |
JP2013165014A (ja) | 有機el装置、及び電子機器 | |
JP2013089444A (ja) | 有機発光装置、有機発光装置の製造方法及び電子機器 | |
KR102591727B1 (ko) | 정전기 방지 다이오드 및 정전기 방지 구조물을 포함하는 유기 발광 표시 장치 | |
JP2010198754A (ja) | 有機el装置および有機el装置の製造方法、ならびに電子機器 | |
CN109119438B (zh) | 显示基板及其制造方法、显示装置 | |
JP6492403B2 (ja) | 有機el装置、有機el装置の製造方法、電子機器 | |
JP2010251095A (ja) | 有機el装置および有機el装置の製造方法、ならびに電子機器 | |
JP2013161520A (ja) | 有機el装置の製造方法、有機el装置、及び電子機器 | |
KR102469294B1 (ko) | 유기 발광 표시 장치 |