JP2013211525A5

JP2013211525A5 -

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Publication number: JP2013211525A5
Application number: JP2012288515A
Authority: JP
Filing date: 2012-12-28
Publication date: 2013-11-21
Anticipated expiration: 2032-12-28

Description

この発明において、上記循環管路は上記ポンプの二次側の上記供給管路と上記フィルタ装置の一次側の上記供給管路とを接続してもよい（請求項２）。また、上記フィルタ装置の一次側の上記供給管路に介設され、上記処理液の一部を貯留する処理液一時貯留容器を具備し、上記循環管路は上記ポンプの二次側の上記供給管路と上記処理液一時貯留容器とを接続してもよい（請求項３）。また、上記フィルタ装置と上記ポンプとの間の上記供給管路に介設され、上記処理液中に存在する気泡を分離する機能を有するトラップタンクを具備し、上記循環管路は上記ポンプの吐出口と上記フィルタ装置の一次側の上記供給管路とを接続してもよい（請求項４）。また、上記フィルタ装置と上記ポンプとの間の上記供給管路に介設され、上記処理液中に存在する気泡を分離する機能を有するトラップタンクを具備し、上記循環管路は、上記トラップタンクと上記ポンプを接続する第１循環管路と、上記トラップタンクと上記フィルタ装置の一次側の供給管路とを接続する第２循環管路とからなるとしてもよい（請求項５）。
また、この発明の液処理装置は、被処理基板に処理液を供給する複数の処理液供給ノズルのうち一つの処理液供給ノズルに接続される液処理装置であって、上記処理液を貯留する処理液貯留容器と上記処理液供給ノズルとを接続する供給管路と、上記供給管路に介設され、上記処理液を濾過すると共に、上記処理液中に混入している異物を除去するフィルタ装置と、上記フィルタ装置の二次側の上記供給管路に介設されるポンプと、上記ポンプの吐出側と上記フィルタ装置の吸入側とを接続する循環管路と、上記ポンプの二次側の上記供給管路に介設される供給制御弁と、上記ポンプの吐出側に設けられ、上記循環管路への上記処理液の供給を選択的に可能にする開閉弁と、上記ポンプ、供給制御弁及び開閉弁を制御する制御手段と、を具備し、上記供給制御弁を閉じることで上記処理液供給ノズルから上記被処理基板への処理液の供給が停止している際に、上記開閉弁を開き、上記ポンプを駆動して、上記フィルタ装置を介設する上記供給管路と上記循環管路との間で上記処理液を循環させることを特徴とする（請求項６）
請求項６記載の液処理装置において、上記フィルタ装置の一次側であって、上記循環管路と上記供給管路との接続部の二次側の上記供給管路に切換弁を設け、上記供給制御弁、上記開閉弁及び上記切換弁を閉じた状態で、上記ポンプの駆動手段の駆動により上記ポンプ部分を負圧にすることで、上記処理液中に存在する微細な気泡を顕在化することができる（請求項７）。
また、上記供給制御弁を閉じることで上記処理液供給ノズルから上記被処理基板への処理液の供給が停止している際に、上記開閉弁及び上記切換弁を閉じた状態で、上記ポンプの駆動手段の駆動により上記ポンプ部分を負圧にすることで、上記処理液中に存在する微細な気泡を顕在化し、その後、上記開閉弁を開き、上記ポンプを駆動して、上記フィルタ装置を介設する上記供給管路と上記循環管路との間で上記処理液を循環させてもよい（請求項８）。

請求項５記載の液処理装置において、上記ポンプをポンプ部分と駆動部分を区画するダイヤフラムを駆動手段の駆動により往復駆動するダイヤフラムポンプにて形成し、上記ダイヤフラムポンプの吸入側に上記ポンプ部分への上記処理液の流入を選択的に可能にする吸入側の開閉弁、上記ダイヤフラムポンプの吐出側に上記処理液供給ノズルへの上記処理液の供給を選択的に可能にする第１の開閉弁及び上記循環管路への上記処理液の供給を選択的に可能にする第２の開閉弁を設けると共に上記トラップタンクで分離された気泡をドレイン管を介して外部に排出することを選択的に可能にする切換弁を設け、上記第２循環管路に上記循環制御弁を設けると共に上記フィルタ装置の一次側であって上記第２循環管路と上記供給管路との接続部の二次側の上記供給管路に第３の開閉弁を設け、上記第１の開閉弁、第２の開閉弁、吸入側の開閉弁及び循環制御弁を閉じた状態で、上記駆動手段の駆動により上記ポンプ部分を負圧にすることで、上記処理液中に存在する微細な気泡を顕在化し、上記吸入側の開閉弁、第１の開閉弁、第３の開閉弁及び切換弁を閉じ、上記第２の開閉弁、循環制御弁を開くことで、顕在化された気泡を上記トラップタンクに移動させ、上記第１の開閉弁、第２の開閉弁及び循環制御弁を閉じ、上記吸入側の開閉弁、第３の開閉弁及び切換弁を開くことで上記トラップタンク内の気泡をドレイン管を介して外部に排出することが好ましい（請求項９）。

また、請求項９記載の液処理装置において、上記第１の開閉弁、第２の開閉弁、第３の開閉弁、切換弁及び循環制御弁を閉じ、上記吸入側の開閉弁を開いた状態で、上記駆動手段の駆動により上記ポンプ部分を負圧にすることで、上記処理液中に存在する微細な気泡を顕在化することが好ましい（請求項１０）。このように構成することにより、排気量の少ないダイヤフラムポンプを用いて処理液中に存在する気泡を顕在化させ、顕在化された気泡を外部に排出させることができる。

また、請求項１ないし１０のいずれかに記載の発明において、上記制御手段による上記処理液の循環を所定の間隔で行うことが好ましい（請求項１１）。このように構成することにより、フィルタ装置への処理液の滞留を常に抑制することができる。

また、請求項１ないし１１のいずれかに記載の発明において、上記処理液を循環させる上記供給管路又は上記循環管路の少なくとも一の管路に上記処理液中の気体を脱気する脱気機構を介設することが好ましい（請求項１２）。

また、請求項１３に記載の発明の液処理方法は、処理液を貯留する処理液貯留容器と被処理基板に上記処理液を供給する処理液供給ノズルとを接続する供給管路と、上記供給管路に介設され、上記処理液を濾過すると共に、上記処理液中に混入している異物を除去するフィルタ装置と、上記フィルタ装置の二次側の上記供給管路に介設されるポンプと、上記ポンプの吐出側と上記フィルタ装置の吸入側とを接続する循環管路と、上記ポンプの二次側の上記供給管路に介設される供給制御弁と、上記ポンプの吐出側に設けられ、上記循環管路への上記処理液の供給を選択的に可能にする開閉弁と、上記ポンプ、供給制御弁及び循環制御弁を制御する制御手段とを具備する液処理装置に用いられる液処理方法であって、上記供給制御弁を開くと共に上記循環制御弁を閉じ、上記ポンプを駆動させることで上記被処理基板に上記処理液を供給する処理液供給工程と、上記処理液供給工程を行わない時に上記供給制御弁を閉じると共に上記開閉弁を開き、上記ポンプを駆動させることで上記循環管路と上記供給管路との間で上記処理液を循環させる循環工程と、を備えることを特徴とする。

（１）請求項１〜８，１３記載の発明によれば、不使用状態で、フィルタ装置に滞留する処理液を供給管路と循環管路とを介して循環させることができるので、使用時にダミー吐出を行うことなく、処理液中のパーティクルの増加を抑制することができる。そのため、処理液を無駄に消費することなく処理液中のパーティクルの増加を効率的に防止することができる。

（２）請求項１１記載の発明によれば、フィルタ装置への処理液の滞留を常に抑制することができるので、液処理装置と接続する処理液供給ノズルから被処理基板に処理液を供給する際に、液処理装置による処理液の循環を行うことなく、処理液を被処理基板に供給することができる。そのため、上記（１）に加えて、更に被処理基板に処理液を供給する工程に要する時間を短縮することができ、当該処理液を循環させることによりフィルタに付着している気泡を容易に除去できる。

（３）請求項１２，１４記載の発明によれば、供給管路又は循環管路で循環する処理液中の気体を脱気することができる。そのため、上記（１）、（２）に加えて、更に被処理基板に供給される処理液への気体の混入を抑制することができる。

（４）請求項９，１０，１５，１６記載の発明によれば、ポンプで吸入される処理液を負圧にすることで処理液中の気体が顕在化するため、上記（１）〜（３）に加えて、脱気機構による処理液中の気体の除去を効率よく行うことができる。

Claims

被処理基板に処理液を供給する複数の処理液供給ノズルのうち一つの処理液供給ノズルに接続される液処理装置であって、
上記処理液を貯留する処理液貯留容器と上記処理液供給ノズルとを接続する供給管路と、
上記供給管路に介設され、上記処理液を濾過すると共に、上記処理液中に混入している異物を除去するフィルタ装置と、
上記フィルタ装置の二次側の上記供給管路に介設されるポンプと、
上記ポンプの吐出側と上記フィルタ装置の吸入側とを接続する循環管路と、
上記ポンプの二次側の上記供給管路に介設される供給制御弁と、
上記循環管路に介設される循環制御弁と、
上記ポンプ、供給制御弁及び循環制御弁を制御する制御手段と、を具備し、
上記供給制御弁を閉じることで上記処理液供給ノズルから上記被処理基板への処理液の供給が停止している際に、上記循環制御弁を開き、上記ポンプを駆動して、上記フィルタ装置を介設する上記供給管路と上記循環管路との間で上記処理液を循環させることを特徴とする液処理装置。
請求項１記載の液処理装置において、
上記循環管路は上記ポンプの二次側の上記供給管路と上記フィルタ装置の一次側の上記供給管路とを接続することを特徴とする液処理装置。
請求項１記載の液処理装置において、
上記フィルタ装置の一次側の上記供給管路に介設され、上記処理液の一部を貯留する処理液一時貯留容器を具備し、
上記循環管路は上記ポンプの二次側の上記供給管路と上記処理液一時貯留容器とを接続することを特徴とする液処理装置。
請求項１記載の液処理装置において、
上記フィルタ装置と上記ポンプとの間の上記供給管路に介設され、上記処理液中に存在する気泡を分離する機能を有するトラップタンクを具備し、
上記循環管路は上記ポンプの吐出口と上記フィルタ装置の一次側の上記供給管路とを接続することを特徴とする液処理装置。
請求項１記載の液処理装置において、
上記フィルタ装置と上記ポンプとの間の上記供給管路に介設され、上記処理液中に存在する気泡を分離する機能を有するトラップタンクを具備し、
上記循環管路は、上記トラップタンクと上記ポンプを接続する第１循環管路と、上記トラップタンクと上記フィルタ装置の一次側の供給管路とを接続する第２循環管路とからなることを特徴とする液処理装置。
被処理基板に処理液を供給する複数の処理液供給ノズルのうち一つの処理液供給ノズルに接続される液処理装置であって、
上記処理液を貯留する処理液貯留容器と上記処理液供給ノズルとを接続する供給管路と、
上記供給管路に介設され、上記処理液を濾過すると共に、上記処理液中に混入している異物を除去するフィルタ装置と、
上記フィルタ装置の二次側の上記供給管路に介設されるポンプと、
上記ポンプの吐出側と上記フィルタ装置の吸入側とを接続する循環管路と、
上記ポンプの二次側の上記供給管路に介設される供給制御弁と、
上記ポンプの吐出側に設けられ、上記循環管路への上記処理液の供給を選択的に可能にする開閉弁と、
上記ポンプ、供給制御弁及び開閉弁を制御する制御手段と、を具備し、
上記供給制御弁を閉じることで上記処理液供給ノズルから上記被処理基板への処理液の供給が停止している際に、上記開閉弁を開き、上記ポンプを駆動して、上記フィルタ装置を介設する上記供給管路と上記循環管路との間で上記処理液を循環させることを特徴とする液処理装置。
請求項６記載の液処理装置において、
上記フィルタ装置の一次側であって、上記循環管路と上記供給管路との接続部の二次側の上記供給管路に切換弁を設け、
上記供給制御弁、上記開閉弁及び上記切換弁を閉じた状態で、上記ポンプの駆動手段の駆動により上記ポンプ部分を負圧にすることで、上記処理液中に存在する微細な気泡を顕在化することを特徴とする液処理装置。
請求項７記載の液処理装置において、
上記供給制御弁を閉じることで上記処理液供給ノズルから上記被処理基板への処理液の供給が停止している際に、上記開閉弁及び上記切換弁を閉じた状態で、上記ポンプの駆動手段の駆動により上記ポンプ部分を負圧にすることで、上記処理液中に存在する微細な気泡を顕在化し、その後、上記開閉弁を開き、上記ポンプを駆動して、上記フィルタ装置を介設する上記供給管路と上記循環管路との間で上記処理液を循環させることを特徴とする液処理装置。
請求項５記載の液処理装置において、
上記ポンプをポンプ部分と駆動部分を区画するダイヤフラムを駆動手段の駆動により往復駆動するダイヤフラムポンプにて形成し、
上記ダイヤフラムポンプの吸入側に上記ポンプ部分への上記処理液の流入を選択的に可能にする吸入側の開閉弁、上記ダイヤフラムポンプの吐出側に上記処理液供給ノズルへの上記処理液の供給を選択的に可能にする第１の開閉弁及び上記循環管路への上記処理液の供給を選択的に可能にする第２の開閉弁を設けると共に上記トラップタンクで分離された気泡をドレイン管を介して外部に排出することを選択的に可能にする切換弁を設け、
上記第２循環管路に上記循環制御弁を設けると共に上記フィルタ装置の一次側であって上記第２循環管路と上記供給管路との接続部の二次側の上記供給管路に第３の開閉弁を設け、
上記第１の開閉弁、第２の開閉弁、吸入側の開閉弁及び循環制御弁を閉じた状態で、上記駆動手段の駆動により上記ポンプ部分を負圧にすることで、上記処理液中に存在する微細な気泡を顕在化し、
上記吸入側の開閉弁、第１の開閉弁、第３の開閉弁及び切換弁を閉じ、上記第２の開閉弁、循環制御弁を開くことで、顕在化された気泡を上記トラップタンクに移動させ、
上記第１の開閉弁、第２の開閉弁及び循環制御弁を閉じ、上記吸入側の開閉弁、第３の開閉弁及び切換弁を開くことで上記トラップタンク内の気泡をドレイン管を介して外部に排出することを特徴とする液処理装置。
請求項９記載の液処理装置において、
上記第１の開閉弁、第２の開閉弁、第３の開閉弁、切換弁及び循環制御弁を閉じ、上記吸入側の開閉弁を開いた状態で、上記駆動手段の駆動により上記ポンプ部分を負圧にすることで、上記処理液中に存在する微細な気泡を顕在化することを特徴とする液処理装置。
請求項１ないし１０のいずれかに記載の液処理装置において、
上記制御手段による上記処理液の循環を所定の間隔で行うことを特徴とする液処理装置。
請求項１ないし１１のいずれかに記載の液処理装置において、
上記処理液を循環させる上記供給管路又は上記循環管路の少なくとも一の管路に上記処理液中の気体を脱気する脱気機構を介設することを特徴とする液処理装置。
処理液を貯留する処理液貯留容器と被処理基板に上記処理液を供給する処理液供給ノズルとを接続する供給管路と、
上記供給管路に介設され、上記処理液を濾過すると共に、上記処理液中に混入している異物を除去するフィルタ装置と、
上記フィルタ装置の二次側の上記供給管路に介設されるポンプと、
上記ポンプの吐出側と上記フィルタ装置の吸入側とを接続する循環管路と、
上記ポンプの二次側の上記供給管路に介設される供給制御弁と、
上記ポンプの吐出側に設けられ、上記循環管路への上記処理液の供給を選択的に可能にする開閉弁と、
上記ポンプ、供給制御弁及び開閉弁を制御する制御手段とを具備する液処理装置に用いられる液処理方法であって、
上記供給制御弁を開くと共に上記開閉弁を閉じ、上記ポンプを駆動させることで上記被処理基板に上記処理液を供給する処理液供給工程と、
上記処理液供給工程を行わない時に上記供給制御弁を閉じると共に上記開閉弁を開き、上記ポンプを駆動させることで上記循環管路と上記供給管路との間で上記処理液を循環させる循環工程と、を備えることを特徴とする液処理方法。
請求項１３に記載の液処理方法において、
上記循環工程で処理液を循環する上記循環管路若しくは上記供給管路に上記処理液中の気体を脱気する脱気機構が介設され、
上記循環工程は上記脱気機構による処理液中の気体の脱気を行う脱気工程を含むことを特徴とする液処理方法。
請求項１３に記載の液処理方法において、
上記ポンプをポンプ部分と駆動部分を区画するダイヤフラムを駆動手段の駆動により往復駆動するダイヤフラムポンプにて形成し、
上記循環管路は、上記トラップタンクと上記ポンプを接続する第１循環管路と、上記トラップタンクと上記フィルタ装置の一次側の供給管路とを接続する第２循環管路とからなり、
上記ダイヤフラムポンプの吸入側に上記ダイヤフラムポンプへの上記処理液の供給を選択的に可能にする吸入側の開閉弁、上記ダイヤフラムポンプの吐出側に上記処理液供給ノズルへの上記処理液の供給を選択的に可能にする第１の開閉弁及び上記循環管路への上記処理液の供給を選択的に可能にする第２の開閉弁を設けると共に上記トラップタンクで分離された気泡をドレイン管を介して外部に排出することを選択的に可能にする切換弁を設け、
上記第２循環管路に上記循環制御弁を設けると共に上記フィルタ装置の一次側であって上記第２循環管路と上記供給管路との接続部の二次側の上記供給管路に第３の開閉弁を設け、
上記第１の開閉弁、第２の開閉弁、吸入側の開閉弁、切換弁及び循環制御弁を閉じた状態で、上記駆動手段の駆動により上記ポンプ部分を負圧にすることで、上記処理液中に存在する微細な気泡を顕在化する気泡顕在化工程と、
該気体顕在化工程の後、吸入側の開閉弁、上記第１の開閉弁、第３の開閉弁を閉じ、上記第２の開閉弁、循環制御弁を開いた状態で、顕在化された気泡を上記トラップタンクに移動させる気泡移動工程と、
上記第１の開閉弁、第２の開閉弁及び循環制御弁を閉じ、上記吸入側の開閉弁、第３の開閉弁及び切換弁を開くことで上記トラップタンク内の気泡をドレイン管を介して外部に排出する脱気工程と、を備え、
上記気泡顕在化工程、気泡移動工程及び上記脱気工程は、上記処理液供給工程の終了後上記循環工程の開始前に行われることを特徴とする液処理方法。
請求項１５に記載の液処理方法において、
上記気泡顕在化工程は、上記第１の開閉弁、第２の開閉弁、第３の開閉弁、切換弁及び循環制御弁を閉じ、上記吸入側の開閉弁を開いた状態で、上記駆動手段の駆動により上記ポンプ部分を負圧にすることで、上記処理液中に存在する微細な気泡を顕在化する工程であることを特徴とする液処理方法。