CN104570625A - 一种带有液体去泡功能的供给装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及晶片涂胶显影工艺中的供液装置，具体地说是一种带有液体去泡功能的供给装置。包括供液桶、除气泡桶、补液管、排泡管及液体输出管，其中供液桶的底部和除气泡桶的底部通过补液管连通，所述供液桶和除气泡桶内液体的液面在同一平面上，所述供液桶和除气泡桶的上端均设有与排泡管连接的排气口，所述除气泡桶的底部设有液体输出管。所述装置还包括补液桶和补液泵，其中补液桶通过补液泵和液体输送管与供液桶连接。本发明利用两个药液桶串联，分两级进行去气泡，最终利用自身重力产生的压力进行供液。

Description

一种带有液体去泡功能的供给装置

技术领域

本发明涉及晶片涂胶显影工艺中的供液装置，具体地说是一种带有液体去泡功能的供给装置。

背景技术

目前，在半导体晶片上或它的涂层上形成保护膜以及晶片曝光后的显影工艺中，公知的液体供给装置主要是采用泵供给或者是压缩气体从密封桶内压出的方式。这两种方式供给的液体会溶解一部分气体，在进行工艺时会产生气泡，影响工艺效果。

发明内容

针对上述问题，本发明的目的在于提供一种带有液体去泡功能的供给装置。该装置利用两个药液桶串联，分两级进行去气泡，最终利用自身重力产生的压力进行供液。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种带有液体去泡功能的供给装置，包括供液桶、除气泡桶、补液管、排泡管及液体输出管，其中供液桶的底部和除气泡桶的底部通过补液管连通，使所述供液桶和除气泡桶内液体的液面在同一平面上，所述供液桶和除气泡桶的上端均设有与排泡管连接的排气口，所述除气泡桶的底部设有液体输出管。

本发明还包括补液桶和补液泵，其中补液桶通过补液泵和液体输送管与供液桶连接。所述补液桶和补液泵之间的液体输送管上设有液体传感器。

所述补液泵和供液桶之间的液体输送管上设有过滤器。所述液体输送管的一端由供液桶的上端插入供液桶内、并置于供液桶内液面的上方。

所述供液桶和除气泡桶内分别设有供液桶液位传感器和除气泡桶液位传感器。所述供液桶和除气泡桶的底部分别设有供液桶排废管和除气泡桶排废管。所述液体输出管上设有供液药液阀。

本发明的优点及有益效果是：

1.本发明使用的供液桶和除气泡桶通过补液管串联，且每个桶都有排泡管，可实现两级除气泡功能。

2.本发明使用的供液桶和除气泡桶内均有液位传感器，可以检测桶内液体的液位，通过设置可以实现自动供液，并在两桶内的液位不一致时发出报警。

3.本发明中从补液泵进入供液桶的管路始终在桶内液面之上，可减少新供给液体内溶解的气体进入除气泡桶内。

4.本发明使用的供液桶和除气泡桶通过补液管串联，供液桶内的液体完全靠自身压力进入除气泡桶内，该过程中与外界气体无接触，可减少液体溶解气体的量。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

其中：1为补液桶，2为液体传感器，3为补液泵，4为供液桶，5为除气泡桶，6为供液药液阀，7为补液管，8为供液桶排废管，9为除气泡桶排废管，10为排泡管，11为液体输出管，12为供液桶液位传感器，13为除气泡桶液位传感器，H1为供液桶上限位，N1为供液桶工作位，H2为供液桶下限位，K1为除气泡桶上限位，N2为除气泡桶工作位，K2为除气泡桶下限位。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步详细描述。

如图1所示，本发明包括供液桶4、除气泡桶5、补液管7、排泡管10及液体输出管11，其中供液桶4的底部和除气泡桶5的底部通过补液管7连通，可保证供液桶4和除气泡桶5内液体的液面在同一平面上，所述供液桶4和除气泡桶5的上端均设有与排泡管10连接的排气口，供液桶4和除气泡桶5内液体内的气体由排气口排出，这样可以实现双重除气泡功能。所述除气泡桶5的底部设有液体输出管11，所述液体输出管11上设有供液药液阀6。所述供液桶4和除气泡桶5的底部分别设有供液桶排废管8和除气泡桶排废管9，供液桶排废管8可以将供液桶4内剩余或者多余的液体排出，除气泡桶排废管9可以将除气泡桶5内剩余或者多余的液体排出。

本发明还包括补液桶1和补液泵3，其中补液桶1通过补液泵3和液体输送管与供液桶4连接，所述液体输送管的一端由供液桶4的上端插入供液桶4内、并置于供液桶4内液面的上方，这样可减少新供给液体内溶解的气体进入除气泡桶5内。所述补液桶1和补液泵3之间的液体输送管上设有液体传感器2，在工作时，当液体传感器2检测到补液泵3前端液体输送管中没有液体，这说明补液桶1内的液体已经使用完毕，就向控制系统发出信号，整个装置停止工作，提醒工作人员进行补液。所述补液泵3和供液桶4之间的液体输送管上设有过滤器14，保证进入供液桶4内液体的纯净。

所述供液桶4和除气泡桶5内分别设有供液桶液位传感器12和除气泡桶液位传感器13，用来检测桶内的液位和比较两桶之间液位的差异，当供液桶4和除气泡桶5内的液位不一致时控制系统报警，该装置停止工作。为了达到最佳效果，可采用规格参数相同的供液桶4和除气泡桶5，且工作时放于同一水平面上。

本发明的工作过程是：

所述补液桶1中已有液体，补液泵3将补液桶1内的液体抽入供液桶4内。液体经过过滤器14后进入供液桶4内，液体进入供液桶4的液体输送管路在液面之上，这样能减少新供给的液体与原有液体接触时产生冲击对补液管7内液体的影响。供液桶4内有一供液桶液位传感器12，该供液桶液位传感器12均可检测三处的液位，分别为供液桶上限位H1、供液桶工作位N1和供液桶下限位H2，正常工作时液面在供液桶工作位N1。当供液桶4内液位低于供液桶下限位H2时，补液泵3工作，为供液桶4供给液体，液位到达供液桶工作位N1时停止供液。除气泡桶5内有一除气泡桶液位传感器13，该除气泡桶液位传感器13均可检测三处的液位，分别为除气泡桶上限位K1、除气泡桶工作位N2和除气泡桶下限位K2，正常工作时液面在除气泡桶工作位N2。正常工作时，供液桶4内的液位在供液桶工作位N1，除气泡桶5内的液位在除气泡桶工作位N2，并且供液桶工作位N1和除气泡桶工作位N2在同一水平面上。当供液桶4和除气泡桶5内液位不一致时向控制系统发出信号，整个装置停止工作。除气泡桶5内的液体通过底部的液体输出管11供给给其它装置，供液桶4再通过补液管7将液体补充到除气泡桶5内，补液泵3再将补液桶1内的液体抽取到供液桶4内，从而完成整个工作过程。该装置在工作时，供液桶4和除气泡桶5顶端均与排泡管10连接，可将液体释放的气体及时排出。由于除气泡桶5内液体表面距离液体输出管11底部距离一定，液体输出管11出口压力也就一定，每次供液可根据所需液体多少控制供液药液阀6的通断间隔时间来实现，实现自动供液功能。

Claims (8)

1.一种带有液体去泡功能的供给装置，其特征在于：包括供液桶(4)、除气泡桶(5)、补液管(7)、排泡管(10)及液体输出管(11)，其中供液桶(4)的底部和除气泡桶(5)的底部通过补液管(7)连通，使所述供液桶(4)和除气泡桶(5)内液体的液面在同一平面上，所述供液桶(4)和除气泡桶(5)的上端均设有与排泡管(10)连接的排气口，所述除气泡桶(5)的底部设有液体输出管(11)。

2.按权利要求1所述的带有液体去泡功能的供给装置，其特征在于：还包括补液桶(1)和补液泵(3)，其中补液桶(1)通过补液泵(3)和液体输送管与供液桶(4)连接。

3.按权利要求2所述的带有液体去泡功能的供给装置，其特征在于：所述补液桶(1)和补液泵(3)之间的液体输送管上设有液体传感器(2)。

4.按权利要求2所述的带有液体去泡功能的供给装置，其特征在于：所述补液泵(3)和供液桶(4)之间的液体输送管上设有过滤器(14)。

5.按权利要求2所述的带有液体去泡功能的供给装置，其特征在于：所述液体输送管的一端由供液桶(4)的上端插入供液桶(4)内、并置于供液桶(4)内液面的上方。

6.按权利要求1或2所述的带有液体去泡功能的供给装置，其特征在于：所述供液桶(4)和除气泡桶(5)内分别设有供液桶液位传感器(12)和除气泡桶液位传感器(13)。

7.按权利要求1或2所述的带有液体去泡功能的供给装置，其特征在于：所述供液桶(4)和除气泡桶(5)的底部分别设有供液桶排废管(8)和除气泡桶排废管(9)。

8.按权利要求1所述的带有液体去泡功能的供给装置，其特征在于：所述液体输出管(11)上设有供液药液阀(6)。