JP2011100956A - 成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】反応ガスを吐出する吐出孔が、その長さ方向に沿って形成されたガスノズルと、そのガスノズルの上方側に分離ガスを通流させるための通流空間と、前記ガスノズルから前記上流側及び下流側の少なくとも一方に向かって張り出した整流部材と、を備えるように成膜装置を構成し、前記分離ガスを前記通流空間にガイドすることで処理領域の反応ガスの濃度低下を防ぐ。
【選択図】図2
Description
前記真空容器内に設けられた回転テーブルと、
この回転テーブルに基板を載置するために設けられた基板載置領域と、
前記回転テーブルの回転方向に、当該回転テーブル上方に互いに離れて固定して設けられ、夫々基板に第1の反応ガス及び第2の反応ガスを供給するための第1の反応ガス供給手段及び第2の反応ガス供給手段と、
前記第1の反応ガスが供給される第1の処理領域と第2の反応ガスが供給される第2の処理領域との雰囲気を分離するために前記回転方向においてこれら処理領域の間に位置し、分離ガスを供給する分離ガス供給手段が設けられた分離領域と、
前記真空容器内を真空排気するための排気口と、
を備え、
前記第1の反応ガス供給手段及び第2の反応ガス供給手段の少なくとも一方は、前記基板載置領域の移動方向と交差するように伸びると共に、前記回転テーブルに向けて反応ガスを吐出する吐出孔が、その長さ方向に沿って形成されたガスノズルとして構成され、
前記ガスノズルの上方側には、分離ガスを通流させるための通流空間が形成され、
前記ガスノズルから前記上流側及び下流側の少なくとも一方に向かって張り出した整流部材を備えたことを特徴とする。
前記基板が複数の異なる処理領域に供給された反応ガスと順次接触することにより、前記基板の表面に薄膜を形成する成膜装置において、
前記複数の処理領域の間に設けられ、異なる反応ガスが前記基板表面から離れた空間で反応することを防止する分離ガスを供給する分離領域と、
前記処理領域の天井から離間して基板近傍において基板の方向に反応ガスを供給する反応ガス供給手段と、
前記分離領域から前記処理領域に流入した分離ガスが前記反応ガス供給手段と前記基板との隙間に流入して前記基板に供給される反応ガスの濃度が低下することを抑制する整流部材と
前記処理領域の天井と、前記反応ガス供給手段との間に設けられ、前記整流部材により分離ガスがガイドされる通流空間と、
を設けたことを特徴とする。前記回転テーブルに載置された基板表面から前記処理領域の天井の高さは、前記回転テーブルに載置された基板表面から、前記分離領域の天井よりも高く形成されていてもよく、複数の異なる反応領域に於いて、処理領域の天井の高さは、前記処理領域に供給される反応ガスの種類、供給されるガス量に応じて夫々選択的に決められていてもよい。
本発明の効果を確認するためにコンピュータによるシミュレーションを行った。先ず、回転テーブル2と、その回転テーブル2上に上記の実施形態と同様に設けられた反応ガスノズル31とをシミュレーションで設定した。この反応ガスノズル31については、図14(a)(b)で説明したその下端に扇板37A,37Bを設けたものと、扇板37A,37Bを設けていないものとを夫々設定した。そして、回転テーブル2の回転数を120rpmに設定して、反応ガスノズル31から反応ガスを吐出したときのその回転テーブル2上における反応ガスの濃度分布を、扇板37A,37Bを設けた場合、扇板37A,37Bを設けていない場合夫々について調べた。この扇板37A,37Bとしては図23(a)に示すように回転方向上流側、下流側に夫々突出した外形線の延長線のなす角θ1が10°となるように設定した。また、反応ガス濃度の測定領域としては、図23(b)に点線を付した領域U1,U2,U3として示すように、回転テーブル2の中心点Pから周縁に向かって夫々160mm、310mm、460mm離れ、回転方向に沿った領域とした。また領域U1,U2,U3は、図中鎖線で示す反応ガスノズル31の長さ方向を0°とした場合に、回転方向上流側、下流側に夫々前記点Pを中心に30°以下の範囲でずれた領域である。
回転テーブル2の回転数を240rpmに変更した他は評価試験1と同様のシミュレーションを行った。図25(a)、図25(b)、図25(c)は夫々領域U1、U2、U3におけるガスの濃度分布について、夫々評価試験1と同様に示したものである。これらのグラフに示されるように、いずれの測定領域においても反応ガスノズル31の回転方向の下流側の領域について、扇板37A,37Bを設けることで反応ガスの濃度が上昇している。従って、この評価試験2の結果から上記のように扇板37A,37Bを設けることにより、回転テーブル2の回転数が高くなっても有効に処理領域のガス濃度を上昇させることができることが示された。
上記の図1で示す実施形態の成膜装置を用いて成膜処理を行い、図26(a)に鎖線で示すようにウエハWについて回転テーブル2の中心から周縁部側へ向かったその直径方向における膜厚を調べた。また、第1の反応ガスノズル31、第2の反応ガスノズル32について夫々扇板36A,36Bを設けずに、同様に成膜処理を行ってウエハWの直径方向における膜厚を調べた。各測定において回転テーブル2の回転数は240rpm、その温度は350℃に夫々設定した。
続いて評価試験1と同様に、回転テーブル2と、その回転テーブル2上に上記の実施形態と同様に設けられた反応ガスノズル31とをシミュレーションで設定し、この反応ガスノズル31については、図14(a)(b)で説明したその下端に扇板37A,37Bを設けたものと、扇板37A,37Bを設けていないものとを夫々設定した。そして回転テーブル2の回転数を120rpmに設定し、反応ガスノズル31から反応ガスを吐出したときのその回転テーブル2上における反応ガスの濃度分布を、扇板37A,37Bを設けた場合、扇板37A,37Bを設けていない場合夫々について調べた。
続いて評価試験4と同様に、シミュレーションを行った。ただし回転テーブル2の回転数は240rpmに設定した。評価試験4と同様に図28(a)、図28(b)に扇板37A,37Bを設けない場合、扇板37A,37Bを設けた場合について夫々概略の反応ガスの濃度分布を示した。これらの図28(a)、図28(b)を比較して明らかなように扇板37A,37Bを設けることで反応ガスノズル31周辺の反応ガスの濃度が上昇している。この結果から、回転テーブル2の回転数を上昇させても反応ガスノズル31の周囲に高いガスの濃度雰囲気を形成できることが分かり、従って本発明の効果が証明された。
1 真空容器
2 回転テーブル
21 コア部
24 凹部(基板載置領域)
31 第1の反応ガスノズル
32 第2の反応ガスノズル
34 整流部材
35A,35B 扇板
P1 第1の処理領域
P2 第2の処理領域
D 分離領域
C 中心部領域
41、42 分離ガスノズル
5 凸状部
61、62 排気口
63 排気管
65 冷却部
7 ヒータユニット
72、73 パージガス供給管
81 分離ガス供給管
Claims (15)
- 真空容器内にて互いに反応する少なくとも2種類の反応ガスを順番に基板の表面に供給しかつこの供給サイクルを実行することにより反応生成物の層を多数積層して薄膜を形成する成膜装置において、
前記真空容器内に設けられた回転テーブルと、
この回転テーブルに基板を載置するために設けられた基板載置領域と、
前記回転テーブルの回転方向に、当該回転テーブル上方に互いに離れて固定して設けられ、夫々基板に第1の反応ガス及び第2の反応ガスを供給するための第1の反応ガス供給手段及び第2の反応ガス供給手段と、
前記第1の反応ガスが供給される第1の処理領域と第2の反応ガスが供給される第2の処理領域との雰囲気を分離するために前記回転方向においてこれら処理領域の間に位置し、分離ガスを供給する分離ガス供給手段が設けられた分離領域と、
前記真空容器内を真空排気するための排気口と、
を備え、
前記第1の反応ガス供給手段及び第2の反応ガス供給手段の少なくとも一方は、前記基板載置領域の移動方向と交差するように伸びると共に、前記回転テーブルに向けて反応ガスを吐出する吐出孔が、その長さ方向に沿って形成されたガスノズルとして構成され、
前記ガスノズルの上方側には、分離ガスを通流させるための通流空間が形成され、
前記ガスノズルから前記上流側及び下流側の少なくとも一方に向かって張り出した整流部材を備えたことを特徴とする成膜装置。 - 前記整流部材は、前記ガスノズルから前記上流側及び前記下流側の両方に張り出されていることを特徴とする請求項1記載の成膜装置。
- 各整流部材は回転テーブルの中心部側から離れる部位ほど前記回転方向の幅が大きいことを特徴とする請求項1または2記載の成膜装置。
- 前記整流部材の平面形状は扇型に形成されていることを特徴とする請求項3記載の成膜装置。
- 前記分離領域は、前記分離ガス供給手段の前記回転方向両側に位置し、当該分離領域から処理領域側に分離ガスが流れるための狭隘な空間を回転テーブルとの間に形成するための天井面を備えたことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載の成膜装置。
- 前記第1の処理領域と第2の処理領域との雰囲気を分離するために真空容器内の中心部に位置し、回転テーブルの基板載置面側に分離ガスを吐出する吐出孔が形成された中心部領域が設けられたことを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一つに記載の成膜装置。
- 前記中心部領域は、回転テーブルの回転中心部と真空容器の上面側とにより区画され、分離ガスがパージされる領域であることを特徴とする請求項6記載の成膜装置。
- 前記排気口は、分離領域の両側に拡散する分離ガス及び前記中心部領域から吐出する分離ガスと共に前記反応ガスを排気するように設けられていることを特徴とする請求項7記載の成膜装置。
- 前記排気口は、各反応ガスの排気を専用に行うために、平面で見たときに前記分離領域の前記回転方向両側に設けられていることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか一つに記載の成膜装置。
- 前記分離ガス供給手段は分離ガスを吐出するためのガス吐出孔を備え、この吐出口は、回転テーブルの回転中心部及び周縁部の一方側から他方側に向かって配列されていることを特徴とする請求項1ないし9のいずれか一つに記載の成膜装置。
- 前記分離領域の天井面における真空容器の外縁側の部位は、前記回転テーブルの外端面に対向するように屈曲して真空容器の内周壁の一部を構成し、当該天井面の屈曲部位と前記回転テーブルの外端面との隙間は、反応ガスの侵入防止効果が得られる寸法に設定されていることを特徴とする請求項1ないし10のいずれか一つに記載の成膜装置。
- 前記分離領域の天井面において、前記分離ガス供給手段に対して回転テーブルの相対的回転方向の上流側部位は、外縁に位置する部位ほど前記回転方向の幅が大きいことを特徴とする請求項1ないし11のいずれか一つに記載の成膜装置。
- 真空容器内にて複数の基板を載置した回転テーブルを回転して、
前記基板が複数の異なる処理領域に供給された反応ガスと順次接触することにより、前記基板の表面に薄膜を形成する成膜装置において、
前記複数の処理領域の間に設けられ、異なる反応ガスが前記基板表面から離れた空間で反応することを防止する分離ガスを供給する分離領域と、
前記処理領域の天井から離間して基板近傍において基板の方向に反応ガスを供給する反応ガス供給手段と、
前記分離領域から前記処理領域に流入した分離ガスが前記反応ガス供給手段と前記基板との隙間に流入して前記基板に供給される反応ガスの濃度が低下することを抑制する整流部材と
前記処理領域の天井と、前記反応ガス供給手段との間に設けられ、前記整流部材により分離ガスがガイドされる通流空間と、
を設けたことを特徴とする成膜装置。 - 前記回転テーブルに載置された基板表面から前記処理領域の天井の高さは、前記回転テーブルに載置された基板表面から前記分離領域の天井よりも高く形成されていることを特徴とする請求項13記載の成膜装置。
- 複数の異なる反応領域に於いて、処理領域の天井の高さは、前記処理領域に供給される反応ガスの種類、供給されるガス量に応じて夫々選択的に決められることを特徴とする請求項13または14記載の成膜装置。
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---|---|---|---|
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---|---|---|---|
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
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---|---|---|---|
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---|---|
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013149728A (ja) * | 2012-01-18 | 2013-08-01 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置 |
KR20140005818A (ko) | 2012-07-06 | 2014-01-15 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 성막 장치의 운전 방법 및 성막 장치 |
KR20140097609A (ko) | 2013-01-29 | 2014-08-06 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 성막 장치 |
US8927440B2 (en) | 2012-07-13 | 2015-01-06 | Tokyo Electron Limited | Film deposition apparatus and method of depositing film |
US9136156B2 (en) | 2011-09-12 | 2015-09-15 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus and film deposition apparatus |
KR20150133634A (ko) | 2014-05-16 | 2015-11-30 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 성막 장치 |
JP2016042561A (ja) * | 2014-08-19 | 2016-03-31 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
US9435026B2 (en) | 2013-03-28 | 2016-09-06 | Tokyo Electron Limited | Film deposition apparatus |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9416448B2 (en) * | 2008-08-29 | 2016-08-16 | Tokyo Electron Limited | Film deposition apparatus, substrate processing apparatus, film deposition method, and computer-readable storage medium for film deposition method |
JP5107185B2 (ja) | 2008-09-04 | 2012-12-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、基板処理装置、成膜方法及びこの成膜方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 |
JP5062144B2 (ja) * | 2008-11-10 | 2012-10-31 | 東京エレクトロン株式会社 | ガスインジェクター |
US9297072B2 (en) | 2008-12-01 | 2016-03-29 | Tokyo Electron Limited | Film deposition apparatus |
JP5131240B2 (ja) * | 2009-04-09 | 2013-01-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 |
JP5310512B2 (ja) * | 2009-12-02 | 2013-10-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JP5803714B2 (ja) * | 2012-02-09 | 2015-11-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置 |
CN103465605B (zh) * | 2012-06-08 | 2015-08-19 | 珠海格力电器股份有限公司 | 薄膜定位装置 |
US10385448B2 (en) * | 2012-09-26 | 2019-08-20 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for purging gaseous compounds |
US9257320B2 (en) * | 2013-06-05 | 2016-02-09 | GlobalFoundries, Inc. | Wafer carrier purge apparatuses, automated mechanical handling systems including the same, and methods of handling a wafer carrier during integrated circuit fabrication |
JP6123688B2 (ja) * | 2014-01-29 | 2017-05-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置 |
JP6262115B2 (ja) | 2014-02-10 | 2018-01-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法及び基板処理装置 |
JP5837962B1 (ja) * | 2014-07-08 | 2015-12-24 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびガス整流部 |
JP5800972B1 (ja) * | 2014-09-10 | 2015-10-28 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、ガス供給ユニット、カートリッジヘッド及びプログラム |
JP6330623B2 (ja) * | 2014-10-31 | 2018-05-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 |
DE102014116696B4 (de) * | 2014-11-14 | 2016-10-20 | Von Ardenne Gmbh | Vakuumkammer und Verfahren zum Betreiben einer Vakuumprozessieranlage |
US10954597B2 (en) * | 2015-03-17 | 2021-03-23 | Asm Ip Holding B.V. | Atomic layer deposition apparatus |
JP6054470B2 (ja) * | 2015-05-26 | 2016-12-27 | 株式会社日本製鋼所 | 原子層成長装置 |
JP6447393B2 (ja) * | 2015-07-06 | 2019-01-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜処理装置、成膜処理方法及び記憶媒体 |
JP7008629B2 (ja) * | 2016-01-26 | 2022-01-25 | ジュスン エンジニアリング カンパニー リミテッド | 基板処理装置 |
US10428425B2 (en) * | 2016-01-26 | 2019-10-01 | Tokyo Electron Limited | Film deposition apparatus, method of depositing film, and non-transitory computer-readable recording medium |
JP6548586B2 (ja) | 2016-02-03 | 2019-07-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜方法 |
KR102303066B1 (ko) * | 2016-06-03 | 2021-09-16 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 챔버 내부의 유동을 확산시키는 것에 의한 더 낮은 입자 수 및 더 양호한 웨이퍼 품질을 위한 효과적이고 새로운 설계 |
JP6733516B2 (ja) | 2016-11-21 | 2020-08-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
CN109731475B (zh) * | 2019-02-20 | 2021-12-14 | 苏州妙文信息科技有限公司 | 一种纳滤膜制备装置及生产工艺 |
JP7098677B2 (ja) * | 2020-03-25 | 2022-07-11 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63112A (ja) * | 1986-06-19 | 1988-01-05 | Rohm Co Ltd | 半導体製造装置 |
JPH01249694A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-04 | Asahi Glass Co Ltd | 化合物半導体の気相成長装置および気相成長方法 |
JP2007247066A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Asm Japan Kk | 回転サセプタを備える半導体処理装置 |
Family Cites Families (137)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4681773A (en) * | 1981-03-27 | 1987-07-21 | American Telephone And Telegraph Company At&T Bell Laboratories | Apparatus for simultaneous molecular beam deposition on a plurality of substrates |
US4579080A (en) * | 1983-12-09 | 1986-04-01 | Applied Materials, Inc. | Induction heated reactor system for chemical vapor deposition |
US4858557A (en) * | 1984-07-19 | 1989-08-22 | L.P.E. Spa | Epitaxial reactors |
US4596208A (en) * | 1984-11-05 | 1986-06-24 | Spire Corporation | CVD reaction chamber |
US5002011A (en) * | 1987-04-14 | 1991-03-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Vapor deposition apparatus |
US4879970A (en) * | 1987-04-21 | 1989-11-14 | M&T Chemicals Inc. | Coating hood for applying coating compound on containers |
US5095300A (en) * | 1990-03-28 | 1992-03-10 | Nec Electronics Inc. | Device for sensing side positioning of wafers |
JPH0812846B2 (ja) * | 1991-02-15 | 1996-02-07 | 株式会社半導体プロセス研究所 | 半導体製造装置 |
JP2677913B2 (ja) * | 1991-05-13 | 1997-11-17 | 三菱電機株式会社 | 半導体製造装置のシール機構および半導体装置の製造方法 |
JPH0613361A (ja) * | 1992-06-26 | 1994-01-21 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
JPH0653142A (ja) * | 1992-07-29 | 1994-02-25 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体薄膜気相成長装置 |
US5338362A (en) * | 1992-08-29 | 1994-08-16 | Tokyo Electron Limited | Apparatus for processing semiconductor wafer comprising continuously rotating wafer table and plural chamber compartments |
US5540821A (en) * | 1993-07-16 | 1996-07-30 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for adjustment of spacing between wafer and PVD target during semiconductor processing |
US5900103A (en) * | 1994-04-20 | 1999-05-04 | Tokyo Electron Limited | Plasma treatment method and apparatus |
US6120609A (en) * | 1996-10-25 | 2000-09-19 | Applied Materials, Inc. | Self-aligning lift mechanism |
US5909994A (en) * | 1996-11-18 | 1999-06-08 | Applied Materials, Inc. | Vertical dual loadlock chamber |
US6152070A (en) * | 1996-11-18 | 2000-11-28 | Applied Materials, Inc. | Tandem process chamber |
US5855681A (en) * | 1996-11-18 | 1999-01-05 | Applied Materials, Inc. | Ultra high throughput wafer vacuum processing system |
US5902088A (en) * | 1996-11-18 | 1999-05-11 | Applied Materials, Inc. | Single loadlock chamber with wafer cooling function |
US5911834A (en) * | 1996-11-18 | 1999-06-15 | Applied Materials, Inc. | Gas delivery system |
US5807792A (en) * | 1996-12-18 | 1998-09-15 | Siemens Aktiengesellschaft | Uniform distribution of reactants in a device layer |
JPH10226599A (ja) * | 1997-02-12 | 1998-08-25 | Sharp Corp | 気相成長装置 |
US6291800B1 (en) * | 1998-02-20 | 2001-09-18 | Tokyo Electron Limited | Heat treatment apparatus and substrate processing system |
US6143082A (en) * | 1998-10-08 | 2000-11-07 | Novellus Systems, Inc. | Isolation of incompatible processes in a multi-station processing chamber |
US6203619B1 (en) * | 1998-10-26 | 2001-03-20 | Symetrix Corporation | Multiple station apparatus for liquid source fabrication of thin films |
IT1312150B1 (it) * | 1999-03-25 | 2002-04-09 | Lpe Spa | Perfezionata camera di reazione per reattore epitassiale |
US6812157B1 (en) * | 1999-06-24 | 2004-11-02 | Prasad Narhar Gadgil | Apparatus for atomic layer chemical vapor deposition |
US6576062B2 (en) * | 2000-01-06 | 2003-06-10 | Tokyo Electron Limited | Film forming apparatus and film forming method |
JP4817210B2 (ja) | 2000-01-06 | 2011-11-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置および成膜方法 |
US6235656B1 (en) * | 2000-07-03 | 2001-05-22 | Andrew Peter Clarke | Dual degas/cool loadlock cluster tool |
US6562141B2 (en) * | 2000-07-03 | 2003-05-13 | Andrew Peter Clarke | Dual degas/cool loadlock cluster tool |
KR100458982B1 (ko) * | 2000-08-09 | 2004-12-03 | 주성엔지니어링(주) | 회전형 가스분사기를 가지는 반도체소자 제조장치 및 이를이용한 박막증착방법 |
JP2002170823A (ja) * | 2000-09-19 | 2002-06-14 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法並びにそれに使用されるカバー部材 |
KR100345304B1 (ko) * | 2000-10-12 | 2002-07-25 | 한국전자통신연구원 | 수직형 초고진공 화학증착장치 |
US6413321B1 (en) * | 2000-12-07 | 2002-07-02 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for reducing particle contamination on wafer backside during CVD process |
US6591850B2 (en) * | 2001-06-29 | 2003-07-15 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for fluid flow control |
KR20030038396A (ko) * | 2001-11-01 | 2003-05-16 | 에이에스엠엘 유에스, 인코포레이티드 | 우선적인 화학 기상 증착 장치 및 방법 |
US6838393B2 (en) * | 2001-12-14 | 2005-01-04 | Applied Materials, Inc. | Method for producing semiconductor including forming a layer containing at least silicon carbide and forming a second layer containing at least silicon oxygen carbide |
KR100452318B1 (ko) * | 2002-01-17 | 2004-10-12 | 삼성전자주식회사 | 압력조절시스템 및 이를 이용하는 압력조절방법 |
US6962644B2 (en) * | 2002-03-18 | 2005-11-08 | Applied Materials, Inc. | Tandem etch chamber plasma processing system |
US6932871B2 (en) * | 2002-04-16 | 2005-08-23 | Applied Materials, Inc. | Multi-station deposition apparatus and method |
US6869641B2 (en) * | 2002-07-03 | 2005-03-22 | Unaxis Balzers Ltd. | Method and apparatus for ALD on a rotary susceptor |
US6843882B2 (en) * | 2002-07-15 | 2005-01-18 | Applied Materials, Inc. | Gas flow control in a wafer processing system having multiple chambers for performing same process |
US7153542B2 (en) * | 2002-08-06 | 2006-12-26 | Tegal Corporation | Assembly line processing method |
US20050084610A1 (en) * | 2002-08-13 | 2005-04-21 | Selitser Simon I. | Atmospheric pressure molecular layer CVD |
KR100497748B1 (ko) * | 2002-09-17 | 2005-06-29 | 주식회사 무한 | 반도체소자 제조용 원자층 증착 장치 및 원자층 증착 방법 |
US6972055B2 (en) * | 2003-03-28 | 2005-12-06 | Finens Corporation | Continuous flow deposition system |
JP2005183834A (ja) * | 2003-12-22 | 2005-07-07 | Toshiba Ceramics Co Ltd | バレル型サセプタ |
US7276122B2 (en) * | 2004-04-21 | 2007-10-02 | Mattson Technology, Inc. | Multi-workpiece processing chamber |
US20050241579A1 (en) * | 2004-04-30 | 2005-11-03 | Russell Kidd | Face shield to improve uniformity of blanket CVD processes |
JP4879509B2 (ja) * | 2004-05-21 | 2012-02-22 | 株式会社アルバック | 真空成膜装置 |
KR101309334B1 (ko) * | 2004-08-02 | 2013-09-16 | 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드 | 화학적 기상 증착 반응기용 멀티 가스 분배 인젝터 |
JP4480516B2 (ja) * | 2004-08-23 | 2010-06-16 | 株式会社アルバック | バリア膜の形成方法 |
US20060073276A1 (en) * | 2004-10-04 | 2006-04-06 | Eric Antonissen | Multi-zone atomic layer deposition apparatus and method |
US7422636B2 (en) * | 2005-03-25 | 2008-09-09 | Tokyo Electron Limited | Plasma enhanced atomic layer deposition system having reduced contamination |
US20060251827A1 (en) * | 2005-05-09 | 2006-11-09 | Applied Materials, Inc. | Tandem uv chamber for curing dielectric materials |
US7777198B2 (en) * | 2005-05-09 | 2010-08-17 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for exposing a substrate to a rotating irradiance pattern of UV radiation |
US20060249175A1 (en) * | 2005-05-09 | 2006-11-09 | Applied Materials, Inc. | High efficiency UV curing system |
US20070116873A1 (en) * | 2005-11-18 | 2007-05-24 | Tokyo Electron Limited | Apparatus for thermal and plasma enhanced vapor deposition and method of operating |
US7740705B2 (en) * | 2006-03-08 | 2010-06-22 | Tokyo Electron Limited | Exhaust apparatus configured to reduce particle contamination in a deposition system |
US7794546B2 (en) * | 2006-03-08 | 2010-09-14 | Tokyo Electron Limited | Sealing device and method for a processing system |
US20070218701A1 (en) * | 2006-03-15 | 2007-09-20 | Asm Japan K.K. | Semiconductor-processing apparatus with rotating susceptor |
US7909595B2 (en) * | 2006-03-17 | 2011-03-22 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for exposing a substrate to UV radiation using a reflector having both elliptical and parabolic reflective sections |
US7566891B2 (en) * | 2006-03-17 | 2009-07-28 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for treating a substrate with UV radiation using primary and secondary reflectors |
US8100081B1 (en) * | 2006-06-30 | 2012-01-24 | Novellus Systems, Inc. | Edge removal of films using externally generated plasma species |
US8187679B2 (en) * | 2006-07-29 | 2012-05-29 | Lotus Applied Technology, Llc | Radical-enhanced atomic layer deposition system and method |
KR20080027009A (ko) * | 2006-09-22 | 2008-03-26 | 에이에스엠지니텍코리아 주식회사 | 원자층 증착 장치 및 그를 이용한 다층막 증착 방법 |
US8043432B2 (en) * | 2007-02-12 | 2011-10-25 | Tokyo Electron Limited | Atomic layer deposition systems and methods |
US20080241384A1 (en) * | 2007-04-02 | 2008-10-02 | Asm Genitech Korea Ltd. | Lateral flow deposition apparatus and method of depositing film by using the apparatus |
US8197636B2 (en) * | 2007-07-12 | 2012-06-12 | Applied Materials, Inc. | Systems for plasma enhanced chemical vapor deposition and bevel edge etching |
JP2009088298A (ja) * | 2007-09-29 | 2009-04-23 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
US8465592B2 (en) * | 2008-08-25 | 2013-06-18 | Tokyo Electron Limited | Film deposition apparatus |
JP4661990B2 (ja) * | 2008-06-27 | 2011-03-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、成膜方法、基板処理装置及び記憶媒体 |
US20090324826A1 (en) * | 2008-06-27 | 2009-12-31 | Hitoshi Kato | Film Deposition Apparatus, Film Deposition Method, and Computer Readable Storage Medium |
US8465591B2 (en) * | 2008-06-27 | 2013-06-18 | Tokyo Electron Limited | Film deposition apparatus |
JP5310283B2 (ja) * | 2008-06-27 | 2013-10-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜方法、成膜装置、基板処理装置及び記憶媒体 |
JP5195175B2 (ja) * | 2008-08-29 | 2013-05-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 |
JP5195676B2 (ja) * | 2008-08-29 | 2013-05-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、基板処理装置、成膜方法及び記憶媒体 |
JP5262452B2 (ja) * | 2008-08-29 | 2013-08-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置及び基板処理装置 |
US9416448B2 (en) * | 2008-08-29 | 2016-08-16 | Tokyo Electron Limited | Film deposition apparatus, substrate processing apparatus, film deposition method, and computer-readable storage medium for film deposition method |
US8808456B2 (en) * | 2008-08-29 | 2014-08-19 | Tokyo Electron Limited | Film deposition apparatus and substrate process apparatus |
JP5173685B2 (ja) * | 2008-09-04 | 2013-04-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、成膜方法、並びにこの成膜方法を成膜装置に実施させるプログラムおよびこれを記憶するコンピュータ可読記憶媒体 |
JP5107185B2 (ja) * | 2008-09-04 | 2012-12-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、基板処理装置、成膜方法及びこの成膜方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 |
JP5253933B2 (ja) * | 2008-09-04 | 2013-07-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、基板処理装置、成膜方法及び記憶媒体 |
US8961691B2 (en) * | 2008-09-04 | 2015-02-24 | Tokyo Electron Limited | Film deposition apparatus, film deposition method, computer readable storage medium for storing a program causing the apparatus to perform the method |
JP5276388B2 (ja) * | 2008-09-04 | 2013-08-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置及び基板処理装置 |
JP2010087467A (ja) * | 2008-09-04 | 2010-04-15 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置、基板処理装置、成膜方法及びこの成膜方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 |
JP2010084230A (ja) * | 2008-09-04 | 2010-04-15 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置、基板処理装置及び回転テーブル |
JP5280964B2 (ja) * | 2008-09-04 | 2013-09-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、基板処理装置、成膜方法及び記憶媒体 |
JP5253932B2 (ja) * | 2008-09-04 | 2013-07-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、基板処理装置、成膜方法及び記憶媒体 |
JP5276387B2 (ja) * | 2008-09-04 | 2013-08-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、基板処理装置、成膜方法及びこの成膜方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 |
US7964858B2 (en) * | 2008-10-21 | 2011-06-21 | Applied Materials, Inc. | Ultraviolet reflector with coolant gas holes and method |
JP5062144B2 (ja) * | 2008-11-10 | 2012-10-31 | 東京エレクトロン株式会社 | ガスインジェクター |
JP2010153769A (ja) * | 2008-11-19 | 2010-07-08 | Tokyo Electron Ltd | 基板位置検出装置、基板位置検出方法、成膜装置、成膜方法、プログラム及びコンピュータ可読記憶媒体 |
JP5031013B2 (ja) * | 2008-11-19 | 2012-09-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、成膜装置のクリーニング方法、プログラム、プログラムを記憶するコンピュータ可読記憶媒体 |
JP2010126797A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-06-10 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置、半導体製造装置、これらに用いられるサセプタ、プログラム、およびコンピュータ可読記憶媒体 |
US9297072B2 (en) * | 2008-12-01 | 2016-03-29 | Tokyo Electron Limited | Film deposition apparatus |
JP5056735B2 (ja) * | 2008-12-02 | 2012-10-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置 |
JP5083193B2 (ja) * | 2008-12-12 | 2012-11-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 |
JP5068780B2 (ja) * | 2009-03-04 | 2012-11-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、成膜方法、プログラム、およびコンピュータ可読記憶媒体 |
US20100227059A1 (en) * | 2009-03-04 | 2010-09-09 | Tokyo Electron Limited | Film deposition apparatus, film deposition method, and computer readable storage medium |
JP5107285B2 (ja) * | 2009-03-04 | 2012-12-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、成膜方法、プログラム、およびコンピュータ可読記憶媒体 |
JP5093162B2 (ja) * | 2009-03-12 | 2012-12-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 |
JP5141607B2 (ja) * | 2009-03-13 | 2013-02-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置 |
JP5181100B2 (ja) * | 2009-04-09 | 2013-04-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 |
JP5131240B2 (ja) * | 2009-04-09 | 2013-01-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 |
JP5434484B2 (ja) * | 2009-11-02 | 2014-03-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 |
JP5257328B2 (ja) * | 2009-11-04 | 2013-08-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 |
JP5310512B2 (ja) * | 2009-12-02 | 2013-10-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JP5553588B2 (ja) * | 2009-12-10 | 2014-07-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置 |
JP5482196B2 (ja) * | 2009-12-25 | 2014-04-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 |
JP5327147B2 (ja) * | 2009-12-25 | 2013-10-30 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
US8034723B2 (en) * | 2009-12-25 | 2011-10-11 | Tokyo Electron Limited | Film deposition apparatus and film deposition method |
JP5497423B2 (ja) * | 2009-12-25 | 2014-05-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置 |
JP5392069B2 (ja) * | 2009-12-25 | 2014-01-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置 |
JP5524139B2 (ja) * | 2010-09-28 | 2014-06-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板位置検出装置、これを備える成膜装置、および基板位置検出方法 |
JP5579009B2 (ja) * | 2010-09-29 | 2014-08-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置および成膜方法 |
JP5572515B2 (ja) * | 2010-10-15 | 2014-08-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置および成膜方法 |
JP5644719B2 (ja) * | 2011-08-24 | 2014-12-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、基板処理装置及びプラズマ発生装置 |
JP5765154B2 (ja) * | 2011-09-12 | 2015-08-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び成膜装置 |
JP5712879B2 (ja) * | 2011-09-22 | 2015-05-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置及び基板処理装置 |
JP5884500B2 (ja) * | 2012-01-18 | 2016-03-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置 |
JP5803706B2 (ja) * | 2012-02-02 | 2015-11-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置 |
JP5803714B2 (ja) * | 2012-02-09 | 2015-11-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置 |
JP5794194B2 (ja) * | 2012-04-19 | 2015-10-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JP5842750B2 (ja) * | 2012-06-29 | 2016-01-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜方法、成膜装置及び記憶媒体 |
JP5953994B2 (ja) * | 2012-07-06 | 2016-07-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置及び成膜方法 |
JP5857896B2 (ja) * | 2012-07-06 | 2016-02-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置の運転方法及び成膜装置 |
JP5861583B2 (ja) * | 2012-07-13 | 2016-02-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置及び成膜方法 |
JP6136613B2 (ja) * | 2012-09-21 | 2017-05-31 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理方法 |
JP5954108B2 (ja) * | 2012-10-23 | 2016-07-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JP6051788B2 (ja) * | 2012-11-05 | 2016-12-27 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ発生装置 |
JP6010451B2 (ja) * | 2012-12-21 | 2016-10-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜方法 |
JP6101083B2 (ja) * | 2013-01-16 | 2017-03-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜方法及び成膜装置 |
JP5954202B2 (ja) * | 2013-01-29 | 2016-07-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置 |
JP5971144B2 (ja) * | 2013-02-06 | 2016-08-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び成膜方法 |
JP6115244B2 (ja) * | 2013-03-28 | 2017-04-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置 |
-
2009
- 2009-11-12 JP JP2009258644A patent/JP5445044B2/ja active Active
- 2009-11-13 KR KR1020117008481A patent/KR101355234B1/ko active IP Right Grant
- 2009-11-13 US US13/128,908 patent/US8951347B2/en active Active
- 2009-11-13 CN CN200980135521.5A patent/CN102150245B/zh active Active
- 2009-11-13 TW TW98138629A patent/TWI443222B/zh active
- 2009-11-13 WO PCT/JP2009/069398 patent/WO2010055926A1/ja active Application Filing
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63112A (ja) * | 1986-06-19 | 1988-01-05 | Rohm Co Ltd | 半導体製造装置 |
JPH01249694A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-04 | Asahi Glass Co Ltd | 化合物半導体の気相成長装置および気相成長方法 |
JP2007247066A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Asm Japan Kk | 回転サセプタを備える半導体処理装置 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9136156B2 (en) | 2011-09-12 | 2015-09-15 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus and film deposition apparatus |
JP2013149728A (ja) * | 2012-01-18 | 2013-08-01 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置 |
KR101531084B1 (ko) * | 2012-01-18 | 2015-06-23 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 성막 장치 |
KR20140005818A (ko) | 2012-07-06 | 2014-01-15 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 성막 장치의 운전 방법 및 성막 장치 |
US9209011B2 (en) | 2012-07-06 | 2015-12-08 | Tokyo Electron Limited | Method of operating film deposition apparatus and film deposition apparatus |
US8927440B2 (en) | 2012-07-13 | 2015-01-06 | Tokyo Electron Limited | Film deposition apparatus and method of depositing film |
KR20140097609A (ko) | 2013-01-29 | 2014-08-06 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 성막 장치 |
US9435026B2 (en) | 2013-03-28 | 2016-09-06 | Tokyo Electron Limited | Film deposition apparatus |
KR20150133634A (ko) | 2014-05-16 | 2015-11-30 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 성막 장치 |
US10344382B2 (en) | 2014-05-16 | 2019-07-09 | Tokyo Electron Limited | Film forming apparatus |
JP2016042561A (ja) * | 2014-08-19 | 2016-03-31 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
US10604839B2 (en) | 2014-08-19 | 2020-03-31 | Kokusai Electric Corporation | Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device, and method of processing substrate |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102150245B (zh) | 2013-05-22 |
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US8951347B2 (en) | 2015-02-10 |
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