JP5031013B2 - 成膜装置、成膜装置のクリーニング方法、プログラム、プログラムを記憶するコンピュータ可読記憶媒体 - Google Patents
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Description
・サセプタ2の回転速度: 1−500rpm(ウエハWの直径が300mmの場合)
・真空容器1の圧力: 1067 Pa(8 Torr)
・ウエハ温度: 350℃
・BTBASガスの流量: 100 sccm
・O3ガスの流量: 10000 sccm
・分離ガス供給ノズル41,42からのN2ガスの流量: 20000 sccm
・分離ガス供給管51からのN2ガスの流量: 5000 sccm
・サセプタ2の回転数: 600回転(必要な膜厚による)
この実施形態による成膜装置300によれば、成膜装置300が、BTBASガスが供給される第1の処理領域と、O3ガスが供給される第2の処理領域との間に、低い天井面44を含む分離領域Dを有しているため、BTBASガス(O3ガス)が第2の処理領域P2(第1の処理領域P1)へ流れ込むのが防止され、O3ガス(BTBASガス)と混合されるのが防止される。したがって、ウエハWが載置されたサセプタ2を回転させて、ウエハWを第1の処理領域P1、分離領域D、第2の処理領域P2、及び分離領域Dを通過させることにより、酸化シリコン膜の分子層成膜が確実に実施される。また、BTBASガス(O3ガス)が第2の処理領域P2(第1の処理領域P1)へ流れ込みO3ガス(BTBASガス)と混合するのを更に確実に防止するため、分離領域Dは、N2ガスを吐出する分離ガス供給ノズル41,42を更に含む。さらに、この実施形態による成膜装置300の真空容器1は、N2ガスが吐出される吐出孔を有する中心領域Cを有しているため、中心領域Cを通ってBTBASガス(O3ガス)が第2の処理領域P2(第1の処理領域P1)へ流れ込みO3ガス(BTBASガス)と混合されるのを防止することができる。
Claims (17)
- 容器内にて、互いに反応する少なくとも2種類の反応ガスを順番に基板に供給するサイクルを実行して反応生成物の層を当該基板上に生成することにより膜を堆積する成膜装置であって、
前記容器に回転可能に設けられるサセプタ;
前記サセプタの一の面に設けられ、前記基板が載置される基板載置領域;
前記一の面に第1の反応ガスを供給するよう構成される第1の反応ガス供給部;
前記サセプタの回転方向に沿って前記第1の反応ガス供給部から離れ、前記一の面に第2の反応ガスを供給するよう構成される第2の反応ガス供給部;
前記回転方向に沿って、前記第1の反応ガスが供給される第1の処理領域と前記第2の反応ガスが供給される第2の処理領域との間に位置し、前記第1の処理領域と前記第2の処理領域とを分離する分離領域;
前記第1の処理領域と前記第2の処理領域とを分離するために、前記容器の中央部に位置し、前記一の面に沿って第1の分離ガスを吐出する吐出孔を有する中央領域;
前記サセプタの上方において前記一の面に向かって開口して逆凹状の空間を画する第1の凹状部材と、
前記第1の凹状部材との間にガス流路を画するように前記第1の凹状部材を覆う第2の凹状部材と、
前記一の面に向かって開口する前記逆凹状の空間を通して前記一の面に向けてクリーニングガスを提供するために前記逆凹状の空間にクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給部と、
前記ガス流路に連通し、前記容器の外部へ延在する排気管と、
を含むクリーニング用構造体;および
前記容器内を排気するために前記容器に設けられる排気口;
を備え、
前記分離領域が、第2の分離ガスを供給する分離ガス供給部と、前記第2の分離ガスが前記回転方向に対し前記分離領域から前記処理領域側へ流れることができる狭隘な空間を、前記サセプタの前記一の面に対して形成する天井面と、を含む成膜装置。 - 容器内に回転可能に設けられるサセプタ;
前記サセプタの一の面に設けられ、基板が載置される基板載置領域;
前記サセプタの前記一の面に対して、原料ガスを供給する原料ガス供給系;
前記サセプタの上方において前記一の面に向かって開口して逆凹状の空間を画する第1の凹状部材と、
前記第1の凹状部材との間にガス流路を画するように前記第1の凹状部材を覆う第2の凹状部材と、
前記一の面に向かって開口する前記逆凹状の空間を通して前記一の面に向けてクリーニングガスを提供するために前記逆凹状の空間にクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給部と、
前記ガス流路に連通し、前記容器の外部へ延在する排気管と、
を含むクリーニング用構造体;および
前記原料ガスを排気するために前記容器に設けられる排気口;
を備える成膜装置。 - 前記クリーニングガス供給部が前記逆凹状の空間において前記サセプタの前記一の面に沿って延びる第1のガスノズルを含む、請求項1または2に記載の成膜装置。
- 前記クリーニングガス供給部が前記逆凹状の空間において前記サセプタの前記一の面に沿って延びる第2のガスノズルを更に含む、請求項3に記載の成膜装置。
- 前記第1のガスノズルから供給されるクリーニングガスがフッ化水素ガスである、請求項3に記載の成膜装置。
- 前記第1のガスノズルから供給されるクリーニングガスが水素ガスであり、前記第2のガスノズルから供給されるクリーニングガスがフッ素ガスである、請求項4に記載の成膜装置。
- 前記第1のガスノズルから供給されるクリーニングガスが塩素ガスであり、前記第2のガスノズルから供給されるクリーニングガスがフッ素ガスである、請求項4に記載の成膜装置。
- 前記逆凹状の空間において前記サセプタの前記一の面に沿って延びる2つの電極と、当該2つの電極の間に高周波電力を供給する高周波電源とを更に備える、請求項1から7のいずれか一項に記載の成膜装置。
- 成膜装置の容器内に回転可能に設けられ、基板が載置される基板載置領域を一の面に含むサセプタを回転するステップと、
前記サセプタの上方に配置され、該サセプタの前記一の面に向かって開口する第1の凹状部材により区画される逆凹状の空間を通して前記一の面に向けてクリーニングガスを提供するために前記逆凹状の空間にクリーニングガスを供給するステップと、
前記第1の凹状部材と、該第1の凹状部材を覆う第2の凹状部材との間に画成されるガス流路を通して前記クリーニングガスを排気するステップと
を備える、成膜装置のクリーニング方法。 - 前記クリーニングガスを供給するステップが、前記逆凹状の空間において前記サセプタの前記一の面に沿って延びる第1のガスノズルからクリーニングガスを供給するステップを含む、請求項9に記載のクリーニング方法。
- 前記クリーニングガスを供給するステップが、前記逆凹状の空間において前記サセプタの前記一の面に沿って延びる第2のガスノズルからクリーニングガスを供給するステップを更に含む、請求項10に記載のクリーニング方法。
- 前記第1のガスノズルから供給されるクリーニングガスがフッ化水素ガスである、請求項10に記載のクリーニング方法。
- 前記第1のガスノズルから供給されるクリーニングガスが水素ガスであり、前記第2のガスノズルから供給されるクリーニングガスがフッ素ガスである、請求項11に記載のクリーニング方法。
- 前記第1のガスノズルから供給されるクリーニングガスが塩素ガスであり、前記第2のガスノズルから供給されるクリーニングガスがフッ素ガスである、請求項11に記載のクリーニング方法。
- 前記逆凹状の空間において前記サセプタの前記一の面に沿って延びる2つの電極の間に高周波電力を供給するステップを更に含む、請求項9から14のいずれか一項に記載のクリーニング方法。
- 成膜装置の容器内に回転可能に設けられ、基板が載置される基板載置領域を一の面に含むサセプタを回転するステップと、
前記サセプタの上方に配置され、該サセプタの前記一の面に向かって開口する第1の凹状部材により区画される逆凹状の空間を通して前記一の面に向けてクリーニングガスを提供するために前記逆凹状の空間にクリーニングガスを供給するステップと、
前記第1の凹状部材と、該第1の凹状部材を覆う第2の凹状部材との間に画成されるガス流路を通して前記クリーニングガスを排気するステップと
を備える、成膜装置のクリーニング方法を請求項1または2に記載の成膜装置に実施させるプログラム。 - 請求項16に記載のプログラムを記憶するコンピュータ可読記憶媒体。
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