JP2011038902A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011038902A5 JP2011038902A5 JP2009186735A JP2009186735A JP2011038902A5 JP 2011038902 A5 JP2011038902 A5 JP 2011038902A5 JP 2009186735 A JP2009186735 A JP 2009186735A JP 2009186735 A JP2009186735 A JP 2009186735A JP 2011038902 A5 JP2011038902 A5 JP 2011038902A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- error
- geometric
- perpendicularity
- tool
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Description
まず、幾何誤差について説明する。幾何誤差を各軸間の相対並進誤差３方向および相対回転誤差３方向の合計６成分（δｘ，δｙ，δｚ，α，β，γ）であると定義する。図２の５軸機において、被加工物から工具までの軸のつながりは、Ｃ軸，Ａ軸，Ｙ軸，Ｘ軸，Ｚ軸の順番であり、Ｚ軸と工具間も考慮すると合計３０個の幾何誤差が存在する。ここで、各幾何誤差を表す記号を、挟まれた２つの軸名称を添え字として表すことにする。例えば、Ｃ軸とＡ軸の間のＹ方向の並進誤差はδｙＣＡ，Ｙ軸とＸ軸の間のＺ軸周りの回転誤差はγＹＸと表す。また、工具を示す記号はＴとする。
前記３０個の幾何誤差の中には冗長の関係にあるものが複数存在する。冗長の関係となるものにおいて１つを残し他を除外すると、最終的な幾何誤差はδｘＣＡ，δｙＣＡ，αＣＡ，βＣＡ，δｙＡＹ，δｚＡＹ，βＡＹ，γＡＹ，γＹＸ，αＸＺ，βＸＺ，αＺＴ，βＺＴの合計１３個となる。γＹＸ，αＸＺ，βＸＺ，αＺＴ，βＺＴの５つは３軸機にも存在する並進軸に関する幾何誤差であり、それぞれ、Ｘ−Ｙ軸間直角度，Ｙ−Ｚ軸間直角度，Ｚ−Ｘ軸間直角度，工具−Ｙ軸間直角度，工具−Ｘ軸間直角度である。それ以外の８つが回転軸に関する幾何誤差であり、それぞれ、Ｃ軸中心位置Ｘ方向誤差，Ｃ−Ａ軸間オフセット誤差，Ａ軸角度オフセット誤差，Ｃ−Ａ軸間直角度，Ａ軸中心位置Ｙ方向誤差，Ａ軸中心位置Ｚ方向誤差，Ａ−Ｘ軸間直角度，Ａ−Ｙ軸間直角度である。コンピュータには、これらの幾何誤差を記憶する記憶手段が含まれる。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009186735A JP5448634B2 (ja) | 2009-08-11 | 2009-08-11 | 機械の誤差同定方法およびプログラム |
| ITMI2010A001452A IT1400758B1 (it) | 2009-08-11 | 2010-07-30 | Metodo e programma per identificare errori meccanici |
| DE102010038783A DE102010038783A1 (de) | 2009-08-11 | 2010-08-02 | Verfahren und Programm zum Erkennen von mechanischen Fehlern |
| US12/851,582 US8494800B2 (en) | 2009-08-11 | 2010-08-06 | Method and program for identifying mechanical errors |
| CN201010250193.8A CN101992407B (zh) | 2009-08-11 | 2010-08-09 | 设备的误差辨识方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009186735A JP5448634B2 (ja) | 2009-08-11 | 2009-08-11 | 機械の誤差同定方法およびプログラム |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011038902A JP2011038902A (ja) | 2011-02-24 |
| JP2011038902A5 true JP2011038902A5 (ja) | 2012-04-19 |
| JP5448634B2 JP5448634B2 (ja) | 2014-03-19 |
Family
ID=43495625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2009186735A Active JP5448634B2 (ja) | 2009-08-11 | 2009-08-11 | 機械の誤差同定方法およびプログラム |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8494800B2 (ja) |
| JP (1) | JP5448634B2 (ja) |
| CN (1) | CN101992407B (ja) |
| DE (1) | DE102010038783A1 (ja) |
| IT (1) | IT1400758B1 (ja) |
Families Citing this family (63)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101255479B1 (ko) * | 2010-01-19 | 2013-04-16 | 경북대학교 산학협력단 | 다축 제어 기계의 직선축과 회전축 간의 기하학적 오차 평가 방법 |
| KR101126808B1 (ko) * | 2010-03-02 | 2012-03-23 | 경북대학교 산학협력단 | 다축 제어 기계의 오차 평가 방법 및 장치 |
| JP5473846B2 (ja) * | 2010-09-17 | 2014-04-16 | 三菱重工業株式会社 | 加工方法 |
| JP2013542401A (ja) | 2010-10-27 | 2013-11-21 | 株式会社ニコン | 形状測定装置、構造物の製造方法及び構造物製造システム |
| JP5686578B2 (ja) * | 2010-11-15 | 2015-03-18 | オークマ株式会社 | 幾何誤差計測システム |
| JP5740202B2 (ja) * | 2011-04-28 | 2015-06-24 | オークマ株式会社 | 幾何誤差同定装置 |
| JP5740201B2 (ja) * | 2011-04-28 | 2015-06-24 | オークマ株式会社 | 幾何誤差同定装置 |
| JP2012240170A (ja) * | 2011-05-20 | 2012-12-10 | Okuma Corp | 幾何誤差同定装置 |
| CN103134451A (zh) * | 2011-11-30 | 2013-06-05 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 三坐标测量机三轴垂直度误差补偿系统及方法 |
| CN102554701B (zh) * | 2012-03-07 | 2015-02-18 | 天津大学 | 机床分度误差补偿方法及装置 |
| CN102825589A (zh) * | 2012-09-18 | 2012-12-19 | 昆山迈致治具科技有限公司 | 翻转测试治具 |
| EP2943742B1 (de) * | 2013-01-09 | 2019-07-10 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH | Verfahren und anordnung zur ermittlung von fehlern eines drehpositionsermittlungssystems |
| CN103192292B (zh) * | 2013-04-11 | 2015-04-22 | 济南大学 | 基于加工工件曲面形貌信息的数控机床误差辨识分离方法 |
| JP6043234B2 (ja) * | 2013-04-15 | 2016-12-14 | オークマ株式会社 | 数値制御装置 |
| JP5674858B2 (ja) * | 2013-05-10 | 2015-02-25 | ファナック株式会社 | ワイヤ放電加工機の傾斜した回転軸の基準点測定方法および測定治具 |
| JP2014238782A (ja) * | 2013-06-10 | 2014-12-18 | オークマ株式会社 | 工作機械の制御方法 |
| EP2835702B1 (de) * | 2013-08-09 | 2016-04-27 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur Vermessung wenigstens einer Rundachse einer Werkzeugmaschine |
| JP5705283B2 (ja) * | 2013-09-09 | 2015-04-22 | 株式会社牧野フライス製作所 | 工作機械および工作機械の回転軸の測定方法 |
| CN103557802B (zh) * | 2013-11-18 | 2015-10-07 | 沈阳黎明航空发动机(集团)有限责任公司 | 一种非接触测量空间曲面微小孔直径和坐标位置的方法 |
| JP6295070B2 (ja) * | 2013-12-05 | 2018-03-14 | オークマ株式会社 | 多軸工作機械の幾何誤差同定方法及び多軸工作機械 |
| JP2015203567A (ja) | 2014-04-10 | 2015-11-16 | オークマ株式会社 | 計測システム |
| JP2016083729A (ja) | 2014-10-27 | 2016-05-19 | オークマ株式会社 | 幾何誤差同定システム、及び幾何誤差同定方法 |
| JP6259401B2 (ja) * | 2015-01-16 | 2018-01-10 | 矢崎総業株式会社 | 位置合わせ方法 |
| US9952044B2 (en) * | 2015-02-02 | 2018-04-24 | Rolls-Royce North American Technologies, Inc. | Multi-axis calibration block |
| JP2016155185A (ja) * | 2015-02-23 | 2016-09-01 | オークマ株式会社 | 工作機械の誤差同定方法 |
| DE102015205567A1 (de) | 2015-03-26 | 2016-09-29 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Kalibrierung einer an einem beweglichen Teil eines Koordinatenmessgeräts angebrachten Drehvorrichtung |
| JP6466777B2 (ja) * | 2015-05-20 | 2019-02-06 | オークマ株式会社 | 工作機械における幾何誤差パラメータ同定方法、工作機械の制御方法及び制御装置 |
| CN107810382B (zh) | 2015-06-26 | 2020-12-22 | 卡尔蔡司工业测量技术有限公司 | 用于在坐标测量机的测量空间中组装旋转设备的适配器元件 |
| JP6538503B2 (ja) * | 2015-09-24 | 2019-07-03 | オークマ株式会社 | 工作機械の幾何誤差同定方法及び幾何誤差同定プログラム |
| JP6506149B2 (ja) * | 2015-09-24 | 2019-04-24 | オークマ株式会社 | 工作機械の幾何誤差同定方法及び幾何誤差同定プログラム |
| DE102015219141A1 (de) | 2015-10-02 | 2017-04-06 | Deckel Maho Seebach Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Vermessung einer numerisch gesteuerten Werkzeugmaschine |
| JP6570957B2 (ja) * | 2015-10-06 | 2019-09-04 | Ｏｋｋ株式会社 | 機械構造体の幾何誤差同定方法と当該幾何誤差同定方法を使用した数値制御方法、数値制御装置及びマシニングセンタ |
| JP6411985B2 (ja) * | 2015-11-04 | 2018-10-24 | ファナック株式会社 | 調整機構を備えた回転軸支持装置 |
| JP6845612B2 (ja) * | 2016-03-07 | 2021-03-17 | 中村留精密工業株式会社 | 工作機械における機械精度の測定方法及び装置 |
| JP6586112B2 (ja) * | 2016-04-19 | 2019-10-02 | オークマ株式会社 | 工作機械の誤差同定方法及び誤差同定システム |
| US10357863B2 (en) | 2016-04-19 | 2019-07-23 | Okuma Corporation | Error identification method of machine tool and error identification system of the same |
| EP3327524B1 (en) | 2016-11-29 | 2023-04-05 | GF Machining Solutions AG | Kinematic calibration |
| DE102016226073A1 (de) | 2016-12-22 | 2018-06-28 | Deckel Maho Pfronten Gmbh | Vorrichtung zum einsatz in einer numerisch gesteuerten werkzeugmaschine zur verwendung in einem verfahren zum vermessen der numerisch gesteuerten werkzeugmaschine |
| JP2018116458A (ja) * | 2017-01-18 | 2018-07-26 | ファナック株式会社 | 制御装置 |
| JP6942577B2 (ja) | 2017-09-15 | 2021-09-29 | オークマ株式会社 | 工作機械の数値制御装置及び数値制御方法 |
| CN109520455A (zh) * | 2017-09-20 | 2019-03-26 | 财团法人精密机械研究发展中心 | 旋转工作台几何精度误差量测装置及量测方法 |
| CN107816945A (zh) * | 2017-10-30 | 2018-03-20 | 大连民族大学 | 五坐标测量机 |
| KR102035334B1 (ko) * | 2018-02-26 | 2019-10-22 | 한국기계연구원 | 4축 공작기계의 기하학적 오차 측정 방법 |
| JP6985182B2 (ja) * | 2018-03-05 | 2021-12-22 | オークマ株式会社 | 工作機械における回転軸の中心位置計測方法 |
| JP7138003B2 (ja) * | 2018-09-21 | 2022-09-15 | オークマ株式会社 | 工作機械の誤差同定方法及び誤差同定システム |
| DE102019104604A1 (de) * | 2018-12-27 | 2020-07-02 | Schwäbische Werkzeugmaschinen GmbH | Verfahren zum Bestimmen einer Topographie einer Werkzeugmaschine |
| TWI710748B (zh) | 2019-04-15 | 2020-11-21 | 財團法人工業技術研究院 | 輪廓精度量測系統及量測方法 |
| DE102019208946A1 (de) | 2019-06-19 | 2020-12-24 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einer Lage einer Drehachse eines Drehtisches sowie Drehtisch und Koordinatenmessgerät |
| JP7373970B2 (ja) * | 2019-11-06 | 2023-11-06 | オークマ株式会社 | 工作機械の誤差補正方法及び工作機械 |
| JP7266511B2 (ja) * | 2019-11-06 | 2023-04-28 | オークマ株式会社 | 工作機械における対象物の位置計測方法及び位置計測システム、位置計測プログラム |
| JP7321067B2 (ja) * | 2019-11-27 | 2023-08-04 | オークマ株式会社 | 工作機械の反転誤差計測方法 |
| JP6959389B2 (ja) | 2020-04-15 | 2021-11-02 | 株式会社ソディック | 多軸加工機、多軸加工機の回転中心測定方法およびプログラム |
| EP3954966A1 (en) * | 2020-08-14 | 2022-02-16 | Hexagon Technology Center GmbH | Rotary table compensation |
| KR102511601B1 (ko) * | 2020-08-20 | 2023-03-20 | 한국기계연구원 | 수직형 5축 공작기계의 기하학적 오차 측정 방법 |
| KR102511600B1 (ko) * | 2020-08-20 | 2023-03-20 | 한국기계연구원 | 5축 공작기계의 기하학적 오차 측정 방법 |
| CN111879270A (zh) * | 2020-09-01 | 2020-11-03 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种旋转平台及基于其的球坐标测量机 |
| CN113108738B (zh) * | 2021-03-25 | 2022-12-27 | 中国航发南方工业有限公司 | 一种涡轮盘榫槽三坐标测量机转台及第五轴校准方法 |
| CN113600868B (zh) * | 2021-06-29 | 2022-11-08 | 东风汽车集团股份有限公司 | 缸孔圆心的确定方法、确定装置及精镗机床 |
| JP2023010001A (ja) | 2021-07-08 | 2023-01-20 | オークマ株式会社 | ５軸制御工作機械の誤差同定方法、誤差同定プログラム、５軸制御工作機械 |
| JP2023010002A (ja) | 2021-07-08 | 2023-01-20 | オークマ株式会社 | 工作機械の誤差同定方法、誤差同定プログラム、工作機械 |
| WO2023032054A1 (ja) * | 2021-08-31 | 2023-03-09 | 株式会社ニコン | 移動誤差算出システム、工作機械、算出装置、較正方法、光計測装置 |
| CN117897587A (zh) * | 2021-08-31 | 2024-04-16 | 株式会社尼康 | 加工系统 |
| US11886162B2 (en) * | 2022-02-23 | 2024-01-30 | Guangdong Ocean University | Method for identifying pitch error and yaw error of numerically-controlled (NC) machine tool |
Family Cites Families (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61209857A (ja) * | 1985-03-08 | 1986-09-18 | Yoshiaki Kakino | Ｎｃ工作機械の運動精度試験方法および装置 |
| DE3637410A1 (de) * | 1986-11-03 | 1988-05-11 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zur messung von drehtischabweichungen |
| KR910005508B1 (ko) * | 1989-05-23 | 1991-07-31 | 박준호 | 컴퓨터 원용 키이니매틱 트랜듀서 링크 시스템 및 그 시스템을 사용한 nc 공작기계 정밀도의 측정 및 해석방법 |
| JP2904248B2 (ja) * | 1993-03-01 | 1999-06-14 | 株式会社東京精密 | 座標測定機用ロータリテーブルの校正方法 |
| KR100271854B1 (ko) * | 1996-11-29 | 2000-11-15 | 선우중호 | 다축기계의 3차원입체오차측정방법 |
| JP2001201340A (ja) * | 2000-01-19 | 2001-07-27 | Mitsutoyo Corp | 真円度測定装置 |
| US6526364B2 (en) * | 2000-01-19 | 2003-02-25 | Mitutoyo Corporation | Method and apparatus for measuring roundness |
| US6865499B2 (en) * | 2001-04-26 | 2005-03-08 | Siemens Energy & Automation, Inc. | Method and apparatus for tuning compensation parameters in a motion control system associated with a mechanical member |
| US6859747B2 (en) * | 2001-04-26 | 2005-02-22 | Siemens Energy & Automation, Inc. | Method and apparatus for self-calibrating a motion control system |
| WO2004034164A1 (en) * | 2002-10-11 | 2004-04-22 | Fidia S.P.A. | System and process for measuring, compensating and testing numerically controlled machine tool heads and/or tables |
| US7245982B2 (en) * | 2002-10-11 | 2007-07-17 | Fidia S.P.A. | System and process for measuring, compensating and testing numerically controlled machine tool heads and/or tables |
| JP2004219132A (ja) * | 2003-01-10 | 2004-08-05 | Masaomi Tsutsumi | 旋回軸の幾何学的な誤差の測定方法 |
| WO2004111569A1 (en) * | 2003-06-11 | 2004-12-23 | Snap-On Incorporated | Wheel alignment with surface-oriented runout determination |
| JP3917114B2 (ja) * | 2003-08-08 | 2007-05-23 | 株式会社ジェイテクト | 回転軸を有する加工機の誤差算出方法 |
| JP2007044802A (ja) * | 2005-08-09 | 2007-02-22 | Okuma Corp | 多軸工作機械における旋回軸中心測定方法 |
| JP2009012083A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-22 | Yoshiaki Kakino | 工作機械の運動誤差測定方法及び運動誤差測定装置 |
| US8306776B2 (en) * | 2008-06-30 | 2012-11-06 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Method and system for calculating misalignment of rotational body |
-
2009
- 2009-08-11 JP JP2009186735A patent/JP5448634B2/ja active Active
-
2010
- 2010-07-30 IT ITMI2010A001452A patent/IT1400758B1/it active
- 2010-08-02 DE DE102010038783A patent/DE102010038783A1/de active Pending
- 2010-08-06 US US12/851,582 patent/US8494800B2/en active Active
- 2010-08-09 CN CN201010250193.8A patent/CN101992407B/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2011038902A5 (ja) | ||
| JP5448634B2 (ja) | 機械の誤差同定方法およびプログラム | |
| Lin et al. | Modelling of five-axis machine tool metrology models using the matrix summation approach | |
| Huang et al. | Theory of parallel mechanisms | |
| CN110757450B (zh) | 一种肩关节康复机器人参数标定方法 | |
| RU2478464C1 (ru) | Модульная робототехническая технологическая установка | |
| TW200922759A (en) | Dual-mode robot systems and methods for electronic device manufacturing | |
| CN100374244C (zh) | 用于机器人操作的三维平移并联机构 | |
| CN109531205B (zh) | 正交式双转台基座可转动数控夹具系统及其调控方法 | |
| Jin et al. | Kinematic design of a new parallel kinematic machine for aircraft wing assembly | |
| JP3403668B2 (ja) | 部分測定データの合成方法 | |
| CN111693011B (zh) | 基于复合位姿的三维自校准装置及方法 | |
| JP5764366B2 (ja) | 工作機械の補正値演算方法及びプログラム | |
| KR101199086B1 (ko) | 5축 ｃνｃ 가공기계를 이용한 롤러 기어 캠의 가공을 위한 후처리방법 | |
| CN102848380B (zh) | 无汇交轴线的对称三自由度转动并联机构 | |
| JP5636841B2 (ja) | 加工方法およびｎｃプログラム作成装置 | |
| Zhang et al. | Type synthesis of multi-loop spatial mechanisms with three translational output parameters based on virtual-loop theory and assur groups | |
| Li et al. | Composite planar tolerance allocation with dimensional and geometric specifications | |
| US8714892B2 (en) | Spindle head structure rotatable in A/B axes | |
| RU115709U1 (ru) | Робототехническая технологическая установка | |
| Zhang et al. | Rotational axes and inverse kinematics analysis of a novel 5-DOF hybrid manipulator | |
| Akhbari et al. | Kinematic and workspace analyses of a novel 4-dof parallel mechanism | |
| Gogu | Fully-isotropic T1R2-type parallel robots with three degrees of freedom | |
| CN113776559B (zh) | 一种基于误差对消的安装矩阵快速标定方法 | |
| JP2011131362A (ja) | ７軸多関節ロボットの制御方法及び制御プログラム |