JP2010085452A - 着色硬化性組成物、カラーフィルタ、及びカラーフィルタの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
また、固体撮像素子用のカラーフィルタにおいても、高解像力化のために、色ムラの低減が必要な特性になっており、このために粒子サイズの小さな微細顔料を用いて、2次凝集体が無い状態に分散させることが重要になっている。
本発明のさらなる課題は、上記着色硬化性組成物を使用することによって基板密着性に優れ、パターン形状が良好で、しかもコントラストや色ムラ等の色特性が良好なカラーフィルタ、及びその製造方法を提供することにある。
即ち、本発明の課題は下記の手段により解決されるものである。
<4> 前記(A)主鎖にアミノ基を有する分散樹脂が、アミノ基含有樹脂とポリエステルとの縮合物である<1>〜<3>のいずれか一項に記載の着色硬化性組成物。
<6> <1>〜<5>のいずれか1項に記載の着色硬化性組成物により、支持体上に形成された着色パターンを有するカラーフィルタ。
さらに、上記着色硬化性組成物を使用することによって基板密着性に優れ、パターン形状が良好で、しかもコントラストや色ムラ等の色特性が良好なカラーフィルタ、及びその製造方法を提供することができる。
主鎖にアミノ基を有する分散樹脂は、顔料の分散安定性を保つ効果がある。
主鎖にアミノ基を有する分散樹脂の主鎖としては、公知のアミノ基を有するポリマー又はオリゴマーから構成されることが好ましく、例えば、ポリエチレンイミン、ポリアリルアミン、ポリジアリルアミン、メタキシレンジアミン−エピクロルヒドリン重縮合物、ポリビニルアミン、及び、アミノ基含有ポリ(メタ)アクリル酸エステルが挙げられ、特に、ポリエチレンイミン及びポリアリルアミンが好ましく、ポリエチレンイミンが最も好ましい。
アルカリ可溶性基としては、カルボン酸基、スルホン酸基、リン酸基、及び、−COCH2COCH3が好ましく、カルボン酸基が特に好ましい。
(A)主鎖にアミノ基を有する分散樹脂が有するアルカリ可溶性基は、酸価が5〜100mgKOH/gが好ましく、5〜50mgKOH/gが最も好ましい。アルカリ可溶性基の導入法としては、主鎖にアミノ基を有する分散樹脂とアルカリ可溶性基前駆体(例えば、環状酸無水物、ジケテン等)と反応させる方法が好ましい。
本発明の着色硬化性組成物が有する顔料は、従来公知の種々の無機顔料又は有機顔料を用いることができる。
また、無機顔料であれ有機顔料であれ、高透過率であることが好ましいことを考慮すると、なるべく微細なものの使用が好ましく、ハンドリング性をも考慮すると、顔料の一次粒子径は5nm〜100nmが好ましく、5nm〜70nmがより好ましく、5nm〜50nmが更に好ましく、5nm〜40nmが最も好ましい。
C.I.ピグメントイエロー 1,1:1,2,3,4,5,6,9,10,12,13,14,16,17,24,31,32,34,35,35:1,36,36:1,37,37:1,40,41,42,43,48,53,55,61,62,62:1,63,65,73,74,75,81,83,87,93,94,95,97,100,101,104,105,108,109,110,111,116,117,119,120,126,127,127:1,128,129,133,134,136,138,139,142,147,148,150,151,153,154,155,157,158,159,160,161,162,163,164,165,166,167,168,169,170,172,173,174,175,176,180,181,182,183,184,185,188,189,190,191,191:1,192,193,194,195,196,197,198,199,200,202,203,204,205,206,207,208;
C.I.ピグメントレッド 1,2,3,4,5,6,7,8,9,12,14,15,16,17,21,22,23,31,32,37,38,41,47,48,48:1,48:2,48:3,48:4,49,49:1,49:2,50:1,52:1,52:2,53,53:1,53:2,53:3,57,57:1,57:2,58:4,60,63,63:1,63:2,64,64:1,68,69,81,81:1,81:2,81:3,81:4,83,88,90:1,101,101:1,104,108,108:1,109,112,113,114,122,123,144,146,147,149,151,166,168,169,170,172,173,174,175,176,177,178,179,181,184,185,187,188,190,193,194,200,202,206,207,208,209,210,214,216,220,221,224,230,231,232,233,235,236,237,238,239,242,243,245,247,249,250,251,253,254,255,256,257,258,259,260,262,263,264,265,266,267,268,269,270,271,272,273,274,275,276;
C.I.ピグメントブルー 1,1:2,9,14,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6,16,17,19,25,27,28,29,33,35,36,56,56:1,60,61,61:1,62,63,66,67,68,71,72,73,74,75,76,78,79,79のCl置換基をOHに変更したもの;
C.I.ピグメントグリーン 1,2,4,7,8,10,13,14,15,17,18,19,26,36,45,48,50,51,54,55;
C.I.ピグメントブラウン 23,25,26;
C.I.ピグメントブラック 1,7;
カーボンブラック、アセチレンブラック、ランプブラック、ボーンブラック、黒鉛、鉄黒、アニリンブラック、シアニンブラック、チタンブラック等を挙げることができる。
C.I.ピグメントオレンジ 36,71;
C.I.ピグメントレッド 122,150,171,175,177,209,224,242,254,255,264;
C.I.ピグメントバイオレット 19,23,32;
C.I.ピグメントブルー 15:1,15:3,15:6,16,22,60,66,
C.I.ピグメントグリーン 7,36,37,55;
C.I.ピグメントブラック 1
例えば、赤の顔料としては、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料を単独で、又は、それらの少なくとも1種と、ジスアゾ系黄色顔料、イソインドリン系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、又はペリレン系赤色顔料と、の混合などを用いることができる。例えば、アントラキノン系顔料としては、C.I.ピグメントレッド177が挙げられ、ペリレン系顔料としては、C.I.ピグメントレッド155、C.I.ピグメントレッド224が挙げられ、ジケトピロロピロール系顔料としては、C.I.ピグメントレッド254が挙げられ、色分解性の点でC.I.ピグメントイエロー139との混合が好ましい。
また、赤色顔料と黄色顔料との質量比は、光透過率と色分解能との関係から、100:5〜100:50が好ましく、100:10〜100:30の範囲が最適である。
なお、赤色顔料同士の組み合わせの場合は、求める分光に併せて顔料の質量比を調整することができる。
緑色顔料と黄色顔料との質量比は、100:5〜100:150が好ましく、100:30〜100:120の範囲が特に好ましい。
青色顔料と紫色顔料との質量比は、100:0〜100:100が好ましく、より好ましくは100:10以下である。
ここで、カーボンとチタンブラックとの質量比は、100:0〜100:60の範囲が好ましい。
顔料の1次粒子の微細化は、i)有機顔料、ii)水溶性の無機塩、及びiii)該無機塩を実質的に溶解しない水溶性有機溶剤を、ニーダー等で機械的に混練する方法がよく知られている(ソルトミリング法)。この工程において、必要に応じて、(A)主鎖にアミノ基を有する分散樹脂、後述する顔料被覆用高分子化合物等を同時に使用してもよい。
有機顔料としては、既述の有機顔料と同様のものが挙げられる。
水溶性の無機塩は、水に溶解するものであれば特に限定されず、塩化ナトリウム、塩化バリウム、塩化カリウム、硫酸ナトリウム等を用いることができるが、価格の点から塩化ナトリウム、又は硫酸ナトリウムを用いるのが好ましい。
ソルトミリングの際に用いる水溶性の無機塩の量は、処理効率と生産効率の両面から、有機顔料の1質量倍〜30質量倍、特に5質量倍〜25重量倍であることが好ましい。有機顔料に対する無機塩の量比が大きいほど微細化効率が高いが、1回の顔料の処理量が少なくなるためである。
iii)水溶性の有機溶剤は、i)有機顔料、ii)水溶性の無機塩を湿潤する働きをするものであり、水に溶解(混和)し、かつ、用いるii)水溶性の無機塩を実質的に溶解しないものであれば特に限定されない。但し、ソルトミリング時に温度が上昇し、溶剤が蒸発し易い状態になるため、安全性の点から、沸点120℃以上の高沸点溶剤が好ましい。
水溶性の有機溶剤としては、例えば、2−メトキシエタノール、2−ブトキシエタノール、2−(イソペンチルオキシ)エタノール、2−(ヘキシルオキシ)エタノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコール、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、液状のポリエチレングリコール、1−メトキシ−2−プロパノール、1−エトキシ−2−プロパノール、ジプロピレングリコール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、液状のポリプロピレングリコール等が用いられる。
これらの水溶性の有機溶剤は1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用することもできる。
水溶性の有機溶剤はソルトミリング初期に全てを添加してもよいし、分割して添加してもよい。
前述のソルトミリングの際に添加しうる顔料被覆用高分子化合物は、好ましくは室温で固体で、水不溶性で、かつ、ソルトミリング時の湿潤剤に用いる水溶性の有機溶剤に少なくとも一部可溶である必要がある。このような高分子化合物であれば、天然樹脂、変性天然樹脂、合成樹脂、天然樹脂で変性された合成樹脂等が用いられる。
ソルトミリングの後、乾燥した微細化顔料を得る場合には、顔料被覆用高分子化合物としては、室温で固体であることが好ましい。
このような顔料被覆用高分子化合物は、好ましくは室温で固体で、水不溶性で、かつ、ソルトミリング時の湿潤剤に用いる水溶性の有機溶剤に少なくとも一部可溶である必要がある。このような高分子化合物であれば、天然樹脂、変性天然樹脂、合成樹脂、天然樹脂で変性された合成樹脂等が用いられる。
合成樹脂としては、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、マレイン酸樹脂、ブチラール樹脂、ポリエステル樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、ポリウレタン樹脂等が挙げられる。
天然樹脂で変性された合成樹脂としては、ロジン変性マレイン酸樹脂、ロジン変性フェノール樹脂等が挙げられる。
また、合成樹脂としては、(A)主鎖にアミノ基を有する分散樹脂、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、ポリウレタン、ポリエステル、ポリ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物等も用いることができる。
これらの樹脂を加えるタイミングは、ソルトミリング初期に全てを添加してもよく、分割して添加してもよい。
顔料の一次粒子径は、電子顕微鏡等の公知の方法で測定することができる。
本発明の着色硬化性組成物の調整に当たっては、予め顔料を分散して、顔料分散組成物としておくことが好ましい態様である。顔料としては前記の微細化した顔料を使用することが好ましい。
顔料分散組成物は、前記(A)主鎖にアミノ基を有する分散樹脂、(B)顔料、および(E)溶剤を分散するが、この際必要によってその他の分散剤、樹脂等を添加して用いる。さらに顔料誘導体など、必要に応じて更に他の成分を用いて構成することができる。
本発明の顔料分散組成物の調製態様は、特に制限されないが、例えば、前記(A)主鎖にアミノ基を有する分散樹脂、(B)顔料、および(E)溶剤を、縦型もしくは横型のサンドグラインダー、ピンミル、スリットミル、超音波分散機等を用いて、0.01〜1mmの粒径のガラス、ジルコニア等でできたビーズで微分散処理を行なうことにより得ることができる。
顔料の顔料分散組成物中における含有量としては、該組成物の全固形分(質量)に対して、10〜60質量%が好ましく、15〜50質量%がより好ましい。顔料の含有量が前記範囲内であると、色濃度が充分で優れた色特性を確保するのに有効である。
顔料分散組成物は、(A)主鎖にアミノ基を有する分散樹脂の他に下記の分散剤の含有することも好ましい。分散樹脂、分散剤の含有により、顔料の分散性を向上させることができる。
分散剤としては、例えば、公知の顔料分散剤や界面活性剤を適宜選択して用いることができる。
本発明の顔料分散液は、さらに顔料誘導体を含有することが好ましい。
顔料誘導体は、有機顔料、アントラキノン類又はアクリドン類の一部分を酸性基、塩基性基又はフタルイミドメチル基で置換した構造が好ましい。顔料誘導体を構成する有機顔料としては、ジケトピロロピロール系顔料、アゾ、ジスアゾ、ポリアゾ等のアゾ系顔料、銅フタロシアニン、ハロゲン化銅フタロシアニン、無金属フタロシアニン等のフタロシアニン系顔料、アミノアントラキノン、ジアミノジアントラキノン、アントラピリミジン、フラバントロン、アントアントロン、インダントロン、ピラントロン、ビオラントロン等のアントラキノン系顔料、キナクリドン系顔料、ジオキサジン系顔料、ペリノン系顔料、ペリレン系顔料、チオインジゴ系顔料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料、キノフタロン系顔料、スレン系顔料、金属錯体系顔料等が挙げられる。
顔料分散組成物における溶剤としては、例えば、1−メトキシ−2−プロピルアセテート、1−メトキシ−2−プロパノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エチル、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、n−プロパノール、2−プロパノール、n−ブタノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トルエン、キシレンなどの溶剤を挙げることができる。
本発明の(A)主鎖にアミノ基を有する分散樹脂を顔料分散剤として用いた場合、公知の分散剤では安定な均一分散が困難である、顔料が40質量%以上の高含有量条件下において、特にその効果が著しいといえる。
本発明の着色硬化性組成物は、感度及びパターン形成性向上のため、(C)光重合開始剤を含有する。
本発明における光重合開始剤は、光により分解し、後述する(E)重合性化合物等の重合可能な成分の重合を開始、促進する化合物であり、特に、波長300nm〜500nmの領域に吸収を有する化合物ものであることが好ましい。
また、光重合開始剤は、単独で、又は2種以上を併用して用いることができる。
以下、これらの各化合物について詳細に述べる。
ベンゾイン化合物としてはm−ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインメチルエーテル、メチル−o−ベンゾイルベンゾエートなどを挙げることができる。
また、その他の好ましいスルホニウム塩としては、トリアリールスルホニウム塩の1つの置換基がクマリン、アントラキノン構造を有し、300nm以上に吸収を有するスルホニウム塩が挙げられる。別の好ましいスルホニウム塩としては、トリアリールスルホニウム塩が、アリロキシ基、アリールチオ基を置換基に有する300nm以上に吸収を有するスルホニウム塩が挙げられる。
また、一般式(a)におけるnは1〜2の整数が好ましい。
本発明の硬化性組成物は、(D)重合性化合物を含有する。
本発明に用いることができる(D)重合性化合物は、後述する(F)アルカリ可溶性樹脂とは異なる構造を有する化合物であって、少なくとも一個のエチレン性不飽和二重結合を有する付加重合性化合物であり、末端エチレン性不飽和結合を少なくとも1個、好ましくは2個以上有する化合物から選ばれる。
このような化合物は当該産業分野において広く知られるものであり、本発明においてはこれらを特に限定無く用いることができる。
(ただし、R10及びR11は、H又はCH3を示す。)
感度の点では1分子あたりの不飽和基含量が多い構造が好ましく、多くの場合、2官能以上が好ましい。また、画像部すなわち硬化膜の強度を高くするためには、3官能以上のものがよく、更に、異なる官能数・異なる重合性基(例えばアクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、スチレン系化合物、ビニルエーテル系化合物)のものを併用することで、感度と強度の両方を調節する方法も有効である。硬化感度の観点から、(メタ)アクリル酸エステル構造を2個以上含有する化合物を用いることが好ましく、3個以上含有する化合物を用いることがより好ましく、4個以上含有する化合物を用いることが最も好ましい。また、硬化感度、および、未露光部の現像性の観点では、カルボン酸基又はEO変性体構造を含有する化合物が好ましい。また、硬化感度、および、露光部強度の観点ではウレタン結合を含有することが好ましい。
本発明の着色硬化性組成物は、少なくとも一種の(E)溶剤を有する。
(E)溶剤としては、以下に示される有機溶剤から選択される液体が挙げられ、顔料分散液中に含まれる各成分の溶解性や、着色硬化性組成物に応用した場合の塗布性などを考慮して選択されるものであり、これら所望の物性を満足すれば基本的に特には限定されないが、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。
本発明の着色硬化性組成物は、(F)下記一般式(1)で表される繰り返し単位を含有するアルカリ可溶性樹脂(以下、「特定アルカリ可溶性樹脂」と称することがある。)を有する。
また、R3は、水素原子、メチル基、−COOH、−CN、−CF3、−CH2OH、−CH2COOH、−CH2COORa、又は−COORbが好ましく、水素原子、メチル基が最も好ましい。
このようなヘテロ環構造の例としては、エチレンオキサイド、トリメチレンオキサイド、テトラヒドロフラン、ジヒドロフラン、テトラヒドロピラン、ジヒドロピラン、オキソカン、ジオキソラン、ジオキサン、トリオキサン、テトラヒドロチオフェン、ヂチアン、ペンタメチレンスルフィド、トリチアン、ピロリジン、ピロリン、テトラヒドロピリジン、ピペラジン、ホモピペラジン、ピペリジン、トリアジン、モルホリン、ヘキサメチレンテトラミン、ジアザビシクロウンデセン、デカヒドロキノリン、ジアザビシクロオクタン、γ−ブチロラクトン、γ−チオブチロラクトン、δ−バレロラクトン、チアゾリジン、チオモルホリン、ピロリジノン、δ−バレロラクタム、スクシンイミド、グルタルイミド、イミダゾリドン、テトラヒドロピリミドン、ウラゾール、ジヒドロウラシル、バルビツール酸、インドール、カルバゾール、ジュロリジン、フェノキサジン、フェノチアジン、オキシンドール、フェナンスリジノン、イサチン、フタルイミド、ジイミノイソインドリン、イミノイソインドリノン、ジイミノベンズイソインドリン、ナフタルイミド、キナゾリンジオン、ピロール、ポルフィリン、ポルフィリン金属錯体、フタロシアニン、フタロシアニン金属錯体、ナフタロシアニン、ナフタロシアニン金属錯体、フラン、チオフェン、ピラゾール、イミダゾール、トリアゾール、テトラゾール、イソキサゾール、オキサゾール、イソチアゾール、チアゾール、チアジアゾール、チアトリアゾール、イミノスチルベン、アザインドール、ベンゾフラン、ジベンゾフラン、ジベンゾチオフェン、チアナフテン、インダゾール、ベンズイミダゾール、ベンゾトリアゾール、アザベンズイミダゾール、アンスラニル、ベンズイソキサゾール、ベンズオキサゾール、ベンゾチアゾール、ベンゾフラザン、ベンゾチアジアゾール、トリアゾールピリミジン、トリアゾールピリジン、プリン、キサンチン、ピリジン、ピリダジン、ピリミジン、ピリミドン、ウラシル、ピラジン、キノリン、アクリジン、シンノリン、ベンゾシンノリン、キノキサリン、キナゾリン、キノキサリン、フェナジン、フェナンスロリン等を挙げることができ、これらは無置換であっても置換基を有していてもよい。
含窒素へテロ環基の具体例としては、例えばピロリジン、ピロリン、テトラヒドロピリジン、ピペラジン、ホモピペラジン、ピペリジン、トリアジン、モルホリン、ヘキサメチレンテトラミン、ジアザビシクロウンデセン、デカヒドロキノリン、ジアザビシクロオクタン、ピロリジノン、δ−バレロラクタム、スクシンイミド、グルタルイミド、イミダゾリドン、テトラヒドロピリミドン、ウラゾール、ジヒドロウラシル、バルビツール酸、インドール、カルバゾール、ジュロリジン、フェノキサジン、フェノチアジン、オキシンドール、フェナンスリジノン、イサチン、フタルイミド、ジイミノイソインドリン、イミノイソインドリノン、ジイミノベンズイソインドリン、ナフタルイミド、キナゾリンジオン、ピロール、ポルフィリン、ポルフィリン金属錯体、フタロシアニン、フタロシアニン金属錯体、ナフタロシアニン、ナフタロシアニン金属錯体、ピラゾール、イミダゾール、トリアゾール、テトラゾール、イソキサゾール、オキサゾール、イソチアゾール、チアゾール、チアジアゾール、チアトリアゾール、イミノスチルベン、アザインドール、インダゾール、ベンズイミダゾール、ベンゾトリアゾール、アザベンズイミダゾール、アンスラニル、ベンズイソキサゾール、ベンズオキサゾール、ベンゾチアゾール、ベンゾフラザン、ベンゾチアジアゾール、トリアゾールピリミジン、トリアゾールピリジン、プリン、キサンチン、ピリジン、ピリダジン、ピリミジン、ピリミドン、ウラシル、ピラジン、キノリン、アクリジン、シンノリン、ベンゾシンノリン、キノキサリン、キナゾリン、キノキサリン、フェナジン、フェナンスロリン、ペリミジン等のヘテロ環基を挙げることができ、これらは無置換であっても置換基を有していてもよい。
一般式(2)において、R11は、水素原子、又は置換もしくは無置換のアルキル基を表す。R11で表されるアルキル基としては、炭素数1〜12のアルキル基が好ましく、炭素数1〜8のアルキル基がより好ましく、炭素数1〜4のアルキル基が特に好ましい。R11で表されるアルキル基が置換アルキル基である場合、導入可能な置換基としては、例えば、ヒドロキシ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アシルオキシ基、ハロゲン基、等が挙げられる。
R11で表される好ましいアルキル基として具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、n−ブチル基、i−ブチル基、t−ブチル基、n−ヘキシル基、シクロヘキシル基、2−ヒドロキシエチル基、3−ヒドロキシプロピル基、2−ヒドロキシプロピル基、2−メトキシエチル基等が挙げられる。
R12で表されるアルキレン基としては、炭素数1〜12のアルキレン基が好ましく、炭素数1〜8のアルキレン基がより好ましく、炭素数1〜4のアルキレン基が特に好ましい。
R12で表されるアルキレン基は、置換基を有していてもよく、該置換基としては、例えば、ヒドロキシ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アシルオキシ基、等が挙げられる。
R12で表される好ましいアルキレン基として具体的には、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、トリメチレン基、テトラメチレン基、等が挙げられる。
Yとしては、−S−、−NH−、又は−N=であることが特に好ましい。
R22で表されるアルキレン基は、置換基を有していてもよく、例えば、メチレン基、エチレン基、トリメチレン基、テトラメチレン基、ヘキサメチレン基、2−ヒドロキシプロピレン基、メチレンオキシ基、エチレンオキシ基、メチレンオキシカルボニル基、メチレンチオ基、等が挙げられ、メチレン基、メチレンオキシ基、メチレンオキシカルボニル基、メチレンチオ基が好ましい。
これらのうち、Zで示される複素環基としては、下記一般式(4)または(5)で表される構造であることが好ましい。
これらのうち、X2は単結合、メチレン基、−O−、−C(=O)−が好ましく、−C(=O)−が特に好ましい。
特定アルカリ可溶性樹脂における含窒素ヘテロ環がペンダントされた構造単位の比率は、特定アルカリ可溶性樹脂の全質量に対し、1〜50質量%が好ましく、5〜30質量%が更に好ましく、10〜20質量%が最も好ましい。
特定アルカリ可溶性樹脂の反応部位(カルボキシル基、ヒドロキシル基等の求核性基を有する部位)とエチレン性不飽和二重結合を有する化合物((メタ)アクリル酸グリシジル、(メタ)アクリル酸2−イソシアナートエチル、2−ビニルオキシラン、(メタ)アクリル酸クロリド等)とを反応させることにより導入する方法であり、特に(a−1)特定アルカリ可溶性樹脂のカルボキシル基と、エポキシ基およびエチレン性不飽和二重結合を同一分子内に有する化合物とを反応させる方法、(a−2)特定アルカリ可溶性樹脂のヒドロキシル基と、イソシアナート基およびエチレン性不飽和二重結合を同一分子内に有する化合物とを反応させる方法、が生産性の観点から好ましい。
エチレン性不飽和二重結合を有するモノマーとしては、共重合性の低いアリル基を有する(メタ)アクリル系モノマーが好ましく、メタクリル酸アリルが最も好ましい。重合は、全モノマーの溶媒に対する濃度が0.5〜20質量%で行うことが好ましく、1〜10質量%で行うことが最も好ましい。この濃度より低いと重合速度が遅くなり生産性が悪化し、この濃度より高いとゲル化する可能性が高くなる。
脱離基を有するモノマーとは、塩基により脱離反応が進行してエチレン性不飽和二重結合が生成するモノマーを意味する。特に、一般式(6−1)又は一般式(6−2)で表わされるモノマーが好ましい。
(1)アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸ブチル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸アミル、アクリル酸ヘキシル、アクリル酸2−エチルヘキシル、アクリル酸オクチル、アクリル酸ベンジル、アクリル酸−2−クロロエチル、グリシジルアクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート、ビニルアクリレート、2−フェニルビニルアクリレート、1−プロペニルアクリレート、アリルアクリレート、2−アリロキシエチルアクリレート、プロパルギルアクリレート等のアルキルアクリレート。
(3)アクリルアミド、メタクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、N−エチルアクリルアミド、N−ヘキシルメタクリルアミド、N−シクロヘキシルアクリルアミド、N−ヒドロキシエチルアクリルアミド、N−フェニルアクリルアミド、N−ニトロフェニルアクリルアミド、N−エチル−N−フェニルアクリルアミド、ビニルアクリルアミド、ビニルメタクリルアミド、N,N−ジアリルアクリルアミド、N,N−ジアリルメタクリルアミド、アリルアクリルアミド、アリルメタクリルアミド等のアクリルアミド若しくはメタクリルアミド。
(5)ビニルアセテート、ビニルクロロアセテート、ビニルブチレート、安息香酸ビニル等のビニルエステル類。
(6)スチレン、α−メチルスチレン、メチルスチレン、クロロメチルスチレン、p−アセトキシスチレン等のスチレン類。
(7)メチルビニルケトン、エチルビニルケトン、プロピルビニルケトン、フェニルビニルケトン等のビニルケトン類。
(8)エチレン、プロピレン、イソブチレン、ブタジエン、イソプレン等のオレフィン類。
(10)マレイミド、N−アクリロイルアクリルアミド、N−アセチルメタクリルアミド、N−プロピオニルメタクリルアミド、N−(p−クロロベンゾイル)メタクリルアミド等の不飽和イミド。
(11)α位にヘテロ原子が結合したメタクリル酸系モノマー。例えば、特開2002−309057号公報、特開2002−311569号公報等に記載されている化合物。
また、前記水酸基を有するモノマーとしては、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、3−ヒドロキシプロピルアクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、3−ヒドロキシプロピルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルメタクリレート等の脂肪族水酸基を有するアクリル酸エステル類、及びメタクリル酸エステル類、及びこれらのエチレンオキシ変性体、ヒドロキシスチレンなどが有用である。
本発明の着色硬化性組成物は、(C)光重合開始剤のラジカル発生効率の向上、感光波長の長波長化の目的で、増感剤を含有してもよい。本発明に用いることができる増感剤としては、前記した光重合開始剤に対し、電子移動機構又はエネルギー移動機構で増感させるものが好ましい。本発明に用いることができる増感剤としては、以下に列挙する化合物類に属しており、且つ300nm〜450nmの波長領域に吸収波長を有するものが挙げられる。
例えば、多核芳香族類(例えば、フェナントレン、アントラセン、ピレン、ペリレン、トリフェニレン、9,10−ジアルコキシアントラセン)、キサンテン類(例えば、フルオレッセイン、エオシン、エリスロシン、ローダミンB、ローズベンガル)、チオキサントン類(イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、クロロチオキサントン)、シアニン類(例えばチアカルボシアニン、オキサカルボシアニン)、メロシアニン類(例えば、メロシアニン、カルボメロシアニン)、フタロシアニン類、チアジン類(例えば、チオニン、メチレンブルー、トルイジンブルー)、アクリジン類(例えば、アクリジンオレンジ、クロロフラビン、アクリフラビン)、アントラキノン類(例えば、アントラキノン)、スクアリウム類(例えば、スクアリウム)、アクリジンオレンジ、クマリン類(例えば、7−ジエチルアミノ−4−メチルクマリン)、ケトクマリン、フェノチアジン類、フェナジン類、スチリルベンゼン類、アゾ化合物、ジフェニルメタン、トリフェニルメタン、ジスチリルベンゼン類、カルバゾール類、ポルフィリン、スピロ化合物、キナクリドン、インジゴ、スチリル、ピリリウム化合物、ピロメテン化合物、ピラゾロトリアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、バルビツール酸誘導体、チオバルビツール酸誘導体、アセトフェノン、ベンゾフェノン、チオキサントン、ミヒラーズケトンなどの芳香族ケトン化合物、N−アリールオキサゾリジノンなどのヘテロ環化合物などが挙げられる。
等が挙げられ、更に欧州特許第568,993号明細書、米国特許第4,508,811号明細書、同5,227,227号明細書、特開2001−125255号公報、特開平11−271969号公報等に記載の化合物等などが挙げられる。
本発明においては、着色硬化性組成物の製造中あるいは保存中において重合可能なエチレン性不飽和二重結合を有する化合物の不要な熱重合を阻止するために少量の熱重合防止剤を添加することが望ましい。
本発明に用いうる熱重合防止剤としては、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、N−ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。
本発明の着色硬化性組成物は、分散安定性の向上、現像性制御などの観点から、他の高分子材料〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、および、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン等の分散剤をさらに添加することができる。このような他の高分子材料は、その構造からさらに直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。
さらに、本発明においては、硬化皮膜の物性を改良するために無機充填剤や、可塑剤、基板密着性を向上させうる基板密着剤を加えてもよい。
可塑剤としては例えばジオクチルフタレート、ジドデシルフタレート、トリエチレングリコールジカプリレート、ジメチルグリコールフタレート、トリクレジルホスフェート、ジオクチルアジペート、ジブチルセバケート、トリアセチルグリセリン等があり、結合剤を使用した場合、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物と結合剤との合計質量に対し10質量%以下添加することができる。
基板密着剤としては、公知の材料を用いることができるが、特にシラン系カップリング剤、チタネート系カップリング剤、アルミニウム系カップリング剤を用いることが好ましい。
中でもγ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、が好ましく、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシランが最も好ましい。
また、本発明の着色硬化性組成物は、微細な顔料を高濃度で含有しても、顔料分散安定性と現像性に優れ、高精細で色特性の良好な着色領域を形成しうることから、固体撮像素子用のカラーフィルタの製造、特に、膜厚が0.8μm以下、好ましくは、0.1〜0.5μmの範囲の画素を形成するような場合、特に本発明の着色硬化性組成物を用いることでその効果が著しいといえる。
次に、本発明のカラーフィルタ及びその製造方法について説明する。
本発明のカラーフィルタは、支持体上に、本発明の着色硬化性組成物を用いてなる着色パターンを有することを特徴とする。
以下、本発明のカラーフィルタについて、その製造方法(本発明のカラーフィルタの製造方法)を通じて詳述する。
以下、本発明のカラーフィルタの製造方法における各工程について説明する。
着色層形成工程では、支持体上に、本発明の着色硬化性組成物を塗布して該着色硬化性組成物からなる着色層を形成する。
また、これらの支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
着色硬化性組成物の塗布直後の膜厚としては、塗布膜の膜厚均一性、塗布溶剤の乾燥のしやすさの観点から、0.1〜10μmが好ましく、0.2〜5μmがより好ましく、0.2〜3μmがさらに好ましい。
また、固体撮像素子用カラーフィルタとして用いるためには、色濃度確保の観点、斜め方向の光が受光部に到達せず、又、デバイスの端と中央とで集光率の差が顕著になる等の不具合を低減する観点から、0.05μm以上1.0μm未満が好ましく、0.1μm以上0.8μm以下がより好ましく、0.2μm以上0.7μm以下が特に好ましい。
露光工程では、前記着色層形成工程において形成された着色層(硬化性組成物層)を、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光する。
本工程における露光においては、塗布膜のパターン露光は、所定のマスクパターンを介して露光し、光照射された塗布膜部分だけを硬化させることによりことにより行うことができる。露光に際して用いることができる放射線としては、特に、g線、h線、i線等の紫外線が好ましく用いられる。照射量は5〜1500mJ/cm2が好ましく10〜1000mJ/cm2がより好ましく、10〜500mJ/cm2が最も好ましい。
本発明のカラーフィルタが液晶表示素子用である場合は、上記範囲の中で5〜200mJ/cm2が好ましく10〜150mJ/cm2がより好ましく、10〜100mJ/cm2が最も好ましい。また、本発明のカラーフィルタが固体撮像素子用である場合は、上記範囲の中で30〜1500mJ/cm2が好ましく50〜1000mJ/cm2がより好ましく、80〜500mJ/cm2が最も好ましい。
次いでアルカリ現像処理(現像工程)を行うことにより、上記露光により光未照射部分をアルカリ水溶液に溶出させ、光硬化した部分だけが残る。現像液で現像して、各色(3色あるいは4色)の画素からなるパターン状皮膜を形成することにより行うことができる。現像液としては、下地の回路などにダメージを起さない、有機アルカリ現像液が望ましい。現像温度としては通常20℃〜30℃であり、現像時間は20〜90秒である。
次いで、余剰の現像液を洗浄除去し、乾燥を施す。
このポストベーク処理は、現像後の塗布膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン(熱風循環式乾燥機)、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。
また、本発明の固体撮像素子は、前記本発明のカラーフィルタの製造方法によって製造された本発明のカラーフィルタを備えることを特徴とする。
従って、具体的には、本発明のカラーフィルタを液晶表示装置やCCD等の固体撮像素子に好適に用いることができ、特に100万画素を超えるような高解像度のCCD素子やCMOS等に好適である。本発明のカラーフィルタは、例えば、CCD素子を構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。
n−オクタン酸6.4g、ε−カプロラクトン200g、モノブチルすずオキシド5gを混合し、160℃で8時間加熱した後、室温まで冷却しポリエステル(i−1)を得た。
スキームを以下に示す。
表1に記載したようにラクトン種、カルボン酸の種、カルボン酸仕込み量を合成例1から変更し、それ以外は合成例1と同様にしてポリエステル(i−2)〜(i−10)を得た。これらの合成例で得たポリエステルの重量平均分子量、数平均分子量を既述のGPC法により測定した。結果を表1に示す。また、原料仕込み比より算出したラクトン繰り返し単位の単位数を表1に示す。
ポリエステル(i−1)100g、ポリエチレンイミン(SP−006(日本触媒製))10gを110℃3時間加熱し、樹脂(A−1)を得た。このときの樹脂(A−1)の重量平均分子量は10,000、数平均分子量は7,000、アミン価は80mgKOH/gであった。得られた樹脂(A−1)にプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート(以下、PGMEAと称する)を添加し、樹脂(A−1)の10質量%溶液を得た。
表2に記載のポリエステル(100g)、アミノ基含有樹脂、反応温度、反応時間を変更した以外は、合成例11と同様の方法で樹脂(A−2)〜(A−10)を合成した。なお、アミノ基含有樹脂は以下の通りである。なお、PAA−01は水分を濃縮により除去したものを用いた。
SP−003(ポリエチレンイミン(日本触媒製) 数平均分子量300)
SP−006(ポリエチレンイミン(日本触媒製) 数平均分子量600)
SP−012(ポリエチレンイミン(日本触媒製) 数平均分子量1,200)
SP−018(ポリエチレンイミン(日本触媒製) 数平均分子量1,800)
PAA−01(ポリアリルアミン(日東紡製) 重量平均分子量1,000)
ポリエステル(i−1)100g、ポリエチレンイミン(SP−006(日本触媒製))10gを110℃3時間加熱し、樹脂を得た。このときの樹脂の重量平均分子量は10,000、数平均分子量は7,000、アミン価は80mgKOH/gであった。その後、65℃まで放冷し、無水コハク酸7.6gを含有するPGMEA200gをゆっくり添加し2時間攪拌した。その後、PGMEAを添加し、樹脂(A−11)のPGMEA10%溶液を得た。このときの樹脂(A−11)の重量平均分子量は11,000、数平均分子量は7,500、酸価は40mgKOH/g、アミン価は40mgKOH/gであった。
前記例示化合物M−2 15g、メタクリル酸ベンジル31g、メタクリル酸29g、プロピレングリコールモノメチルエーテル150gを窒素気流下75℃で一時間加熱した。次にドデシルメルカプタン2.5g、2,2’−ビスイソ酪酸ジメチル(V−601、和光純薬製)0.5gを添加し、2時間加熱した。次に、2,2’−ビスイソ酪酸ジメチルを0.5g添加し、90℃で2時間加熱した。この溶液に、メタクリル酸グリシジル25g、N,N−ジメチルドデシルアミン2g、p−メトキシフェノール0.2gを添加し、90℃で10時間加熱した。得られた溶液にプロピレングリコールモノメチルエーテルを添加し、樹脂(F−1)の30質量%溶液を得た。得られた樹脂の重量平均分子量は15,000、数平均分子量は8,000、酸価90mgKOH/gであった。
合成例22の例示化合物の種類と量、共重合するモノマー種と量を変更し、他は合成例22と同様にして、樹脂(F−2)〜樹脂(F−6)を合成した。樹脂(F−2)〜樹脂(F−6)の構造と分子量とを〔化15〕に示した。ここで組成比は質量比である。
前記例示化合物M−2 15g、メタクリル酸ベンジル71g、メタクリル酸14g、プロピレングリコールモノメチルエーテル150gを窒素気流下75℃で一時間加熱した。次にドデシルメルカプタン2.5g、2,2’−ビスイソ酪酸ジメチル(V−601、和光純薬製)0.5gを添加し、2時間加熱した。次に、2,2’−ビスイソ酪酸ジメチルを0.5g添加し、90℃で2時間加熱した。得られた溶液にプロピレングリコールモノメチルエーテルを添加し、樹脂(F−7)の30質量%溶液を得た。得られた樹脂の重量平均分子量は15,000、数平均分子量は8,000、酸価90mgKOH/gであった。
メタクリル酸ベンジル86g、メタクリル酸14g、プロピレングリコールモノメチルエーテル150gを窒素気流下75℃で一時間加熱した。次にドデシルメルカプタン2.5g、2,2’−ビスイソ酪酸ジメチル(V−601、和光純薬製)0.5gを添加し、2時間加熱した。次に、2,2’−ビスイソ酪酸ジメチルを0.5g添加し、90℃で2時間加熱した。得られた溶液にプロピレングリコールモノメチルエーテルを添加し、樹脂(F−8)の30質量%溶液を得た。得られた樹脂の重量平均分子量は15,000、数平均分子量は8,000、酸価は90mgKOH/gであった。
スチレン15g、メタクリル酸ベンジル31g、メタクリル酸29g、プロピレングリコールモノメチルエーテル150gを窒素気流下75℃で一時間加熱した。次にドデシルメルカプタン2.5g、2,2’−ビスイソ酪酸ジメチル(V−601、和光純薬製)0.5gを添加し、2時間加熱した。次に、2,2’−ビスイソ酪酸ジメチルを0.5g添加し、90℃で2時間加熱した。この溶液に、メタクリル酸グリシジル25g、N,N−ジメチルドデシルアミン2g、p−メトキシフェノール0.2gを添加し、90℃で10時間加熱した。得られた溶液にプロピレングリコールモノメチルエーテルを添加し、樹脂(F−9)の30質量%溶液を得た。得られた樹脂の重量平均分子量は16,000、数平均分子量は8,000、酸価90mgKOH/gであった。
ここでは、液晶表示装置用のカラーフィルタ形成用として、顔料を含有する着色硬化性組成物を調整した例を挙げて説明する。
表3に従い、顔料40部、樹脂1と2(表3に記載の量)、およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート300部からなる混合液を、ビーズミル(ジルコニアビーズ0.3mm径)により3時間混合・分散して、顔料分散液(X−1〜X−20)を調製した。
DisperBYK−174(BYKChemie社製、顔料に親和性のあるブロック共重合体、酸価22mgKOH/g、固形分濃度53質量%)である。
また、顔料は以下に示す。
PG36:C.I.ピグメントグリーン 36
PR254:C.I.ピグメントレッド 254
PR177:C.I.ピグメントレッド 177
PG58C.I.ピグメントグリーン 58
PY138C.I.ピグメントイエロー 138
PY139C.I.ピグメントイエロー 139
PY150C.I.ピグメントイエロー 150
PB15:6C.I.ピグメントブルー 15:6
前記顔料分散液を用いて、下記組成比となるよう撹拌混合して着色硬化性組成物を調製した。
・前記顔料分散液 600部
・光重合開始剤(表4に記載) 20部
・ペンタエリスリトールテトラアクリレート 20部
・樹脂(表4に記載) 20部(固形分換算6部)
・溶剤:PGMEA 900部
・基板密着剤(3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン) 1部
上記着色硬化性組成物をレジスト溶液として、550mm×650mmのガラス基板に下記条件でスリット塗布した後、真空乾燥とプリベーク(prebake)(100℃80秒)を施して、着色硬化性組成物の塗布膜(硬化性組成物層)を形成した。
・塗布ヘッド先端の開口部の間隙: 50μm
・塗布速度: 100mm/秒
・基板と塗布ヘッドとのクリヤランス: 150μm
・乾燥膜厚 1.75μm
・塗布温度: 23℃
その後、2.5kWの超高圧水銀灯を用いて、着色硬化性組成物の塗布膜を、線幅20μmのフォトマスクを用いて、日立ハイテクノロジー社製のLE4000Aでパターン状に 100mJ/cm2露光した。露光後、塗布膜の全面を無機系現像液(商品名:CDK−1、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)の1%水溶液で被い、シャワー現像した。
純水をシャワー状に噴射して現像液を洗い流し、かかる露光(光硬化)処理及び現像処理を施した塗布膜を220℃のオーブンにて1時間加熱した(ポストベーク)。これにより、ガラス基板上に着色硬化性組成物のパターン(着色層)を形成したカラーフィルタを得た。
上記で調製された着色硬化性組成物の保存安定性、現像性、露光感度及び着色硬化性組成物を用いてガラス基板上に形成された硬化性組成物塗布膜(着色層)のコントラスト、を下記のようにして評価した。結果を表4に示す。
1−2.の項で得られた着色硬化性組成物の調製後1日経過したものと1ヶ月経過したものの粘度をそれぞれ測定した。粘度の測定にはTV−22型粘度計コーンプレートタイプ(東機産業株式会社)を用いた。
粘度の値が小さいことで、顔料の分散性に優れることが分かり、また、粘度が小さく、かつ、経時による増粘度が小さいほど、顔料の分散安定性が良好であることを表す。
前記1−4.の項において、現像を行った後、20個の現像部(未露光部)をSEM(視野の大きさ 1000μm×1000μm)で観察し、残渣の個数を数えた。
残渣が少ないほど現像性が良好であることを示す。
前記1−4.の項において、10mJ/cm2〜500mJ/cm2の範囲で種々の露光量に変更して露光を行い、ポストベーク後のパターン線幅が20μmとなる露光量を露光感度として評価した。露光感度の値が小さいほど感度が高いことを示す。
前記1−5.の項で得られたカラーフィルタを2枚の偏光板の間に挟み、偏光板の偏光軸が平行な場合と垂直な場合の透過光の輝度を、色彩輝度計(トプコン社製色彩輝度計BM−7)を使用して測定し、平行な場合の輝度を垂直な場合の輝度で除してコントラストを求めた。コントラストが高いほど、液晶表示装置用カラーフィルタとして良好な性能を示す。
以下、固体撮像素子用途のカラーフィルタ形成用として、着色硬化性組成物を調製した例を挙げて説明する。
下記組成の成分を混合して溶解し、レジスト液を調製した。
<レジスト液の組成>
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 19.20部
・溶剤:乳酸エチル 36.67部
・アルカリ可溶性樹脂:メタクリル酸ベンジル/メタクリル酸/メタクリル酸−2−ヒドロキシエチル共重合体(モル比=60/22/18、重量平均分子量15,000 数平均分子量)の40%PGMEA溶液 30.51部
・エチレン性不飽和二重結合含有化合物:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
12.20部
・重合禁止剤:p−メトキシフェノール 0.0061部
・フッ素系界面活性剤:F−475、DIC(株)製 0.83部
・光重合開始剤:トリハロメチルトリアジン系の光重合開始剤 0.586部
(TAZ−107、みどり化学社製)
6inchシリコンウエハをオーブン中で200℃のもと30分加熱処理した。次いで、このシリコンウエハ上に前記レジスト液を乾燥膜厚が1.5μmになるように塗布し、更に220℃のオーブン中で1時間加熱乾燥させて下塗り層を形成し、下塗り層付シリコンウエハ基板を得た。
前記顔料分散液(X−1)〜(X−20)を用いて、下記組成比となるよう撹拌混合して着色硬化性組成物を調製した。
・前記顔料分散液 600部
・樹脂(表5に記載) 20部(固形分換算6部)
・光重合開始剤 (表5に記載) 20部
・重合性化合物 20部
東亞合成(株)製TO−1382(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合物とジペンタエリスリトールペンタアクリレートのコハク酸誘導体の混合物)
・重合性化合物:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 30部
・溶剤:PGMEA 900部
<パターン形成>
上記のように調製した着色硬化性組成物を、前記2−1.で得られた下塗り層付シリコンウエハの下塗り層上に塗布し、着色層(塗布膜)を形成した。そして、この塗布膜の乾燥膜厚が0.5μmになるように、100℃のホットプレートを用いて120秒間加熱処理(プリベーク)を行なった。
その後、照射された塗布膜が形成されているシリコンウエハ基板をスピン・シャワー現像機(DW−30型、(株)ケミトロニクス製)の水平回転テーブル上に載置し、CD−2000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を用いて23℃で60秒間パドル現像を行ない、シリコンウエハ基板に着色パターンを形成した。
その後、測長SEM「S−9260A」(日立ハイテクノロジーズ(株)製)を用いて、着色パターンのサイズを測定した。パターンサイズが1.2μmとなる露光量を露光感度として評価した。
前述のようにして調製された着色硬化性組成物の分散性、分散安定性、露光感度、塗布性、及び現像性を下記のようにして評価し、表5に結果を示した。
また、上記のようにして得られたカラーフィルタの色ムラについて下記のように評価し、表5に結果を示した。
前記2.3.の項で得られた着色硬化性組成物の調製後1日経過したものと1ヶ月経過したものの粘度をそれぞれ測定した。粘度の測定にはTV−22型粘度計コーンプレートタイプ(東機産業株式会社)を用いた。
粘度の値が小さいことで、顔料の分散性に優れることが分かり、また、粘度が小さく、かつ、経時による増粘度が小さいほど、顔料の分散安定性が良好であることを表す。
前記2−4.項において、現像を行った後、現像部(未露光部)をSEM(視野の大きさ 10μm×10μm)で20個観察し、残渣の個数を数えた。
露光量を10〜500mJ/cm2の種々の露光量に変更して露光し、ポストベイク後のパターン線幅が1.2μmとなる露光量を露光感度として評価した。露光感度の値が小さいほど感度が高いことを示す。
前記2−4.項で得られたカラーフィルタの色ムラの評価は、輝度分布を下記方法で解析し、平均からのずれが±5%以内である画素が全画素数に占める割合をもとに行った。評価基準は以下の通りである。
輝度分布の測定方法について説明する。まず、2−3.の項で得られた着色硬化性組成物を、前記2−2.の項に記載の方法で作製した下塗り層付ガラス板の下塗り層上に塗布し、着色層(塗膜)を形成した。
この塗膜の乾燥膜厚が0.7μmになるように、100℃のホットプレートを用いて120秒間加熱処理(プリベーク)を行なった。
この塗布済みガラス板の輝度分布を、顕微鏡MX−50(オリンパス社製)にて500倍で撮影した画像を解析し、平均からのずれが±5%以内である画素の割合(百分率)を算出した。この値が高いほど色ムラが小さく良好であることを示す。
Claims (7)
- (A)主鎖にアミノ基を有する分散樹脂、(B)顔料、(C)光重合開始剤、(D)重合性化合物、(E)溶剤、及び(F)下記一般式(1)で表される繰り返し単位を含むアルカリ可溶性樹脂、を含有する着色硬化性組成物。
前記一般式(1)中、R1、R2は、それぞれ独立に、水素原子、又は1価の有機基を表す。R3は、水素原子、炭素数1〜6の炭化水素基、−COOH、−CN、−CF3、−CH2OH、−CH2COOH、−CH2COORa、又は−COORbを表し、Ra、Rbは、各々独立に、炭素数1〜6の炭化水素基を表す。Xは、−O−、−CO−、−COO−、−OCO−、−CONH−、−NHCO−、又はアリーレン基を表す。R4は、2価の有機基、または単結合を表す。Aは含窒素ヘテロ環を表す。 - 前記一般式(1)で表される繰り返し単位が、下記一般式(2)又は一般式(3)で表される繰り返し単位である請求項1に記載の着色硬化性組成物。
一般式(2)において、R11は、水素原子、又はアルキル基を表す。R12は、アルキレン基を表す。X1は、−CO−、−COO−、−OCO−、−CONH−、又はフェニレン基を表す。Wは、−O−、−S−、−COO−、−CONH−、−COS−、−NHCONH−、−NHCOO−、−NHCOS−、−OCO−、−OCONH−、又は−NHCO−を表す。Yは、−NR13−、−O−、−S−、又は−N=を表し、これと隣接する原子団を介してN原子と連結して環状構造を形成する。R13は、水素原子、アルキル基、又はアリール基を表す。m及びnは、それぞれ独立に0又は1を表す。
一般式(3)において、R21は水素原子またはメチル基を表し、R22はアルキレン基を表し、Zは含窒素ヘテロ環を表す。 - 前記(F)一般式(1)で表される繰り返し単位を含むアルカリ可溶性樹脂が、さらにエチレン性不飽和二重結合を側鎖に有する繰り返し単位を含むアルカリ可溶性樹脂である請求項1又は請求項2に記載の着色硬化性組成物。
- 前記(A)主鎖にアミノ基を有する分散樹脂が、アミノ基含有樹脂とポリエステルとの縮合物である請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の着色硬化性組成物。
- 前記(C)光重合開始剤が、オキシム系化合物である請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の着色硬化性組成物。
- 請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の着色硬化性組成物により、支持体上に形成された着色パターンを有するカラーフィルタ。
- 請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の着色硬化性組成物を、支持体上に塗布して着色層を形成する着色層形成工程と、該着色層を、マスクを介してパターン露光する露光工程と、露光後の着色層を現像して着色パターンを形成する現像工程とを、含むカラーフィルタの製造方法。
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