JP2007533584A - SiCl4の接触脱ハロゲン水素化によって、HSiCl3を製造するための方法 - Google Patents
SiCl4の接触脱ハロゲン水素化によって、HSiCl3を製造するための方法 Download PDFInfo
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Abstract
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高められた温度およびクロロシランまたはHClに対して大きく耐性の加熱可能な反応器は、一般的には最初にベーキングにより乾燥され、乾燥したO2-不含の保護ガス、たとえばアルゴンまたは窒素で充填し、かつ保護ガス下で触媒を導入する。触媒は、一般的にH2流中で、反応温度まで高められた温度で前調製する。しかしながら、触媒はさらに、HSiCl3、SiCl4、H2/HSiCl3、H2/SiCl4またはH2/HSiCl3/SiCl4の雰囲気または流下で前調製されてもよい。触媒の前調製は、適切には0.1〜12時間、好ましくは2〜6時間で、300℃を上回る温度で実施する。アルカリ土類金属をそのまま触媒として使用する場合には、前記条件下での前調製は、約0.5〜4時間に亘って、使用されたアルカリ土類金属の溶融点を下回る温度に加熱し、かつこの温度で約1〜10時間に亘って維持することによって実施することができる。その後に温度は、好ましい操作温度まで上昇させることができ、かつ本発明による方法は、種々の触媒粒子を、一般的にはその本来の形状を維持しながら、実施することができる。反応器は、適切には操作条件下で、少なくとも1種の熱電対および少なくとも1種の流量測定器を用いて、モニタリングすることができる。供給混合物を準備するために、SiCl4を気相に変換し、適切な割合の水素を添加し、かつこれを操作温度で反応器に供給することが可能である。
例1:
ZSM5を、0.1N BaCl2溶液で含浸させ、引き続いて乾燥させ、かつ水素雰囲気下で1時間に亘って450℃で燃焼させた。10質量%の塩をこの方法で適用した。直径15mmおよび長さ250mmを有するヒュームドシリカ反応器中で、この金属塩を含有するゼオライト1.3gをフリット上に設置した。管状炉を用いて845℃まで電気的に加熱した。H2/SiCl4混合物を、反応器中7l/hの流量で通過させた。反応器中で達成した変換率を、ガスクロマトグラフィーによってモニタリングした。第1表は、SiCl4のHSiCl3への変換率を、種々のn(H2)/n(SiCl4)のモル比で示したものである。
例1に記載したヒュームドシリカ反応器を使用した。平均粒径1.5mmを有する金属性バリウム1gを固体として使用し、かつ前調製した(H2/HSiCl3雰囲気、700℃で2時間に亘って加熱し、700℃で2時間に亘って維持し(おそらくBa/BaSix/BaCl2/Si相を形成する)、かつ、操作温度まで加熱した)。変換率は、反応温度の関数として7l/hの体積流量および一定のn(H2)/n(SiCl4)比6:1で測定した。
例1に記載したヒュームドシリカ反応器を使用した。平均粒径0.7mmを有する無水SrCl2 1gを固体として使用した。変換率は、反応温度の関数として、7l/hの体積流量および一定のn(H2)/n(SiCl4)比6:1で測定した。
Claims (10)
- 水素の存在下で、四塩化珪素(SiCl4)の接触脱ハロゲン水素化によってトリクロロシラン(HSiCl3)を製造する方法において、元素周期律表の第2主族の元素から選択された少なくとも1種の金属または金属塩を触媒として、300〜1000℃の範囲の温度で使用することを特徴とする、水素の存在下で、四塩化珪素(SiCl4)の接触脱ハロゲン水素化によって、トリクロロシラン(HSiCl3)を製造する方法。
- 触媒として、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、塩化カルシウム、塩化ストロンチウム、塩化バリウムまたは前記成分の少なくとも2種の混合物を使用する、請求項1に記載の方法。
- 担持触媒を使用する、請求項1または2に記載の方法。
- 低アルミニウムゼオライト、溶出ガラス、ヒュームドシリカ、活性炭、多孔性ケイ質担体またはSiO2担体からなる群から選択された担体上に適用された触媒を使用する、請求項1から3までのいずれか1項に記載の方法。
- 使用された担持触媒が、元素として算定された0.1〜10質量%の触媒含量を有する、請求項1から4までのいずれか1項に記載の方法。
- モル比1:0.9〜1:20を有するSiCl4/H2混合物を、触媒と接触させる、請求項1から5までのいずれか1項に記載の方法。
- 反応を、固定層反応器、流動層反応器または移動層反応器中で実施する、請求項1から6までのいずれか1項に記載の方法。
- 触媒反応を、600〜950℃の範囲の温度および0.1〜100バール(絶対圧)の圧力で実施する、請求項1から7までのいずれか1項に記載の方法。
- 反応を、2000〜30000h−1の空間速度で実施し、かつガス流が反応器中で0.01〜10m/sの線速度を有する、請求項1から8までのいずれか1項に記載の方法。
- HSiCl3を生成物混合物から単離するか、あるいは、生成物混合物をさらに直接使用する、請求項1から9までのいずれか1項に記載の方法。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013502392A (ja) * | 2009-08-19 | 2013-01-24 | ワッカー ケミー アクチエンゲゼルシャフト | クロロシランからハイドロジェンシランへの水素化脱塩素のための触媒および該触媒を用いたハイドロジェンシランの製造方法 |
JP2013517209A (ja) * | 2010-01-18 | 2013-05-16 | エボニック デグサ ゲーエムベーハー | 四塩化ケイ素をトリクロロシランへと連続的に変換するための触媒系 |
JP2013517208A (ja) * | 2010-01-18 | 2013-05-16 | エボニック デグサ ゲーエムベーハー | 四塩化ケイ素をトリクロロシランへと変換するための装置の必須の要素としての、加圧運転されるセラミック熱交換器の使用 |
JP2013535399A (ja) * | 2010-08-13 | 2013-09-12 | エルケム アクシエセルスカプ | トリクロロシランの製造法及びトリクロロシランの製造用のケイ素 |
JP2013542167A (ja) * | 2010-11-09 | 2013-11-21 | エボニック デグサ ゲーエムベーハー | トリクロロシランの製造法 |
WO2014141667A1 (ja) * | 2013-03-11 | 2014-09-18 | 信越化学工業株式会社 | 水素化クロロシランの製造方法および水素化クロロシラン製造用触媒 |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102008002537A1 (de) | 2008-06-19 | 2009-12-24 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Entfernung von Bor enthaltenden Verunreinigungen aus Halogensilanen sowie Anlage zur Durchführung des Verfahrens |
US20100124525A1 (en) * | 2008-11-19 | 2010-05-20 | Kuyen Li | ZERO-HEAT-BURDEN FLUIDIZED BED REACTOR FOR HYDRO-CHLORINATION OF SiCl4 and M.G.-Si |
KR101133658B1 (ko) * | 2009-02-09 | 2012-04-10 | 코아텍주식회사 | 금속촉매를 이용한 삼염화실란의 제조방법 및 장치 |
WO2011009390A1 (zh) * | 2009-07-19 | 2011-01-27 | Chu Xi | 硅气转化的反应器和方法 |
US8298490B2 (en) * | 2009-11-06 | 2012-10-30 | Gtat Corporation | Systems and methods of producing trichlorosilane |
US20110243825A1 (en) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | Peak Sun Silicon Corporation | Tetrahalosilane converter |
KR100984942B1 (ko) * | 2010-07-27 | 2010-10-01 | 전북대학교산학협력단 | 삼염화실란의 제조를 위한 사염화규소의 탈염소수소화 반응에 사용되는 촉매 및 그 제조방법 |
CN103052595A (zh) * | 2010-09-08 | 2013-04-17 | 道康宁公司 | 制备三卤代硅烷的方法 |
DE102011002436A1 (de) | 2011-01-04 | 2012-07-05 | Evonik Degussa Gmbh | Hydrierung von Organochlorsilanen und Siliciumtetrachlorid |
RU2472704C1 (ru) * | 2011-09-14 | 2013-01-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева" (НГТУ) | Способ каталитического гидрирования тетрахлорида кремния |
EP2780283A4 (en) * | 2011-11-14 | 2015-12-30 | Sitec Gmbh | METHOD AND SYSTEMS FOR METABOLIC TRICHLORINE PRODUCTION |
CN104736547A (zh) | 2012-08-13 | 2015-06-24 | 道康宁公司 | 通过使氢、卤硅烷和有机卤化物在铜催化剂上以两步法反应制备有机卤硅烷的方法 |
CN103007995B (zh) * | 2012-12-17 | 2015-08-12 | 四川大学 | 一种用于催化氢化四氯化硅制备三氯氢硅的复合催化剂 |
CN105705507B (zh) | 2013-11-12 | 2018-08-31 | 美国陶氏有机硅公司 | 制备卤代硅烷的方法 |
CN114054035B (zh) * | 2021-11-30 | 2023-06-09 | 新特能源股份有限公司 | 一种用于催化四氯化硅转化的催化剂及其制备方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62270413A (ja) * | 1986-05-20 | 1987-11-24 | Idemitsu Kosan Co Ltd | トリクロルシランの製造方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3690388C2 (de) * | 1985-07-19 | 1996-08-29 | Orbital Eng Pty | Verfahren zur Versorgung einer Zweitaktmaschine mit Brennstoff und Zweitaktmaschine |
JPH01100011A (ja) * | 1987-10-12 | 1989-04-18 | Nkk Corp | トリクロロシランの工業的製造方法 |
US5021383A (en) * | 1989-06-16 | 1991-06-04 | Berty Reaction Engineers, Ltd. | Catalyst for the destruction of toxic organic chemicals |
DE4108641C2 (de) * | 1991-03-16 | 1995-01-05 | Kiekert Gmbh Co Kg | Elektromotorischer Antrieb für eine Zentralverriegelungsvorrichtung an einem Kraftfahrzeug |
DE4108614C2 (de) * | 1991-03-17 | 2000-01-13 | Degussa | Verfahren zur Herstellung von Trichlorsilan aus Siliciumtetrachlorid |
US5600040A (en) * | 1992-07-17 | 1997-02-04 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Separation of tetrafluoroethane isomers |
DE4343169A1 (de) * | 1993-12-17 | 1995-06-22 | Solvay Deutschland | Katalytische Hydrodehalogenierung halogenhaltiger Verbindungen von Elementen der vierten Hauptgruppe |
DE19654154A1 (de) * | 1995-12-25 | 1997-06-26 | Tokuyama Corp | Verfahren zur Herstellung von Trichlorsilan |
US6376727B1 (en) * | 1997-06-16 | 2002-04-23 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Processes for the manufacture of 1,1,1,3,3-pentafluoropropene, 2-chloro-pentafluoropropene and compositions comprising saturated derivatives thereof |
US6551566B1 (en) * | 2000-10-12 | 2003-04-22 | Air Liquide Process And Construction, Inc. | Hydrodehalogenation process using a catalyst containing nickel |
CN1183034C (zh) * | 2002-02-08 | 2005-01-05 | 中国有色工程设计研究总院 | 四氯化硅氢化生产三氯氢硅的方法 |
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Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62270413A (ja) * | 1986-05-20 | 1987-11-24 | Idemitsu Kosan Co Ltd | トリクロルシランの製造方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013502392A (ja) * | 2009-08-19 | 2013-01-24 | ワッカー ケミー アクチエンゲゼルシャフト | クロロシランからハイドロジェンシランへの水素化脱塩素のための触媒および該触媒を用いたハイドロジェンシランの製造方法 |
JP2013517209A (ja) * | 2010-01-18 | 2013-05-16 | エボニック デグサ ゲーエムベーハー | 四塩化ケイ素をトリクロロシランへと連続的に変換するための触媒系 |
JP2013517208A (ja) * | 2010-01-18 | 2013-05-16 | エボニック デグサ ゲーエムベーハー | 四塩化ケイ素をトリクロロシランへと変換するための装置の必須の要素としての、加圧運転されるセラミック熱交換器の使用 |
JP2013535399A (ja) * | 2010-08-13 | 2013-09-12 | エルケム アクシエセルスカプ | トリクロロシランの製造法及びトリクロロシランの製造用のケイ素 |
JP2013542167A (ja) * | 2010-11-09 | 2013-11-21 | エボニック デグサ ゲーエムベーハー | トリクロロシランの製造法 |
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