JP2007529869A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 容器と、
   ＥＵＶ生成プラズマ発生器と、
   生成ＥＵＶ光を前記容器の一端で中間焦点に集束させる集光器と、
   ＥＵＶ光通路があり、かつ前記容器を第１の圧力の区域と第２の圧力の区域に分離する、前記プラズマ発生器と前記中間焦点の間の前記容器内の中間壁と、
   を含み、
   前記ＥＵＶ開口部は、集束ＥＵＶ光のための通路を含む低圧トラップをそこに有し、かつ前記第１の圧力と前記第２の圧力の間の差による該低圧トラップにわたる圧力降下を維持するように構成されている、
   ことを特徴とするＥＵＶ光源。
2. 更に、前記低圧トラップは、集束させた細い光通路が形成された中実球体の断面を含む、
   ことを特徴とする請求項１に記載の機器。
3. 更に、前記ＥＵＶ生成プラズマ発生器は、照射サイトに個別のターゲットを送出するターゲット送出機構を含む、
   ことを特徴とする請求項１に記載の機器。
4. 更に、前記照射サイトは、第１の圧力の区域内にあり、第１の圧力は第２の圧力よりも大きい、
   ことを特徴とする請求項３に記載の機器。
5. 更に、複数の冷間フィンガを含み、前記冷間フィンガは、第１の圧力の区域内にある、
   ことを特徴とする請求項４に記載の機器。
6. 更に、第２の圧力を維持するための真空ポンプを含む、
   ことを特徴とする請求項４に記載の機器。
7. 更に、前記ＥＵＶ生成プラズマ発生器は、照射サイトに液滴を送出するターゲット送出機構を含む、
   ことを特徴とする請求項１に記載の機器。
8. 更に、前記集光器は楕円ミラーである、
   ことを特徴とする請求項１に記載の機器。
9. 更に、前記集光器は、前記照射サイトに焦点を有する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の機器。
10. 更に、前記容器内に配置された複数の冷間フィンガを含む、
    ことを特徴とする請求項１に記載の機器。