JP5322217B2 - 光源装置 - Google Patents
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Description
第1の手段は、一対の電極が対向して配置されると共に、放電媒体が封入された放電ランプと、前記一対の電極間に向けてエネルギービームを照射するエネルギービーム照射手段とを備えた光源装置であって、前記エネルギービーム照射手段は、前記電極に給電して前記放電ランプが点灯している状態のときに前記電極の先端付近に形成される輝点に向けて、前記放電ランプの管軸に対し直交する方向からエネルギービームを照射することを特徴とする光源装置である。
第2の手段は、第1の手段において、前記エネルギービーム照射手段の位置を調整する位置調整手段を備え、該位置調整手段は、前記放電ランプを点灯させたとき、前記エネルギービーム照射手段から照射されるエネルギービームを前記電極の先端付近に形成される輝点に向けて照射するように調整することを特徴とする光源装置である。
図1は、本実施形態の発明に係る光源装置の概略構成を示す斜視図、図2は、図1に示した光源装置の直流点灯方式で点灯する場合の放電ランプの構成を示す正面断面図である。
図1に示すように、本実施形態の発明に係る光源装置は、放電ランプ1と、放電ランプ1を取り囲むように配置された集光反射鏡2と、レーザービーム等のエネルギービームを照射するエネルギービーム照射手段3と、エネルギービーム照射手段3を可動してエネルギービームの照射位置を調整するためのエネルギービーム位置調整手段4とを備えている。
まず、放電ランプ1における一対の電極14、15間には、放電ランプ1の管軸10に沿って伸びる高温プラズマ(DPP)6が形成される。また、レーザービーム8を放電ランプ1の発光部11内に入射させることによって、レーザービーム8の光軸方向に沿って高温プラズマ(LPP)7が形成される。放電ランプ1の管軸10とレーザービーム8の光軸9とが直交していることから、高温プラズマ(DPP)6と高温プラズマ(LPP)7とは互いに直交するように形成される。かくして、放電ランプ1の輝点61は高温プラズマ(DPP)6のうちで輝度が最も高い箇所であり、輝点61にレーザービーム8が照射されるように高温プラズマ(LPP)7を形成して、高温プラズマ(DPP)6の輝点61と高温プラズマ(LPP)7とを重複させることにより、極めて高輝度のプラズマを得ることができる。つまり、集光反射鏡2で集光される光を利用する光源装置においては、光の取り込み領域が局所的となり、この光取り込み領域の光強度を向上させることができる。
同図に示すように、交流点灯方式は、放電ランプ1が、略球状の発光部11とその両端に続く封止部12からなる発光管13で構成され、発光部11内に電極16及び電極17が対向配置されており、電極16と電極17との間に交流電圧を印加することによって点灯駆動するものである。発光管13は、石英ガラス等の紫外線を透過する材料で構成され、発光部11内には、水銀、キセノンガス等の放電媒体が封入されている。電極16、17は、先端部に形成される鋭利な尖頭部161、171とこれに続く円柱状の胴部162、172とで構成され、胴部162、172の根本部分が封止部12で保持されている。電極16、17は、例えば、タングステン等の高融点材料で構成される。
図5は、本実施形態の発明に係る光源装置の概略構成を示す斜視図であり、図6は、図5に示した光源装置の直流点灯方式で点灯する場合の放電ランプの構成を示す正面断面図図7は、図5に示した光源装置の交流点灯方式で点灯する場合の放電ランプの構成を示す正面断面図である。
図5において、本実施形態の発明に係る光源装置は、図1に示した同符号の構成に対応するので、詳細な説明は省略する。なお、図5において、θ1はX軸の回りの回転角、θ2はY軸の回りの回転角、θ3はZ軸の回りの回転角を示している。
放電ランプ1における一対の電極14、15間には、放電ランプ1の管軸10に沿って伸びる高温プラズマ(DPP)が形成され、また、レーザービーム8を放電ランプ1の発光部11内に入射させることによって、レーザービーム8の光軸方向に沿って高温プラズマ(LPP)が形成される。放電ランプ1の管軸10とレーザービーム8の光軸9とが斜交していることから、高温プラズマ(DPP)6に対して高温プラズマ(LPP)7が斜め方向に形成される。かくして、放電ランプ1の輝点61は高温プラズマ(DPP)6のうちで輝度が最も高い箇所であるため、輝点61にレーザービーム8を照射して高温プラズマ(LPP)7を形成することによって、高温プラズマ(DPP)6の輝点61と高温プラズマ(LPP)7とを重複させることにより、極めて高輝度のプラズマを得ることができる。
11 発光部
12 封止部
13 発光管
14 陽極
141 先端部
142 胴部
15 陰極
151 尖頭部
152 胴部
16、17 電極
161、171 尖頭部
162、172 胴部
2 集光反射鏡
21 光反射面
22 光出射開口
23 開口
24 開口
3 エネルギービーム照射手段
31 レーザー発振器
4 エネルギービーム位置調整手段
5 光学系
6 高温プラズマ(DPP)
61 輝点
62、63 輝点
7 高温プラズマ(LPP)
8 レーザービーム
9 光軸
10 管軸
Claims (2)
- 一対の電極が対向して配置されると共に、放電媒体が封入された放電ランプと、前記一対の電極間に向けてエネルギービームを照射するエネルギービーム照射手段とを備えた光源装置であって、
前記エネルギービーム照射手段は、前記電極に給電して前記放電ランプが点灯している状態のときに前記電極の先端付近に形成される輝点に向けて、前記放電ランプの管軸に対し直交する方向からエネルギービームを照射することを特徴とする光源装置。 - 前記エネルギービーム照射手段の位置を調整する位置調整手段を備え、該位置調整手段は、前記放電ランプを点灯させたとき、前記エネルギービーム照射手段から照射されるエネルギービームを前記電極の先端付近に形成される輝点に向けて照射するように調整することを特徴とする請求項1に記載の光源装置。
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