KR101343178B1 - 광원 장치 - Google Patents

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다쿠 스미토모
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에너제틱 테크놀로지 아이엔씨.
우시오덴키 가부시키가이샤
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Abstract

고온 플라즈마(LPP)가 광축 방향을 따라 계속적으로 진동하고 있어도 광원의 깜박거림을 방지할 수 있는 광원 장치를 제공한다.
한 쌍의 전극(14, 15)이 대향하여 배치됨과 더불어, 방전 매체가 봉입된 방전 램프(1)와, 한 쌍의 전극(14, 15) 사이를 향해 에너지 빔(8)을 조사하는 에너지 빔 조사 수단을 구비한 광원 장치로서, 상기 에너지 빔 조사 수단은, 전극(14, 15)에 급전하여 방전 램프(1)를 점등시켰을 때에 전극(15)의 선단 부근에 형성되는 휘점(61)을 향해 에너지 빔(8)을 조사하는 것을 특징으로 하는 광원 장치이다.

Description

광원 장치{LIGHT SOURCE APPARATUS}
본 발명은, 반도체나 액정 기판, 또한, 컬러 필터 등의 제조 공정에서 이용되는 노광 장치용의 광원 장치에 관한 것으로, 특히, 자외선 파장역의 광을 방사하는 광원에 대해 에너지 빔을 공급하는 수단을 구비한 광원 장치에 관한 것이다.
최근, 반도체나 액정 기판, 또한, 컬러 필터 등의 제조 공정에 있어서는, 입력 전력이 큰 자외선 광원을 사용함으로써, 처리 시간의 단축화나, 대면적의 피처리물로의 일괄 노광 등이 진행되고 있다. 이에 수반하여, 자외선 광원인 고압 방전 램프에는, 보다 고휘도의 광을 방사하는 것이 요구되고 있다. 그러나, 고압 방전 램프로의 입력 전력을 단순히 크게 하면, 방전 용기 내부에 배치된 전극으로의 부하가 증대하고, 전극으로부터의 증발물이 원인이 되어, 고압 방전 램프 내가 흑화하여, 단수명화의 원인이 된다.
이러한 문제를 해결하기 위해, 여러 가지의 제안이 이루어지고 있고, 예를 들면, 특허 문헌에 1에는, 희가스나 수은이 봉입된 방전 용기를 배치하고, 상기 방전 용기의 내부 공간에 배치된 불씨 생성용의 한 쌍의 전극 사이의 중심에 대해 연속형상 또는 펄스형상의 레이저빔을 조사하기 위한 레이저원을 구비한 광원이 개시 되어 있다. 이 특허 문헌 1에 개시되어 있는 광원에 의하면, 레이저빔에 의해 플라즈마가 고온 상태가 되도록 가열되고, 이 고온 상태가 된 플라즈마로부터 고휘도의 자외광을 방사시킬 수 있다.
상기의 광원은, 챔버 내에 조사된 레이저빔에 의해, 챔버 내에 대향하여 배치된 한 쌍의 전극 사이에 발생하는 고온 플라즈마(Discharge Produced Plasma, 이하 DPP라고도 한다)와는 독립적으로, 고온 플라즈마(Laser Produced plasma, 이하 LPP라고도 한다)가 생성된다. 그러나, 이 고온 플라즈마(LPP)는, 레이저빔의 광축을 따라 진동하고, 고온 플라즈마(LPP)가 레이저빔의 광축 방향을 따라 위치 변동한다는 문제가 있었다. 특히, 방전 용기 내에 수은 및 크세논 가스가 봉입되어 있는 경우는, 고온 플라즈마(LPP)의 위치 변동이 현저하였다. 그 때문에, 광원으로부터 방출되는 광에 깜박거림이 생긴다는 문제점이 있었다. 또한, 상기 특허 문헌 1에는, 방전 용기 내의 어디에 레이저빔을 입사하는지에 대해서는 명확하게 되어 있지 않다.
[특허 문헌 1] 미국 특허 2007/0228300호 공보
본 발명의 목적은, 상기의 문제점을 감안하여, 고온 플라즈마(LPP)가 광축 방향을 따라 계속적으로 진동하고 있어도 광원의 깜박거림을 방지할 수 있는 광원 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명은, 상기의 과제를 해결하기 위해, 다음과 같은 수단을 채용하였다.
제1 수단은, 한 쌍의 전극이 대향하여 배치됨과 더불어, 방전 매체가 봉입된 방전 램프와, 상기 한 쌍의 전극 사이를 향해 에너지 빔을 조사하는 에너지 빔 조사 수단을 구비한 광원 장치로서, 상기 에너지 빔 조사 수단은, 상기 전극에 급전하여 상기 방전 램프를 점등시켰을 때에 상기 전극의 선단 부근에 형성되는 휘점을 향해 에너지 빔을 조사하는 것을 특징으로 하는 광원 장치이다.
제2 수단은, 제1 수단에 있어서, 상기 에너지 빔 조사 수단은, 상기 방전 램프의 관축에 대해 직교하는 방향으로부터 에너지 빔을 조사하는 것을 특징으로 하는 광원 장치이다.
제3 수단은, 제1 수단 또는 제2 수단에 있어서, 상기 에너지 빔 조사 수단의 위치를 조정하는 위치 조정 수단을 구비하고, 상기 위치 조정 수단은, 상기 방전 램프를 점등시켰을 때, 상기 에너지 빔 조사 수단으로부터 조사되는 에너지 빔을 상기 전극의 선단 부근에 형성되는 휘점을 향해 조사하도록 조정하는 것을 특징으로 하는 광원 장치이다.
본 발명에 의하면, 입사되는 고온 플라즈마(LPP) 등의 에너지 빔이 계속적으로 진동하고 있어도 광원의 깜박거림을 방지할 수 있다. 또, 방전 램프의 전극 사이에 형성되는 고온 플라즈마(DPP)의 휘점과 고온 플라즈마(LPP) 등의 에너지 빔을 중복시킴으로써, 극히 고휘도의 플라즈마를 얻을 수 있다.
본 발명의 제1 실시 형태를 도 1 내지 도 4를 이용하여 설명한다.
도 1은, 본 실시 형태의 발명에 따른 광원 장치의 개략 구성을 도시한 사시도, 도 2는, 도 1에 나타낸 광원 장치의 직류 점등 방식으로 점등하는 경우의 방전 램프의 구성을 도시한 정면 단면도이다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 본 실시 형태의 발명에 따른 광원 장치는, 방전 램프(1)와, 방전 램프(1)를 둘러싸도록 배치된 집광 반사경(2)과, 레이저빔 등의 에너지 빔을 조사하는 에너지 빔 조사 수단(3)과, 에너지 빔 조사 수단(3)을 가동하여 에너지 빔의 조사 위치를 조정하기 위한 에너지 빔 위치 조정 수단(4)을 구비하고 있다.
방전 램프(1)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 예를 들면, 발광 매체로서 수은이 봉입된 쇼트아크형의 고압 수은 램프이다. 상기 도면에 나타낸 바와 같이, 직류 점등 방식에서는, 방전 램프(1)가, 대략 구형상의 발광부(11)와 그 양단에 이어지는 시일링부(12)로 이루어지는 발광관(13)으로 구성되고, 발광부(11) 내에 양극(14) 및 음극(15)이 대향 배치되어 있으며, 양극(14)과 음극(15)의 사이에 직류 전압을 인가함으로써 점등 구동하는 것이다. 발광관(13)은, 석영 유리 등의 자외선을 투과하는 재료로 구성되고, 발광부(11) 내에는, 수은, 크세논 가스 등의 방전 매체가 봉입되어 있다. 양극(14)은, 원뿔대 형상을 갖는 선단부(141)와 이것에 이어지는 원기둥 형상의 몸통부(142)로 구성되고, 몸통부(142)의 밑동 부분이 시일링부(12)로 유지되어 있다. 음극(15)은, 선단부에 형성되는 예리한 끝이 뾰족한 부분(151)과 이것에 이어지는 원기둥 형상의 몸통부(152)로 구성되고, 몸통부(152)의 근본 부분이 시일링부(12)로 유지되어 있다. 양극(14) 및 음극(15)은, 예를 들면, 텅스텐 등의 고융점 재료로 구성된다.
도 1에 있어서, 집광 반사경(2)은, 전체적으로 보울형 형상을 갖는, 예를 들면, 회전 타원면 반사경, 포물 반사면경이고, 그 제1 초점이 방전 램프(1)의 음극(15)의 끝이 뾰족한 부분(151)의 선단 부근에 일치함과 더불어 방전 램프(1)의 주위를 둘러싸도록 하여 배치된다. 집광 반사경(2)은, HfO2(산화하프늄)과 SiO2(산화실리콘)을 교대로 적층하여 이루어지는 다층막이나, Ta2O5(산화탄탈)과 SiO2(산화실리콘)을 교대로 적층하여 이루어지는 다층막 등으로 이루어지는 광 반사면(21)으로 형성되어 있고, 방전 램프(1)로부터 출사한 자외광을 광 반사면(21)에서 반사하여 광 출사 개구(22)로부터 출사한다. 또, 집광 반사경(2)의 측면에는, 에너지 빔 조사 수단(3)으로부터 방사된 레이저빔(8)을 집광 반사경(2) 내에 입사시키기 위한 개구(23), 및 방전 기여 후의 레이저빔을 투과하기 위한 개구(24)가 형성되어 있다.
에너지 빔 조사 수단(3)은, 방전 램프(1)의 한 쌍의 전극 사이(14, 15)를 향해, 예를 들면, 레이저빔을 조사하기 위한 레이저 발진기(31)를 구비하고, 레이저 발진기(31)로부터 방사된 레이저빔(8)은, 레이저 발진기(31)의 전방측에 배치된 광학계(5)에 의해 빔 직경이 최적인 크기가 되도록 조정되며, 집광 반사경(2)의 측면에 설치된 개구(23)를 통해 방전 램프(1)의 한 쌍의 전극(14, 15) 사이에 조사된다. 에너지 빔 조사 수단(3)으로부터 출사하는, 연속파 레이저로서는, 반도체 레이저나 파이버 레이저, 펄스 레이저로서는, YAG 레이저나 CO2 레이저 등을 예시할 수 있다. 레이저빔(8)은, 예를 들면, 파장이 1065nm이고, 연속 발진 출력이 500W인 파이버 레이저이다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 전극(14, 15) 사이에 직류 전압을 인가하여 방전 램프(1)를 점등 구동하면, 한 쌍의 전극(14, 15) 사이에 방전이 발생함으로써 고온 플라즈마(DPP)(6)가 형성되고, 휘점(61)이 음극(15)의 끝이 뾰족한 부분(151)의 선단 부근에 형성된다. 에너지 빔 위치 조정 수단(4)은, 레이저 발진기(31)를 X축, Y축, 및 Z축 방향의 3차원 방향으로 가동시키고, 레이저빔(8)의 광축(9)이 방전 램프(1)의 관축(10)에 대해 직교함과 더불어 레이저빔(8)이 음극(15)의 끝이 뾰족한 부분(151)의 선단 부근의 휘점(61)에 집광하는 상태가 되도록, 레이저 발진기(31)를 위치 결정한다. 또한, 여기에서 휘점이란, 극간(極間) 중심을 통과하여 램프 관축에 직교하는 직선으로부터 음극측의 영역을 가리키고, 대개 음극의 선단 부근에 형성되는 영역이다.
본 발명의 광원 장치는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 레이저빔(8)의 광축(9)이 방전 램프(1)의 관축(10)에 대해 직교하도록 방전 램프(1)의 휘점(61)에 대해 조사함으로써, 다음과 같은 효과를 기대할 수 있다.
우선, 방전 램프(1)에 있어서의 한 쌍의 전극(14, 15) 사이에는, 방전 램프(1)의 관축(10)을 따라 신장되는 고온 플라즈마(DPP)(6)가 형성된다. 또, 레이저빔(8)을 방전 램프(1)의 발광부(11) 내에 입사시킴으로써, 레이저빔(8)의 광축 방향을 따라 고온 플라즈마(LPP)(7)가 형성된다. 방전 램프(1)의 관축(10)과 레이저빔(8)의 광축(9)이 직교하고 있으므로, 고온 플라즈마(DPP)(6)와 고온 플라즈마(LPP)(7)는 서로 직교하도록 형성된다. 이렇게 해서, 방전 램프(1)의 휘점(61)은 고온 플라즈마(DPP)(6) 중에서 휘도가 가장 높은 개소이고, 휘점(61)에 레이저빔(8)이 조사되도록 고온 플라즈마(LPP)(7)를 형성하며, 고온 플라즈마(DPP)(6)의 휘점(61)과 고온 플라즈마(LPP)(7)를 중복시킴으로써, 극히 고휘도의 플라즈마를 얻을 수 있다. 요컨대, 집광 반사경(2)으로 집광되는 광을 이용하는 광원 장치에 있어서는, 광의 취입 영역이 국소적으로 되고, 이 광 취입 영역의 광 강도를 향상시킬 수 있다.
여기에서, 고온 플라즈마(LPP)(7)가 레이저빔(8)의 광축 방향을 따라 계속적으로 진동하였다고 해도, 광원의 깜박거림을 가급적 작게 할 수 있다. 왜냐하면, 방전 램프(1)의 휘점(61)에 있어서 고온 플라즈마(DPP)(6)와 고온 플라즈마(LPP)(7)를 중복시켜 형성한 혼합 플라즈마는, 고온 플라즈마(DPP)(6)의 휘점(61)에 있어서의 휘도가 극히 높고, 혼합 플라즈마 전체적으로 보면 혼합 플라즈 마의 휘도에 차지하는 고온 플라즈마(LPP)(7)의 휘도의 비율이 낮기 때문에, 고온 플라즈마(LPP)(7)의 진동에 의한 광원의 깜박거림이 거의 문제가 되지 않기 때문이다.
도 3은, 도 2에 나타낸 방전 램프(1)의 비교예로서의 방전 램프(1)의 정면 단면도이다. 상기 도면에 나타낸 바와 같이, 이 방전 램프(1)는, 한 쌍의 전극(14, 15)의 극간 중심, 바꿔 말하면, 한 쌍의 전극(14, 15) 사이에 형성되는 고온 플라즈마(DPP)(6)의 중심에 레이저빔(8)이 조사되어 있고, 이러한 경우는, 방전 램프(1)로부터 방출되는 광의 깜박거림을 억제할 수 없다. 요컨대, 고온 플라즈마(DPP)(6) 중 휘도가 낮은 개소에 레이저빔(8)이 조사되어 고온 플라즈마(LPP)(7)가 형성되어 있으므로, 혼합 플라즈마 전체적으로 보면, 혼합 플라즈마의 휘도에 차지하는 고온 플라즈마(LPP)(7)의 휘도의 비율이, 도 2에 나타낸 방전 램프(1)의 것보다 높다. 따라서, 고온 플라즈마(DPP)(6)와 고온 플라즈마(LPP)(7)의 혼합 플라즈마에 대한 고온 플라즈마(LPP)(7)의 진동에 의한 영향이 커져, 광원의 깜박거림이 커지는 것으로 생각된다.
도 4는, 도 1에 나타낸 광원 장치의 교류 점등 방식으로 점등하는 경우의 방전 램프(1)의 구성을 도시한 정면 단면도이다.
상기 도면에 나타낸 바와 같이, 교류 점등 방식은, 방전 램프(1)가, 대략 구형상의 발광부(11)와 그 양단에 이어지는 시일링부(12)로 이루어지는 발광관(13)으로 구성되고, 발광부(11) 내에 전극(16) 및 전극(17)이 대향 배치되어 있으며, 전극(16)과 전극(17)의 사이에 교류 전압을 인가함으로서 점등 구동하는 것이다. 발 광관(13)은, 석영 유리 등의 자외선을 투과하는 재료로 구성되고, 발광부(11) 내에는, 수은, 크세논 가스 등의 방전 매체가 봉입되어 있다. 전극(16, 17)은, 선단부에 형성되는 예리한 끝이 뾰족한 부분(161, 171)과 이것에 이어지는 원기둥 형상의 몸통부(162, 172)로 구성되고, 몸통부(162, 172)의 근본 부분이 시일링부(12)로 유지되어 있다. 전극(16, 17)은, 예를 들면, 텅스텐 등의 고융점 재료로 구성된다.
상기 도면에 나타낸 바와 같이, 교류 점등하는 경우, 발광부(11) 내에 형성되는 고온 플라즈마(DPP)(6)의 휘점(62, 63)이, 인가 전압의 극성이 바뀔 때마다 각각의 전극(16, 17)의 선단 부근에 형성된다. 에너지 빔 조사 수단(3)으로부터 조사된 레이저빔(8)은, 한 쌍의 전극(16, 17) 중 어느 한 쪽의 전극(16)(17)의 선단 부근에 형성되는 휘점(62)(63)을 향해 조사된다. 이렇게 함으로써, 직류 점등 방식의 경우와 동일한 이유로 고온 플라즈마(LPP)(7)가 진동하여 계속적으로 위치 변동해도, 광원의 깜박거림을 방지할 수 있다. 또한, 여기에서 휘점이란, 극간 중심을 통과하여 램프 관축에 직교하는 직선으로부터 각 전극측의 영역인, 요컨대, 각 전극의 선단 부근에 형성되는 영역이다.
본 발명의 제2 실시 형태를 도 5 내지 도 7을 이용하여 설명한다.
도 5는, 본 실시 형태의 발명에 따른 광원 장치의 개략 구성을 도시한 사시도이고, 도 6은, 도 5에 나타낸 광원 장치의 직류 점등 방식으로 점등하는 경우의 방전 램프의 구성을 도시한 정면 단면도이며, 도 7은, 도 5에 나타낸 광원 장치의 교류 점등 방식으로 점등하는 경우의 방전 램프의 구성을 도시한 정면 단면도이다.
도 5에 있어서, 본 실시 형태의 발명에 따른 광원 장치는, 도 1에 나타낸 동 일 부호의 구성에 대응하므로, 상세한 설명은 생략한다. 또한, 도 5에 있어서, θ1은 X축 둘레의 회전각, θ2는 Y축 둘레의 회전각, θ3은 Z축 둘레의 회전각을 나타내고 있다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 양극(14)과 음극(15) 사이에 직류 전압을 인가하여 방전 램프(1)를 점등 구동하면, 전극(14, 15) 사이에 방전이 발생함으로써 고온 플라즈마(DPP)(6)가 형성되고, 휘점(61)이 음극(15)의 끝이 뾰족한 부분(151)의 선단 부근에 형성된다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 에너지 빔 위치 조정 수단(4)은, X축, Y축, 및 Z축 방향의 3차원 방향, 및 X축 둘레에 θ1, Y축 둘레에 θ2, 및 Z축 둘레에 θ3의 회전 방향으로 레이저 발진기(31)로부터 방사되는 레이저빔(8)의 위치를 조정한다. 이에 의해, 에너지 빔 위치 조정 수단(4)은, 레이저빔(8)의 광축(9)이 방전 램프(1)의 관축(10)에 대해 비스듬히 교차하도록 입사됨과 더불어 레이저빔(8)이 음극(15)의 끝이 뾰족한 부분(151)의 선단 부근의 휘점(61)에 집광하는 상태가 되도록, 레이저 발진기(31)를 위치 결정한다.
본 발명의 광원 장치는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 레이저빔(8)의 광축(9)이 방전 램프(1)의 관축(10)에 대해 비스듬히 교차하도록 레이저빔(8)을 방전 램프(1)의 휘점(61)에 대해 조사함으로써, 다음과 같은 효과를 기대할 수 있다.
방전 램프(1)에 있어서의 한 쌍의 전극(14, 15) 사이에는, 방전 램프(1)의 관축(10)을 따라 신장되는 고온 플라즈마(DPP)가 형성되고, 또, 레이저빔(8)을 방전 램프(1)의 발광부(11) 내에 입사시킴으로써, 레이저빔(8)의 광축 방향을 따라 고온 플라즈마(LPP)가 형성된다. 방전 램프(1)의 관축(10)과 레이저빔(8)의 광 축(9)이 비스듬히 교차하고 있으므로, 고온 플라즈마(DPP)(6)에 대해 고온 플라즈마(LPP)(7)가 경사 방향으로 형성된다. 이렇게 해서, 방전 램프(1)의 휘점(61)은 고온 플라즈마(DPP)(6) 중에서 휘도가 가장 높은 개소이므로, 휘점(61)에 레이저빔(8)을 조사하여 고온 플라즈마(LPP)(7)을 형성함으로써, 고온 플라즈마(DPP)(6)의 휘점(61)과 고온 플라즈마(LPP)(7)를 중복시킴으로써, 극히 고휘도의 플라즈마를 얻을 수 있다.
여기에서, 고온 플라즈마(LPP)(7)가 레이저빔(8)의 광축 방향을 따라 계속적으로 진동했다고 해도, 광원의 깜박거림을 가급적 작게 할 수 있다. 왜냐하면, 방전 램프(1)의 고온 플라즈마(DPP)(6)의 휘점(61)과 고온 플라즈마(DPP)(7)를 중복시켜 형성한 혼합 플라즈마는, 고온 플라즈마(DPP)(6)의 휘점(61)에 있어서의 휘도가 극히 높고, 혼합 플라즈마 전체적으로 보면 혼합 플라즈마의 휘도에 차지하는 고온 플라즈마(LPP)(7)의 휘도의 비율이 낮아지므로, 고온 플라즈마(LPP)(7)의 진동에 의한 광원의 깜박거림이 거의 문제가 되지 않게 할 수 있다.
또, 도 7에 나타낸 바와 같이, 교류 점등하는 경우, 발광부(11) 내에 형성되는 고온 플라즈마(DPP)(6)의 휘점(62, 63)이, 인가 전압의 극성이 바뀔 때마다 각각의 전극(16, 17)의 선단 부근에 형성된다. 에너지 빔 조사 수단(3)으로부터 조사된 레이저빔은, 한 쌍의 전극(16, 17) 중 어느 한 쪽의 전극(16)(17)의 선단 부근에 형성되는 휘점(62)(63)을 향해 경사 방향으로부터 조사된다. 이렇게 함으로써, 직류 점등 방식의 경우와 동일한 이유에 의해 고온 플라즈마(LPP)(7)가 진동하여 계속적으로 위치 변동해도, 광원의 깜박거림을 방지할 수 있다.
도 1은 제1 실시 형태의 발명에 따른 광원 장치의 개략 구성을 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1에 나타낸 광원 장치의 직류 점등 방식으로 점등하는 경우의 방전 램프의 구성을 도시한 정면 단면도이다.
도 3은 도 2에 나타낸 방전 램프(1)의 비교예로서의 방전 램프(1)의 정면 단면도이다.
도 4는 도 1에 나타낸 광원 장치의 교류 점등 방식으로 점등하는 경우의 방전 램프(1)의 구성을 도시한 정면 단면도이다.
도 5는 제2 실시 형태의 발명에 따른 광원 장치의 개략 구성을 도시한 사시도이다.
도 6은 도 5에 나타낸 광원 장치의 직류 점등 방식으로 점등하는 경우의 방전 램프의 구성을 도시한 정면 단면도이다.
도 7은 도 5에 나타낸 광원 장치의 교류 점등 방식으로 점등하는 경우의 방전 램프의 구성을 도시한 정면 단면도이다.
[부호의 설명]
1 : 방전 램프 11 : 발광부
12 : 시일링부 13 : 발광관
14 : 양극 141 : 선단부
142 : 몸통부 15 : 음극
151 : 끝이 뾰족한 부분 152 : 몸통부
16, 17 : 전극 161, 171 : 끝이 뾰족한 부분
162, 172 : 몸통부 2 : 집광 반사경
21 : 광 반사면 22 : 광 출사 개구
23 : 개구 24 : 개구
3 : 에너지 빔 조사 수단 31 : 레이저 발진기
4 : 에너지 빔 위치 조정 수단 5 : 광학계
6 : 고온 플라즈마(DPP) 61 : 휘점
62, 63 : 휘점 7 : 고온 플라즈마(LPP)
8 : 레이저빔 9 : 광축
10 : 관축

Claims (3)

  1. 한 쌍의 전극이 대향하여 배치됨과 더불어, 방전 매체가 봉입된 방전 램프와, 상기 한 쌍의 전극 사이를 향해 에너지 빔을 조사하는 에너지 빔 조사 수단을 구비한 광원 장치로서,
    상기 에너지 빔 조사 수단은, 상기 전극에 급전하여 상기 방전 램프가 점등하고 있는 상태일 때에 상기 전극의 선단 부근에 형성되는 휘점을 향해, 상기 방전 램프의 관축에 대해 직교하는 방향으로부터 에너지 빔을 조사하는 것을 특징으로 하는 광원 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 에너지 빔 조사 수단의 위치를 조정하는 위치 조정 수단을 구비하고, 상기 위치 조정 수단은, 상기 방전 램프를 점등시켰을 때, 상기 에너지 빔 조사 수단으로부터 조사되는 에너지 빔을 상기 전극의 선단 부근에 형성되는 휘점을 향해 조사하도록 조정하는 것을 특징으로 하는 광원 장치.
  3. 삭제
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