JP2008532293A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. ＥＵＶ光を発生させる方法において、
   原材料を供給する段階と、
   複数の原材料液滴を発生させ、液滴をターゲットボリューム内のランダムな位置に供給する段階と、
   ターゲットボリューム内の複数の原材料液滴に第１の光パルスを同時に照射して照射原材料を生成する段階と、
   その後で、前記照射原材料を第２の光パルスに露出してＥＵＶ光を発生させる段階と、を含む方法。
2. 前記照射原材料が蒸発原材料を含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
3. 前記照射原材料が弱いプラズマを含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
4. 前記露出段階がプラズマを発生させることを特徴とする請求項１に記載の方法。
5. ＣＯ₂レーザを用いて前記第２の光パルスを発生させ、前記第２の光パルスがある焦点サイズを有する焦点に集束され、前記方法が更に、
   前記照射段階の後に予め設定された時間を待機して、前記露出段階の開始前に前記照射原材料が少なくとも前記焦点サイズにまで膨張することができるようにする段階を含む、ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
6. 複数の原材料液滴をターゲットボリューム内のランダムな位置に供給する液滴発生器と、
   前記ターゲットボリューム内の複数の原材料液滴に第１のパルスを同時に照射して照射原材料を生成するための第１の光パルス源と、
   前記照射原材料を第２の光パルスに露出してＥＵＶ光を発生させる第２の光パルス源と、
   を含むことを特徴とするＥＵＶ光源。
7. 前記液滴発生器が非変調液滴発生器を含むことを特徴とする請求項６に記載のＥＵＶ光源。
8. 前記複数の原材料液滴内の各液滴が、５μｍから１００μｍの範囲の直径を有することを特徴とする請求項６に記載のＥＵＶ光源。
9. 前記複数の原材料液滴内の各液滴が、５μｍから１５μｍの範囲の直径を有することを特徴とする請求項６に記載のＥＵＶ光源。
10. ＥＵＶ光を発生させる方法において、
    原材料を供給する段階と、
    少なくとも１つの液滴直径を有する原材料液滴を発生させる段階と、
    前記少なくとも１つの原材料液滴に第１の光パルスを照射して照射原材料を生成する段階と、
    前記照射原材料を前記液滴直径よりも大きい直径を有する焦点サイズを有する焦点に集束させた第２の光パルスに露出して、ＥＵＶ光を発生させる段階と
    を含み、
    前記照射段階と前記露出段階との間に予め設定された時間期間が経過するのを許容して、前記露出段階の開始前に前記照射原材料が少なくとも前記焦点サイズにまで膨張することができるようにする、
    ことを特徴とする方法。