JP2008532293A - プレパルスによるレーザ生成プラズマeuv光源 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
本出願は、代理人整理番号第2004−0008−01号である「EUVプラズマ源ターゲット供給の方法及び装置」という名称の2005年2月25日出願の同時係属の米国特許出願第11/067,124号の一部継続出願である代理人整理番号第2005−0085−01号である「プレパルスによるレーザ生成プラズマEUV光源」という名称の2006年2月21日出願の米国特許出願第11/____号に対する優先権を主張し、これらの特許の内容全体は、引用により本明細書に組み込まれる。
Ddifr=1.22*10.6*10^(−6)/50*10^(−3)=2.6mrad
であり、従って到達することができない。この制限を克服するためには、焦点距離を短くするか、又はレンズ(レーザビーム)直径を大きくしなければならない。残念ながら、これらの改良点のいずれにも欠点がある。例えば、LPPプラズマは、楕円コレクタの内側で形成することができ、レーザはコレクタの開口部を通って照射部位に到達する。この設定では、焦点距離を短くするか、又はレンズ(レーザビーム)直径を大きくするには、一般に、コレクタ開口部のサイズを大きくする必要がある。これによって、EUV集束角度が小さくなり、レーザ入力ウィンドウをデブリから保護するための複雑な方策が必要になる可能性がある。
であり、材料消費率低減の推定値を得る。
22 供給源
24 原材料供給システム
26 チャンバ
28 ターゲットボリューム
30 コレクタ
60 EUV光源制御システム
65 発射制御システム
62 液滴位置検出フィードバックシステム
70 液滴撮像器
90 液滴供給制御システム
92 液滴供給機構
Claims (20)
- EUV光を発生させる方法において、
原材料を供給する段階と、
複数の原材料液滴を発生させる段階と、
複数の原材料液滴に第1の光パルスを同時に照射して照射原材料を生成する段階と、
その後で、前記照射原材料を第2の光パルスに露出してEUV光を発生させる段階と、
を含む方法。 - 前記照射原材料が蒸発原材料を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記照射原材料が弱いプラズマを含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記露出段階がプラズマを発生させることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第2の光パルスがCO2レーザビームによって発生することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第1の光パルスがCO2レーザビームによって発生することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記原材料がSnを含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記複数の原材料液滴内の各液滴が、5μmから100μmの範囲の直径を有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記複数の原材料液滴の各液滴が、5μmから15μmの範囲の直径を有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- CO2レーザを用いて前記第2の光パルスを発生させ、前記第2の光パルスがある焦点サイズを有する焦点に集束され、前記方法が更に、
前記露出段階の後に予め設定された時間を待機して、前記露出段階の開始前に前記照射原材料が少なくとも前記焦点サイズにまで膨張することができるようにする段階を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記予め設定された時間が、1μsから100μsの範囲であることを特徴とする請求項10に記載の方法。
- EUV光を発生させる方法において、
原材料を供給する段階と、
少なくとも1つの原材料液滴を発生させる段階と、
前記少なくとも1つの原材料液滴に第1の光パルスを照射して照射原材料を生成する段階と、
前記照射原材料をある焦点サイズを有する焦点に集束させた第2の光パルスに露出して、EUV光を発生させる段階と
を含み、
前記照射段階と前記露出段階との間に予め設定された時間期間が経過するのを許容して、前記露出段階の開始前に前記照射原材料が少なくとも前記焦点サイズにまで膨張することができるようにする、
ことを特徴とする方法。 - 前記予め設定された時間期間が、1μsから100μsの範囲であることを特徴とする請求項12に記載の方法。
- 前記照射原材料が蒸発原材料を含むことを特徴とする請求項12に記載の方法。
- 複数の原材料液滴をターゲットボリュームに供給する液滴発生器と、
前記ターゲットボリューム内の複数の原材料液滴に第1のパルスを同時に照射して照射原材料を生成するための第1の光パルス源と、
前記照射原材料を第2の光パルスに露出してEUV光を発生させる第2の光パルス源と、
を含むことを特徴とするEUV光源。 - 前記液滴発生器が非変調液滴発生器を含むことを特徴とする請求項15に記載のEUV光源。
- 前記液滴発生器が多重オリフィスノズルを含むことを特徴とする請求項15に記載のEUV光源。
- 前記液滴発生器が、
壁部を有し、オリフィスが形成された原材料リザーバと、
前記壁部から離間して配置され、前記壁部を変形させて前記液滴発生器からの原材料の放出を変調するように動作可能な電気作動素子と、
を含むことを特徴とする請求項15に記載のEUV光源。 - 前記複数の原材料液滴内の各液滴が、5μmから100μmの範囲の直径を有することを特徴とする請求項15に記載のEUV光源。
- 前記複数の原材料液滴内の各々の液滴が、5μmから15μmの範囲の直径を有することを特徴とする請求項15に記載のEUV光源。
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