JP7272673B2 - X線源を保護する方法及びx線源 - Google Patents
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Description
以下に、出願当初の特許請求の範囲二木氏兄事項をそのまま付記しておく。
[1] X線源を保護する方法であって、
流れ軸に沿って移動する液体ジェットを形成するように構成された液体ジェット生成器と、
X線放射を生成するために前記液体ジェットと相互作用する電子ビームを提供するように構成された電子源と、
前記液体ジェットの性能を示す品質尺度を監視するように構成された監視装置と、
前記液体ジェット生成器、前記電子源、及び前記監視装置に動作可能に接続された処理ユニットと、
を備え、
前記方法は、前記処理ユニットによって、
前記液体ジェットを生成することと、
前記品質尺度を監視することと、
前記品質尺度を基準尺度と比較することと、
前記比較に基づいて前記液体ジェットの動作不良を識別することと、
前記動作不良が識別された場合、前記X線源を保護するためのセーフモードに前記X線源を入らせることと
を備える、方法。
[2] 前記品質尺度を基準尺度と比較することは、前記品質尺度と前記基準尺度との間の差を決定することを備え、前記動作不良は、前記差が閾値を超える場合に識別される、[1]に記載の方法。
[3] 前記品質尺度を基準尺度と比較することは、前記品質尺度の公称トレンドを確立することを備え、前記動作不良を識別することは、前記公称トレンドからの前記品質尺度の偏差を検出することを備える、[1]に記載の方法。
[4] 前記動作不良は、前記偏差が前記公称トレンドの2つの標準偏差を超える場合に識別される、[3]に記載の方法。
[5] 前記品質尺度は、前記液体ジェットの形状を示す、[1]~[4]のいずれか一項に記載の方法。
[6] 前記品質尺度は、前記液体ジェットの幅を示す、[1]~[5]のいずれか一項に記載の方法。
[7] 前記品質尺度は、前記流れ軸に沿った前記液体ジェットの速度を示す、[1]~[6]のいずれか一項に記載の方法。
[8] 前記品質尺度は、前記液体ジェット生成器内の圧力を示す、[1]~[7]のいずれか一項に記載の方法。
[9] 前記品質尺度は、前記液体ジェットの前記流れ軸に垂直な移動を示す、[1]~[8]のいずれか一項に記載の方法。
[10] 前記セーフモードに入ることは、
前記流れ軸に沿って前記液体ジェットの速度を低減すること、
前記電子源の電力出力を低減すること、
前記液体ジェットの生成を終了すること、
前記液体ジェットの動作不良によって生じた汚染から前記X線源の少なくとも一部を遮蔽すること、又は
前記液体ジェット生成器のフィルタを変えること、
のうちの少なくとも1つを備える、[1]~[9]のいずれか一項に記載の方法。
[11] X線源であって、
流れ軸に沿って移動する液体ジェットを形成するように構成された液体ジェット生成器と、
X線放射を生成するために前記液体ジェットと相互作用する電子ビームを提供するように構成された電子源と、
前記液体ジェットの性能を示す品質尺度を監視するように構成された監視装置と、
前記品質尺度を基準尺度と比較し、前記比較に基づいて前記液体ジェットの動作不良を識別するように構成された処理ユニットと
を備え、
前記X線源は、前記動作不良が識別された場合に前記X線源を保護するためのセーフモードに入るように構成される、
X線源。
[12] 前記監視装置は、前記液体ジェット及び/又は前記液体ジェットの前記生成によって生じたアコースティックエミッションを検出するように構成された音響センサを備える、[11]に記載のX線源。
[13] 前記監視装置は、前記液体ジェットによって、及び/又は前記液体ジェットの生成によって生じた振動を検出するように構成された加速度計を備える、[11]又は[12]に記載のX線源。
[14] 前記監視装置は光学センサを備える、[11]~[13]のいずれか一項に記載のX線源。
[15] 前記監視装置は、前記液体ジェットを通過する前記電子ビームの少なくとも一部を受け取るように構成された電子検出器を備える、[11]~[14]のいずれか一項に記載のX線源。
[16] 前記監視装置は、前記電子ビームと前記液体ジェットとの間の相互作用によって生成されたX線を検出するように構成されたX線検出器を備える、[11]~[15]のいずれか一項に記載のX線源。
[17] 前記監視装置は、送信コイルと受信コイルとの間の誘導結合として前記液体ジェットを利用するように構成された、前記送信コイル及び前記受信コイルを備える誘導コイル装置を備え、前記送信コイルは、電流を通すように構成され、前記受信コイルは、誘導電流を受け取るように構成される、[11]~[16]のいずれか一項に記載のX線源。
[18] 遮蔽装置を更に備え、前記処理ユニットは、前記X線源が前記セーフモードにあるとき、前記X線源の少なくとも一部が前記液体ジェットの前記動作不良によって生じた汚染から遮蔽されるように、前記遮蔽装置を位置決めするように構成される、[11]~[17]のいずれか一項に記載のX線源。
[19] フィルタ交換ツールを更に備え、前記処理ユニットは、前記X線源が前記セーフモードにあるとき、前記液体ジェット生成器のフィルタを変えるために前記フィルタ交換ツールを動作させるように構成される、[11]~[18]のいずれか一項に記載のX線源。
102 低圧チャンバ
104 格納装置
106 X線透過窓
108 液体ジェット生成器
110 液体ジェット
112 相互作用領域
114 電子源
116 電子ビーム
118 X線放射
120 ポンプ
122 再循環経路
124 監視装置
126 処理ユニット
128 電子検出器
130 遮蔽装置
208 液体ジェット生成器
210 液体ジェット
232 誘導コイル装置
234 送信コイル
236 受信コイル
238 ノズル
332 誘導コイル装置
344 第1の送信コイル
346 第1の受信コイル
348 第2の送信コイル
350 第2の受信コイル
410 液体ジェット
412 相互作用領域
416 電子ビーム
418 X線放射
452b 遮蔽装置
452c 遮蔽装置
454 開口部
556 液体ジェットを生成するステップ
558 品質尺度を監視するステップ
560 動作不良を識別するステップ
562 セーフモードに入るステップ
608 液体ジェット生成器
610 フィルタ
612 フィルタ交換ツール
620 ポンプ
630 3方向弁
638 ノズル
640 フィルタバイパス経路
645 フィルタ
Claims (12)
- X線源を保護する方法であって、
流れ軸に沿って移動する液体ジェットを形成するように構成された液体ジェット生成器と、
X線放射を生成するために前記液体ジェットと相互作用する電子ビームを提供するように構成された電子源と、
前記液体ジェットの性能を示す品質尺度を監視するように構成された監視装置と、
ここで、前記品質尺度は、前記液体ジェットの形状、前記液体ジェットの幅、前記流れ軸に沿った前記液体ジェットの速度、前記液体ジェット生成器内の圧力、又は前記液体ジェットの前記流れ軸に垂直な移動、のうちの少なくとも1つを含むものであり、
前記液体ジェット生成器、前記電子源、及び前記監視装置に動作可能に接続された処理ユニットと、
を備え、
前記方法は、前記処理ユニットによって、
前記液体ジェットを生成することと、
前記品質尺度を監視することと、
前記品質尺度が品質尺度閾値を超えた場合、前記液体ジェットの動作不良を識別することと、
前記動作不良が識別された場合、
前記X線源を保護するためのセーフモードに前記X線源を入らせることと
を備え、
前記X線源を前記セーフモードに入らせることは、前記流れ軸に沿って前記液体ジェットの速度を低減すること、前記電子源の電力出力を低減すること、前記液体ジェットの生成を終了すること、前記液体ジェットの前記動作不良によって生じた汚染から前記X線源の少なくとも一部を遮蔽すること、又は前記液体ジェット生成器のフィルタを変えることと、のうちの少なくとも1つを備える、方法。 - 前記品質尺度についての基準となる公称トレンドを確立することをさらに備え、前記動作不良を識別することは、前記基準となる公称トレンドからの前記品質尺度の偏差を検出することを備える、請求項1に記載の方法。
- 前記動作不良は、前記偏差が前記基準となる公称トレンドの標準偏差の2倍を超える場合に識別される、請求項2に記載の方法。
- X線源であって、
流れ軸に沿って移動する液体ジェットを形成するように構成された液体ジェット生成器と、
X線放射を生成するために前記液体ジェットと相互作用する電子ビームを提供するように構成された電子源と、
前記液体ジェットの性能を示す品質尺度を監視するように構成された監視装置と、
ここで、前記品質尺度は、前記液体ジェットの形状、前記液体ジェットの幅、前記流れ軸に沿った前記液体ジェットの速度、前記液体ジェット生成器内の圧力、又は前記液体ジェットの前記流れ軸に垂直な移動、のうちの少なくとも1つを含むものであり、
前記品質尺度が品質尺度閾値を超えた場合、前記液体ジェットの動作不良を識別するように構成された処理ユニットと
を備え、
前記X線源は、前記動作不良が識別された場合に、前記流れ軸に沿って前記液体ジェットの速度を低減すること、前記電子源の電力出力を低減すること、前記液体ジェットの生成を終了すること、前記液体ジェットの前記動作不良によって生じた汚染から前記X線源の少なくとも一部を遮蔽すること、又は前記液体ジェット生成器のフィルタを変えること、のうちの少なくとも1つによって、前記X線源を保護するためのセーフモードに入るように構成される、X線源。 - 前記監視装置は、前記液体ジェット及び/又は前記液体ジェットの生成によって生じたアコースティックエミッションを検出するように構成された音響センサを備える、請求項4に記載のX線源。
- 前記監視装置は、前記液体ジェットによって、及び/又は前記液体ジェットの生成によって生じた振動を検出するように構成された加速度計を備える、請求項4又は5に記載のX線源。
- 前記監視装置は光学センサを備える、請求項4~6のいずれか一項に記載のX線源。
- 前記監視装置は、前記液体ジェットを通過する前記電子ビームの少なくとも一部を受け取るように構成された電子検出器を備える、請求項4~7のいずれか一項に記載のX線源。
- 前記監視装置は、前記電子ビームと前記液体ジェットとの間の相互作用によって生成されたX線を検出するように構成されたX線検出器を備える、請求項4~8のいずれか一項に記載のX線源。
- 前記監視装置は、送信コイルと受信コイルとの間の誘導結合として前記液体ジェットを利用するように構成された、前記送信コイル及び前記受信コイルを備える誘導コイル装置を備え、前記送信コイルは、電流を通すように構成され、前記受信コイルは、誘導電流を受け取るように構成される、請求項4~9のいずれか一項に記載のX線源。
- 遮蔽装置を更に備え、前記処理ユニットは、前記X線源が前記セーフモードにあるとき、前記X線源の少なくとも一部が前記液体ジェットの前記動作不良によって生じた汚染から遮蔽されるように、前記遮蔽装置を位置決めするように構成される、請求項4~10のいずれか一項に記載のX線源。
- フィルタ交換ツールを更に備え、前記処理ユニットは、前記X線源が前記セーフモードにあるとき、前記液体ジェット生成器のフィルタを変えるために前記フィルタ交換ツールを動作させるように構成される、請求項4~11のいずれか一項に記載のX線源。
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