JP2011165943A - 極端紫外光源装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ターゲット発生部120の作動開始時及び作動停止時に、キャッチャー160は、ノズル部121の下側に位置する。定常運転時の速度よりも遅いドロップレット310は、重力Gの影響により、キャッチャー160内に落下して回収される。ターゲット発生部120が定常運転状態になると、キャッチャー160は、ノズル部121から離れた場所に退避する。
【選択図】図1
Description
図16に示すように、キャッチャー160Hは、水平線に対して僅かに傾いて配置されている。これにより、キャッチャー160Hに収容されたドロップレット310は、重力に従って斜めに移動する。キャッチャー160Hには、回収部162Hが排出管路(図示せず)を介して接続されている。キャッチャー160H内のドロップレット310は、回収部162H内に流入して回収される。回収部162Hにより回収されたターゲット物質は、再利用することも可能である。なお、キャッチャー160Hと、回収部162Hと、排出管路とは、ドロップレット310を溶融状態に保つためのヒータを備えることができる。
Claims (9)
- ターゲット物質にレーザ光を照射して極端紫外光を発生させる極端紫外光源装置であって、
チャンバと、
前記ターゲット物質からターゲットを生成し、生成された前記ターゲットを前記チャンバ内の所定方向に出力するターゲット発生部と、
前記チャンバ内の前記ターゲットにレーザ光を照射してプラズマ化させることにより、前記極端紫外光を発生させるレーザ光源と、
前記ターゲット発生部の下側に位置して、前記ターゲット発生部が前記ターゲットを出力するための出力口の鉛直線上に設けられ、前記極端紫外光を所定の焦点に集めるための集光ミラーと、
前記ターゲット発生部が所定の状態にある場合、前記ターゲット発生部から出力される前記ターゲットが前記集光ミラーに付着しないように、前記ターゲットを回収する回収部と、
を備える極端紫外光源装置。
- 前記所定の状態とは、前記ターゲット発生部が作動を開始する作動開始状態と前記ターゲット発生部が作動を停止する作動停止状態との少なくともいずれか一方である、請求項1に記載の極端紫外光源装置。
- 前記回収部は、前記ターゲット発生部から出力される前記ターゲットを回収するための第1位置と、前記第1位置から離れて設定され、前記ターゲットに干渉しない第2位置との間で切替可能に設けられており、
前記回収部は、前記ターゲット発生部が前記所定の状態にある場合に前記第1位置に位置し、前記ターゲット発生部が前記所定の状態以外の状態にある場合に前記第2位置に位置する、請求項2に記載の極端紫外光源装置。
- 前記回収部は、前記第1位置にある場合、前記出力口を塞ぐように設けられる、請求項3に記載の極端紫外光源装置。
- 前記ターゲット発生部は、前記所定方向とは別の方向に設けられた前記回収部に向けて前記ターゲットを出力する第3位置と、前記ターゲットを前記所定方向に出力する第4位置との間で切替可能に設けられており、
前記ターゲット発生部は、前記ターゲット発生部が前記所定の状態にある場合に前記第3位置に位置し、前記ターゲット発生部が前記所定の状態以外の状態にある場合に前記第4位置に位置する、請求項2に記載の極端紫外光源装置。
- 前記回収部は、前記出力口と前記集光ミラーとの間に位置して、前記集光ミラーによる前記極端紫外光の集光に干渉しない領域に設けられており、
前記ターゲット発生部が前記所定の状態にある場合に、前記ターゲット発生部から出力される前記ターゲットが前記回収部に収容されて回収されるようになっている請求項2に記載の極端紫外光源装置。
- 前記回収部は、前記出力口の下側に位置して、前記集光ミラーのオブスキュレーション領域に設けられており、
前記ターゲット発生部が前記所定の状態にある場合に、前記ターゲット発生部から出力される前記ターゲットが前記回収部に収容されて回収されるようになっている請求項2に記載の極端紫外光源装置。
- 前記ターゲット発生部から前記チャンバ内に出力される前記ターゲットの出力状態を検出する出力状態検出部を設け、
前記ターゲット発生部が前記所定の状態になったか否かは、前記出力状態検出部からの検出信号に基づいて判定される、請求項2に記載の極端紫外光源装置。
- ターゲット物質にレーザ光を照射して極端紫外光を発生させる極端紫外光源装置であって、
チャンバと、
前記ターゲット物質からターゲットを生成し、生成された前記ターゲットを前記チャンバ内の所定方向に出力するターゲット発生部と、
前記チャンバ内の前記ターゲットにレーザ光を照射してプラズマ化させることにより、前記極端紫外光を発生させるレーザ光源と、
前記ターゲット発生部の下側に設けられ、前記極端紫外光を所定の焦点に集めるための集光ミラーと、
前記ターゲット発生部が前記ターゲットを出力するための出力口の下側に位置して、前記集光ミラーのオブスキュレーション領域に設けられ、前記ターゲット発生部から出力される前記ターゲットが前記集光ミラーに付着しないように、前記ターゲットを回収する回収部と、
を備える極端紫外光源装置。
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