JP2010093249A - ソースモジュール、放射ソースおよびリソグラフィ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】放射ソースは、極端紫外線を生成するように構成されている。放射ソースは、チャンバと、チャンバ内のプラズマ形成部位に燃料を供給するように構成された燃料供給と、放射ビームが燃料と衝突した場合に極端紫外線を放つプラズマが生成されるようにプラズマ形成部位に放射ビームを放つように構成されたレーザとを含む。燃料微粒子インターセプターは、チャンバ内に配置され、燃料微粒子が燃料微粒子インターセプターの表面に衝突した場合に燃料微粒子が表面に付着するように燃料に対する親和性を有する材料を含む。燃料微粒子インターセプターは、重力の影響によってあらゆる燃料微粒子が反射エレメントへと落ちることを防ぐように反射エレメントに対して構成されている。
【選択図】図5
Description
Claims (15)
- リソグラフィ装置のためのソースモジュールであって、該ソースモジュールは、
チャンバ壁によって画定されたチャンバと、
前記チャンバ内のプラズマ形成部位に燃料を供給する燃料供給を含む極端紫外線ジェネレータと、
前記プラズマ形成部位における放射放出ポイントから発散される極端紫外線を反射させる前記チャンバ内の反射エレメントと、
1つ又は複数の前記チャンバ壁に隣接したチャンバ内に配置され、前記燃料に対する親和性を有する材料を含む燃料微粒子インターセプターと
を含む、ソースモジュール。 - 前記燃料微粒子インターセプターは燃料出口をさらに含み、前記燃料微粒子インターセプターは、燃料微粒子インターセプター上で収集されかつ液状形態へと溶けた燃料微粒子を前記燃料出口に向かって誘導する、請求項1に記載のソースモジュール。
- 前記チャンバ壁は、作業状態において、前記反射エレメントの上に設けられたチャンバ壁を含み、前記燃料微粒子インターセプターは、後者のチャンバ壁を保護する、請求項1または2に記載のソースモジュール。
- 前記燃料微粒子インターセプターを前記燃料の溶融温度より高い温度で保つ温度制御システムをさらに含む、請求項1〜3のいずれかに記載のソースモジュール。
- 前記燃料はスズを含み、前記燃料微粒子インターセプター材料はモリブデンを含む、請求項4に記載のソースモジュール。
- インターセプター壁は、前記燃料微粒子インターセプターに衝突する燃料微粒子を捕獲するホイルを含む、請求項1〜5のいずれかに記載のソースモジュール。
- 前記ホイルは、前記燃料微粒子インターセプター壁に取り付けられている、請求項6に記載のソースモジュール。
- 前記燃料微粒子インターセプターは回転可能である、請求項1〜7のいずれかに記載のソースモジュール。
- 前記インターセプターの表面に燃料を供給する燃料入口をさらに含む、請求項1〜8のいずれかに記載のソースモジュール。
- 前記チャンバは真空チャンバである、請求項1〜9のいずれかに記載のソースモジュール。
- 前記燃料微粒子が燃料出口に向かって流れるように、収集された燃料微粒子を前記燃料微粒子インターセプターから除去する燃料微粒子リムーバーをさらに含む、請求項1〜10のいずれかに記載のソースモジュール。
- 極端紫外線を生成する放射ソースであって、該放射ソースは、
プラズマ形成部位に燃料を供給する燃料供給と、
前記放射ビームが前記燃料と衝突した場合に極端紫外線を放つプラズマが生成されるように前記プラズマ形成部位に放射ビームを放つレーザと、
前記プラズマによって放たれた燃料微粒子から前記放射ソースの少なくとも一部を保護する燃料微粒子インターセプターであって、該燃料微粒子インターセプターは第1の部分および第2の部分を含み、該第2の部分は該第1の部分より前記プラズマ形成部位の近くに位置決めされ、該第1の部分は回転可能である、燃料微粒子インターセプターと、
前記燃料微粒子インターセプターの表面から燃料微粒子を除去し、該燃料微粒子を収集場所に向かって誘導する燃料微粒子リムーバーと
を含む、放射ソース。 - 前記燃料微粒子リムーバーは、前記表面をふき取るワイパー、前記表面をこするブレイド、前記表面に接触して前記燃料微粒子を前記収集場所へ運ぶアルキメデススクリューのうちの1つを含む、請求項12に記載の放射ソース。
- 請求項1〜11のうちのいずれかに記載のソースモジュールと、
パターン付き極端紫外線を基板に投影する投影システムと
を含む、リソグラフィ装置。 - 請求項12に記載の放射ソースと、
パターン付き極端紫外線を基板に投影する投影システムと
を含む、リソグラフィ装置。
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