JP6395832B2 - 放射源用コンポーネント、関連した放射源およびリソグラフィ装置 - Google Patents
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Description
[0001] 本出願は、参照することによりその全体が本明細書に組み込まれる、2013年8月2日出願の米国仮特許出願第61/861,663号の利益を主張する。
[0030] ‐放射ビームB(例えば、EUV放射)を調整するように構成された照明システム(イルミネータ)ILと、
[0031] ‐パターニングデバイス(例えば、マスクまたはレチクル)MAを支持するように構築され、かつパターニングデバイスを正確に位置決めするように構成された第1ポジショナPMに連結されたサポート構造(例えば、マスクテーブル)MTと、
[0032] ‐基板(例えば、レジストコートウェーハ)Wを保持するように構築され、かつ基板を正確に位置決めするように構成された第2ポジショナPWに連結された基板テーブル(例えば、ウェーハテーブル)WTと、
[0033] ‐パターニングデバイスMAによって放射ビームBに付けられたパターンを基板Wのターゲット部分C(例えば、1つ以上のダイを含む)上に投影するように構成された投影システム(例えば、反射型投影システム)PSと、を備える。
Claims (13)
- 液体スズのような燃料から放射を生成するように動作可能な放射源用のコンポーネントであって、
前記コンポーネントは、複数の第1領域を備えた少なくとも1つの表面を有し、
前記複数の第1領域は、前記燃料に対して高い濡れ性を有し、前記燃料に対して低い濡れ性を有する第2領域によって分離されており、
前記コンポーネントは、前記放射源内でガス流から燃料の液滴を保護するためのスクリーニング要素、又は、前記放射源内の燃料デブリを捕捉するためのコンポーネントとして具現化される、
コンポーネント。 - 前記スクリーニング要素の内側表面は、前記第2領域に分離された前記第1領域を備え、
前記内側表面は、前記燃料液滴に隣接した表面である、請求項1に記載のコンポーネント。 - 前記スクリーニング要素の外側表面は、前記第2領域によって分離された前記第1領域を備え、
前記外側表面は、前記内側表面とは反対側の表面である、請求項2に記載のコンポーネント。 - 前記スクリーニング要素の1つ以上の端面は、前記第1領域を備える、請求項2または3に記載のコンポーネント。
- 高い濡れ性を有する領域は、前記表面上の前記燃料の接触角が90°未満である領域と定義される、請求項1〜4のいずれか一項に記載のコンポーネント。
- 前記コンポーネントは、前記燃料に対して低い濡れ性を有するアルミナのような第1材料から実質的に構成され、
前記第1領域は、前記第1材料の前記表面に塗布された第2材料の領域を含み、
前記第2領域は、前記第1材料の被覆されていない領域を含む、請求項1〜5のいずれか一項に記載のコンポーネント。 - 前記第2材料は、それが機能する機能条件において、機能中、表面上に酸化物層を形成しないタイプの材料である、請求項6に記載のコンポーネント。
- 前記第2材料は、タングステンまたはモリブデンのような、750℃を超える融点を有する金属材料である、請求項6又は7に記載のコンポーネント。
- 前記燃料を蒸発させるのに十分な温度まで前記コンポーネントを加熱する加熱要素を含む、請求項1〜8のいずれか一項に記載のコンポーネント。
- 燃料の液滴をプラズマ生成部位に供給する液滴ジェネレータと、
前記プラズマ生成部位における前記燃料液滴の励起に続き、プラズマによって生成された放射を集光および合焦させる放射コレクタと、
請求項1〜9のいずれか一項に記載の、1つ以上のコンポーネントと、
を備えた、放射源。 - 前記プラズマによって生成された前記放射は、20nm未満の波長を有する放射である、請求項10に記載の放射源。
- 前記コンポーネントは、前記液滴ジェネレータと前記プラズマ生成部位との間で液滴が取る経路またはその一部に平行に位置付けられるとともに、前記液滴ジェネレータの出力に隣接しかつ前記ガス流の供給源と前記液滴経路との間に存在するように位置付けられる、請求項10または11に記載の放射源。
- 請求項10〜12のいずれか一項に記載の放射源を備え、かつ、基板のターゲット部分上に構造を形成するためのリソグラフィプロセスにおいて前記放射源によって生成された前記放射を使用するように動作可能である、リソグラフィ装置。
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