JP5156193B2 - 極端紫外光源装置 - Google Patents
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さらに、上記極端紫外光源装置は、上記1組の磁石の内の少なくとも1つに形成されている開口を介して、1組の磁石の間の空間から排気を行う吸引部をさらに具備しても良い。
図1の(a)は、本発明の第1の実施形態に係る極端紫外(EUV)光源装置の構成を示す模式図である。また、図1の(b)は、図1の(a)に示す一点鎖線1B−1B'における断面図である。このEUV光源装置は、レーザビームをターゲット物質に照射して励起させることによりEUV光を生成するレーザ励起プラズマ(LPP)方式を採用している。
以下において、電磁石コイル6及び7の開口中心を結ぶ軸をZ軸とし、紙面の下方向をプラス方向とする。また、ターゲット物質11の噴射方向をX軸のプラス方向とし、レーザビームの射出方向をY軸のプラス方向とする。
図2に示すように、本実施形態に係る極端紫外光源装置は、図1に示す構成部品の一部を真空チャンバ20内に配置したものである。即ち、図1に示す構成部品の内の集光レンズ2と、ターゲット供給装置3の一部と、ターゲットノズル4と、EUV集光ミラー5と、電磁石コイル6及び7が、真空チャンバ20内に配置されている。これらの構成部品の動作及び配置関係については、第1の実施形態におけるものと同様である。また、本実施形態に係る極端紫外光源装置は、そのような構成に加えて、鉄芯21と、ターゲット排気管22と、ターゲット循環装置23と、ターゲット供給管24とを更に有している。
なお、図2においては、電磁石コイル6及び7に挿入されている鉄芯21は一体化されているが、それらのコイルに1つずつ鉄芯を挿入しても良い。
図3の(a)及び(b)に示すように、本実施形態に係る極端紫外光源装置は、図1に示す極端紫外光源装置に対して、ターゲット回収筒30をさらに付加したものである。その他の構成については、図1に示すものと同様である。
図4の(a)及び(b)に示すように、本実施形態に係る極端紫外光源装置は、図2に示す極端紫外光源装置に対して、ターゲット回収筒40及びターゲット回収配管41をさらに付加したものである。その他の構成については、図2に示すものと同様である。
図5に示すように、本実施形態に係る極端紫外光源装置は、図4に示す極端紫外光源装置に対して、吸引用配管50をさらに付加したものである。その他の構成については、図4に示すものと同様である。
なお、図5には、電磁石コイル6及び7の両方に吸引用配管50が配置されているが、いずれか一方のみに配置しても良い。
図7の(a)に示すように、本実施形態に係る極端紫外光源装置は、図5に示す電磁石コイル6及び7並びに鉄芯21の替わりに、永久磁石71及び72を有している。その他の構成については、図5に示すものと同様である。
本実施形態によれば、電磁石を用いる場合には必要であった電源装置や配線等が不要になるので、装置構成を簡単にすることができる。
Claims (8)
- レーザ励起プラズマ方式の極端紫外光源装置であって、
ターゲット物質を供給するターゲットノズルと、
前記ターゲットノズルによって供給されるターゲット物質にレーザ光源から射出されるレーザビームを集光して照射することによりプラズマを生成する第1の集光光学系と、
該プラズマから放射される極端紫外光を集光する第2の集光光学系と、
前記ターゲット物質にレーザビームを照射する位置に磁場を形成する1組の磁石であって、該磁場の磁束線の中心軸が通る領域に開口が形成されている前記1組の磁石と、
前記ターゲット物質にレーザビームを照射する位置を挟み前記ターゲットノズルに対向する位置に配置され、前記ターゲットノズルによって供給されるターゲット物質を回収するターゲット回収筒と、
を具備し、
前記ターゲットノズルの中心軸と、前記レーザビームの照射方向と、前記1組の磁石によって形成される磁場中の磁束線の中心軸とが、互いに直交する方向に配置されており、前記ターゲット回収筒の中心軸と、前記1組の磁石によって形成される磁場中の磁束線の中心軸とが、互いに直交する方向に配置されている、
前記極端紫外光源装置。 - 前記1組の磁石が、プラズマから放出されるイオンを含む荷電粒子をトラップするミラー磁場を形成する、請求項1記載の極端紫外光源装置。
- 前記1組の磁石の内の少なくとも1つに形成されている開口を介して、前記1組の磁石の間の空間を排気する吸引部をさらに具備する1又は2記載の極端紫外光置。
- 前記ターゲット回収筒又は前記吸引部によって回収されるターゲット物質を精製する装置をさらに具備する請求項3記載の極端紫外光源装置。
- 前記1組の磁石が、電流が供給されたときに磁場を発生する1組のコイルを含む、請求項1〜4のいずれか1項記載の極端紫外光源装置。
- 前記1組のコイルの中心に形成されている開口に挿入される1組の鉄芯であって、前記1組のコイルによって形成される磁場の磁束線の中心軸が通る領域に開口が形成されている前記1組の鉄芯をさらに具備する請求項5記載の極端紫外光源装置。
- 前記1組の磁石が、超伝導物質によって形成されており、電流が供給されたときに磁場を発生する1組のコイルを含む、請求項1〜4のいずれか1項記載の極端紫外光源装置。
- 前記1組の磁石が、磁束線の中心軸が通る領域に開口が形成されている1組の永久磁石を含む、請求項1〜4のいずれか1項記載の極端紫外光源装置。
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