JP2008027965A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 複数本の平行な第１の直径を有する荷電ビームを形成する光学系であって、
   前記荷電ビームを発生する荷電粒子発生源と、
   前記荷電ビームを平行に集束する位置に設けられたコンデンサーレンズと、
   前記平行に集束された荷電ビーム内に設けられ、複数個の開口を有し、前記開口は前記第１の直径と同じ直径を有するアパーチャーアレイと、
   前記コンデンサーレンズと前記アパーチャーアレイとの間に配置され、少なくとも２段に形成された荷電ビームレンズアレイと、を有し、
   前記少なくとも２段に形成された荷電ビームレンズアレイの間でクロスオーバーが形成され、
   前記少なくとも２段に形成された荷電ビームレンズアレイの内、前記コンデンサーレンズに近い側の前記荷電ビームレンズアレイの開口は、前記アパーチャーアレイの開口よりも大きい直径を有する、ことを特徴とする光学系。
2. 前記少なくとも２段に形成された荷電ビームレンズアレイの内、前記コンデンサーレンズから遠い側の前記荷電ビームレンズアレイの開口は、前記アパーチャーアレイの開口と同じ直径、あるいは、前記アパーチャーアレイの開口より大きい直径を有する、ことを特徴とする請求項１に記載の光学系。
3. 前記少なくとも２段に形成された荷電ビームレンズアレイは、レンズパワーが可変である、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の光学系。
4. 前記クロスオーバーの両側に設置された前記少なくとも２段に形成された荷電ビームレンズアレイの前記レンズパワーは、各々の合成焦点位置が一致して前記アパーチャーアレイの開口を通過する前記荷電ビームが平行になるように決定される、ことを特徴とする請求項３に記載の光学系。
5. 荷電ビームを用いてウエハを露光する露光装置であって、
   前記荷電ビームを発生する荷電粒子発生源と、
   前記荷電粒子発生源の中間像を複数形成する第１の電子光学系と、
   前記第１の電子光学系によって形成された前記複数の中間像を前記ウエハ上に投影する第２の電子光学系と、
   前記ウエハを保持して位置決めする位置決め装置と、を有し、
   前記第１の電子光学系は、請求項１から４のいずれかに記載の光学系を含む、ことを特徴とする露光装置。
6. 前記荷電ビームのエネルギー量を測定する手段を、請求項１から４のいずれかに記載の光学系の中に有する、ことを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
7. 請求項５又は６記載の露光装置を用いてウエハを露光する工程と、
   前記工程で露光されたウエハを現像する工程と、を含むことを特徴とするデバイス製造方法。