JP2009206227A - 照明光学系およびこれを用いた投影露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源からの光が入射する一対のフライアイミラー211と、一対のフライアイミラー211からの光を集光する第1コンデンサー212と、母線方向が揃った複数の円筒反射面を備え、第1コンデンサー212からの光が入射する波板インテグレータ213と、母線方向に垂直に配置された開口絞り215と、波板インテグレータ213の複数の円筒反射面からの光を被照明面上で重ね合わせる第2コンデンサー216とを有することを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
P1=(0,−cosθ,sinθ)
として定義し、円筒面形状の反射面の法線ベクトルを
n=(−sinα,cosα,0)
として定義する。すると、反射光の光線ベクトルは、
P2=(−cosθ×sin2α,cosθ×cos2α,sinθ)
となる。
U2=D/f
で表される。
また照明領域調整のため、インテグレータ213に不図示の駆動機構を設けてもよい。
100 光源部
200 装置本体
210 照明光学系
211 第1のインテグレータ(フライアイミラー)
212 第1コンデンサー
213 第2のインテグレータ(波板インテグレータ)
215 開口絞り
216 第2コンデンサー
220 マスクステージ
230 投影光学系
240 ウエハステージ
Claims (7)
- 光源からの光が入射する一対のフライアイミラーと、
前記一対のフライアイミラーからの光を集光する第1コンデンサーと、
母線方向が揃った複数の円筒反射面を備え、前記第1コンデンサーからの光が入射する反射型インテグレータと、
前記母線方向に垂直に配置された開口絞りと、
前記反射型インテグレータの前記複数の円筒反射面からの光を被照明面上で重ね合わせる第2コンデンサーと
を有することを特徴とする照明光学系。 - 前記一対のフライアイミラーは、複数の要素ミラーを備える第1のフライアイミラーと、
前記第1のフライアイミラーの各要素ミラーに対して1つの要素ミラーが対応するよう設けられた複数の要素ミラーを備える第2のフライアイミラーとにより構成され、
第1のフライアイミラーと第2のフライアイミラーの少なくとも一方は、
前記母線方向と、前記複数の円筒反射面の配列方向で、前記要素ミラーの配列された数が異なることを特徴とする請求項1に記載の照明光学系。 - 前記第1コンデンサーは、前記第2のフライアイミラーからの光で、前記反射型インテグレータをケーラー照明するよう構成されることを特徴とする請求項2に記載の照明光学系。
- 前記第1コンデンサーは、前記第2のフライアイミラーからの光で、前記反射型インテグレータを母線方向に関してはクリティカル照明、配列方向に関してはケーラー照明するように構成されることを特徴とする請求項2に記載の照明光学系。
- 前記第2のフライアイミラーが備える各要素ミラーは、アナモルフィックな面形状であることを特徴とする請求項4に記載の照明光学系。
- 光源からの光を用いてレチクルを照明する請求項1乃至5いずれか一項に記載の照明光学系と、
前記レチクルのパターンを被露光体に投影する投影光学系と、を有することを特徴とする露光装置。 - 請求項6に記載の露光装置を用いて被露光体を露光するステップと、
当該露光された被露光体を現像するステップと、を有することを特徴とするデバイス製造方法。
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