JP2012049332A - 照明光学系、露光装置及びデバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 放物トーリック形状の回転体で構成されたミラーを用いた場合でも、結像性能を低下させない照明光学系を提供する。
【解決手段】 照明光学系は、被照明面のフーリエ変換面又はその近傍に配置された開口絞りと、前記開口絞りと前記被照明面との間に配置され、放物トーリック形状の回転体が形成する面を反射面とするミラーと、を備える。形状の面積をS、該形状の周囲長をLとし(4πS/L2)で表される数値を該形状の円形度と定義するとき、前記開口絞りの形状は、前記ミラーよりも前記被照明面側であって前記被照明面とフーリエ変換の関係である面における光強度分布の外形形状を0.8以上の円形度とする形状に定められる。
【選択図】図1
【解決手段】 照明光学系は、被照明面のフーリエ変換面又はその近傍に配置された開口絞りと、前記開口絞りと前記被照明面との間に配置され、放物トーリック形状の回転体が形成する面を反射面とするミラーと、を備える。形状の面積をS、該形状の周囲長をLとし(4πS/L2)で表される数値を該形状の円形度と定義するとき、前記開口絞りの形状は、前記ミラーよりも前記被照明面側であって前記被照明面とフーリエ変換の関係である面における光強度分布の外形形状を0.8以上の円形度とする形状に定められる。
【選択図】図1
Description
本発明は、照明光学系、露光装置及びデバイスの製造方法に関する。
露光装置は、半導体デバイスや液晶表示装置等の製造工程であるリソグラフィ工程において、原版(レチクル又はマスク)のパターンを、投影光学系を介して感光性の基板(表面にレジスト層が形成されたウエハやガラスプレート等)に転写する装置である。例えば液晶表示装置にパターンを転写する露光装置では、近年、マスク上のより大きな面積パターンを基板上に一括して露光する露光装置が求められている。この要求に対応するために、高解像力が得られ、かつ、大画面を露光することができるステップ・アンド・スキャン方式の走査露光装置が提案されている。この走査露光装置は、スリット状の光束により照明されたパターンを、投影光学系を介してスキャン動作により基板上に投影して基板を露光する。
このような走査露光装置として、円弧形状の光を用いて走査させる方式が存在する。この方式は、転写するパターンを持つ第1の物体と、転写される対象物である第2の物体との間に投影光学系が存在し、該投影光学系の特定の軸外像点のみを利用した円弧形状の露光域で露光処理を行うものである。第1の物体を円弧形状で照明するための照明光学系として、矩形形状に照明した領域から円弧形状の開口部材を用いて円弧を切り出す照明光学系が提案されている(特許文献1)。しかしながら、前記のような円弧を切り出す方式は、円弧開口部以外の光を露光に用いることができず、光の利用効率が低い。そこで、円弧形状へ効率的に光を集めるために、放物トーリック形状の回転体(以下、回転放物面ミラーと呼ぶ)を用いる照明光学系が提案されている(特許文献2)。
しかしながら、特許文献2に示すような回転放物面ミラーを用いた照明光学系を露光装置に用いた場合には問題点がある。露光装置に用いられる照明光学系の役割は大きく2つある。1つ目の役割は被照明面に配置される原版を均一な照度で照らすことである。原版を均一に照らすことが出来ないと、原版のパターンを基板に転写した場合、露光する場所によってパターンの線幅差が出来てしまい、良好な転写ができなくなる。2つ目の役割は所望の有効光源を形成することである。有効光源とは被照明面上のある一点に入射する光強度の角度分布である。有効光源の形状は露光装置の結像性能に影響を及ぼす。例えば、有効光源が円形状から楕円形状へと歪むと、楕円の長軸方向のパターンと短軸方向のパターンとの結像性能が異なる。また、投影光学系の波面収差がある場合や、基板をデフォーカスさせて露光を行う場合に、有効光源の非対称な歪みは結像性能を低下させる。結像性能の低下とは、例えば、解像限界に近い線幅のラインアンドスペースパターンを基板に焼き付ける際に、両端のバーの線幅が異なってしまうことである。上記のような有効光源の歪みは、原版のパターンを忠実に転写することが要求される投影露光装置にとって問題となりうる。
放物トーリック形状の回転体のミラー(回転放物面ミラー)1は、図3のような座標系のYZ平面上にあり、Z軸に関して対称な放物線を、ある面111を含むXY平面とその面に垂直なYZ平面との交線7を軸に回転させて出来る曲面の一部で構成される。被照明面113の瞳共役面である面111上で矩形の光強度分布を持つ光束は被照明面113上に円弧形状3で結像する。このときの有効光源分布は、円弧形状3のある一点に入射する光の角度分布であらわされる。被照明面113と面111は瞳共役面なので、面111上の光の位置分布が図2Bのとおり円形状であった場合、被照明面113の光強度分布は円形状であることが期待される。しかし、例えば、面111上の光の位置分布が円形状であっても、回転放物面ミラー1を通過後、被照明面113に入射する光の角度分布は図7Bのようなサジタル面に対して非対称な非円形状を持つことが判った。ここでいうサジタル面とは、図3で光軸5を通り、XZ平面に平行な面であり、サジタル面に対して非対称というのは、サジタル面と面111とが交わる線に対して非対称であることを意味する。この歪みは、照明光学系の開口数が大きければ大きいほど顕著になる。図8は、円弧形状3の円弧曲率が300mmのとき、開口数を0.01〜0.1まで変化させた場合の有効光源形状を示している。図8のように開口数が0.01の場合に有効光源形状の円形状からの歪みは少ないが、開口数が0.05程度以上になると、歪みが大きくなる。このような有効光源形状の歪みは投影露光装置の問題となりうる。
本発明は、このような状況を鑑みてなされたものであり、放物トーリック形状の回転体で構成されたミラーを用いた場合でも、結像性能を低下させない照明光学系を提供することを目的とする。
本発明は、光源から出射された光で被照明面を照明する照明光学系であって、前記被照明面のフーリエ変換面又はその近傍に配置された開口絞りと、前記開口絞りと前記被照明面との間に配置され、放物トーリック形状の回転体が形成する面を反射面とするミラーと、を備え、形状の面積をS、該形状の周囲長をLとし(4πS/L2)で表される数値を該形状の円形度と定義するとき、前記開口絞りの開口の形状は、前記ミラーよりも前記被照明面側であって前記被照明面とフーリエ変換の関係である面における光強度分布の外形形状を0.8以上の円形度とする形状に定められる、ことを特徴とする。
本発明によれば、放物トーリック形状の回転体で構成されたミラーを用いた場合でも、結像性能を低下させない照明光学系を提供することができる。
以下、本発明の実施形態について図面等を参照して説明する。
[第1実施形態]
第1実施形態の照明光学系は、例えば、露光装置に搭載されるものであり、光源から出射された光で被照明面を照明する。図1は、第1実施形態に係る照明光学系の構成を示す概略図である。照明光学系100は、光源部101と、第1光学系105、インテグレータ106、開口絞り(第1開口絞り)107、第2光学系108、スリット109、第3光学系110、開口絞り(第2開口絞り)111、第4光学系112によって構成される。光源部101は、光源102、集光ミラー103を含む。集光ミラー103と第1光学系105は、光源102から照射された光をインテグレータ106に導く。集光ミラー103には、例えば、楕円集光ミラーを用いる。楕円集光ミラーの103の焦点104は、光源102と共役な点である。第1光学系105は図1では3枚の集光レンズで表しているが、ミラーやプリズムで形成することもできる。第1開口絞り107、第2開口絞り111は、パターンが形成されたマスク(原版)が配置される被照明面113のフーリエ変換面又はその近傍に配置される。
第1実施形態の照明光学系は、例えば、露光装置に搭載されるものであり、光源から出射された光で被照明面を照明する。図1は、第1実施形態に係る照明光学系の構成を示す概略図である。照明光学系100は、光源部101と、第1光学系105、インテグレータ106、開口絞り(第1開口絞り)107、第2光学系108、スリット109、第3光学系110、開口絞り(第2開口絞り)111、第4光学系112によって構成される。光源部101は、光源102、集光ミラー103を含む。集光ミラー103と第1光学系105は、光源102から照射された光をインテグレータ106に導く。集光ミラー103には、例えば、楕円集光ミラーを用いる。楕円集光ミラーの103の焦点104は、光源102と共役な点である。第1光学系105は図1では3枚の集光レンズで表しているが、ミラーやプリズムで形成することもできる。第1開口絞り107、第2開口絞り111は、パターンが形成されたマスク(原版)が配置される被照明面113のフーリエ変換面又はその近傍に配置される。
第1実施形態の照明光学系100に適用される光源102は、例えば、波長約193nmのArFエキシマレーザー、波長約248nmのKrFエキシマレーザー、波長約157nmのF2エキシマレーザー等のレーザー光源を使用する。使用可能なレーザーは、波長約193nmのArFエキシマレーザー、波長約248nmのKrFエキシマレーザー、波長約157nmのF2エキシマレーザー等である。レーザーの種類は、エキシマレーザーに限定されず、例えば、YAGレーザーを使用しても良いし、レーザーの個数も限定されない。更に、光源102は、上記レーザー光源に限定されるものではなく、一又は複数の水銀ランプやキセノンランプ等のランプも使用可能である。
インテグレータ106は、スリット109の位置での照度の均一性を高めるための光学系であり、例えば、ロッド形状やシリンドリカル形状のフライアイレンズ光学系、ロットレンズ光学系、若しくは、光ファイバーを使用する光学系等で構成される。インテグレータ106からの光は、第1開口絞り107を経て、第2光学系108へと導かれる。例えば、インテグレータ106にフライアイレンズ光学系を採用した場合、第1開口絞り107の位置には、光源102と共役な多数の二次光源分布が形成される。第2光学系108は、スリット109の位置が実質的に二次光源面のフーリエ変換面(共役面、瞳共役面)となるように配置された光学系である。以上のような構成を採用することにより、第1開口絞り107の位置は二次光源面となり、スリット109の位置をケーラー照明しており、スリット109の位置での照度分布は、ほぼ均一となる。
スリット109から出た光は、第3光学系110と第4光学系112とにより、被照明面113に導かれる。第3光学系110と第4光学系112は、スリット109と被照明面113が、ほぼ共役な面となるように配置する。第3光学系110は図1では4枚の集光レンズで表しているが、ミラーやプリズムなど他の光学素子と組み合わせて用いることもできる。第4光学系112は図3のような放物トーリック形状の回転体が形成する面を反射面とする回転放物面ミラーである。回転放物面ミラーの形状は、図3のような座標系を用いた場合、被照明面113における照明円弧形状の円弧曲率をRとすると下記式のように表され、実際には下記の式1によって表される面の一部を用いる。
前記のとおり、スリット109と被照明面113とは、互いに光学的にほぼ共役な面となるように配置しているが、実際には第3光学系110及び第4光学系112の収差があるので、完全な共役面にならない。また、部品の製造誤差により、スリット109上で均一な照度分布をしていても、被照明面113上では照度ムラが発生する可能性がある。第1実施形態の照明光学系100を原版と基板とを走査しながら基板を露光する走査露光装置に適用する場合、スリット109の形状を調整可能とすることにより、走査平均したときの照度ムラを低減させることができる。例えば、スリット109の中心部に対して端部が低照度であった場合、端部の幅を広げることにより、端部の走査方向の積算エネルギーを中心部と等しくすることが出来る。
図9を用いて、開口絞りの形状が照明光学系の有効光源形状に与える影響について説明する。図9は第2開口絞り111からZ軸方向に平行に射出した光が、回転放物面ミラー112の一部で反射し、円弧照明領域3に集光した後、円弧照明領域3よりもY方向にRだけ離れた面7に至る様子を示している。面7は、照明光学系100の被照明面側(下流側)のフーリエ変換面(被照明面113とフーリエ変換の関係である面)である。照明光学系100が露光装置内に組み込まれているとき、面7は、投影光学系の瞳面である。このときに、面7の光強度分布は照明光学系100の有効光源分布を表している。回転放物面ミラーの112形状は式1により与えられる。
第2開口絞り111上の任意の点を(X1,Y1,Z1)とする。点(X1,Y1,Z1)から出て、Z軸方向に平行に射出した光は、回転放物面ミラーの一部の点(X1,Y1,Z2)にあたる。このとき、回転放物面ミラーの一部にあたる光のベクトルhは下記の式2のようにあらわすことができる。
この接平面の法線ベクトルVはベクトルδr/δXとδr/δYの外積で与えられる。これにより法線ベクトルVは下記の式4のように表される。
座標(X1,Y1,Z2)を通る法線ベクトルV1は、下記の式5で表される。
座標(X1,Y1,Z2)を通る法線ベクトルV1は、下記の式5で表される。
第2開口絞り111の位置に図7Aのような一般的な円形状の開口絞りを用いた場合、式5、7、8、10〜12を用いて面7上での光の位置を計算すると、図7Bのような円形状から歪んだおにぎりのような形状になる。そこで、面7の位置で円形状になるように第2開口絞り111の位置における第2開口絞り111の形状を逆算すると、図2Aのような、サジタル面に対して非対称な形状を持ったおにぎりのような外形形状にすればよいことが判った。ここで、面7の位置における「円形状」は、所定の形状内の面積をS、該形状の周囲長をLとし(4πS/L2)で表される数値を該形状の円形度と定義するとき、0.8以上の円形度とする形状である。図2Bは第2開口絞り111位置に図2Aのような形状の開口絞りを用いた、開口数0.12の照明光学系100の有効光源分布を表している。開口数が0.05以上である照明光学系100に回転放物面ミラー112を用いても、有効光源分布の円形状からの歪みを抑えることができる。第1実施形態では、図2Aのような形状の開口絞りを第2開口絞り111として配置した例を紹介した。しかし、図2Aのような形状の開口絞りを第2開口絞り111と共役な位置に配置される第1開口絞り107として配置してもよい。また、開口の形状を変更可能な開口絞りを用いて、所定の円形度を満足する開口形状に調整して定めてもよい。
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態に係る照明光学系200の構成について図4を用いて説明する。照明光学系200は、複数の光源部101、第1光学系201、第2光学系202、第3光学系204、インテグレータ106、第1開口絞り107、第4光学系205、第1スリット206、第5光学系207及び第2開口絞り208を含む。照明光学系200は、さらに、第6光学系209、第2スリット210、第7光学系211及び第3開口絞り212を含む。第1実施形態に記述した構成内容と重複する場合、説明は省略する。第1光学系201は光源部101から出た光を第2光学系202に導く光学系であり、図4には2つの光源部101が示されており、それぞれに対して第1光学系201が備えられている。
次に、本発明の第2実施形態に係る照明光学系200の構成について図4を用いて説明する。照明光学系200は、複数の光源部101、第1光学系201、第2光学系202、第3光学系204、インテグレータ106、第1開口絞り107、第4光学系205、第1スリット206、第5光学系207及び第2開口絞り208を含む。照明光学系200は、さらに、第6光学系209、第2スリット210、第7光学系211及び第3開口絞り212を含む。第1実施形態に記述した構成内容と重複する場合、説明は省略する。第1光学系201は光源部101から出た光を第2光学系202に導く光学系であり、図4には2つの光源部101が示されており、それぞれに対して第1光学系201が備えられている。
図4には、例として2つの光源部を示しているが、1つまたは3つ以上の光源部で構成してもよい。第2光学系202は、被照明面113と共役な位値に配置される、例えば、入口が図5A、出口203が図5Bのような形状をした光源部101から出射された光束の形状を円形から矩形に変換するバンドルファイバーである。第2実施形態ではバンドルファイバーを例に挙げたが、第2光学系202は、オプティカルパイプを用いた光伝達素子で代替することもできる。第3光学系204はバンドルファイバーの出口203から出た光をインテグレータ106に導く光学系である。第1開口絞り107はインテグレータ106の出口に備えられている。第4光学系205は、インテグレータ106の出口に形成された二次光源から射出された光を第1スリット206に導く光学系である。このとき、第1スリット206の位置が実質的に第1開口絞り107の位置のフーリエ変換面(共役面、瞳共役面)となるように第4光学系205を配置している。
第5光学系207は第1スリット206から出た光を第2開口絞り208に導くための光学系であり、第1スリット206と第2開口絞り208の位置が、実質的にフーリエ変換面(共役面、瞳共役面)となるように配置されている。第6光学系209は、図3のような回転放物面ミラーであり、第2開口絞り208の位置と、第2スリット位置210が実質的にフーリエ変換面(共役面、瞳共役面)となるように配置されている。第7光学系211は、第2スリット210から出た光を第2スリット210と実質的に共役な面である非照明面113に導くための光学系である。第7光学系211の内部には第3開口絞り212が備えられている。
被照明面113で、所望の照明領域を均一に照らすために、インテグレータ106を用いたが、光学系の部品形状の製造誤差や、装置組み立てによる製造誤差により、結果的に被照明面113で照度ムラが発生する場合がある。第2実施形態の照明光学系200を走査露光装置に適用する場合、第1スリット206及び第2スリット210のうちの少なくとも1つに対して、スリット幅をスリットの場所により調節することで、上記の照度ムラを補正することができる。また、第1スリット206及び第2スリット210のうち少なくとも一方を省略することもできる。
第1開口絞り107、第2開口絞り208及び第3開口絞り212の少なくとも1つには、図2Aのように、サジタル面に対して非対称なおにぎりのような形状を持ち、照明光学系200の有効光源形状を0.8以上の円形度とする開口絞りを用いる。また、開口絞りの開口断面の光強度分布を調整するために、薄膜の厚みむらが施されることによって光源と被照明面113との間のフーリエ変換面を通過する光の透過率分布を調整する光学フィルターを、第1〜第3開口絞り107,208,212のうち少なくとも1つに備えることもできる。
このような第2実施形態の照明光学系200を用いた場合、0.05程度よりも大きい開口数を持った照明光学系に回転放物面ミラーを用いても、有効光源の円形状からの歪みを抑えることができる。
このような第2実施形態の照明光学系200を用いた場合、0.05程度よりも大きい開口数を持った照明光学系に回転放物面ミラーを用いても、有効光源の円形状からの歪みを抑えることができる。
[露光装置]
図6を用いて、露光装置の一例を説明する。露光装置90は、回転放物面ミラーを含む照明光学系200と、原版を保持する原版ステージ92と、基板を保持する基板ステージ94と、原版のパターンを基板の上に投影する投影光学系93とを備え、原版と基板とを同期走査させることで基板を露光する。投影光学系93は、例えば、物体面から像面に至る光路において、第一凹反射面、凸反射面、第二凹反射面が順に配列された投影光学系でありうる。
図6を用いて、露光装置の一例を説明する。露光装置90は、回転放物面ミラーを含む照明光学系200と、原版を保持する原版ステージ92と、基板を保持する基板ステージ94と、原版のパターンを基板の上に投影する投影光学系93とを備え、原版と基板とを同期走査させることで基板を露光する。投影光学系93は、例えば、物体面から像面に至る光路において、第一凹反射面、凸反射面、第二凹反射面が順に配列された投影光学系でありうる。
[デバイス製造方法]
次に、上記露光装置を用いたデバイス製造方法について説明する。その場合、デバイスは、前述の露光装置を用いて基板を露光する工程と、露光された基板を現像する工程と、他の周知の工程とを経ることにより製造する。デバイスは、半導体集積回路素子、液晶表示素子等でありうる。基板は、ウエハ、ガラスプレート等でありうる。当該周知の工程は、例えば、酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、ダイシング、ボンディング、パッケージング等の各工程である。
次に、上記露光装置を用いたデバイス製造方法について説明する。その場合、デバイスは、前述の露光装置を用いて基板を露光する工程と、露光された基板を現像する工程と、他の周知の工程とを経ることにより製造する。デバイスは、半導体集積回路素子、液晶表示素子等でありうる。基板は、ウエハ、ガラスプレート等でありうる。当該周知の工程は、例えば、酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、ダイシング、ボンディング、パッケージング等の各工程である。
Claims (8)
- 光源から出射された光で被照明面を照明する照明光学系であって、
前記被照明面のフーリエ変換面又はその近傍に配置された開口絞りと、
前記開口絞りと前記被照明面との間に配置され、放物トーリック形状の回転体が形成する面を反射面とするミラーと、
を備え、
形状の面積をS、該形状の周囲長をLとし(4πS/L2)で表される数値を該形状の円形度と定義するとき、前記開口絞りの開口の形状は、前記ミラーよりも前記被照明面側であって前記被照明面とフーリエ変換の関係である面における光強度分布の外形形状を0.8以上の円形度とする形状に定められる、
ことを特徴とする照明光学系。 - 開口数が0.05以上である、ことを特徴とする請求項1に記載の照明光学系。
- 光学フィルターを前記光源と前記被照明面との間であって前記被照明面のフーリエ変換面に備え、前記光学フィルターは、前記フーリエ変換面を通過する光の透過率分布を調整する、ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の照明光学系。
- 前記光源から出射された光束の形状を変換する光伝達素子を前記光源と前記開口絞りとの間であって前記被照明面と共役な位置に備える、ことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の照明光学系。
- 前記開口絞りの開口の形状は照明光のサジタル面に対して非対称な形状であることを特徴とする請求項1に記載の照明光学系。
- 原版と基板とを走査しながら請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の照明光学系によって照明された前記原版のパターンを投影光学系を介して基板に投影し、前記基板を露光する露光装置。
- 形状を調整可能なスリットを前記被照明面と光学的に共役な位置に備える、ことを特徴とする請求項6に記載の露光装置。
- 請求項6又は請求項7に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された基板を現像する工程と、
を含むデバイス製造方法。
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Date | Code | Title | Description |
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A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20131105 |