JP2007311627A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1主面及び第2主面を有する半導体基板1に、n型の第1ベース層2が設けられ、その上層にp型の第2ベース層3が設けられている。第1ベース層2と第2ベース層3との間には、キャリア蓄積層4が設けられている。キャリア蓄積層4は、高濃度不純物層4aと低濃度不純物層4bとを有し、高濃度不純物層4aは1.5μm以上の厚さであり、この層の不純物濃度が層全体にわたり1.0×1016cm−3以上であるようにした。このような構造とすることにより、ターンオフ時の電力損失を抑制しつつ、コレクタ−エミッタ間のオン電圧を低減することができる。
【選択図】図1
Description
本実施の形態に係る絶縁ゲート型の半導体装置について、図1を参照しながら説明する。この半導体装置は、トレンチ型の絶縁ゲートバイポーラトランジスタ(Insulated Gate Bipolar Transistor;以下、「IGBT」という)を有している。この半導体装置は、第1主面(上主面)及び第2主面(下主面)を有する半導体基板1を用いて形成され、半導体基板1の第1主面と第2主面との間には、n型不純物を含むn型(第1導電型)の第1ベース層2が設けられている。半導体基板1の第1主面には、p型(第2導電型)の第2ベース層3が設けられている。半導体基板1の第1ベース層2と第2ベース層3との間には、キャリア蓄積層4が設けられている。この層は、第1ベース層2よりも不純物濃度が高いn型の高濃度不純物層4aと、高濃度不純物層4aよりも不純物濃度が低い低濃度不純物層4bとを有している。
本実施の形態に係る絶縁ゲート型の半導体装置について、図4を参照しながら説明する。ここでは、実施の形態1で示した図1と異なる点を中心に説明する。実施の形態1に示した半導体装置は、図1に示したように、半導体基板1の位置cに高濃度不純物層4aが設けられ、位置dに低濃度不純物層4bが設けられた構造であった。これに対して本実施の形態2では、図4に示すように、第2ベース層3の下に、第2ベース層3と所定間隔(D4−D2)をあけて、高濃度不純物層4aのみからなるキャリア蓄積層4が設けられた構造とする。すなわち本実施の形態2では、キャリア蓄積層4の高濃度不純物層4aが、第2ベース層3の下層に、第2ベース層3と離間して設けられた構造とする。その他の構成については、実施の形態1で示した図1と同様である。
Claims (13)
- 第1主面及び第2主面を有する半導体基板と、
前記半導体基板の前記第1主面と前記第2主面との間に設けられた第1導電型の第1ベース層と、
前記半導体基板の前記第1主面に設けられた第2導電型の第2ベース層と、
前記半導体基板の前記第1ベース層と前記第2ベース層との間に設けられ、前記第1ベース層よりも不純物濃度が高い高濃度不純物層を有する第1導電型のキャリア蓄積層と、
前記半導体基板の前記第2ベース層内に選択的に設けられ、前記キャリア蓄積層と所定間隔を有する第1導電型のエミッタ層と、
前記半導体基板の前記第1主面側から前記エミッタ層及び前記第2ベース層を貫通して設けられた溝と、
前記溝の内面を覆う絶縁膜と、
前記絶縁膜を介して前記溝に埋め込まれた電極と、
前記半導体基板の前記第2主面に設けられた第2導電型のコレクタ層とを備え、
前記高濃度不純物層は1.5μm以上の厚さを有し、前記高濃度不純物層の不純物濃度は、前記高濃度不純物層の全体にわたり1.0×1016cm−3以上であることを特徴とする絶縁ゲート型半導体装置。 - 前記キャリア蓄積層の前記高濃度不純物層は、前記第2ベース層に接するように設けられ、
前記キャリア蓄積層の前記高濃度不純物層以外の部分の不純物濃度は、前記第1ベース層の不純物濃度よりも高く、かつ、前記高濃度不純物層の不純物濃度よりも低いことを特徴とする請求項1に記載の絶縁ゲート型半導体装置。 - 前記キャリア蓄積層の前記高濃度不純物層は、前記第2ベース層と離間して設けられていることを特徴とする請求項1に記載の絶縁ゲート型半導体装置。
- 前記キャリア蓄積層の前記半導体基板の深さ方向の不純物濃度は、前記高濃度不純物層とそれ以外の部分との境界で階段状に変化することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の絶縁ゲート型半導体装置。
- 前記高濃度不純物層の前記半導体基板の深さ方向の不純物濃度は、1.0×1016cm−3以上かつ1.0×1017cm−3以下の範囲であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の絶縁ゲート型半導体装置。
- 前記溝は、前記キャリア蓄積層を貫通して設けられていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の絶縁ゲート型半導体装置。
- 前記半導体基板の前記第1主面の表面には、前記エミッタ層と電気的に接続されたエミッタ電極が設けられ、
前記半導体基板の前記第2主面の表面には、前記コレクタ層と電気的に接続されたコレクタ電極が設けられていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の絶縁ゲート型半導体装置。 - 前記キャリア蓄積層は、エピタキシャル成長法を用いて形成されたものであることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の絶縁ゲート型半導体装置。
- 第1主面及び第2主面を有し、これらの主面の間に第1導電型の第1ベース層が設けられた半導体基板の前記第1主面から第1の深さに至る範囲で、前記第1ベース層よりも不純物濃度が高い第1導電型の高濃度不純物層を有するキャリア蓄積層を形成する工程と、
前記半導体基板の前記第1主面から、前記第1の深さよりも浅い第2の深さに至る範囲で、前記キャリア蓄積層の前記高濃度不純物層に接する第2導電型の第2ベース層を形成する工程と、
前記半導体基板の前記第1主面から、前記第2の深さよりも浅い第3の深さに至る範囲で、第1導電型のエミッタ層を選択的に形成する工程と、
前記半導体基板の前記第1主面側から前記エミッタ層および前記第2ベース層を貫通する溝を形成する工程と、
前記溝の内面を絶縁膜で覆う工程と、
前記絶縁膜を介して前記溝に電極膜を埋め込む工程と、
前記半導体基板の前記第2主面に、第2導電型のコレクタ層を形成する工程とを備え、
前記高濃度不純物層は1.5μm以上の厚さを有し、前記高濃度不純物層の不純物濃度は、前記高濃度不純物層の全体にわたり1.0×1016cm−3以上であることを特徴とする絶縁ゲート型半導体装置の製造方法。 - 第1主面及び第2主面を有し、これらの主面の間に第1導電型の第1ベース層が設けられた半導体基板の前記第1主面から第1の深さに至る範囲で、前記第1ベース層よりも不純物濃度が高い第1導電型の高濃度不純物層を有するキャリア蓄積層を形成する工程と、
前記半導体基板の前記第1主面から、前記第1の深さよりも浅い第2の深さに至る範囲で、前記キャリア蓄積層の前記高濃度不純物層と離間した第2導電型の第2ベース層を形成する工程と、
前記半導体基板の前記第1主面から、前記第2の深さよりも浅い第3の深さに至る範囲で、第1導電型のエミッタ層を選択的に形成する工程と、
前記半導体基板の前記第1主面側から前記エミッタ層および前記第2ベース層を貫通する溝を形成する工程と、
前記溝の内面を絶縁膜で覆う工程と、
前記絶縁膜を介して前記溝に電極膜を埋め込む工程と、
前記半導体基板の前記第2主面に、第2導電型のコレクタ層を形成する工程とを備え、
前記高濃度不純物層は1.5μm以上の厚さを有し、前記高濃度不純物層の不純物濃度は、前記高濃度不純物層の全体にわたり1.0×1016cm−3以上であることを特徴とする絶縁ゲート型半導体装置の製造方法。 - 前記溝を形成する工程において、前記溝を、前記キャリア蓄積層を貫通して形成することを特徴とする請求項9又は10に記載の絶縁ゲート型半導体装置の製造方法。
- 前記キャリア蓄積層を形成する工程を、エピタキシャル成長法を用いて行うことを特徴とする請求項9〜11のいずれかに記載の絶縁ゲート型半導体装置の製造方法。
- 前記キャリア蓄積層を形成する工程を、イオン注入法又はプロトン照射法を用いて行うことを特徴とする請求項10又は11に記載の絶縁ゲート型半導体装置の製造方法。
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