JP5030563B2 - トレンチショットキバリアダイオード - Google Patents
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Description
なお、図12中、符号926はバリア金属層924の上方に設けられたアノード電極層926を示し、符号928はn++型カソード領域912の下方に設けられたカソード電極層を示す。また、本明細書中、第1主面とは、半導体基板におけるカソード領域側の主面のことをいい、第2主面とは、半導体基板におけるドリフト領域側の主面のことをいう。
(実施形態1に係るトレンチショットキバリアダイオード100の構成)
図1は、実施形態1に係るトレンチショットキバリアダイオード100を説明するために示す図である。図1(a)はトレンチショットキバリアダイオード100の断面図であり、図1(b)はトレンチショットキバリアダイオード100の上面図であり、図1(c)は実施形態1における変形例に係るトレンチショットキバリアダイオード100aの上面図である。なお、図1(b)及び図1(c)においては、バリア金属層124及びアノード電極層126の図示を省略している。
図2及び図3は、ショットキバリアダイオード100の製造方法を説明するために示す図である。図2(a)〜図2(d)及び図3(a)〜図3(d)は各工程図である。
実施形態1に係るトレンチショットキバリアダイオード100は、図2及び図3に示すように、以下の工程(a)〜工程(h)を行うことによって製造することができる。
n++型カソード領域112(厚さ:400μm、不純物濃度:1.0×1019cm−3)の上面にn−型ドリフト領域114(厚さ:6.0μm、不純物濃度:5.0×1015cm−3)が形成されたシリコン基板110を準備する(図2(a)参照。)。
イオン注入法によってn−型ドリフト領域114の表面にn型不純物としてのリンイオンを打ち込み、その後所定の熱処理を行ってn+型半導体領域130(深さ:1.5μm、表面不純物濃度:1.5×1016cm−3)を形成する(図2(b)参照。)。
n−型ドリフト領域114の所定領域に溝117(深さ:2.0μm)を形成する(図2(c)参照。)。
熱酸化により、溝117の内面(側面及び底面)及びn+型半導体領域130の表面に熱酸化による二酸化ケイ素膜121を形成し、その後、二酸化ケイ素膜121の上面にCVDによりポリシリコン膜119を形成する(図2(d)参照。)。
CMP(Chemical Mechanical Polishing)により所定量のポリシリコン膜119を除去するとともに、n+型半導体領域130の表面に形成された二酸化ケイ素膜121を除去することにより、n−型ドリフト領域114との境界面に形成された絶縁領域120を介して導電材118が埋め込まれた構造を有する複数のトレンチ領域116を形成する(図3(a)参照。)。このとき、シリコン基板110の第2主面側における複数のトレンチ領域116が設けられていない部分にはメサ領域122が形成されることになり、メサ領域122の表面にはn+型半導体領域130が形成されることになる。
シリコン基板110の第2主面上に、モリブデン膜からなるバリア金属層124を形成する(図3(b)参照。)。バリア金属層124は、メサ領域122との間でショットキ接合を形成する。
バリア金属層124の上方に、蒸着法により、アルミニウム膜及びニッケル膜等の積層膜からなるアノード電極層126を形成する(図3(c)参照。)。
n++型カソード領域112の下方に、チタン膜、ニッケル膜及び銀膜の積層膜からなるカソード電極層128を形成する(図3(d)参照。)。
実施形態1に係るトレンチショットキバリアダイオード100によれば、メサ領域122の側壁がトレンチ領域116で覆われているため、逆バイアス時にはメサ領域122の内部が空乏化してピンチオフされ、逆方向リーク電流を小さくすることが可能となる。
試験例1は、n+型半導体領域の深さが逆方向耐圧に与える影響を明らかにするための試験例である。試験は、メサ領域の表面にn+型半導体領域を形成してあるトレンチショットキバリアダイオードについて、n+型半導体領域の深さを変化させながら逆方向耐圧をシミュレーションすることによって行った。
試験例1に係るトレンチショットキバリアダイオードにおいては、図4に示すように、n+型半導体領域の深さを0μm〜3μmの範囲(0μm、0.5μm、1.0μm、1.5μm、2.0μm、2.5μm、3.0μm)で変化させた。なお、n++型カソード領域の厚さは400μmであり、n−型ドリフト領域の厚さは6.0μmであり、トレンチの深さは2.0μmである。また、n++型カソード領域の不純物濃度は1.0×1019cm−3であり、n−型ドリフト領域の不純物濃度は5.0×1015cm−3であり、n+型半導体領域の表面不純物濃度は1.5×1016cm−3である。また、絶縁領域の厚さは300nmである。また、バリア金属層はモリブデン膜(バリアハイトΦB:0.68eV)からなる。
試験例2は、n+型半導体領域の表面不純物濃度が逆方向リーク電流及び順方向電圧に与える影響を明らかにするための試験例である。試験は、メサ領域の表面にn+型半導体領域を形成してあるトレンチショットキバリアダイオードについて、n+型半導体領域の表面不純物濃度を変化させながら逆方向リーク電流及び順方向電圧をシミュレーションすることによって行った。
試験例2に係るトレンチショットキバリアダイオードにおいては、図6に示すように、n+型半導体領域の表面不純物濃度を1.0×1016cm−3〜2.5×1016cm−3の範囲(1.0×1016cm−3、1.5×1016cm−3、2.0×1016cm−3、2.5×1016cm−3)で変化させた。なお、n++型カソード領域の厚さは400μmであり、n−型ドリフト領域の厚さは6.0μmであり、n+型半導体領域の深さは1.5μmである。また、n++型カソード領域の不純物濃度は1.0×1019cm−3であり、n−型ドリフト領域の不純物濃度は5.0×1015cm−3である。また、絶縁領域の厚さは300nmである。また、バリア金属層はモリブデン膜からなる。
試験例3は、試験例3に係るトレンチショットキバリアダイオードにおける順方向電圧及び逆方向リーク電流のトレードオフ関係が、従来のトレンチショットキバリアダイオードにおけるトレードオフ関係よりも改善されたものであること明らかにするための試験例である。
図9は、実施形態2に係るトレンチショットキバリアダイオード200の深さ方向におけるn型不純物の不純物濃度プロファイルを示す図である。
イオン注入法によってn+型半導体領域の表面からp型不純物としてのボロンイオンを打ち込み、その後所定の熱処理を行ってn+型半導体領域の表面にボロンイオンを含有させる(深さ:0.5μm、表面ボロンイオン濃度:0.5×1016cm−3)を形成する。なお、表面ボロンイオン濃度とは、n+型半導体領域の表面におけるボロンイオンの濃度のことをいう。
試験例4は、p型不純物の表面不純物濃度が逆方向リーク電流及び順方向電圧に与える影響を明らかにするための試験例である。試験は、n+型半導体領域の表面にp型不純物としてのボロンイオンを含有させたトレンチショットキバリアダイオードについて、表面ボロンイオン濃度を変化させながら逆方向リーク電流及び順方向電圧をシミュレーションすることによって行った。
試験例5は、試験例5に係るトレンチショットキバリアダイオード200における順方向電圧及び逆方向リーク電流のトレードオフ関係が従来のトレンチショットキバリアダイオードにおけるトレードオフ関係よりも改善されたものであること明らかにするための試験例である。
図12は、実施形態3に係るトレンチショットキバリアダイオード300の深さ方向におけるn型不純物の不純物濃度プロファイルを示す図である。
n++型カソード領域(厚さ:400μm、不純物濃度:1×1019cm−3)の上面に、不純物濃度を変化させながらn−型ドリフト領域(厚さ:6.0μm)をエピタキシャル成長させることにより、上記のような不純物濃度プロファイルを有するシリコン基板を準備する。
Claims (6)
- 第1主面側に設けられた第1導電型のカソード領域及び第2主面側に設けられ前記カソード領域が含有する第1導電型の不純物よりも低濃度の第1導電型の不純物を含有する第1導電型のドリフト領域を有する半導体基板と、
前記半導体基板の第2主面側に設けられ前記ドリフト領域との境界面に形成された絶縁領域を介して導電材が埋め込まれた構造を有する複数のトレンチ領域と、
前記半導体基板の第2主面側における前記複数のトレンチ領域が設けられていない部分に設けられたメサ領域と、
前記半導体基板の第2主面上に設けられ前記メサ領域との間でショットキ接合を形成するバリア金属層とを備えるトレンチショットキバリアダイオードであって、
前記メサ領域の表面には、前記ドリフト領域が含有する第1導電型の不純物よりも高濃度の第1導電型の不純物を含有する第1導電型の半導体領域が形成され、
前記半導体領域の不純物濃度は、前記半導体領域の表面と底部との間で最も高いことを特徴とするトレンチショットキバリアダイオード。 - 請求項1に記載のトレンチショットキバリアダイオードにおいて、
前記半導体領域の深さは、前記トレンチ領域の深さよりも浅いことを特徴とするトレンチショットキバリアダイオード。 - 請求項1又は2に記載のトレンチショットキバリアダイオードにおいて、
前記半導体領域の表面不純物濃度は、5×1015cm−3〜1×1017cm−3であることを特徴とするトレンチショットキバリアダイオード。 - 請求項1〜3のいずれかに記載のトレンチショットキバリアダイオードにおいて、
前記ドリフト領域は、前記半導体領域の底部から前記ドリフト領域における前記カソード領域と接する部分に向けて第1導電型の不純物の不純物濃度が徐々に高くなるように構成されていることを特徴とするトレンチショットキバリアダイオード。 - 請求項1に記載のトレンチショットキバリアダイオードを製造するためのトレンチショットキバリアダイオードの製造方法であって、
前記半導体領域を形成するにあたって、イオン注入法によって第1導電型の不純物を前記ドリフト領域の表面から所定深さに注入する工程と、イオン注入法によって前記第1導電型の不純物よりも低濃度の第2導電型の不純物を前記ドリフト領域の表面から前記所定深さより浅く注入する工程とを実施することを特徴とするトレンチショットキバリアダイオードの製造方法。 - 請求項1に記載のトレンチショットキバリアダイオードを製造するためのトレンチショットキバリアダイオードの製造方法であって、
前記半導体領域を形成するにあたって、高加速イオン注入法によって第1導電型の不純物を前記ドリフト領域に注入することを特徴とするトレンチショットキバリアダイオードの製造方法。
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