JP2010147399A - トレンチショットキバリアダイオード - Google Patents
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- 230000004888 barrier function Effects 0.000 title claims abstract description 233
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 45
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 28
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 16
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 45
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 38
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 36
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 36
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 36
- 238000000034 method Methods 0.000 description 27
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 15
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 13
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 7
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 7
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 5
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 5
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 5
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 4
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/86—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable only by variation of the electric current supplied, or only the electric potential applied, to one or more of the electrodes carrying the current to be rectified, amplified, oscillated or switched
- H01L29/861—Diodes
- H01L29/872—Schottky diodes
- H01L29/8725—Schottky diodes of the trench MOS barrier type [TMBS]
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
【解決手段】n+型のカソード領域112及びn−型のドリフト領域114を有する半導体基板110と、絶縁層124を介して導電性材料126が埋め込まれた構造を有する複数の第2主面側トレンチ領域122及び複数のp型の第1主面側トレンチ領域120を有するトレンチ領域116と、ドリフト領域114において隣接するトレンチ領域116間に挟まれた部分に位置するメサ領域118と、半導体基板110の第2主面上に形成され、メサ領域118との間でショットキ接合を形成するバリア金属層128とを備えるトレンチショットキバリアダイオード100。
【選択図】図1
Description
この観点からいえば、第2主面側トレンチ領域の深さは、本発明の効果が得られる範囲内においてできるだけ浅いことが好ましく、具体的には、3μm以下であることが好ましく、2μm以下であることがより好ましい。
[実施形態1に係るトレンチショットキバリアダイオード100の構成]
図1は、実施形態1に係るトレンチショットキバリアダイオード100を説明するために示す図である。図1(a)はトレンチショットキバリアダイオード100の断面図であり、図1(b)は図1(a)のA1−A1断面図であり、図1(c)は図1(a)のA2−A2断面図である。
第1主面側に位置するn+型カソード領域(第1導電型のカソード領域)112及び第2主面側に位置するn−型ドリフト領域(第1導電型のドリフト領域)114を有する半導体基板110と、n−型ドリフト領域114の第2主面側に形成され、n−型ドリフト領域114との境界面に形成された絶縁層124を介して導電性材料126が埋め込まれた構造を有する複数の第2主面側トレンチ領域122及びn−型ドリフト領域114における各第2主面側トレンチ領域122の第1主面側に形成された複数のp型の第1主面側トレンチ領域120を有するトレンチ領域116と、n−型ドリフト領域114において隣接するトレンチ領域116間に挟まれた部分に位置するメサ領域118と、半導体基板110の第2主面上に形成され、メサ領域118との間でショットキ接合を形成し導電性材料126との間でオーミック接合を形成するバリア金属層128とを備える。なお、符号130は、バリア電極層128の第2主面側に位置するアノード電極層を示し、符号132は、n+型カソード領域112の第1主面側に位置するカソード電極層を示す。
以上のように構成された実施形態1に係るトレンチショットキバリアダイオード100によれば、SJ構造の第2主面側の部分をTMBS構造で置き換えた構造を有するため、後述する試験例からも明らかなように、n−型ドリフト領域114の表面における電界強度を緩和することができる。その結果、製造ばらつきに起因してキャリアバンスがn過多となった場合であっても、逆方向リーク電流IRが増大することがなくなる。このため、逆方向リーク電流IRと順方向降下電圧VFとの間にあるトレードオフの関係を改善することが可能となる。
図2〜図4は、実施形態1に係るトレンチショットキバリアダイオードの製造方法を説明するために示す図である。図2(a)〜図2(c)、図3(a)〜図3(c)及び図4(a)〜図4(c)は各工程図である。
n+型カソード層112(厚さ:400μm、不純物濃度:2×1019cm−3)の上面にn−型ドリフト層114(厚さ:10μm、不純物濃度:1.5×1016cm−3)が形成されたシリコン基板110を準備する(図2(a)参照。)。
その後、シリコン基板110の第2主面に熱酸化法により500nmの酸化珪素膜を形成し、フォトリソグラフィー法により当該酸化珪素膜に開口を形成して溝形成用マスクMを形成する。その後、溝形成用マスクMを介してシリコン基板110をガスでエッチングして、シリコン基板110の第2主面に所定の深さ(深さ:7.5μm)、かつ、所定の幅(幅:0.8μm)と間隔(間隔:1.6μm)を有する複数の溝T1を形成する(図2(b)参照。)。
その後、複数の溝T1の内部にエピタキシャル成長法によりp型シリコン119(不純物濃度:3×1016cm−3)を埋め込む。なお、このとき、シリコン基板110の第2主面にもp型シリコン119が形成されることとなる(図2(c)参照。)。
その後、シリコン基板110を第2主面からガスでエッチングして、シリコン基板110の第2主面における溝T1と同じ平面位置に所定の深さ(深さ:1.5μm)の第2溝T2を形成する(図3(a)参照。)。
その後、溝形成用マスクMを除去し、その後、第2溝T2の内面(及びシリコン基板110の第2主面)を熱酸化法により酸化して、所定の厚さ(厚さ:0.15μm)の絶縁層123を形成する(図3(b)参照。)。
その後、第2溝T2の内部に、導電性材料としての高濃度のp型不純物(例えばB(ボロン))を含有するp型ポリシリコン(不純物濃度:5×1019cm−3)をCVD(Chemical Vapor Deposition)法により埋め込む(図3(c)参照。)。
その後、第2溝T2の表面より上方の導電性材料をエッチングにより除去して整形する(図4(a)参照。)。
その後、シリコン基板110の第2主面側の表面における絶縁層123をエッチングにより除去する。その結果、第2溝T2の内部におけるn−型ドリフト領域114と接する部分に位置する絶縁膜が絶縁層124となる(図4(b)参照。)。
その後、シリコン基板110の第2主面側の表面にバリアメタル128(例えばMo(モリブデン))及びアノード電極層130(例えばNi(ニッケル))を順次形成するとともに、シリコン基板110の第1主面側の表面にカソード電極層132(例えばTi(チタン))を形成する(図4(c)参照。)。
図5は、実施形態2に係るトレンチショットキバリアダイオード200断面図である。
実施形態1に係るトレンチショットキバリアダイオードの製造方法の場合と同様に、n+型カソード層212(厚さ:400μm、不純物濃度:2×1019cm−3)の上面にn−型ドリフト層214(厚さ:10μm、不純物濃度:1.5×1016cm−3)が形成されたシリコン基板210を準備する。
その後、実施形態1に係るトレンチショットキバリアダイオードの製造方法の場合と同様に、シリコン基板210の第2主面に熱酸化法により500nmの酸化珪素膜を形成し、フォトリソグラフィー法により当該酸化珪素膜に開口を形成して溝形成用マスクMを形成する。その後、溝形成用マスクMを介してシリコン基板210をガスでエッチングして、シリコン基板210の第2主面に所定の深さ(深さ:7.5μm)、かつ、所定の幅(幅:0.8μm)と間隔(間隔:1.6μm)を有する複数の溝T1を形成する。
その後、実施形態1に係るトレンチショットキバリアダイオードの製造方法の場合と同様に、複数の溝T1の内部にエピタキシャル成長法によりp型シリコン(不純物濃度:3×1016cm−3)を埋め込む。なお、このとき、シリコン基板210の第2主面にもp型シリコンが形成されることとなる。
その後、CMP(Chemical Mechanical Polishing)法により、シリコン基板210を第2主面側から所定深さまで除去する(図6(a)参照。)。
その後、エピタキシャル成長法により、シリコン基板210の第2主面側にn−型シリコン層を形成し(不純物濃度:3×1016cm−3)、第2ドリフト層234とする(図6(b)参照。)。これにより、シリコン基板210は、n+型カソード層212の第2主面側に、n−型第2主面側ドリフト層214及びn−型第1主面側ドリフト層234を有するものとなる。
その後、第1溝T1を形成したときと同様の平面位置に同様の構成を有する溝形成用マスクMを形成し、当該溝形成用マスクMを介して第2主面側ドリフト層234をガスでエッチングして、第2主面側ドリフト層234の第2主面における溝T1と同じ平面位置に所定の深さ(深さ:1.5μm)の第2溝T2を形成する(図6(c)参照。)。
その後、実施形態1に係るトレンチショットキバリアダイオードの製造方法の場合と同様に、溝形成用マスクMを除去し、その後、第2溝T2の内面(及びシリコン基板210の第2主面)を熱酸化法により酸化して、所定の厚さ(厚さ:0.15μm)の絶縁層223を形成する(図7(a)参照。)。
その後、実施形態1に係るトレンチショットキバリアダイオードの製造方法の場合と同様に、第2溝T2の内部に、導電性材料としての高濃度のp型不純物(例えばB(ボロン))を含有するp型ポリシリコン(不純物濃度:5×1019cm−3)をCVD(Chemical Vapor Deposition)法により埋め込む(図7(b)参照。)。
その後、実施形態1に係るトレンチショットキバリアダイオードの製造方法の場合と同様に、第2溝T2の表面より上方の導電性材料をエッチングにより除去して整形する(図7(c)参照。)。
その後、実施形態1に係るトレンチショットキバリアダイオードの製造方法の場合と同様に、第2主面側ドリフト層234の第2主面側の表面における絶縁層223をエッチングにより除去する。その結果、第2溝T2の内部におけるn−型ドリフト領域214と接する部分に位置する絶縁膜が絶縁層224となる(図8(a)参照。)。
その後、実施形態1に係るトレンチショットキバリアダイオードの製造方法の場合と同様に、シリコン基板210の第2主面側の表面にバリアメタル228(例えばMo(モリブデン))及びアノード電極層230(例えばNi(ニッケル))を順次形成するとともに、シリコン基板210の第1主面側の表面にカソード電極層232(例えばTi(チタン))を形成する(図8(b)及び図8(c)参照。)。
図9は、実施形態3におけるトレンチショットキバリアダイオード300を説明するために示す図である。図9(a)は実施形態3におけるトレンチショットキバリアダイオード300の断面図であり、図9(b)は実施形態1に係るトレンチショットキバリアダイオード100の断面図である。
図10は、実施形態4におけるトレンチショットキバリアダイオード400の断面図である。
(a)半導体基板準備工程〜(d)第2溝形成工程を順次行った後、実施形態1に係るトレンチショットキバリアダイオードの製造方法の場合と同様に、溝形成用マスクMを除去し、その後、第2溝T2の内面(及びシリコン基板410の第2主面)を熱酸化法により酸化して、所定の厚さ(厚さ:0.15μm)の絶縁層423を形成し(図11(a)参照。)、その後、第2溝T2の底面において、絶縁層423に開口R2を形成する(図11(b)参照。)。
その後、実施形態1に係るトレンチショットキバリアダイオードの製造方法の場合と同様に、第2溝T2の内部に、導電性材料としての高濃度のp型不純物(例えばB(ボロン))を含有するp型ポリシリコン(不純物濃度:5×1019cm−3)をCVD(Chemical Vapor Deposition)法により埋め込む(図7(b)参照。)。その結果、第1主面側トレンチ領域420と第2主面側トレンチ領域422における導電性材料とは電気的に接続されることになる。
図12は、実施形態5におけるトレンチショットキバリアダイオード500の断面図である。
図13は、実施形態6におけるトレンチショットキバリアダイオード600の断面図である。
本試験例は、本発明のトレンチショットキバリアダイオードが、製造ばらつきに起因してキャリアバンスがn過多となった場合でも、逆方向リーク電流IRと順方向降下電圧VFとの間にあるトレードオフの関係を改善することが可能なトレンチショットキバリアダイオードであることを明らかにするための試験例である。
試料としては、試験例に係るトレンチショットキバリアダイオード700及び比較例に係るトレンチショットキバリアダイオード700aを用いた。
図14は、試験例に係るトレンチショットキバリアダイオード700を説明するために示す図である。図14(a)は試験例に係るトレンチショットキバリアダイオード700の断面図であり、図14(b)は比較例に係るトレンチショットキバリアダイオード700aの断面図である。
試験は、試験例に係るトレンチショットキバリアダイオード700及び比較例に係るトレンチショットキバリアダイオード700aのそれぞれについて、逆方向耐圧VBR、逆方向リーク電流IR、順方向降下電圧VF、深さ方向の電界強度分布などの特性をシミュレーションにより求めることにより行った。試験結果を、図15〜図18に示す。
Claims (11)
- 第1主面側に位置する第1導電型のカソード領域及び第2主面側に位置し前記カソード領域が含有する第1導電型の不純物よりも低濃度の第1導電型の不純物を含有する第1導電型のドリフト領域を有する半導体基板と、
前記ドリフト領域の第2主面側に形成され、前記ドリフト領域との境界面に形成された絶縁層を介して導電性材料が埋め込まれた構造を有する複数の第2主面側トレンチ領域及び前記ドリフト領域における各第2主面側トレンチ領域の第1主面側に形成され、第1導電型とは反対の第2導電型の不純物を含有する複数の第2導電型の第1主面側トレンチ領域を有するトレンチ領域と、
前記ドリフト領域において隣接する前記トレンチ領域間に挟まれた部分に位置するメサ領域と、
前記半導体基板の第2主面上に形成され、前記メサ領域との間でショットキ接合を形成するバリア金属層とを備えることを特徴とするトレンチショットキバリアダイオード。 - 請求項1に記載のトレンチショットキバリアダイオードにおいて、
前記第2主面側トレンチ領域の深さは、3μm以下であることを特徴とするトレンチショットキバリアダイオード。 - 請求項1又は2に記載のトレンチショットキバリアダイオードにおいて、
前記ドリフト領域は、第1主面側に位置する第1主面側ドリフト領域と、第2主面側に位置する第2主面側ドリフト領域とからなり、
前記第1主面側ドリフト領域と前記第2主面側ドリフト領域との境界面の深さ位置は、前記第2主面側トレンチ領域の底面と同じ深さ位置又は前記第2主面側トレンチ領域の底面の深さ位置よりも浅い位置にあることを特徴とするトレンチショットキバリアダイオード。 - 請求項3に記載のトレンチショットキバリアダイオードにおいて、
前記第2主面側ドリフト領域の不純物濃度は、前記第1主面側ドリフト領域の不純物濃度よりも高いことを特徴とするトレンチショットキバリアダイオード。 - 請求項3に記載のトレンチショットキバリアダイオードにおいて、
前記第2主面側ドリフト領域の不純物濃度は、前記第1主面側ドリフト領域の不純物濃度よりも低いことを特徴とするトレンチショットキバリアダイオード。 - 請求項1〜5のいずれかに記載のトレンチショットキバリアダイオードにおいて、
前記第2主面側トレンチ領域の前記絶縁層は、トレンチ側壁部分がトレンチ底面部分よりも薄く形成されていることを特徴とするトレンチショットキバリアダイオード。 - 請求項1〜6のいずれかに記載のトレンチショットキバリアダイオードにおいて、
前記第2主面側トレンチ領域の前記絶縁層は、トレンチ側壁上部からトレンチ側壁下部に向けて徐々に厚くなるように形成されていることを特徴とするトレンチショットキバリアダイオード。 - 請求項1〜7のいずれかに記載のトレンチショットキバリアダイオードにおいて、
前記第1主面側トレンチ領域は、前記バリア電極層に対して電気的に接続されていることを特徴とするトレンチショットキバリアダイオード。 - 請求項8に記載のトレンチショットキバリアダイオードにおいて、
前記トレンチ領域は、平面的に見てストライプ形状を有するとともに、平面的に見ていずれかの領域において、前記第2主面側トレンチ領域が形成されていない領域を有し、
前記第1主面側トレンチ領域は、前記第2主面側トレンチ領域が形成されていない領域において前記バリア電極層に対して電気的に接続されていることを特徴とするトレンチショットキバリアダイオード。 - 請求項8に記載のトレンチショットキバリアダイオードにおいて、
前記第2主面側トレンチ領域の前記絶縁層は、トレンチ底面部分において開口を有し、
前記第1主面側トレンチ領域は、前記開口を介して前記導電性材料と電気的に接続されていることを特徴とするトレンチショットキバリアダイオード。 - 請求項1〜7のいずれかに記載のトレンチショットキバリアダイオードにおいて、
前記第1主面側トレンチ領域は、前記バリア電極層に対して電気的に浮いた状態にあることを特徴とするトレンチショットキバリアダイオード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008325665A JP5566020B2 (ja) | 2008-12-22 | 2008-12-22 | トレンチショットキバリアダイオードの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP2008325665A JP5566020B2 (ja) | 2008-12-22 | 2008-12-22 | トレンチショットキバリアダイオードの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010147399A true JP2010147399A (ja) | 2010-07-01 |
JP5566020B2 JP5566020B2 (ja) | 2014-08-06 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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---|---|
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A977 | Report on retrieval |
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