JP2006179760A - 半導体パッケージ、および、これに使用するリードフレーム - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 65
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 49
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 49
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 16
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 27
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
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- H01L2224/48091—Arched
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
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Abstract
【課題】 半導体チップを備えた半導体パッケージに使用するリードフレームにおいて、半導体パッケージと回路基板との電気的な接続の信頼性向上を図ることができるようにする。
【解決手段】 半導体チップ3を配置するためのステージ部5と、その周囲に配される複数のリード7と、これらリード7を連結するリード連結部9とを有する金属製薄板からなるリードフレームであって、前記リード7には、リードフレームの厚さ方向の一端面7aから窪んで凹部13が形成されていることを特徴とするリードフレームを提供する。
【選択図】 図2
【解決手段】 半導体チップ3を配置するためのステージ部5と、その周囲に配される複数のリード7と、これらリード7を連結するリード連結部9とを有する金属製薄板からなるリードフレームであって、前記リード7には、リードフレームの厚さ方向の一端面7aから窪んで凹部13が形成されていることを特徴とするリードフレームを提供する。
【選択図】 図2
Description
この発明は、半導体チップを備え、回路基板に実装する半導体パッケージ、および、これに使用するリードフレームに関する。
従来の半導体パッケージとしては、樹脂モールド部の厚さ方向の一端面、及び厚さ方向に沿う側面に露出する複数のリードを備えたQFN(Quad Flat Non−Leaded Package)がある(例えば、特許文献1参照。)。QFNは、図14に示すように、半導体チップ53を配置するためのステージ部55と、ステージ部55の周囲に配された複数のリード57と、各リード57を連結するダムバー59とを備えたリードフレーム51を用いて製造されている。なお、このリードフレーム51は、薄板状の金属板にプレス加工もしくはエッチング加工を施すことにより製造される。
このリードフレーム51によりQFNを製造する際には、はじめに、ステージ部55の表面に半導体チップ53を接着し、半導体チップ53の各パッドと各リード57とをボンディングワイヤにより電気的に接続する。次いで、図15に示すように、半導体チップ53、ステージ部55、ボンディングワイヤ61、およびリード57のボンディング部分を樹脂により一体的に固定する樹脂モールド部63を形成する。ここで、各リード57の裏面57aは、樹脂モールド部63の下面63aと共に同一平面を形成している。
そして、各リード57のうち、樹脂モールド部63の外方に露出している表面57bおよび裏面57aにめっきを施して、半田用のめっき膜65を形成する。このめっき膜65は、リード57に対する半田のぬれ性を向上させるものである。最後に、ダムバー59、および各リード57のうち樹脂モールド部63の外方に突出する突出部57cを切断線Aにおいて切り落とし、各リード57を互いに電気的に独立させてQFNの製造が終了する。
このQFNを回路基板に実装する際には、図16に示すように、めっきを施したリード57の裏面57aと回路基板71のランド部73とを半田67により接着する。これにより、QFN80と回路基板71とが電気的に接続されることになる。ここで、半田67によるリード57とランド部73との接合力は、樹脂モールド部63の下面63aに露出するリード57の裏面57aの大きさに依存している。
特開2002−314024号公報
近年、このQFN80においては、回路基板71との電気的な接続の信頼性の向上が求められている。しかしながら、QFN80の場合には、樹脂モールド部63の下面63a側に露出するリード57の裏面57aの大きさが規格等により定められているため、リード57の裏面57aの面積を大きくして、リード57とランド部73との接合力を向上させることができない、すなわち、QFN80と回路基板71との電気的な接続の信頼性向上を図ることができないという問題があった。
この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、半導体パッケージと回路基板との電気的な接続の信頼性向上を図ることができる半導体パッケージ、および、これに使用するリードフレームを提供することを目的としている。
この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、半導体パッケージと回路基板との電気的な接続の信頼性向上を図ることができる半導体パッケージ、および、これに使用するリードフレームを提供することを目的としている。
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
請求項1に係る発明は、板状に形成された樹脂モールド部の厚さ方向の一端面に露出する複数のリードを備えた半導体パッケージに適用し、半導体チップを配置するためのステージ部と、その周囲に配される複数のリードと、これらリードを連結するリード連結部とを有する金属製薄板からなるリードフレームであって、前記リードには、リードフレームの厚さ方向の一端面から窪んだ凹部が形成されていることを特徴とするリードフレームを提案している。
請求項1に係る発明は、板状に形成された樹脂モールド部の厚さ方向の一端面に露出する複数のリードを備えた半導体パッケージに適用し、半導体チップを配置するためのステージ部と、その周囲に配される複数のリードと、これらリードを連結するリード連結部とを有する金属製薄板からなるリードフレームであって、前記リードには、リードフレームの厚さ方向の一端面から窪んだ凹部が形成されていることを特徴とするリードフレームを提案している。
この発明に係るリードフレームを用い、ステージ部、半導体チップ、および複数のリードを一体的に固定する樹脂モールド部を形成して半導体パッケージを製造する際には、回路基板の表面に対向させる樹脂モールド部の下面とリードの一端面とが同一平面をなすように、この一端面を外方に露出させる。
そして、各リードの一端面には凹部が形成されているため、この凹部表面にめっきを形成することにより、リードに対する半田の付着面積が増加する。したがって、樹脂モールド部の下面に露出するリードの一端面の面積を増加させることなく、リードと半田との接合力を向上させることができる。
そして、各リードの一端面には凹部が形成されているため、この凹部表面にめっきを形成することにより、リードに対する半田の付着面積が増加する。したがって、樹脂モールド部の下面に露出するリードの一端面の面積を増加させることなく、リードと半田との接合力を向上させることができる。
請求項2に係る発明は、請求項1に記載のリードフレームにおいて、前記リードもしくはリード連結部には、リードフレームの厚さ方向に貫通する貫通孔が形成され、前記各リードを電気的に独立させるための切断線が、前記貫通孔を通過することを特徴とするリードフレームを提案している。
この発明に係るリードフレームによれば、リードもしくはリード連結部にめっきを施した後に、リードもしくはリード連結部を切断しても、リードの厚さ方向に沿う側面を構成する貫通孔の内壁面にめっきが残るため、リードに付着する半田面積の増加を図って、リードと半田との接合力をさらに向上させることができる。
請求項3に係る発明は、請求項2に記載のリードフレームにおいて、前記貫通孔が、リード連結部に形成されている場合には、前記リードの配列方向に沿って、かつ、複数のリードにわたって形成されていることを特徴とするリードフレームを提案している。
この発明に係るリードフレームによれば、各リードに貫通孔を形成する場合と比較して、大きい貫通孔を形成できるため、リード連結部を切断した後に各リードの側面に残るめっき領域を容易に増やすことができる。したがって、リードに対する半田の付着面積の増加を容易に図ることができる。
また、請求項4に係る発明は、板状に形成された樹脂モールド部の厚さ方向の一端面に露出する複数のリードを備えた半導体パッケージであって、前記樹脂モールド部の一端面から外方に露出する前記リードの一端面に、凹部が形成されていることを特徴とする半導体パッケージを提案している。
この発明に係る半導体パッケージによれば、樹脂モールド部の一端面から露出するリードの一端面に凹部が形成されているため、各リードに対する半田の付着面積の増加を図って、リードと半田との接合力を向上させることができる。
また、請求項5に係る発明は、請求項4に記載の半導体パッケージにおいて、前記リードが、前記樹脂モールド部の厚さ方向に沿う側面から外方に露出し、前記凹部が、前記樹脂モールド部の側面から外方に開口することを特徴とする半導体パッケージを提案している。
この発明に係る半導体パッケージによれば、凹部が樹脂モールド部の一端面に隣接する側面側から外方に開口するため、目視検査により外方からリードと半田との接合状態を容易に判定できる。
この発明に係る半導体パッケージによれば、凹部が樹脂モールド部の一端面に隣接する側面側から外方に開口するため、目視検査により外方からリードと半田との接合状態を容易に判定できる。
以上説明したように、請求項1に係る発明によれば、樹脂モールド部の外方に露出するリードの一端面に凹部を形成しておくことにより、リードと半田との接合力を向上させることができるため、このリードフレームを利用した半導体パッケージを回路基板に実装する際には、リードと回路基板のランド部との電気的な接続の信頼性向上を図ることができる。
また、請求項2に係る発明によれば、リードもしくはリード連結部に貫通孔を形成することにより、リードに対する半田の接合力をさらに向上させることができるため、このリードフレームを利用して半導体パッケージを製造し、この半導体パッケージを回路基板に実装する際には、リードと回路基板のランド部との電気的な接続の信頼性の向上をさらに図ることができる。
また、請求項3に係る発明によれば、各リードに貫通孔を形成する場合と比較して、大きい貫通孔を形成するため、リードと半田との接合力の向上させることができ、リードと回路基板のランド部との電気的な接続の信頼性を確実に向上させることができる。
また、請求項4に係る発明によれば、樹脂モールド部の一端面から露出するリードの一端面に凹部を形成することにより、リードと半田との接合力を向上させることができるため、この半導体パッケージを回路基板に実装する際には、リードと回路基板のランド部との電気的な接続の信頼性の向上を図ることができる。
また、請求項5に係る発明によれば、リードの一端面に形成された凹部を樹脂モールド部の側面から外方に開口させることにより、目視検査によるリードと半田との接合状態の判定が容易となるため、この半導体パッケージを回路基板に実装する際には、リードと回路基板のランド部との電気的な接続の信頼性の向上をさらに図ることができる。
図1から図4は、本発明の一実施形態を示しており、この実施の形態に係る半導体パッケージは、薄板状の銅材等からなる金属板にプレス加工もしくはエッチング加工、あるいはこの両方の加工を施して形成されるリードフレームを用いて製造される。
リードフレーム1は、図1に示すように、半導体チップ3を配置するためのステージ部5と、ステージ部5の周囲に配された複数のリード7と、これらリード7を連結するダムバー(リード連結部)9とを備えている。
各リード7には、リードフレーム1の厚さ方向に貫通する貫通孔11が形成されており、これら貫通孔11は、リード7の配列方向に並べて配されている。これら貫通孔11は、プレス加工若しくはエッチング加工により形成されている。
また、図2に示すように、各リード7の厚さ方向の一端面7a(以下、裏面7aと呼ぶ。)には、2つの凹部13が形成されており、これら凹部13は、貫通孔11の形成位置よりもステージ部5側に近傍して配されている。また、各凹部13は、エッチング加工により平面視円形状に形成されており、リード7の厚さ方向に沿う側面8側に開口しないように形成されている。
リードフレーム1は、図1に示すように、半導体チップ3を配置するためのステージ部5と、ステージ部5の周囲に配された複数のリード7と、これらリード7を連結するダムバー(リード連結部)9とを備えている。
各リード7には、リードフレーム1の厚さ方向に貫通する貫通孔11が形成されており、これら貫通孔11は、リード7の配列方向に並べて配されている。これら貫通孔11は、プレス加工若しくはエッチング加工により形成されている。
また、図2に示すように、各リード7の厚さ方向の一端面7a(以下、裏面7aと呼ぶ。)には、2つの凹部13が形成されており、これら凹部13は、貫通孔11の形成位置よりもステージ部5側に近傍して配されている。また、各凹部13は、エッチング加工により平面視円形状に形成されており、リード7の厚さ方向に沿う側面8側に開口しないように形成されている。
このリードフレーム1を用いて半導体パッケージを製造する方法について、以下に説明する。
はじめに、ステージ部5の表面5aに半導体チップ3を接着すると共に、金属製のボンディングワイヤにより、半導体チップ3の各パッドとリード7とを電気的に接続する。なお、リード7にボンディングワイヤをボンディングする位置は、貫通孔11の形成位置からステージ部5側にずれた表面7bとなっている。
そして、このリードフレーム1を所定の金型内に配置し、この金型内に溶融樹脂を射出することにより、図3に示すように、半導体チップ3、ステージ部5、ボンディングワイヤ13、およびリード7のボンディング部分を一体的に固定する樹脂モールド部15が形成される。
はじめに、ステージ部5の表面5aに半導体チップ3を接着すると共に、金属製のボンディングワイヤにより、半導体チップ3の各パッドとリード7とを電気的に接続する。なお、リード7にボンディングワイヤをボンディングする位置は、貫通孔11の形成位置からステージ部5側にずれた表面7bとなっている。
そして、このリードフレーム1を所定の金型内に配置し、この金型内に溶融樹脂を射出することにより、図3に示すように、半導体チップ3、ステージ部5、ボンディングワイヤ13、およびリード7のボンディング部分を一体的に固定する樹脂モールド部15が形成される。
ここで、樹脂モールド部15の下面(一端面)15aは、各リード7の裏面7aと共に同一平面を形成している。また、樹脂モールド部15の厚さ方向に沿う側面15bは、後述するリード7の切断線Aに位置している、すなわち、リード7の長手方向(CD方向)に関する貫通孔11の長さ寸法が半分となる位置に形成されている。さらに、この樹脂モールド部15は、貫通孔11に樹脂が入り込まないように形成されている。
この樹脂モールド部15の形成後に、各リード7のうち樹脂モールド部15から外方に露出している表面7b、裏面7a、貫通孔11の内壁面11a、および凹部13の内壁面13aにめっきを施して、半田用のめっき膜17を形成する。
最後に、各リード7のうち樹脂モールド部15の側面から外方(D方向)に突出する突出部7c、およびダムバー9を切断線Aにおいて切り落とし、各リード7を互いに電気的に独立させて半導体パッケージの製造が終了する。
最後に、各リード7のうち樹脂モールド部15の側面から外方(D方向)に突出する突出部7c、およびダムバー9を切断線Aにおいて切り落とし、各リード7を互いに電気的に独立させて半導体パッケージの製造が終了する。
以上のように製造された半導体パッケージ30は、図4に示すように、リード7が樹脂モールド部15の側面15bから突出しないQFNである。この半導体パッケージ30において、外方に露出するリード7の厚さ方向に沿う側面7dは、前述した切断線Aにおいてリード7を切断して形成されるものである。この側面7dは、樹脂モールド部15の側面15bと同一平面を形成する切断面7eと、前述した貫通孔11の内壁面11aの一部である窪み面(めっき面)7fとから構成されている。この窪み面7fには、めっき膜17が形成されている。
この半導体パッケージ30を回路基板21に実装する際には、樹脂モールド部15の下面15aを回路基板21に対向させ、半田25により各リード7と回路基板21のランド部23とを互いに電気的に接続する。この状態においては、半田25が、リード7の裏面7a、窪み面7f、および凹部13の内壁面13aに接合する。
上記の半導体パッケージ30によれば、リード7の裏面7aの他に、側面7dの窪み面7f、および凹部13の内壁面13aにもめっき膜17が形成されているため、ぬれ性が向上し、リード7に対する半田25の付着面積が増加して、リード7と半田25との接合力を向上させることができる。
また、半導体パッケージ30を回路基板21に配置した状態では、窪み面7fに形成されためっき膜17が外方に露出しているため、目視検査によるリード7と半田25との接合状態の判定が容易となる。
また、半導体パッケージ30を回路基板21に配置した状態では、窪み面7fに形成されためっき膜17が外方に露出しているため、目視検査によるリード7と半田25との接合状態の判定が容易となる。
なお、上記の実施の形態においては、リード7の切断面7eが、樹脂モールド部15の側面15bと同一平面に位置するように形成されるとしたが、これに限ることはなく、例えば、図5に示すように、側面15bから外方に突出した位置に形成されるとしてもよい。この場合には、リード7の表面7bが外方に露出するため、この表面7bにもめっき膜17が残る。したがって、半導体パッケージ30を回路基板21に実装した際には、半田25をリード7の裏面7a、窪み面7fおよび凹部13の内壁面13aに加えて、リード7の表面7bにも接合させることができるため、リード7とランド部23との電気的な接続の信頼性の向上をさらに図ることができる。
ただし、この場合には、図6に示すように、貫通孔11を樹脂モールド部15の側面15bから外方に離れた位置に形成する、もしくは、側面15bから離れる方向に拡大して形成する必要がある。
また、リード7の切断位置は、リード7の長手方向に関する貫通孔11の長さ寸法の半分としたが、これに限ることはなく、貫通孔11を通過していればよい。
また、リード7の切断位置は、リード7の長手方向に関する貫通孔11の長さ寸法の半分としたが、これに限ることはなく、貫通孔11を通過していればよい。
さらに、貫通孔11は、各リード7に形成されるとしたが、これに限ることはなく、各リード7を連結するダムバー9に形成されるとしてもよい。
この場合には、例えば、図7に示すように、リードフレームの形成時に、貫通孔12をリード7の配列方向に沿って、かつ、複数のリード7わたって形成する。そして、貫通孔12の内壁面(表面)12aを含むリード7およびダムバー9にめっきを施した後に、切断線Bにおいてダムバー9を切断する。以上により、図8に示すように、各リード7を互いに電気的に独立させた半導体パッケージ31が製造される。
この半導体パッケージ31では、リード7の厚さ方向に沿う側面7gは、めっき膜17が形成されためっき面7hと、このめっき面7hに隣接した切断面7iとから構成されている。なお、このリード7の側面7gに隣接する表面7bにもめっきが施されている。
この場合には、例えば、図7に示すように、リードフレームの形成時に、貫通孔12をリード7の配列方向に沿って、かつ、複数のリード7わたって形成する。そして、貫通孔12の内壁面(表面)12aを含むリード7およびダムバー9にめっきを施した後に、切断線Bにおいてダムバー9を切断する。以上により、図8に示すように、各リード7を互いに電気的に独立させた半導体パッケージ31が製造される。
この半導体パッケージ31では、リード7の厚さ方向に沿う側面7gは、めっき膜17が形成されためっき面7hと、このめっき面7hに隣接した切断面7iとから構成されている。なお、このリード7の側面7gに隣接する表面7bにもめっきが施されている。
この場合には、各リード7に貫通孔11を形成する場合と比較して大きい貫通孔12が形成されるため、リード7のめっき面7hの面積を容易に増加できる。このため、リード7に対する半田の付着面積の増加をさらに図り、リード7と半田との接合力を確実に向上できる。
また、ダムバー9に複数のリード7にわたって1つの貫通孔12を形成するとしたが、これに限ることはなく、少なくとも各リード7を互いに電気的に独立させる切断線が通過する位置に貫通孔が形成されていればよい。したがって、例えば、隣り合う各リード7の間を通過する切断線Bにそれぞれ貫通孔を形成するとしてもよい。
さらに、リード7若しくはダムバー9に貫通孔11,12を形成するとしたが、目視検査によるリード7と半田との接合状態の判定を行わない場合には、特に形成する必要はなく、少なくとも、樹脂モールド部15の下面15a側に露出するリード7の裏面7aに凹部13が形成されていればよい。
また、図9に示すように、各リード7を電気的に独立させる切断線Aが通過する位置に、リード7の裏面7aから窪む凹部41を別途形成しても構わない。この凹部41は、切断線Aにおいてリード7を切断することにより、樹脂モールド部15の側面15b側から外方に開口することになる。
また、図9に示すように、各リード7を電気的に独立させる切断線Aが通過する位置に、リード7の裏面7aから窪む凹部41を別途形成しても構わない。この凹部41は、切断線Aにおいてリード7を切断することにより、樹脂モールド部15の側面15b側から外方に開口することになる。
さらに、リード7の裏面7aに凹部13を2つ形成するとしたが、これに限ることはなく、少なくとも1つ以上の凹部を形成すればよい。したがって、例えば、図10に示すように、1つの凹部42のみを形成するとしてもよい。なお、この凹部42は、樹脂モールド部15の下面15a側から見て、リード7の裏面7aの面積よりも小さければよい。
また、例えば、図11に示すように、この凹部42を樹脂モールド部15の側面15b側から外方に開口させるように形成しても構わない。この構成の場合には、回路基板のランド部表面にリード7の裏面7aを当接させても、凹部42の内壁面42aを外方から視認できるため、目視検査により外方からリード7と半田との接合状態を容易に判定できる。したがって、リード7と回路基板のランド部との電気的な接続の信頼性の向上を図ることができる。
また、例えば、図11に示すように、この凹部42を樹脂モールド部15の側面15b側から外方に開口させるように形成しても構わない。この構成の場合には、回路基板のランド部表面にリード7の裏面7aを当接させても、凹部42の内壁面42aを外方から視認できるため、目視検査により外方からリード7と半田との接合状態を容易に判定できる。したがって、リード7と回路基板のランド部との電気的な接続の信頼性の向上を図ることができる。
また、凹部13は、リード7の幅方向の2つの側面8に開口しないように形成されるとしたが、これに限ることはなく、例えば、図12に示すように、リード7の2つの側面8のみに開口する凹部43や、2つの側面8および樹脂モールド部15の側面から開口する凹部44や、一方の側面8および樹脂モールド部15の側面から開口する凹部45を形成するとしてもよい。この構成の場合には、樹脂モールド部15を形成する際に、これら凹部43〜45に樹脂が入り込まないように、例えば、金型の形状を変えればよい。
さらに、このような凹部13,41〜45を形成することに加えて、例えば、図13に示すように、凹部46の底面46aから突出する突起部47を複数形成するとしてもよい。この構成の場合には、リード7に対するめっきの付着面積がさらに増加するため、リード7と半田との接合力がさらに増し、リード7とランド部23との電気的な接続の信頼性向上をさらに図ることができる。
なお、これら突起部47の先端部は、少なくともリード7の裏面7aから突出していなければよく、また、突起部47は少なくとも1つ以上形成されていればよい。
なお、これら突起部47の先端部は、少なくともリード7の裏面7aから突出していなければよく、また、突起部47は少なくとも1つ以上形成されていればよい。
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
1・・・リードフレーム、3・・・半導体チップ、5・・・ステージ部、7・・・リード、7a・・・裏面(一端面)、9・・・ダムバー(リード連結部)、11,12・・・貫通孔、13,41〜46・・・凹部、15・・・樹脂モールド部、15a・・・下面(一端面)、15b・・・側面、30・・・半導体パッケージ、A,B・・・切断線
Claims (5)
- 板状に形成された樹脂モールド部の厚さ方向の一端面に露出する複数のリードを備えた半導体パッケージに適用し、
半導体チップを配置するためのステージ部と、その周囲に配される複数のリードと、これらリードを連結するリード連結部とを有する金属製薄板からなるリードフレームであって、
前記リードには、リードフレームの厚さ方向の一端面から窪んだ凹部が形成されていることを特徴とするリードフレーム。 - 前記リードもしくはリード連結部には、リードフレームの厚さ方向に貫通する貫通孔が形成され、
前記各リードを電気的に独立させるための切断線が、前記貫通孔を通過することを特徴とする請求項1に記載のリードフレーム。 - 前記貫通孔が、リード連結部に形成されている場合には、前記リードの配列方向に沿って、かつ、複数のリードにわたって形成されていることを特徴とする請求項2に記載のリードフレーム。
- 板状に形成された樹脂モールド部の厚さ方向の一端面に露出する複数のリードを備えた半導体パッケージであって、
前記樹脂モールド部の一端面から外方に露出する前記リードの一端面に、凹部が形成されていることを特徴とする半導体パッケージ。 - 前記リードが、前記樹脂モールド部の厚さ方向に沿う側面から外方に露出し、
前記凹部が、前記樹脂モールド部の側面から外方に開口することを特徴とする請求項4に記載の半導体パッケージ。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004372919A JP2006179760A (ja) | 2004-12-24 | 2004-12-24 | 半導体パッケージ、および、これに使用するリードフレーム |
TW094145670A TWI316290B (en) | 2004-12-24 | 2005-12-21 | Semiconductor package and lead frame therefor |
US11/312,597 US7397112B2 (en) | 2004-12-24 | 2005-12-21 | Semiconductor package and lead frame therefor |
CNB2005101338410A CN100505229C (zh) | 2004-12-24 | 2005-12-22 | 半导体封装和引导框架 |
KR1020050128903A KR100730826B1 (ko) | 2004-12-24 | 2005-12-23 | 반도체 패키지 및 그 리드 프레임 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004372919A JP2006179760A (ja) | 2004-12-24 | 2004-12-24 | 半導体パッケージ、および、これに使用するリードフレーム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006179760A true JP2006179760A (ja) | 2006-07-06 |
Family
ID=36610485
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004372919A Pending JP2006179760A (ja) | 2004-12-24 | 2004-12-24 | 半導体パッケージ、および、これに使用するリードフレーム |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7397112B2 (ja) |
JP (1) | JP2006179760A (ja) |
KR (1) | KR100730826B1 (ja) |
CN (1) | CN100505229C (ja) |
TW (1) | TWI316290B (ja) |
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JP2018200994A (ja) * | 2017-05-29 | 2018-12-20 | 大口マテリアル株式会社 | リードフレーム及びその製造方法 |
JP2019047061A (ja) * | 2017-09-06 | 2019-03-22 | 大日本印刷株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
US11894281B2 (en) | 2018-09-05 | 2024-02-06 | Rohm Co., Ltd. | Semiconductor device including lead with varying thickness |
JP2020202311A (ja) * | 2019-06-11 | 2020-12-17 | 株式会社デンソー | 半導体装置 |
JP7183964B2 (ja) | 2019-06-11 | 2022-12-06 | 株式会社デンソー | 半導体装置 |
CN111987002A (zh) * | 2020-09-04 | 2020-11-24 | 长电科技(滁州)有限公司 | 一种封装体成型方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI316290B (en) | 2009-10-21 |
US7397112B2 (en) | 2008-07-08 |
CN1812084A (zh) | 2006-08-02 |
CN100505229C (zh) | 2009-06-24 |
KR20060073519A (ko) | 2006-06-28 |
TW200623383A (en) | 2006-07-01 |
US20060138615A1 (en) | 2006-06-29 |
KR100730826B1 (ko) | 2007-06-20 |
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A621 | Written request for application examination |
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