JP2006068592A - 基板載置ステージ及び基板の吸着・剥離方法 - Google Patents
基板載置ステージ及び基板の吸着・剥離方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006068592A JP2006068592A JP2004252361A JP2004252361A JP2006068592A JP 2006068592 A JP2006068592 A JP 2006068592A JP 2004252361 A JP2004252361 A JP 2004252361A JP 2004252361 A JP2004252361 A JP 2004252361A JP 2006068592 A JP2006068592 A JP 2006068592A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- mounting stage
- substrate mounting
- suction
- ejection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 118
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 12
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C13/00—Means for manipulating or holding work, e.g. for separate articles
- B05C13/02—Means for manipulating or holding work, e.g. for separate articles for particular articles
Abstract
【課題】 ガラス基板などをエアを介在することなく水平に固定でき、しかも容易に剥離できる基板載置ステージを提供する。
【解決手段】 基板載置ステージ1は平面視で複数の同心状領域1a,1b,1c,1d,1eに分けられ、最中心部の領域1aに形成した吸引件噴出孔2…の密度を外側の領域1b〜1eの密度よりも高くしている。前記各孔2には吸引兼噴出用ノズル4が挿入され、このノズル4は基板載置ステージ1の背面側において配管に接続されている。各配管は図示しない切替弁を介して真空ポンプ或いはエアーラインに選択的につながっている。本発明では各領域毎に配管を配置し、各領域毎に吸引または噴出を制御できるようにしている。
【選択図】 図1
Description
また、図示していないが、チャック表面に格子状の溝を設け、この溝に吸引孔と噴出孔を兼ねる孔2を形成してもよい。
Claims (11)
- ガラス基板などの基板を載置固定する基板載置ステージにおいて、この基板載置ステージ上面には多数の真空源につながる吸引孔及び圧気源につながる噴出孔が形成され、また基板載置ステージは平面視で複数の同心状領域に分けられ、これら各領域毎に前記吸引孔を介した吸引及び噴出孔を介した噴出が独立して行なわれることを特徴とする基板載置ステージ。
- 請求項1に記載の基板載置ステージにおいて、前記吸引孔及び噴出孔は同一の孔を共用することを特徴とする基板載置ステージ。
- 請求項1または請求項2に記載の基板載置ステージにおいて、前記複数の同心状領域のうち最中心部の領域の全部または一部における吸引孔及び噴出孔の間隔は外側の領域の吸引孔及び噴出孔の間隔よりも緻密に形成されていることを特徴とする基板載置ステージ。
- ガラス基板などの基板を載置固定する基板載置ステージにおいてこの基板載置ステージ上面には多数の溝が切ってあり、前記溝には多数の真空源につながる吸引孔及び圧気源につながる噴出孔が形成され、また基板載置ステージは平面視で複数の同心状領域に分けられ、これら各領域毎に前記溝に形成された前記吸引孔を介した吸引及び噴出孔を介した噴出が独立して行われることを特徴とする基板載置ステージ。
- 請求項4に記載の基板載置ステージにおいて、前記溝は格子状であり、前記複数の同心状領域のうち中心部の領域の溝の間隔は、外側の領域の溝の間隔よりも細密に形成されていることを特徴とする基板載置ステージ。
- 請求項4又は請求項5に記載の基板載置ステージにおいて、前記溝の寸法は1.0mm×1.0mm以下であることを特徴とする基板載置ステージ。
- 請求項1乃至請求項6に記載の基板載置ステージにおいて、この基板載置ステージにはリフトピンが挿通する複数の貫通孔が形成され、中心部に近いリフトピンよりも外側のリフトピンの高さを高くし、基板を中央部が撓んだ状態で支持することを特徴とする基板載置ステージ。
- 請求項1乃至請求項7に記載の基板載置ステージを用いた基板の吸着方法において、先ず基板載置ステージの複数の同心状領域のうち最中心部の領域の吸引孔によって基板を吸着した後、順次外側の同心状領域の吸引孔によって吸着するようにしたことを特徴とする基板の吸着方法。
- 請求項8に記載の基板の吸着方法において、複数の同心状領域の全てで基板を吸着した後、外側の領域による吸着状態を維持したまま最中心部領域の吸着状態を解除することを特徴とする基板の吸着方法。
- 請求項8又は請求項9に記載の基板の吸着方法において、中心部の領域で基板を吸着する圧力よりも外側領域で基板を吸着する圧力の方が低いことを特徴とする基板の吸着方法。
- 請求項1乃至請求項7に記載の基板載置ステージから基板を剥離する方法において、先ず基板載置ステージの複数の同心状領域のうち最中心部の領域の噴出孔から気体を噴出した後、順次外側の同心状領域の噴出孔から気体を噴出するようにしたことを特徴とする基板の剥離方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004252361A JP4443353B2 (ja) | 2004-08-31 | 2004-08-31 | 基板載置ステージ及び基板の吸着・剥離方法 |
TW094129776A TWI404574B (zh) | 2004-08-31 | 2005-08-30 | 基板載置平台及基板的吸附‧剝離方法 |
CNB2005100976734A CN100553797C (zh) | 2004-08-31 | 2005-08-31 | 基板载置台及基板的吸附、剥离方法 |
KR20050080570A KR101488933B1 (ko) | 2004-08-31 | 2005-08-31 | 기판 설치 스테이지 및 기판의 흡착 및 박리 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004252361A JP4443353B2 (ja) | 2004-08-31 | 2004-08-31 | 基板載置ステージ及び基板の吸着・剥離方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006068592A true JP2006068592A (ja) | 2006-03-16 |
JP4443353B2 JP4443353B2 (ja) | 2010-03-31 |
Family
ID=36149751
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004252361A Active JP4443353B2 (ja) | 2004-08-31 | 2004-08-31 | 基板載置ステージ及び基板の吸着・剥離方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4443353B2 (ja) |
KR (1) | KR101488933B1 (ja) |
CN (1) | CN100553797C (ja) |
TW (1) | TWI404574B (ja) |
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008041761A (ja) * | 2006-08-02 | 2008-02-21 | Sekisui Chem Co Ltd | 被処理物の処理後剥離方法及び設置装置 |
JP2009059778A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-03-19 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 基板保持装置、基板処理装置および基板処理方法 |
JP2009061568A (ja) * | 2007-09-10 | 2009-03-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 板状物加工用トレイおよび加工装置 |
JP2009112985A (ja) * | 2007-11-08 | 2009-05-28 | Toray Eng Co Ltd | 塗布装置及び塗布方法 |
JP2009123857A (ja) * | 2007-11-14 | 2009-06-04 | Toppan Printing Co Ltd | 着色フォトレジストの塗布方法及び塗布装置 |
JP2009285649A (ja) * | 2008-04-30 | 2009-12-10 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 枚葉シートの塗布方法 |
JP2010088958A (ja) * | 2008-10-03 | 2010-04-22 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 枚葉シートの塗布方法 |
KR101028685B1 (ko) * | 2007-08-30 | 2011-04-12 | 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤 | 도포 장치 및 도포 방법 |
JP2011093081A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Sun Yueh Way | 吸着装置 |
JP2012119591A (ja) * | 2010-12-02 | 2012-06-21 | Fuji Electric Co Ltd | 吸着装置および吸着方法 |
KR101315497B1 (ko) * | 2011-12-27 | 2013-10-07 | 주식회사 나래나노텍 | 개선된 기판 분리 장치 및 방법, 및 이를 구비한 코팅 장치 |
JP2014033005A (ja) * | 2012-08-01 | 2014-02-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハ貼着装置 |
JP2014185022A (ja) * | 2013-03-25 | 2014-10-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 剥離装置および剥離方法 |
JP2015171764A (ja) * | 2014-03-11 | 2015-10-01 | セムコ株式会社 | 被彫刻媒体固定構造 |
WO2016068050A1 (ja) * | 2014-10-29 | 2016-05-06 | 旭硝子株式会社 | 基板の吸着装置及び基板の貼合装置及び貼合方法並びに電子デバイスの製造方法 |
JP2020066151A (ja) * | 2018-10-23 | 2020-04-30 | 株式会社平安コーポレーション | 木材加工機の吸着テーブル |
JP2021011373A (ja) * | 2019-07-09 | 2021-02-04 | シチズン時計株式会社 | エアー浮上装置 |
CN112693896A (zh) * | 2020-12-22 | 2021-04-23 | 苏州科韵激光科技有限公司 | 一种显示面板玻璃载台 |
CN113387132A (zh) * | 2021-05-12 | 2021-09-14 | 合肥欣奕华智能机器有限公司 | 一种基板作业平台及基板作业平台的控制方法 |
WO2023120145A1 (ja) * | 2021-12-21 | 2023-06-29 | 東レエンジニアリング株式会社 | 塗布装置及び塗布方法 |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100437262C (zh) * | 2006-11-10 | 2008-11-26 | 友达光电股份有限公司 | 真空承载设备 |
KR100832802B1 (ko) * | 2006-11-27 | 2008-05-27 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 그의 구동 방법 |
KR100833287B1 (ko) * | 2007-03-27 | 2008-05-28 | 세크론 주식회사 | 반도체소자 몰딩장치 |
JP4214265B2 (ja) * | 2007-05-23 | 2009-01-28 | レーザーテック株式会社 | 光学測定装置、及び基板保持装置 |
JP2009130008A (ja) * | 2007-11-21 | 2009-06-11 | Toray Eng Co Ltd | 塗布装置及びその基板保持方法 |
JP5276338B2 (ja) * | 2008-02-27 | 2013-08-28 | 東レエンジニアリング株式会社 | 塗布装置 |
KR101796593B1 (ko) * | 2010-12-30 | 2017-11-10 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장치 |
CN102179881A (zh) * | 2011-04-01 | 2011-09-14 | 石金精密科技(深圳)有限公司 | 平面薄板吸附固定系统 |
US8685833B2 (en) * | 2012-04-02 | 2014-04-01 | International Business Machines Corporation | Stress reduction means for warp control of substrates through clamping |
KR101382103B1 (ko) * | 2012-07-09 | 2014-04-09 | 최재원 | 액정표시장치의 리페어 장치 |
KR101821636B1 (ko) * | 2013-08-28 | 2018-03-08 | 에이피시스템 주식회사 | 기판 안착 장치 |
TW201509544A (zh) * | 2013-09-05 | 2015-03-16 | Rich Chen Automatically Controlled Co Ltd | 基板塗佈裝置及塗佈方法 |
CN103594409A (zh) * | 2013-10-23 | 2014-02-19 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种批量硅片吸持装置 |
CN105277868B (zh) * | 2014-07-11 | 2018-06-26 | 致茂电子(苏州)有限公司 | 测试装置 |
CN105628068A (zh) * | 2014-10-30 | 2016-06-01 | 宁波舜宇光电信息有限公司 | 一种防止测量偏差的治具及其制造方法 |
KR101854880B1 (ko) * | 2016-06-28 | 2018-05-04 | 주식회사 휴템 | 실리콘 기판 직접 접합 방법, 그 장치, 및 실리콘 기판 직접 접합 장치의 정렬부 검증 방법 |
CN107686007B (zh) * | 2017-08-16 | 2019-08-20 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 玻璃基板分离方法及玻璃基板分离装置 |
US10374161B2 (en) | 2017-08-16 | 2019-08-06 | Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. | Glass substrate separation method and glass substrate separation device |
JP7210896B2 (ja) * | 2018-04-23 | 2023-01-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板載置装置及び基板載置方法 |
KR102462844B1 (ko) * | 2020-12-22 | 2022-11-04 | 주식회사 셀코스 | 반도체 칩 전사 장치 및 이를 이용한 반도체 칩 전사 방법 |
JP7456399B2 (ja) * | 2021-02-12 | 2024-03-27 | 株式会社村田製作所 | シート搬送装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2991110B2 (ja) * | 1996-05-01 | 1999-12-20 | 日本電気株式会社 | 基板吸着保持装置 |
JP2002134597A (ja) * | 2000-10-27 | 2002-05-10 | Ushio Inc | ステージ装置 |
JP2003188246A (ja) * | 2001-12-18 | 2003-07-04 | Nikon Corp | 基板の吸着方法および基板の吸着装置 |
TW593087B (en) * | 2003-05-30 | 2004-06-21 | Au Optronics Corp | Turnover carrier platform |
-
2004
- 2004-08-31 JP JP2004252361A patent/JP4443353B2/ja active Active
-
2005
- 2005-08-30 TW TW094129776A patent/TWI404574B/zh active
- 2005-08-31 KR KR20050080570A patent/KR101488933B1/ko active IP Right Grant
- 2005-08-31 CN CNB2005100976734A patent/CN100553797C/zh active Active
Cited By (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008041761A (ja) * | 2006-08-02 | 2008-02-21 | Sekisui Chem Co Ltd | 被処理物の処理後剥離方法及び設置装置 |
KR101028685B1 (ko) * | 2007-08-30 | 2011-04-12 | 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤 | 도포 장치 및 도포 방법 |
JP2009059778A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-03-19 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 基板保持装置、基板処理装置および基板処理方法 |
JP2009061568A (ja) * | 2007-09-10 | 2009-03-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 板状物加工用トレイおよび加工装置 |
JP2009112985A (ja) * | 2007-11-08 | 2009-05-28 | Toray Eng Co Ltd | 塗布装置及び塗布方法 |
JP2009123857A (ja) * | 2007-11-14 | 2009-06-04 | Toppan Printing Co Ltd | 着色フォトレジストの塗布方法及び塗布装置 |
JP2009285649A (ja) * | 2008-04-30 | 2009-12-10 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 枚葉シートの塗布方法 |
JP2010088958A (ja) * | 2008-10-03 | 2010-04-22 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 枚葉シートの塗布方法 |
JP2011093081A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Sun Yueh Way | 吸着装置 |
JP2012119591A (ja) * | 2010-12-02 | 2012-06-21 | Fuji Electric Co Ltd | 吸着装置および吸着方法 |
US9233455B2 (en) | 2010-12-02 | 2016-01-12 | Fuji Electric Co., Ltd. | Chucking device and chucking method |
KR101315497B1 (ko) * | 2011-12-27 | 2013-10-07 | 주식회사 나래나노텍 | 개선된 기판 분리 장치 및 방법, 및 이를 구비한 코팅 장치 |
JP2014033005A (ja) * | 2012-08-01 | 2014-02-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハ貼着装置 |
JP2014185022A (ja) * | 2013-03-25 | 2014-10-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 剥離装置および剥離方法 |
JP2015171764A (ja) * | 2014-03-11 | 2015-10-01 | セムコ株式会社 | 被彫刻媒体固定構造 |
WO2016068050A1 (ja) * | 2014-10-29 | 2016-05-06 | 旭硝子株式会社 | 基板の吸着装置及び基板の貼合装置及び貼合方法並びに電子デバイスの製造方法 |
JPWO2016068050A1 (ja) * | 2014-10-29 | 2017-08-10 | 旭硝子株式会社 | 基板の吸着装置及び基板の貼合装置及び貼合方法並びに電子デバイスの製造方法 |
US20170266943A1 (en) * | 2014-10-29 | 2017-09-21 | Asahi Glass Company, Limited | Substrate suction device, substrate bonding device, substrate bonding method, and electronic device manufacturing method |
JP2020066151A (ja) * | 2018-10-23 | 2020-04-30 | 株式会社平安コーポレーション | 木材加工機の吸着テーブル |
JP7161185B2 (ja) | 2018-10-23 | 2022-10-26 | 株式会社平安コーポレーション | 木材加工機の吸着テーブル |
JP2021011373A (ja) * | 2019-07-09 | 2021-02-04 | シチズン時計株式会社 | エアー浮上装置 |
CN112693896A (zh) * | 2020-12-22 | 2021-04-23 | 苏州科韵激光科技有限公司 | 一种显示面板玻璃载台 |
CN113387132A (zh) * | 2021-05-12 | 2021-09-14 | 合肥欣奕华智能机器有限公司 | 一种基板作业平台及基板作业平台的控制方法 |
CN113387132B (zh) * | 2021-05-12 | 2023-09-12 | 合肥欣奕华智能机器股份有限公司 | 一种基板作业平台及基板作业平台的控制方法 |
WO2023120145A1 (ja) * | 2021-12-21 | 2023-06-29 | 東レエンジニアリング株式会社 | 塗布装置及び塗布方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200618868A (en) | 2006-06-16 |
TWI404574B (zh) | 2013-08-11 |
CN100553797C (zh) | 2009-10-28 |
KR20060050860A (ko) | 2006-05-19 |
KR101488933B1 (ko) | 2015-02-03 |
CN1754629A (zh) | 2006-04-05 |
JP4443353B2 (ja) | 2010-03-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4443353B2 (ja) | 基板載置ステージ及び基板の吸着・剥離方法 | |
KR101596461B1 (ko) | 칩 디테칭 장치 및 칩 디테칭 방법 | |
JP5307970B2 (ja) | 大型ガラス基板の剥離方法及びその装置 | |
KR20030045653A (ko) | 흡착유지장치 | |
JP2012182330A (ja) | ダイピックアップ装置 | |
JP2991110B2 (ja) | 基板吸着保持装置 | |
JPWO2005029574A1 (ja) | コレット、ダイボンダおよびチップのピックアップ方法 | |
JP2006319150A (ja) | 半導体チップのピックアップ装置および半導体チップのピックアップ方法 | |
JP2006216583A (ja) | 静電気除去方法および基板処理装置 | |
JP2013098569A (ja) | ノズルユニット、基板処理装置、及び基板処理方法 | |
JP2009170761A (ja) | 基板体の貼着装置及び基板体の取り扱い方法 | |
JP2012174742A (ja) | ダイピックアップ装置 | |
JP2006005030A (ja) | 半導体チップのピックアップ方法および装置 | |
JP2007090322A (ja) | ディスペンサステージのガラス吸着構造 | |
JP2007173458A (ja) | ガイド機構 | |
JP2009071195A (ja) | 半導体製造装置及び半導体製造方法 | |
JP4921789B2 (ja) | 露光方法および露光装置 | |
JPH0371261B2 (ja) | ||
JP2005268270A (ja) | 液晶ガラス基板用載置台およびこれを用いた液晶ガラス基板のクリーニング装置 | |
TW201406470A (zh) | 吸附平台 | |
TW202226330A (zh) | 電子裝置積層體之透明基材之洗淨台、洗淨裝置及洗淨方法 | |
JP5356061B2 (ja) | 剥離装置及び剥離方法 | |
JP2010087359A (ja) | ピックアップ装置 | |
JP2006000748A (ja) | 基板端縁部被膜の除去装置 | |
JP2006294763A (ja) | 半導体素子のピックアップ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070720 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091027 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091217 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100112 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100112 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4443353 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130122 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130122 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140122 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |