JP2005527966A5

JP2005527966A5 -

Info

Publication number: JP2005527966A5
Application number: JP2003525893A
Authority: JP
Filing date: 2002-08-30
Publication date: 2009-01-22
Anticipated expiration: 2022-08-30

Claims

半導体加工物を移動させるウェーハエンジン（３００）であって、
キャリジ（３０４）を含む直線駆動組立体（３０２）を有し、前記直線駆動組立体（３０２）は、前記キャリジ（３０４）を、第１の位置と第２の位置との間で第１の直線経路に沿って移動させるようになっており、前記第１の直線経路は、ｘ軸を定めており、
さらに、第１の端部、第２の端部、及び、長手方向中心軸線を備えた支持コラム（３６４）を有し、前記支持コラム（３６４）は、前記キャリジ（３０４）に取り付けられ、前記支持コラム（３６４）は、前記ｘ軸に沿って移動できるようになっており、
さらに、前記キャリジ（３０４）に取り付けられた回転駆動装置（３５０）を有し、前記回転駆動装置（３５０）は、前記支持コラム（３６４）を前記長手方向中心軸線回りに回転させるために、前記支持コラム（３６４）の前記第１の端部に取り付けられるようになっており、前記長手方向中心軸線は、実質的に垂直なシータ軸を定めており、
さらに、第１の端部、及び、第２の端部を備えた支持部材（３７０）から上方に延びる垂直方向駆動装置コラム（３８０）を有し、前記支持部材（３７０）の前記第１の端部は、前記回転駆動装置（３５０）が前記支持部材（３７０）及び前記垂直方向駆動装置コラム（３８０）を回転させるように前記支持コラム（３６４）の前記第２の端部に取り付けられ、
さらに、前記垂直方向駆動装置コラム（３８０）内を第１の位置と第２の位置との間で第２の直線経路に沿って垂直方向に移動するようになった機構（３８４）を含むｚ軸駆動装置組立体（３８２）を有し、
さらに、前記機構（３８４）に取り付けられたスライダ本体（４００）を有し、前記スライダ本体（４００）は、エンドエフェクタ（４０４、４０２）を、第１の位置と第２の位置との間で第３の直線経路に沿って移動させるようになったラジアル駆動装置（４１０）を実質的に包囲し、前記第３の直線経路は、前記第２の直線経路に直交する軸線を定める、
ことを特徴とするウェーハエンジン（３００）。
前記回転駆動装置（３５０）は、前記垂直方向駆動装置コラム（３８０）、及び、前記スライダ本体（４００）を、前記シータ軸回りに同時に回転させることを特徴とする、請求項１に記載のウェーハエンジン（３００）。
前記回転駆動装置（３５０）に取り付けられたファンプラットフォーム（３５２）は、排気装置（３５４）を有することを特徴とする、請求項１に記載のウェーハエンジン（３００）。
前記排気装置（３５４）は、前記垂直方向駆動装置コラム（３８０）内の空気を引き込んで、前記排気装置（３５４）から空気を抜き出すことを特徴とする、請求項３に記載のウェーハエンジン（３００）。
前記スライダ本体（４００）は、前記ｚ軸駆動装置組立体（３８２）に取外し可能に取り付けられていることを特徴とする、請求項１に記載のウェーハエンジン（３００）。
前記スライダ本体（４００）は、（ｉ）ＩＤリーダ、（ｉｉ）計測ツール、（ｉｉｉ）アライナ、（ｉｖ）ノッチ検出器、（ｖ）エッジ検出器、（ｖｉ）ウェーハマーキングツール、（ｖｉｉ）処理モジュール、（ｖｉｉｉ）ウェーハ視認手段、及び、（ｉｘ）環境制御装置から成る群から選択された少なくとも１つのコンポーネントを有していることを特徴とする、請求項５に記載のウェーハエンジン（３００）。
前記スライダ本体（４００）は、前記スライダ本体（４００）に取り付けられたファン／フィルタユニット（４２０）を有し、前記ファン／フィルタユニット（４２０）は、前記スライダ本体（４００）内に空気を引き込み、前記ファン／フィルタユニット（４２０）から空気を抜き出す前に、前記空気を濾過するようになっており、前記ファン／フィルタユニット（４２０）は、前記半導体加工物を取り囲む空気流を局所濾過するようになっていることを特徴とする、請求項１に記載のウェーハエンジン（３００）。