JP2005197644A - 半導体素子及びその素子分離方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコン基板に形成され、複数の微細トレンチの側壁となる少なくとも一つのシリコン柱をトレンチの下部に含むトレンチと、前記複数の微細トレンチの内部に埋め込まれた素子分離絶縁膜とを備え、シリコン柱を含むことによりリーク電流発生を抑制し、微細トレンチに空洞を形成して素子のRC遅延を減少させる。
【選択図】図5
Description
素子分離方法として最も広く知られた方法はLOCOS(Local Oxidation of Silicon;LOCOS)技術と、STI技術である。
LOCOS技術は素子が形成される活性領域の基板上に窒化膜マスクパターンを形成し、これをマスクとしてシリコン基板を熱酸化させる方法であって、酸化膜の面積が比較的大きいことや、境界面に発生するバーズビーク(bird’s beak)等の問題のため、高集積素子に適用するのには限界がある。
したがって、最近の高集積メモリ素子等では基板に深さの浅いトレンチを形成し、このトレンチに酸化膜を埋め込んで素子分離領域を形成するSTI技術が適用されている。
図1に示すように、シリコン等の半導体基板10上に酸化膜11及び窒化膜12を順次蒸着した後、素子分離マスク及びエッチング工程で窒化膜12及び酸化膜11をパターニングして基板10の素子分離領域を露出させる。
ここで、酸化膜11は基板10と窒化膜12との直接接触によるストレスを防止するためのバッファ層として作用し、窒化膜12はトレンチエッチングマスク及び後続する工程である化学機械研磨(Chemical Mechanical Polishing;CMP)工程の際エッチング停止膜として作用する。
次いで、図3に示すようにウェットエッチングによって窒化膜12を除去する。
しかし、STIも限界に少しずつ近づきつつあり、トレンチ素子分離はやはりその具現が難しくなっている。特に素子分離溝の内部はCVDによる酸化膜等の絶縁膜で満たさなければならないが、素子分離の幅が狭くなるに従ってトレンチを絶縁膜で埋め込むことが従来のように容易ではなくなり、現在の技術の延長線の技術だけでトレンチに酸化膜を埋め込むことは殆ど限界に達しているといっても過言ではない。
しかし、図4に示す素子分離構造は、素子と素子との間の分離長(例えば、素子分離膜とシリコン基板とが接する界面の長さ)が限定されているためより微細な素子分離構造を要求する超高集積素子では、素子分離膜の側壁に沿ってリーク電流が発生する。
また、図4に示す素子分離膜を形成するための製造工程側面から見れば、トレンチ内にポリシリコンを埋め込むためのエッチバック工程が行われるが、このエッチバック工程後にパッド窒化膜の側壁にポリシリコン残留物が発生し、素子特性を低下させる。また、エッチバックされた後のポリシリコン上部に酸化膜を形成しなければならず、この酸化膜を形成するために熱酸化を行わなければならないので、熱酸化の際に基板が激しいストレスを受けるようになる。
Yongjik Park, and Kinam Kim,Tech. Digest of IEDM, pp391−394(2001)
本発明の他の目的は、製造工程でアスペクト比が大きいトレンチ内に容易に素子分離絶縁膜を埋め込み、電界遮蔽のためのシリコンをトレンチ内にエッチバック無しで形成でき、パッド窒化膜側壁のシリコン残留物の生成を防止し、熱酸化によるストレスの発生を防止する半導体素子の素子分離方法を提供することにある。
このように、素子分離構造が微細なトレンチの間にシリコン柱が存在する構造であれば、電界遮蔽効果を有しながら、図4の従来技術比較して、素子と素子との間の分離長が大きいため、素子分離絶縁膜の側壁に沿って流れるリーク電流を抑制できる。すなわち、微細な素子分離構造を要求する超高集積素子の限定された面積において、電界遮蔽及びリーク電流抑制の効果を得ることができる。
前記微細なトレンチには、前記素子分離絶縁膜が埋め込まれていない、少なくとも一つの空洞が形成される。空洞はキャパシタンスが非常に小さいため、RC遅延を誘発するキャパシタンスの減少効果を得られる。
前記素子分離絶縁膜を埋め込むステップは、前記第1及び第2トレンチのシリコン基板表面に熱酸化による第1酸化膜を形成するステップと、第1酸化膜が形成された基板の全体構造上に化学気相蒸着によって第2酸化膜を形成するステップと、前記パッド絶縁膜が露出するように基板全面を化学機械研磨するステップと、前記パッド絶縁膜を除去するステップを含む。前記第2酸化膜の化学気相蒸着の際、前記第2トレンチ内に空洞を形成することが好ましい。
図5は本発明に係る素子分離構造の一例を示す断面図である。
図5に示すように、シリコン基板301の素子分離領域にトレンチTが形成され、トレンチT下部には複数のシリコン柱320Aが形成されている。シリコン柱320Aの表面を含むトレンチT内部には、第1酸化膜303が形成された後、第2酸化膜304がトレンチに埋め込まれる。第1酸化膜303は熱酸化膜であり、第2酸化膜304はCVD酸化膜である。
また図5に示すように、第2トレンチT2はその幅が非常に微細で酸化膜304が完全に埋め込まれず空洞(Cavity、「C」)が形成される。この空洞はキャパシタンスが非常に小さいため、RC遅延を誘発するキャパシタンスの減少効果を得ることができる。空洞(Cavity、「C」)は複数個の第2トレンチT2の中で一部にだけ形成され、残りの一部には形成されないこともある。また、第2トレンチT2は完全に埋め込まれなくてもよいため、図4の従来技術と比較してトレンチTに第2酸化膜304を埋め込むことが容易であるという効果がある。
図6はシリコン基板401上部にトレンチエッチングのためのエッチングマスク及びCMP時のエッチング停止のためのバッファ酸化膜402とパッド窒化膜403を形成した状態である。
バッファ酸化膜402はシリコン基板401とパッド窒化膜403との直接接触によるストレス発生を抑制する機能をする。本実施の形態では、単一層のバッファ酸化膜402を単一層に形成したが、これ以外にもポリシリコン/酸化膜の積層構造が可能であり、窒化酸化膜の使用も可能である。そして、バッファ酸化膜402は省略することもできる。基板401はシリコンウェーハ以外にシリコンエピタキシャル層等をその他のシリコン層とすることができる。
尚、本発明は、本実施の形態に限られるものではない。本発明の技術的思想から逸脱しない範囲内で多様に変更実施することが可能である。
320A シリコン柱
303 熱酸化膜
304 CVD酸化膜
C 空洞(Cavity)
T トレンチ
Claims (10)
- シリコン基板に形成され、複数の微細トレンチの側壁となる少なくとも一つのシリコン柱をトレンチの下部に含むトレンチと、
前記複数の微細トレンチの内部に埋め込まれた素子分離絶縁膜と、
を備えることを特徴とする半導体素子。 - 前記微細なトレンチには、前記素子分離絶縁膜の埋め込みのない、少なくとも一つの空洞が形成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子。
- 前記素子分離絶縁膜は化学気相蒸着(CVD)による酸化膜を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子。
- 素子分離領域のシリコン基板をエッチングして第1トレンチを形成するステップと、
前記第1トレンチ底面の前記シリコン基板を微細に複数箇所エッチングし、第2トレンチを形成するステップと、
前記第1及び第2トレンチ内に素子分離絶縁膜を埋め込むステップと
を含むことを特徴とする半導体素子の素子分離方法。 - 前記第2トレンチを形成するステップは、
第1トレンチ底面のシリコンとエッチング選択比を有するエッチングマスク層を形成するステップと、
前記エッチングマスク層上にHSGを形成するステップと、
前記HSGをマスクとして、前記エッチングマスク層をエッチングしてパターニングするステップと、
前記パターニングされたエッチングマスクをマスクとして、前記第1トレンチ底面の前記シリコン基板をエッチングするステップと
を含むことを特徴とする請求項4に記載の半導体素子の素子分離方法 - 前記エッチングマスク層は熱酸化による酸化膜であることを特徴とする請求項5に記載の半導体素子の素子分離方法。
- 前記第1トレンチを形成するステップは、
シリコン基板上にパッド絶縁膜を形成するステップと、
前記パッド絶縁膜上に素子分離マスクを用いたフォトリソグラフィ工程によりフォトレジストパターンを形成するステップと、
前記フォトレジストパターンをマスクとして、前記パッド絶縁膜と前記シリコン基板をエッチングして前記第1トレンチを形成するステップと、
前記フォトレジストパターンをストリップするステップと、
を含むことを特徴とする請求項5に記載の半導体素子の素子分離方法。 - 前記パッド絶縁膜はバッファ酸化膜とパッド窒化膜を積層して形成することを特徴とする請求項7に記載の半導体素子の素子分離方法。
- 前記素子分離絶縁膜を埋め込むステップは、
前記第1及び第2トレンチのシリコン基板表面に熱酸化による第1酸化膜を形成するステップと、
第1酸化膜が形成された基板の全体構造上に化学気相蒸着によって第2酸化膜を形成するステップと、
前記パッド絶縁膜が露出するように基板全面を化学機械研磨するステップと、
前記パッド絶縁膜を除去するステップを含むことを特徴とする請求項7に記載の半導体素子の素子分離方法。 - 前記第2酸化膜の化学気相蒸着の際、前記第2トレンチ内に少なくとも一つの空洞を形成することを特徴とする請求項9に記載の半導体素子の素子分離方法。
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