JP2004511651A5 - ニオブスパッタ要素、ニオブ金属およびそれを含む物品 - Google Patents
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Description
【特許請求の範囲】
【請求項１】 ニオブスパッタ要素であって、２５μｍ以下の平均粒径を有し、当該要素の厚さにわたって１次の（１１１）型または混合（１１１）型の均一組織を有するニオブスパッタ要素。
【請求項２】 前記ニオブスパッタ要素が、５０ｐｐｍ以下の金属不純物を有する請求項１記載のニオブスパッタ要素。
【請求項３】 １００ｐｐｍ以下の金属不純物を有する請求項１記載のニオブスパッタ要素。
【請求項４】 実質的に（１００）組織バンドのない請求項１記載のニオブスパッタ要素。
【請求項５】 タンタル、モリブデンおよびタングステンの合計量が１００ｐｐｍ未満である請求項１記載のニオブスパッタ要素。
【請求項６】 タンタル、モリブデンおよびタングステンの合計量が１０ｐｐｍ未満である請求項１記載のニオブスパッタ要素。
【請求項７】 １００ｐｐｍ以下の金属不純物および１５０μｍ以下の平均粒径を有するニオブ金属であって、当該金属は、
ａ）（１００）極図形が、任意の５％増加厚さ内で、０〜５ランダムの中央ピーク強度を有する組織；および
ｂ）同じ増加厚さ内で、−１．５〜７または−３〜５の（１１１）：（１００）中央ピーク強度の自然対数比
を有する。
【請求項８】 前記金属が、十分に再結晶化されている請求項７記載のニオブ金属。
【請求項９】 前記金属の８０％以上が、再結晶化されている請求項７記載のニオブ金属。
【請求項１０】 ５０μｍ以下の平均粒径を有する請求項７記載のニオブ金属。
【請求項１１】 純度９９．９９５％〜９９．９９９％を有する請求項７記載のニオブ金属。
【請求項１２】 平均粒径１０〜１００μｍを有する請求項７記載のニオブ金属。
【請求項１３】 前記金属が、前記ニオブ金属の厚さにわたって１次の（１１１）型組織を有する請求項７記載のニオブ金属。
【請求項１４】 前記金属が、前記ニオブ金属の厚さ内に（１００）組織バンドがない請求項１３記載のニオブ金属。
【請求項１５】 スパッタターゲット、キャパシタおよびキャパシタかんから選ばれる、請求項７〜１４のいずれか一項に記載のニオブ金属を含む物品。
【請求項１】 ニオブスパッタ要素であって、２５μｍ以下の平均粒径を有し、当該要素の厚さにわたって１次の（１１１）型または混合（１１１）型の均一組織を有するニオブスパッタ要素。
【請求項２】 前記ニオブスパッタ要素が、５０ｐｐｍ以下の金属不純物を有する請求項１記載のニオブスパッタ要素。
【請求項３】 １００ｐｐｍ以下の金属不純物を有する請求項１記載のニオブスパッタ要素。
【請求項４】 実質的に（１００）組織バンドのない請求項１記載のニオブスパッタ要素。
【請求項５】 タンタル、モリブデンおよびタングステンの合計量が１００ｐｐｍ未満である請求項１記載のニオブスパッタ要素。
【請求項６】 タンタル、モリブデンおよびタングステンの合計量が１０ｐｐｍ未満である請求項１記載のニオブスパッタ要素。
【請求項７】 １００ｐｐｍ以下の金属不純物および１５０μｍ以下の平均粒径を有するニオブ金属であって、当該金属は、
ａ）（１００）極図形が、任意の５％増加厚さ内で、０〜５ランダムの中央ピーク強度を有する組織；および
ｂ）同じ増加厚さ内で、−１．５〜７または−３〜５の（１１１）：（１００）中央ピーク強度の自然対数比
を有する。
【請求項８】 前記金属が、十分に再結晶化されている請求項７記載のニオブ金属。
【請求項９】 前記金属の８０％以上が、再結晶化されている請求項７記載のニオブ金属。
【請求項１０】 ５０μｍ以下の平均粒径を有する請求項７記載のニオブ金属。
【請求項１１】 純度９９．９９５％〜９９．９９９％を有する請求項７記載のニオブ金属。
【請求項１２】 平均粒径１０〜１００μｍを有する請求項７記載のニオブ金属。
【請求項１３】 前記金属が、前記ニオブ金属の厚さにわたって１次の（１１１）型組織を有する請求項７記載のニオブ金属。
【請求項１４】 前記金属が、前記ニオブ金属の厚さ内に（１００）組織バンドがない請求項１３記載のニオブ金属。
【請求項１５】 スパッタターゲット、キャパシタおよびキャパシタかんから選ばれる、請求項７〜１４のいずれか一項に記載のニオブ金属を含む物品。
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