JP3852967B2 - 低圧スパッタリング装置 - Google Patents
低圧スパッタリング装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3852967B2 JP3852967B2 JP17882295A JP17882295A JP3852967B2 JP 3852967 B2 JP3852967 B2 JP 3852967B2 JP 17882295 A JP17882295 A JP 17882295A JP 17882295 A JP17882295 A JP 17882295A JP 3852967 B2 JP3852967 B2 JP 3852967B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- substrate
- sputtering
- diameter
- processed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
- H01J37/3414—Targets
- H01J37/3423—Shape
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
- H01J37/345—Magnet arrangements in particular for cathodic sputtering apparatus
- H01J37/3455—Movable magnets
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は低圧スパッタリング装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
スパッタリングは、薄膜形成手段としては広範囲の材料の薄膜を形成することができること、均質で均一の膜を得ることができること、基板に対する膜の付着力が強いこと、合金や化合物薄膜を比較的容易に形成できること、制御性、応答性、再現性がよいこと、長時間の連続した成膜が可能なこと等の特徴を持っており、種々の方式のものが提案され、その中でも高周波スパッタリングや、電界と磁界が直交するマグネトロン放電を利用したマグネトロンスパッタリング等が広く用いられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
スパッタリング装置においては処理すべき基板の大型化に伴い使用するターゲット及びカソードも大型となってきている。例えば処理すべき基板がφ200mmのウエハである場合には、使用するターゲットは一般にはφ350mm程度である。このまま推移すると、φ300mmのウエハではφ525mm近くの寸法のターゲットが必要となってくる。しかしながら、そうなるとターゲット自体が重くて大きく扱い難いだけでなく、ターゲット材質によっては大き過ぎて製作できないとか、できても非常に高価となるという問題点がある。
【0004】
一方、スパッタリングによって得られる膜厚分布はターゲットから飛び出されるスパッタ粒子のスパッタ角度分布やスパッタ粒子のガス分子との衝突等によって変化する。ターゲットからスパッタリングされたスパッタ粒子の飛び出す方向はターゲット面の法線を中心にして一般的に余弦則に従う、すなわちスパッタ粒子は一般的に余弦則に従った角度分布をもってターゲット材の被スパッタ面から射出されることが知られており、ターゲット径より小さな領域においてしか均一な膜厚分布が得られない。また、膜厚分布はターゲットと基板との距離によって大きく変化することも知られている。
【0005】
近年、スパッタリング法はアスペクト比の高いコンタクトホールに対する成膜プロセスにも利用されてきており、例えば図4の(A)に示すように、ターゲットAの表面が平坦である場合には基板Bの外周に近い穴ではターゲットAの領域aから飛来するスパッタ粒子より領域b、c、dから飛来するスパッタ粒子の方が多くなり、その結果、図4の(B)に示すように穴の底及び側面におけるカバレージが非対称となっていた。そのため基板の全面におけるコンタクトホールのボトムカバレージを高くする目的でスパッタ粒子の基板への入射角度をできるだけ垂直に近づける必要があり、そのための手段としてスリット状のコリメータをターゲットと基板との間に挿置するコリメーションスパッタ法やターゲットと基板との間隔を大きく取り垂直方向のスパッタ粒子のみが基板に入射するようにした遠距離スパッタ法が提案されている。前者の方法ではスリット状のコリメータへの膜の付着や付着した膜の剥離、コリメータの寿命などの問題があり、またいずれの方法でも処理すべき基板自体が大きくなってくるとそれにつれて使用するターゲットも大きくする必要がある。
【0006】
このような観点からターゲットの表面形状を変えてスパッタ粒子の飛び出す方向を制御し、膜厚分布の均一性を改善できるようにしたスパッタリングターゲット材が提案されてきた(特公平7−15144号公報参照)。
【0007】
しかしながら、一般にガス原子(分子)の平均自由行程λ(cm)はほぼ10−2/p(Torr)であり、そしてスパッタの行われる圧力は2〜5×10−3Torrであり、従ってλは約2〜5cmということになる。一方ターゲットと処理すべき基板との距離は通常約6〜8cm程度であり、遠距離スパッタ法では更にターゲットと基板との距離を離す。従ってスパッタ粒子の多くはターゲットから出て基板に到達するまでに平均すれば少なくとも1回以上の衝突をしていることになる。そのためスパッタ粒子の飛び出す方向を制御できるようにしたターゲットにおいても制御された飛び出し方向をもつスパッタ粒子の多くはガス原子と衝突した後飛行方向が変ってしまい、実質的に膜厚分布の改善やカバレージの対称性における効果は得られていないのが実情である。
【0008】
そこで、本発明は、上記の課題を解決して基板の寸法が増大しても膜厚分布やカバレージの対称性を改善できる低圧スパッタリング装置を提供することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明による低圧スパッタリング装置は、スパッタリング中1×10−3Torr以下の内部圧力に維持するようにされた真空チャンバと、真空チャンバ内に直径200mm以上の処理すべき基板を位置決めする手段と、真空チャンバ内に基板と80mm〜200mmの間隔で対向して配置されたスパッタリングターゲットとを有し、スパッタリングターゲットが処理すべき基板の直径の1.5倍以下の外径をもつスパッタリング面をもち、かつ基板に対向して配置されたスパッタリングターゲットのスパッタリング面の外周部に向って傾斜した中高部を含み、上記スパッタリングターゲットの傾斜した中高部がスパッタリング表面の中央部に位置し、外周部の内側で終端していることを特徴としている。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下添附図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図1の(A)には、本発明のターゲットの一つの実施の形態を示し、図示ターゲット1は円形の輪郭形状に構成され、処理すべき基板2と対向する表面のほぼ中央部に外周に向かって傾斜した傾斜面3をもつ中高部が形成されている。ターゲット1の直径は処理すべき基板2の直径のほぼ1.5倍以下に設定される。例えば、φ200mmの基板に対してはターゲット1の直径はφ300mm以下に設定され、またφ300mmの基板に対してはターゲット1の直径はφ450mm以下に設定され得る。また、ターゲット1の表面の傾斜面3の傾斜角度や大きさはターゲット1の大きさ、ターゲット1と処理すべき基板2との距離等に応じて適当に選定され得る。
【0011】
このように構成した本発明の一つの実施の形態によるターゲット1では、基板2の外周に近い微細な穴への成膜は傾斜面3の領域cから飛来するスパッタ粒子を低減させることができる。また、dの領域は遠く離れているので飛来するスパッタ粒子の数は少ない。それにより、主にa、bからの飛来粒子により成膜されることになり、図1の(B)に拡大して示すように基板2の表面上の微細な孔の内面に一様に成膜することができ、ボトムカバレージ及びステップカバレージの左右の非対称性をなくすことができるようになる。
【0012】
図2は本発明のターゲットを利用した低圧マグネトロンスパッタ装置の実施の形態を示し、4はターゲット1と処理すべき基板2とが対向して配置されている真空チャンバであり、この真空チャンバ4内はターゲット1から飛び出したスパッタ粒子が基板2に達するまでにガス原子と衝突する機会を低減するために1×10−3Torr以下の低圧に維持するようにされる。すなわち、このような低圧にすると、ガス原子(分子)の平均自由行程λは10cm以上となり、ターゲット1と処理すべき基板2と間を、一回もガス原子(分子)と衝突せずに基板2に到達するスパッタ粒子が支配的となる。
【0013】
このようにターゲット1と処理すべき基板2とが配置される真空チャンバ4内を低圧に保つことにより、ターゲット1から飛び出す方向を制御されたスパッタ粒子は、途中方向を変えられることなく基板2へ到達することができるようになる。
【0014】
ターゲット1の裏面側において真空チャンバ4の外側には回転マグネット5が配置され、この回転マグネット5は駆動モータ6により回転駆動される。これによりターゲット1は全面的にエロージョンされることになる。
【0015】
ところで図示した本発明の実施の形態ではターゲット1は一部中高で他の表面部分は平坦に形成されるが、傾斜部分以外の表面部分は必ずしも平坦である必要はなく外周部から内側に向かって傾斜していてもよい。
【0016】
【実施例】
以下実施例について説明する。
図1に示す構造の凸条のターゲット(直径φ250mm)と直径φ200mmの基板を用意し、これらの間隔を80mmに設定して種々の圧力レベルで膜厚分布を測定した結果を従来の平板ターゲットを用いた場合と比較して示す。
真空チャン 平板ターゲットの 本発明のターゲット
バ内の圧力 場合の膜厚分布 の場合の膜厚分布
5×10−3Torr ±25% ±25%
2×10−3Torr ±24% ±23%
1×10−3Torr ±20% ±15%
5×10−4Torr ±20% ±10%
【0017】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明による低圧スパッタリング装置においてはスパッタリング中真空チャンバの内部圧力を1×10−3Torr以下に維持するように構成し、スパッタリングターゲットが直径200mm以上の処理すべき基板の直径の1.5倍以下の外径をもつスパッタリング面をもち、かつ基板と80mm〜200mmの間隔で対向して配置されたスパッタリングターゲットのスパッタリング面の外周部に向って傾斜した中高部を含み、スパッタリングターゲットの傾斜した中高部がスパッタリング表面の中央部に位置し、外周部の内側で終端するように構成しているので、表面から飛び出すスパッタ粒子の飛出し方向を制御でき、基板の寸法の増大にも十分対応できるようになると共に、膜厚分布やカバレージの対称性を大幅に改善できるようになる。
【0018】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明による低圧スパッタリング装置においてはスパッタリング中真空チャンバの内部圧力を1×10−3Torr以下に維持するように構成し、スパッタリングターゲットが直径200mm以上の処理すべき基板の直径の1.5倍以下の外径をもつスパッタリング面をもち、かつ基板と少なくとも80mmの間隔で対向して配置されたスパッタリングターゲットのスパッタリング面の外周部に向って傾斜した中高部を含み、スパッタリングターゲットの傾斜した中高部がスパッタリング表面の中央部に位置し、外周部の内側で終端するように構成しているので、表面から飛び出すスパッタ粒子の飛出し方向を制御でき、基板の寸法の増大にも十分対応できるようになると共に、膜厚分布やカバレージの対称性を大幅に改善できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 (A)は本発明の一つの実施の形態によるターゲットを示す概略図。
(B)は(A)に示す基板の外周部における微細な穴の部分の成膜状 態を示す部分断面図。
【図2】 図1に示すターゲットを利用した低圧マグネトロンスパッタ装置を示す概略線図。
【図3】 基板の微細な穴におけるボトムカバレージ及び対称性を説明する断面図。
【図4】 (A)は従来の平板ターゲットを示す概略図。
(B)は(A)に示す基板の外周部における微細な穴の部分の成膜状態を示す部分断面図。
【符号の説明】
1:ターゲット
2:処理すべき基板
3:傾斜面
4:真空チャンバ
5:回転マグネット
6:駆動モータ
Claims (1)
- スパッタリング中1×10−3Torr以下の内部圧力に維持するようにされた真空チャンバと、真空チャンバ内に直径200mm以上の処理すべき基板を位置決めする手段と、真空チャンバ内に基板と80mm〜200mmの間隔で対向して配置されたスパッタリングターゲットとを有し、スパッタリングターゲットが処理すべき基板の直径の1.5倍以下の外径をもつスパッタリング面をもち、かつ基板に対向して配置されたスパッタリングターゲットのスパッタリング面の外周部に向って傾斜した中高部を含み、上記スパッタリングターゲットの傾斜した中高部がスパッタリング表面の中央部に位置し、外周部の内側で終端している
ことを特徴とする低圧スパッタリング装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17882295A JP3852967B2 (ja) | 1995-07-14 | 1995-07-14 | 低圧スパッタリング装置 |
DE69627249T DE69627249T2 (de) | 1995-07-14 | 1996-07-12 | Hochvakuum-Sputter-Vorrichtung und zu behandelndes Substrat |
US08/679,219 US5753090A (en) | 1995-07-14 | 1996-07-12 | Small size sputtering target and high vacuum sputtering apparatus using the same |
EP96111283A EP0753600B1 (en) | 1995-07-14 | 1996-07-12 | High vacuum sputtering apparatus and a substrate to be processed |
KR1019960028388A KR100278158B1 (ko) | 1995-07-14 | 1996-07-13 | 소형 스퍼터링 타게트를 이용한 고진공 스퍼터링 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17882295A JP3852967B2 (ja) | 1995-07-14 | 1995-07-14 | 低圧スパッタリング装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0931637A JPH0931637A (ja) | 1997-02-04 |
JP3852967B2 true JP3852967B2 (ja) | 2006-12-06 |
Family
ID=16055275
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17882295A Expired - Lifetime JP3852967B2 (ja) | 1995-07-14 | 1995-07-14 | 低圧スパッタリング装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5753090A (ja) |
EP (1) | EP0753600B1 (ja) |
JP (1) | JP3852967B2 (ja) |
KR (1) | KR100278158B1 (ja) |
DE (1) | DE69627249T2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6042706A (en) * | 1997-01-14 | 2000-03-28 | Applied Materials, Inc. | Ionized PVD source to produce uniform low-particle deposition |
US6086735A (en) * | 1998-06-01 | 2000-07-11 | Praxair S.T. Technology, Inc. | Contoured sputtering target |
US6348113B1 (en) | 1998-11-25 | 2002-02-19 | Cabot Corporation | High purity tantalum, products containing the same, and methods of making the same |
KR20010017191A (ko) * | 1999-08-09 | 2001-03-05 | 윤종용 | 스퍼터링 설비 |
AU2001296213A1 (en) | 2000-05-22 | 2001-12-24 | Cabot Corporation | High purity niobium and products containing the same, and methods of making the same |
US6503380B1 (en) * | 2000-10-13 | 2003-01-07 | Honeywell International Inc. | Physical vapor target constructions |
WO2002083975A1 (en) * | 2001-04-11 | 2002-10-24 | Telephotonics, Inc. | Apparatus and method for epitaxial sputter deposition of epilayers and high quality films |
US11244815B2 (en) | 2017-04-20 | 2022-02-08 | Honeywell International Inc. | Profiled sputtering target and method of making the same |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE239807C (ja) * | ||||
DE150482C (ja) * | ||||
GB2058142B (en) * | 1979-07-31 | 1983-08-10 | Nordiko Ltd | Sputtering electrodes |
JPS60200962A (ja) * | 1984-03-23 | 1985-10-11 | Hitachi Ltd | プレ−ナマグネトロンスパツタリング方法 |
CA1308060C (en) * | 1986-04-04 | 1992-09-29 | Tokyo Electron Limited | Cathode and target design for a sputter coating apparatus |
JPS63153266A (ja) * | 1986-12-15 | 1988-06-25 | Tokuda Seisakusho Ltd | スパツタ装置 |
JPS63238269A (ja) * | 1987-03-26 | 1988-10-04 | Mitsubishi Metal Corp | マグネトロンスパツタリング用タ−ゲツト |
KR900700652A (ko) * | 1988-01-21 | 1990-08-16 | 케이. 웨너 가트프라이드 | 증착 방법 |
JPH0328369A (ja) * | 1989-06-23 | 1991-02-06 | Nec Kyushu Ltd | 薄膜被着装置のターゲット |
DE3929695C2 (de) * | 1989-09-07 | 1996-12-19 | Leybold Ag | Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats |
JP3047917B2 (ja) * | 1989-10-20 | 2000-06-05 | 東京エレクトロン株式会社 | スパッタ用ターゲット及びスパッタ方法 |
JPH0774436B2 (ja) * | 1990-09-20 | 1995-08-09 | 富士通株式会社 | 薄膜形成方法 |
DE4220588C2 (de) * | 1992-06-24 | 2001-02-15 | Leybold Ag | Lichtbogen-Verdampfungsvorrichtung |
-
1995
- 1995-07-14 JP JP17882295A patent/JP3852967B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1996
- 1996-07-12 DE DE69627249T patent/DE69627249T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-07-12 EP EP96111283A patent/EP0753600B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-07-12 US US08/679,219 patent/US5753090A/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-07-13 KR KR1019960028388A patent/KR100278158B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE69627249D1 (de) | 2003-05-15 |
EP0753600A1 (en) | 1997-01-15 |
DE69627249T2 (de) | 2004-02-19 |
JPH0931637A (ja) | 1997-02-04 |
EP0753600B1 (en) | 2003-04-09 |
KR100278158B1 (ko) | 2001-01-15 |
US5753090A (en) | 1998-05-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1184483B1 (en) | Thin-film formation system and thin-film formation process | |
US4547279A (en) | Sputtering apparatus | |
JP2627651B2 (ja) | マグネトロンスパッタリング装置 | |
KR100761592B1 (ko) | 경사진 스퍼터링 타겟 및 그 제조 방법 | |
US4717462A (en) | Sputtering apparatus | |
EP0440377B1 (en) | Collimated deposition apparatus and method | |
US5415753A (en) | Stationary aperture plate for reactive sputter deposition | |
JPH0151542B2 (ja) | ||
US6258217B1 (en) | Rotating magnet array and sputter source | |
JPH073450A (ja) | 低圧動作用マグネトロンスパッタリングソース | |
US5194131A (en) | Apparatus and method for multiple ring sputtering from a single target | |
KR100221048B1 (ko) | 스퍼터링 장치 | |
US20070051622A1 (en) | Simultaneous ion milling and sputter deposition | |
KR100274709B1 (ko) | 막을 증착하는 방법 및 스퍼터링 장치 | |
JPH05209266A (ja) | 分布磁界を有するマグネトロン・スパッタ・ガン・ターゲット・アセンブリ | |
JP3852967B2 (ja) | 低圧スパッタリング装置 | |
US5741404A (en) | Multi-planar angulated sputtering target and method of use for filling openings | |
JPS63282263A (ja) | マグネトロンスパッタリング装置 | |
JPS59229480A (ja) | スパツタリング装置 | |
JP4855360B2 (ja) | 成膜装置及び成膜方法 | |
JPH01270321A (ja) | スパッタリング装置 | |
JP2746292B2 (ja) | スパッタリング装置 | |
JPH08264447A (ja) | マグネトロンスパッタ成膜装置 | |
JPH07292474A (ja) | 薄膜製造方法 | |
JPH07180050A (ja) | 回転台座付きコリメーションチャンバ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040106 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040305 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050517 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050713 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050816 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051014 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060307 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060508 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060714 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20060720 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060809 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060905 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090915 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120915 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120915 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130915 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |