JP2004503066A - カプセル化された有機電子装置とその製造方法 - Google Patents
カプセル化された有機電子装置とその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004503066A JP2004503066A JP2002509116A JP2002509116A JP2004503066A JP 2004503066 A JP2004503066 A JP 2004503066A JP 2002509116 A JP2002509116 A JP 2002509116A JP 2002509116 A JP2002509116 A JP 2002509116A JP 2004503066 A JP2004503066 A JP 2004503066A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive
- layer
- liner
- oled
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 141
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 141
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 77
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 58
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 25
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims abstract description 24
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims abstract description 18
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 139
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 32
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 27
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 18
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Chemical group [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 18
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 17
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 16
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 15
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 14
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 claims description 12
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 12
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 11
- -1 polypropylene Polymers 0.000 claims description 11
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 claims description 9
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 8
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 claims description 8
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000011575 calcium Substances 0.000 claims description 6
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 claims description 6
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 claims description 5
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 4
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims description 4
- 229910000861 Mg alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- NPNMHHNXCILFEF-UHFFFAOYSA-N [F].[Sn]=O Chemical compound [F].[Sn]=O NPNMHHNXCILFEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 claims description 3
- 239000004811 fluoropolymer Substances 0.000 claims description 3
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- KZUNJOHGWZRPMI-UHFFFAOYSA-N samarium atom Chemical compound [Sm] KZUNJOHGWZRPMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 3
- NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N ytterbium Chemical compound [Yb] NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- FMHWSUQFUGENEN-UHFFFAOYSA-N 4-(4-anilino-4-naphthalen-2-ylcyclohexa-2,5-dien-1-ylidene)-1-naphthalen-2-yl-n-phenylcyclohexa-2,5-dien-1-amine Chemical group C1=CC(=C2C=CC(NC=3C=CC=CC=3)(C=C2)C=2C=C3C=CC=CC3=CC=2)C=CC1(C=1C=C2C=CC=CC2=CC=1)NC1=CC=CC=C1 FMHWSUQFUGENEN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 claims description 2
- XEPMXWGXLQIFJN-UHFFFAOYSA-K aluminum;2-carboxyquinolin-8-olate Chemical compound [Al+3].C1=C(C([O-])=O)N=C2C(O)=CC=CC2=C1.C1=C(C([O-])=O)N=C2C(O)=CC=CC2=C1.C1=C(C([O-])=O)N=C2C(O)=CC=CC2=C1 XEPMXWGXLQIFJN-UHFFFAOYSA-K 0.000 claims description 2
- 239000002274 desiccant Substances 0.000 claims description 2
- 238000011049 filling Methods 0.000 claims description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 claims description 2
- 229910000882 Ca alloy Inorganic materials 0.000 claims 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims 2
- 239000004831 Hot glue Substances 0.000 claims 1
- 239000012943 hotmelt Substances 0.000 abstract description 6
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 abstract description 6
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 abstract description 4
- 238000007639 printing Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 35
- 230000008569 process Effects 0.000 description 15
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 12
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 11
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 8
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 7
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 7
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 6
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 6
- 239000003570 air Substances 0.000 description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 5
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 description 4
- XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N copper(II) phthalocyanine Chemical compound [Cu+2].C12=CC=CC=C2C(N=C2[N-]C(C3=CC=CC=C32)=N2)=NC1=NC([C]1C=CC=CC1=1)=NC=1N=C1[C]3C=CC=CC3=C2[N-]1 XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZYGHJZDHTFUPRJ-UHFFFAOYSA-N coumarin Chemical compound C1=CC=C2OC(=O)C=CC2=C1 ZYGHJZDHTFUPRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N heliogen blue Chemical compound [Cu].[N-]1C2=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=NC([N-]1)=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=N2 RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 4
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000007766 curtain coating Methods 0.000 description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N n-[4-[4-(n-naphthalen-1-ylanilino)phenyl]phenyl]-n-phenylnaphthalen-1-amine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C2=CC=CC=C2C=CC=1)C1=CC=C(C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C3=CC=CC=C3C=CC=2)C=C1 IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 3
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 3
- 238000010345 tape casting Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- LIKMAJRDDDTEIG-UHFFFAOYSA-N 1-hexene Chemical compound CCCCC=C LIKMAJRDDDTEIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KWKAKUADMBZCLK-UHFFFAOYSA-N 1-octene Chemical compound CCCCCCC=C KWKAKUADMBZCLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OEQQSERZKGIIND-UHFFFAOYSA-N 4-[4-anilino-4-(3-methylphenyl)cyclohexa-2,5-dien-1-ylidene]-1-(3-methylphenyl)-n-phenylcyclohexa-2,5-dien-1-amine Chemical compound CC1=CC=CC(C2(NC=3C=CC=CC=3)C=CC(C=C2)=C2C=CC(NC=3C=CC=CC=3)(C=C2)C=2C=C(C)C=CC=2)=C1 OEQQSERZKGIIND-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 239000010405 anode material Substances 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229910052792 caesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920000547 conjugated polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000004320 controlled atmosphere Methods 0.000 description 2
- 229960000956 coumarin Drugs 0.000 description 2
- 235000001671 coumarin Nutrition 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K tri(quinolin-8-yloxy)alumane Chemical compound [Al+3].C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1 TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- ODHXBMXNKOYIBV-UHFFFAOYSA-N triphenylamine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 ODHXBMXNKOYIBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OVSKIKFHRZPJSS-UHFFFAOYSA-N 2,4-D Chemical compound OC(=O)COC1=CC=C(Cl)C=C1Cl OVSKIKFHRZPJSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LLTSIOOHJBUDCP-UHFFFAOYSA-N 3,4,5-triphenyl-1,2,4-triazole Chemical compound C1=CC=CC=C1C(N1C=2C=CC=CC=2)=NN=C1C1=CC=CC=C1 LLTSIOOHJBUDCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNMREIZXHOBCMA-UHFFFAOYSA-N 4-ethyloct-1-ene Chemical compound CCCCC(CC)CC=C PNMREIZXHOBCMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920004439 Aclar® Polymers 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000600 Ba alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002633 Kraton (polymer) Polymers 0.000 description 1
- 229910018068 Li 2 O Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010093 LiAlO Inorganic materials 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GOZPTOHMTKTIQP-UHFFFAOYSA-N OC1=CC=CC2=CC=C3C=CC(=NC3=C21)C(=O)O Chemical compound OC1=CC=CC2=CC=C3C=CC(=NC3=C21)C(=O)O GOZPTOHMTKTIQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 229910000612 Sm alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000821 Yb alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 150000001339 alkali metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910000272 alkali metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000872 buffer Substances 0.000 description 1
- XJHCXCQVJFPJIK-UHFFFAOYSA-M caesium fluoride Inorganic materials [F-].[Cs+] XJHCXCQVJFPJIK-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004643 cyanate ester Substances 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000007123 defense Effects 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000008393 encapsulating agent Substances 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- OMPYLRYHMKMJLR-UHFFFAOYSA-N ethene;thiophene 1,1-dioxide Chemical compound C=C.O=S1(=O)C=CC=C1 OMPYLRYHMKMJLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 description 1
- 239000004850 liquid epoxy resins (LERs) Substances 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 229910001512 metal fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011140 metalized polyester Substances 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N n-Octanol Natural products CCCCCCCC TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- KYKLWYKWCAYAJY-UHFFFAOYSA-N oxotin;zinc Chemical compound [Zn].[Sn]=O KYKLWYKWCAYAJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N palladium silver Chemical compound [Pd].[Ag] SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003227 poly(N-vinyl carbazole) Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 1
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000005023 polychlorotrifluoroethylene (PCTFE) polymer Substances 0.000 description 1
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920002098 polyfluorene Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 1
- 239000012945 sealing adhesive Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010944 silver (metal) Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920006132 styrene block copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000001931 thermography Methods 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
- 229910001935 vanadium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
- GWDUZCIBPDVBJM-UHFFFAOYSA-L zinc;2-(2-hydroxyphenyl)-3h-1,3-benzothiazole-2-carboxylate Chemical compound [Zn+2].OC1=CC=CC=C1C1(C([O-])=O)SC2=CC=CC=C2N1.OC1=CC=CC=C1C1(C([O-])=O)SC2=CC=CC=C2N1 GWDUZCIBPDVBJM-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/842—Containers
- H10K50/8426—Peripheral sealing arrangements, e.g. adhesives, sealants
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/844—Encapsulations
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
- H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
Abstract
【選択図】図1
Description
技術分野
本発明はカプセル化された有機電子装置を製造する方法に関する。
【0002】
背景技術
有機電子装置(OED)は、少なくともその一つが電流を通す有機材料の層を含む物品である。公知のOED構成の例として、光起電装置、整流器、送信器、および有機発光ダイオード(OLED)がある。
【0003】
有機発光ダイオード(OLED)はOEDの典型的な例である。OLEDはランプと呼ばれる場合もあり、厚さが薄く、重量が軽く、駆動電圧が低い、すなわち約20ボルト未満であることから電子媒体用途に好適である。OLEDは、グラフィックスのバックライティング(背面照明)、画素化ディスプレイ、および大規模発光グラフィックス等の用途に利用できる可能性がある。
【0004】
OLEDは通常、有機発光体層、および発光体の両側にある付加的な有機電荷輸送層で構成され、そのすべてが2個の電極、すなわち陰極と陽極の間に挟まれている。電荷輸送層は電子輸送層および正孔輸送層を含む。荷電粒子、すなわち電子と正孔は電子輸送層と正孔輸送層へ、それぞれ陰極と陽極から注入される。電子は負に帯電した、原子に属する粒子であり、また正孔は、あたかも正に帯電した粒子であるかの如く振る舞う、空である電子エネルギー状態である。荷電粒子はエミッタ層に移動し、そこで結合して発光する。
【0005】
OLEの例として、荷電粒子および/または発光体がポリマー・マトリクス内に分散している分子的にドープされたポリマー装置(J.Kido、“ポリマー材料に基づく有機電子発光装置”、Trends in Polymer Science、1994年2月号、350〜355ページ参照)、ポリ(フェニレンビニレン)等のポリマーの層が荷電粒子および発光体の役割を果たす共役ポリマー装置(J.J.M.Halls、D.R.Baigent、F.Caialli、N.C.Grenham、R.H.Friend、S.C.Moratti、およびA.B.Holmes、“共役ポリマー装置から作られた発光および光伝導性ダイオード”、Thin Solid Films、1996、276、13−20参照)、堆積低分子のヘテロ構造装置(米国特許第5,061,569号、C.H.ChenおよびC.W.Tang、“有機分子電子発光材料における最近の発展”、Macromolecular Symposia、1997、125、1−48参照)、発光電気化学電池(Q.Pei、Y.Yang、G.Yu、C.Zang、およびA.J.Heeger、“ポリマー発光電気化学電池:発光p−n結合のインシトゥへの製法”、Journal of the American Chemical Society、1996、118、3922〜3929参照)、複数波長の発光が可能な垂直積載発光ダイオード(米国特許第5,707,745号、およびZ.Shen、P.E.Burrows、V.Bulovic、S.R.Forrest、およびM.E.Thompson、“三色の、調整可能な有機発光装置”、Science、1997、276、2009〜2011参照)が含まれる。
【0006】
本質的にあらゆる有機発光材料、有機電荷輸送材料、および有機正孔輸送材料は熱、光、酸素、および湿気により悪影響を受ける。OLEDで通常用いられる仕事関数が低い金属陰極もまた酸素と湿気に敏感であり、そのため陰極の腐食と故障を引き起こす恐れがある。従って、これらの層を外気への露出から保護することが重要である。OLED等のOEDの製造方法のあるもの、例えば基板としてバリアフィルムを用いる方法は部分的にこれらの層を保護するが、OLEDの最上層は依然として露出している。OLEDの上部に金属キャップを接着させる等、通常は余分なカプセル化ステップが必要とされる。この余分なカプセル化ステップが製造処理の複雑さを助長し、一般に可撓性OLEDの製造に適していない。
【0007】
発明の要約
本発明は新規の被保護OEDと被保護OEDを製造する新しい方法について述べる。本発明の方法は装置の可能な最長寿命を保証すべく、OEDが適用された層を、特にOLED製造中に、外気への露出から保護する。
【0008】
本発明の一態様において有機電子装置を製造する方法を提供し、本方法は、パターンが切除される、接着剤被覆剥離ライナーを提供するステップと、パターンが付けられた剥離ライナーの接着剤被覆面を電極基板に適用して、露出された電極基板の少なくとも一部を有する複合構造を形成するステップと、複合構造の露出した電極に1個以上の有機電子要素を堆積させるステップと、複合構造から剥離ライナーを除去するステップと、複合構造が露出した接着剤に封止層を接着するステップとを含む。
【0009】
本発明の別の態様において有機電子装置を製造する方法を提供し、本方法は、電極基板に接着剤を所定のパターンで被覆して、基板のある領域は露出したままで複合構造を形成するステップと、オプションとして接着剤を少なくとも部分的に硬化させたり、あるいは乾燥させるステップと露出した基板領域の少なくとも一部を露出させたまま、パターン付けされた接着剤にライナーマスクを適用するステップと、マスクされた複合構造に1個以上の有機電子要素を堆積させるステップと、接着剤からライナーマスクを除去するステップと、封止層を適用するステップとを含む。
【0010】
本発明のさらに別の態様において有機電子装置を含む物品を提供し、陽極と陰極の間の層は接着層により囲まれていて、接着層の外周は電極基板または封止層の一方または両方の外周に等しい。
【0011】
本発明の別の態様においてOLED等のOEDを製造する方法を提供し、OED構造に組み込まれているカプセル化構成材料もまた、OEDの形成中にマスクの役割を果たす。本発明の一態様によれば、OEDの望ましい形に合わせて開口部が切り抜かれた接着剤被覆ライナーが、接着面を下向きにしてOED基板に適用される。
【0012】
本発明の別の態様において、接着剤は例えばインクジェット印刷法あるいはスクリーン印刷法によりOED基板に液体として正確に適用され得る。次いで、接着層の開口部に相補的な開口部を有する1個以上の固体ライナー層を適用してもよい。このステップの後で、OEDの所望の要素の層がライナー/接着剤/基板の複合構造に連続的に堆積される。すべての所望のOED層が適用されたならばライナーは接着剤から除去され、接着性構造により囲まれた完全ないしほぼ完全なOED構造が残る。
【0013】
本発明のさらに別の態様において、OEDはLEDであってもよい。本発明ではOLEDが陽極あるいは陰極側のどちらから形成されてもよい。いずれの場合も、接着層を電極層に適用し、次いでOLEDを形成するのに必要な順序でOLED要素を堆積させることにより、サンドウィッチ構造を形成することができる。
【0014】
さらに別の態様において、OLEDを各電極基板に部分的に形成しておいて、2個の部分的なランプをラミネートすることにより完成品OLEDを形成することもできる。サンドウィッチ構造は、最初に接着剤/ライナー層を電極基板の一方または両方に適用して、例えば、正孔輸送材料を陽極基板上に、また電子輸送および発光材料を陰極基板上に堆積させ、引き続いて熱および/または圧力により前記フィルムを整列させてラミネートすることにより実現される。完成品OLED装置はインシトゥにエッジ封止を形成している接着剤により、他の種類のラミネートされたOLED装置を超え、構造安定性が向上する。
【0015】
いくつかの実施形態において、有機OLED要素を、下地の電極層より広い領域に被覆することが望ましいであろう。電極より広い領域を有機層が覆うことにより電気的短絡を防止しやすくなる。
【0016】
OLED有機層が適用されたの後で、対極(counter electrode)が適用される。対極が陰極である場合、電極は、封止層を形成すべく接着性構造上に配値された、例えばアルミニウム等の導電性材料のシートで構成されていて、それにより各OLED装置をカプセル化する。対極が陽極である場合、電極は、封止層を形成すべく接着性構造上に配置された、例えばポリマーフィルム基板上のITO等の導電性材料で構成されていて、それにより各OLED装置をカプセル化する。封止層が対極である場合、OLED装置の領域全体への照射を提供するために有機要素最上層全体に接触している必要がある。これらの場合、対極はまた水と空気に対する防御の役割も果たす。あるいは、対極は接着性構造の境界内に堆積されて、保護材料が接着性構造の上部に配値されることにより、各OLED装置をカプセル化することができる。保護層は導電性でも非導電性でもよい。導電性である場合、導電性リードとして利用でき、隣接する電極層の少なくとも1点で接触している必要がある。結果的に得られるOLED装置のシートは次いで、接着性部分により規定されるパターンに切断される、それにより個々のOLED装置を提供して、その各々は接着剤によりエッジ封止された2個の基板の間にカプセル化されている。
【0017】
本発明で用いる“部分的に硬化する”とは、薄膜の形成を誘発したり、またはズレや流れを減らすべく粘性を増すことを意味する。すなわち、流体から非流体状態へ、粘着から非粘着状態へ、溶解可能から非溶解可能状態へ、あるいは化学反応中の費消により重合可能材料の量が減る等により、組成の物理的状態が変化する。
【0018】
本発明の少なくとも一つの実施形態の利点は、プロセス中の任意の時点で、例えば真空中で堆積ステップを実施することにより、外気に露出させることなくOEDを製造することが可能な点である。
【0019】
本発明による少なくとも一つの実施形態の別の利点は、カプセル化されたOEDを連続的に製造することが可能な点である。
【0020】
本発明による少なくとも一つの実施形態の別の利点は、構造的に安定なOEDを提供する点である。
【0021】
本発明による少なくとも一つの実施形態の別の利点は、OEDが製造されている間は外気に露出されないため、外気と水分に敏感な材料をOEDに使用することが可能な点である。
【0022】
本発明による少なくとも一つの実施形態の別の利点は、OEDを任意の所望の形状に作ることが可能な点である。
【0023】
本発明による少なくとも一つの実施形態の別の利点は、OEDをロールツーロール処理で連続的に製造することが可能な点である。
【0024】
本発明による少なくとも一つの実施形態の別の利点は、硬質な基板を必要とする従来の方法に比べて、OEDそ可撓性基板で製造することが可能な点である。
【0025】
ここに開示する本発明は各種のOED装置に使用可能であるが、説明の都合上、OLEDのみに関して詳細に述べる。
【0026】
本発明のその他の特徴および利点は以下の図面、詳細説明、および請求項から明らかにされる。
【0027】
本発明には各種の変更や代替方式が可能である。そのいくつかについて図面例で示し、詳細に述べる。しかし、本発明を記述された特定の実施形態に限定する意図のない点を理解されたい。むしろ、以下の詳細な説明に記述され、また添付された請求項により定義されている、本発明の概念と範囲に含まれるあらゆる変更、同等物、および代替手段を包含することを意図している。
【0028】
詳細説明
本発明は、インシトゥ(in situ)におけるエッジ封止により堅牢なOED装置を提供することにより、構造一体性と装置寿命を向上させることができる。エッジ封止は、OED要素堆積の前に基板に適用された接着性構成材料を用いて提供される。
【0029】
本発明によるOLEDの一実施形態において、接着剤(感圧接着剤、ホットメルト、あるいは硬化性)の薄い層が剥離ライナーに適用され、接着剤/ライナー複合材に開口部が切削され、次いで、複合材は電極被覆基板に接着される。あるいは、接着剤は、例えば所望のパターンで印刷し、オプションとして部分的に硬化または乾燥することにより電極被覆基板に直接適用されて、次いでOLED要素が堆積している間にマスクの役割を果たす1個以上のライナーで被覆されてもよい。OLED要素は、ライナーと接着剤の開口部を通して、1個以上のパターン(円、長方形、数字、バーコードなど)で適用されてもよい。大きさや形状が異なる複数のマスクが使われる場合、堆積処理の最中に各マスクをいつ除去するかに応じて、OLED要素層を開口部の別のまたは部分的に一致している領域に適用してもよい。あるいは、開口部の上に配置した別のマスクを介して要素を堆積させてもよく、その結果、上述の接着性ライナーマスクにより定義されたものとは異なり、より小さいパターンでフィルム堆積が行なえる。また別の方法として、パターン付けされた接着剤を伴う空白ライナーを用意し、次いでライナーの接着剤パターンに相補的に開口部をダイ切削することにより、基板に接着剤/ライナーが配置された際にOLED要素の堆積を可能にできる。
【0030】
好適な接着剤の例として、Ultra−Cleanラミネート接着剤510FLおよびOptically−Clearラミネート接着剤8141(共に3M社接着システム部門、ミネソタ州セントポール、から発売中)等のアクリル酸エステルから作られた感圧接着剤(PSA)、KRATONスチレンブロックコポリマー(Shell Chemicals社、テキサス州ヒューストン、から発売中)等のゴム、RHODOTAK343(Rhodia Silicons社、フランス、リヨン、から発売中)等のシリコン、および米国特許第5,112,882号に記載のポリ(1−ヘキセン)、ポリ(1−オクテン)、およびポリ(4−エチルー1−オクテン)等のポリオレフィン、米国特許第5,672,400号に記載の粘着性強化ポリアミドポリエーテルコポリマーおよび米国特許第5,061,549号に記載の熱可塑性樹脂ポリマー接着フィルムの非充填バージョン等のホットメルト、硬化性接着剤、熱硬化性樹脂、および米国特許第5,362,421号に記載のエポキシ/熱可塑性樹脂ブレンドの非充填バージョン等の架橋構造、米国特許第5,744,557号に記載のシアン酸エステル/エチレン不飽和準IPN、WO特許第97/43352号に記載のエポキシ/アクリル酸エステル混合物、ARALDITE(Ciba Speciality Chemicals社、ニューヨーク州ブリュースター、から発売中)のような2体エポキシ、およびシリーズ3100接着剤(Three Bond of America社、カリフォルニア州トランス、から発売中)のような紫外線硬化レジンが含まれる。感圧接着剤の、ホットメルト、および硬化性接着剤のさまざまな組み合わせが本発明の実施に際して有用であろう。
【0031】
接着剤は、各種の微粒子やフィラーが充填されていて、接着ラインの厚さの制御、導電性または熱伝導性の提供、あるいは封止されたOLED装置内部の乾燥等の特別な機能を提供することができる。充填接着剤には、9882熱伝導性接着伝導テープ(3M社接着システム部門から発売中)等の熱伝導性接着剤、9703導電性接着伝導テープ、5303R Z−Axis接着フィルム、および7303 Z−Axis接着フィルム(いずれも3M社接着システム部門から発売中)等の導電性接着剤、およびDESIMAX SLFホットメルトフィルム(Multisorb社、ニューヨーク州バッファロー、から発売中)等の乾燥剤で充填された接着剤がある。充填接着剤は非充填接着剤と合わせて利用することができる。
【0032】
接着剤は、ナイフ被覆、押し出し、オフセット被覆、スプレー被覆、およびカーテン被覆等の任意の適当な被覆方法により剥離ライナーに適用することができる。接着剤の厚さは完成品の所望の厚さに依存する。接着構造の典型的な厚さは約500〜0.05ミクロンの範囲である。所望であれば用途に合わせて、この範囲を上回るまたは下回る厚さを用いてもよい。
【0033】
適当な剥離ライナー材料として、ポリプロピレンとフッ素ポリマーフィルム、シロキサンまたはフルオロカーボンで被覆されたポリエステル等のポリマーフィルム、シロキサンまたはフルオロカーボンで被覆された紙、シロキサンまたはフルオロカーボンで被覆された金属箔、およびシロキサンまたはフルオロカーボンで被覆された金属化ポリエステル等の金属化ポリマーフィルムが含まれる。ライナーの選択は以下の処理ステップとの整合性に依存する。
【0034】
ダイ切削、レーザー切削またはキス切除等その他の精密工作切削法により接着剤で被覆されたライナーを貫いてパターンを切除することができる。パターンは任意の望ましい形状でよい。接着剤被覆ライナーの1枚のシートに1個以上の形状を切除することができる。さらに、接着剤とライナーから除去された材料の形状と大きさは同じでなくてもよい。例えば、接着層から正方形の領域を除去する際に、接着剤が除去された正方形の領域の中にあるより小さい星型のライナー領域を、OLED層がライナーの星型開口部を通って堆積された後で、完成した星型のOLEDと周囲の接着性構造の間に隙間が存在するように、ライナー層から除去してもよい。
【0035】
図10に示すように、製造プロセスの異なる段階で異なる領域に堆積させるように各接着剤/ライナー層が異なる形状の開口部を有する場合に接着剤とライナーの多数の層を用いてもよい。堆積基板に最も近い接着剤/ライナーマスク層14a、15aは通常、層14a、15aの上端に配置された接着剤/ライナーマスク層14b、15bより大きい開口部を有する。図10において、OLEDのための有機成分は、接着剤/ライナーマスクの両方が配置された状態でITO陽極46に堆積される。接着剤/ライナーマスク層14b、15bは次いで除去されて、陰極は接着剤/ライナーマスク層14a、15aを通して堆積される。ライナー15aは除去されて保護層と置き換えられる。このように陰極はITO陽極46へ一切の電気的短絡なしにITO陰極パッド48と接触する。陽極のリード46および陰極のリード48を電源に取り付けることにより、完成したカプセル化OLEDが動作可能になる。一組の有機層を堆積した後で接着剤/ライナーマスク層14b、15bを除去して、接着剤/ライナーよりマスク層14b、15bとは大きさや形状が異なる接着剤/ライナーマスク層により置き換えることができる。これにより、多色装置に必要とされる、より複雑な堆積パターンを得ることができる。これは特にロールツーロール処理において効率的であろう。
【0036】
パターン付けされた接着剤被覆ライナーは任意の便利な方法、例えば加熱、冷却、圧力、および真空ラミネーション等のラミネーション方法により適用可能であり、それにより基板上にマスクが形成される。図1に、ライナーマスク15を有する、パターン付けされた伝導接着剤14を有する基板12を示す。伝導接着剤14とライナーマスク15は共に基板12を通って伸張する開口部18を有する。切削ライン32は装置の完成したシートが単一化される場所を示す。
【0037】
接着層を基板に適用する別の方法は、インクジェットやスクリーン印刷等の精密工作法により所望のパターンに液体接着剤を堆積し、それにより基板の領域を露出したままにしておき、オプションとして接着剤を部分的に硬化させるかまたは乾燥させて流れを抑えて接着剤の移動を防ぎ、次いで相補的にパターン付けされた開口部を有する固体フィルムライナー層で接着剤を覆うことである。この方法により、ライナーマスク内の開口部は下部にある露出した基板領域より大きく、あるいは小さくすることができる。ライナーマスクおよびOLED構造を異なる大きさにできることは利点である。例えば、電気的短絡を防ぐためには、底面および/または電極よりも広い領域を内部OLED要素で覆うことにより電極が接触しないようにすることが有利であろう。その他の例では、マスク開口部を電極よりも小さくすることが好ましいであろう。
【0038】
図11に、OLEDにおける電気的短絡を避けるもう一つの構成法を示す。本方法は、例えば、方角Aからの有機層16と、方角Bからの陰極層17を、ITO陽極46とITO陰極パッド48で被覆された基板12に堆積させることを含む。接着剤/ライナーマスク14/15のシャドウイング効果により有機および陰極層を、マスクのエッジの近くに選択的に堆積させるであろう。これは特に、接着剤14の開口部がライナー15の開口部より大きい場合に効果的であろう。
【0039】
接着剤/ライナーマスク14/15が適用されたならば、真空蒸着、溶液被覆、および熱伝導等の任意の適当な被覆方法により、1個以上のOLED要素をマスクされた基板上に堆積させることができる。これらの被覆方法は、同時係属の特許出願USSN09/389926、pp.7〜10により詳しく記述されている。個々のOLED要素層の厚さは約200〜約5000Åである。ある場合、例えば最後に適用されたフィルムが、陰極であるかまたは陰極層と電気的に接触している金属箔である場合には、組み合わされた層の厚さは接着層14の厚さとほぼ等しい。接着剤とOLED要素層を等しくすることは、接着の最中に接着剤があまり流れない場合にもまた好適である。これは感圧接着剤について典型的にあてはまる。しかし、ホットメルトや硬化性接着剤の場合が典型的であるが、接着の最中に接着剤が流れやすい場合、接着ラインの厚さすなわち接着が完成した時点での接着剤の最終的な厚さは、接着剤の流れを制御する硬化化学反応と接着条件を調整することにより、あるいは特定の大きさのフィラー粒子を加えて接着ラインの厚さを定義することにより制御可能である。当分野で公知の方法を用いて接着剤の流れを制御することでこのような調整が得られる。この場合、接着剤の厚さはOLED要素層より厚くてもよい。
【0040】
好適なカプセル化OLED構造は図6と7に示すように、接着ラインの下に伸びて陽極と陰極間に電気的接触を行なう酸化インジウム錫(ITO)リード等の電導性リードを備えていてよい。この場合、カプセル化フィルム、すなわち完成した最上位層は電気的接触の役割を果たす必要がない。いくつかの実施形態において、図6と7に示すように、保護層とOLEDの間の隙間を残すことは、例えばその隙間に乾燥剤を詰めたりOLEDが摩滅しないよう保護したい場合に望ましいであろう。これは、接着層をOLED要素層より十分に厚くすることにより実現される。
【0041】
OLED要素の被覆処理は窒素、アルゴン、あるいは真空等の制御された雰囲気内で実行されてよい。これにより、好都合なことに上述のOLEDを含むにエレクトロルミネセンス材料等の空気や水分に敏感な材料でOLEDを作ることができる。本処理により空気への露出により汚染されていないカプセル化OLEDの製造が可能になる。被覆された基板を続いて封止層へラミネートすることにより、エッジ封止されて構造安定性が向上した完成品のOLEDを提供することができる。
【0042】
封止層として利用可能な特定の対極の適合性は、所望の用途およびその他のOLED要素に依存するであろう。陰極対極材料の例として、カルシウム、リチウム、アルミニウム、ITO、バリウム、イッテルビウム、サマリウム、マグネシウム/銀合金、およびカルシウム/アルミニウムや銅フタロシアニン/ITO等の多層構造が含まれる。陽極対極材料の例として、ITOおよび金が含まれる。少なくとも1個の対極が透明であることが好適である。あるいは、対極は他のOLED要素と同様にOLED構成の上に被覆されて。その後で保護層が対極層の上にラミネートされてもよい。
【0043】
OLED用の封止保護層は例えば、WO第00026973号、米国特許第5,725,909号、米国特許第4,954,371号、およびThin Solid Films、1997、308〜309 19〜25に記載されているような誘電性/ポリマーおよび金属/ポリマーが積層された合成フィルム(ポリマー多層、またはPMLフィルムとも呼ばれる)、金属箔、金属化ポリマーフィルム、SiOx被覆ポリマーフィルム(三菱化学、東京、から発売中のTECHBARRIER)等の誘電被覆ポリマーフィルム、Schott Displayglas GmbH社、独マインツ、から発売中の厚さ0.03mmのD263Tガラス等の薄い可撓性ガラス、およびWO第99/21708に記載のポリマーフィルムに接着ラミネート加工された薄いガラス、金属板、ガラス板、プラスチック板、およびAllied Signal社特殊フィルム部門(ペンシルベニア州ポッツビル)から発売中のACLARフィルム等のフルオロポリマーフィルムが含まれる。バッチOED製造処理には金属、ガラス、あるいはプラスチック板等の硬質保護層の方がより適していよう。薄いガラス等の可撓性防御フィルム、米国特許第4,954,371号に記載されているような多層ポリマーフィルム、金属箔、および金属化ポリマーは、バッチ処理と同様にロールツーロール処理でも利用可能なためさまざまな場合に好適である。OLEDの利用目的によるが、保護層は必ずしも透明または導電性でなくてもよい。
【0044】
図2に、封止層30が適用された後のOLED構成の実施形態を示す。切削ライン32が示されている。切削ライン32は、OLED要素16が接着剤14によりカプセル化されて基板12と封止層30の間に挟まれるように個々のOLED10を提供すべく、封止層30、伝導接着剤14、および基板12の層のどこを通って構造を切削すればよいかを示す。
【0045】
上述の方法により作られた模範的な個々のOLED構造の例の分解組立図を図3に示す。基板12上の接着剤14がOLED要素16を囲む。封止層30はOLED構成10の最上層を形成する。本発明のカプセル化構造が無い従来のOLED構成を図5に示す。
【0046】
適当なOLED基板100として、ガラス、ポリオレフィン、ポリエーテルスルホン、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリアリレート、およびポリマー多層フィルム等の透明プラスチック、3M社の光システム部門から発売中のプラスチックフィルム導電材等のITO被覆された防御フィルム、表面処理フィルム、および選択されたポリイミドが含まれる。保護(あるいは対極)フィルムの防御特性に合う防御特性をOLED基板が有することは極めて好適である。ガラスの可撓性ロールもまた使われてよい。より良い構造一体性を得るべく、このような材料がポリマー但体にラミネートされてもよい。
【0047】
基板を被覆している陽極材料102は導電性であり、光学的に透明または半透明であってよい。適当な陽極材料として、インジウム酸化物、ITO、フッ素錫酸化物(FTO)、酸化亜鉛、バナジウム酸化物、亜鉛錫酸化物、金、プラチナ、パラジウム銀、その他の高機能性金属およびそれらの組み合わせが含まれる。
【0048】
マスクされた陽極被覆基板上に堆積されたランプ要素には、オプションの正孔注入層104、正孔輸送層106、エミッタ層108、電子輸送層110、オプションの電子注入層112、および第二の電極(陰極)114が含まれる。
【0049】
陽極から正孔を受け入れて、正孔輸送層へ送るオプションの正孔注入層104に適した材料として、例えば銅フタロシアニン(CuPc)、亜鉛フタロシアニン、酸ドープポリ(エチレン二酸化チオフェン)(PEDOT)、およびを含む、酸ドープポリアニリン等のポルフィリン化合物が含まれる。
【0050】
陽極層102からエミッタ層108への正孔の移動を容易にする正孔輸送層106の適当な材料として、例えば、米国特許第5,374,489号や第5,756,224号に記載されている、4,4’,4”−トリ(N−フェノチアジニール)トリフェニルアミン(TPTTA)、4,4’,4”−トリ(N−フェノール塩アジニール)トリフェニルアミン(TPOTA)、4,4’−ビス(3−メチルフェニル)−N,N’−ジフェニルベンジジン(TPD)、およびポリビニルカルバゾール等の芳香族第三アミン材料が含まれる。
【0051】
正孔と電子が結合して光を発するエミッタ層108の適当な材料として、例えば、トリス(8−ヒドロキシキノリネート)アルミニウム(ALQ)が含まれる。異なる色の発光は、当分野で開示されているように、エミッタ層で異なる発光体と不純物を利用することにより実現される(C.H.Chen、J.Shi、およびC.W.Tang“有機分子電子発光材料における最近の発展”、Macromolecular Symposia 1997 125、1〜48参照)。
【0052】
陰極からエミッタ層への電子の輸送を容易にする電子輸送層110の適当な材料として、例えば、AlQ、ビス(10−ヒドロキシベンゾ(h)キノリネート)ベリリウム、ビス(2−(2ヒドロキシ−フェニール)−ベンゾールチアゾラート)亜鉛、3,4,5−トリフェニール−1,2,4−トリアゾール、2−(4−ビフェニーリリル)−5−(4−t−ブチルフェニール)−1.3,4−オキサジアゾールおよびそれらの組み合わせが含まれる。
【0053】
陰極から電子を受け入れて電子輸送層へ送る、オプションの電子注入層112に適当な材料として、LiF、CsF等の金属フッ化物、並びにSiO2、Al2O3、銅フタロシアニン(CuPc)、およびアルカリ金属酸化物、例えばLi2O、Cs2OおよびLiAlO2のようなアルカリ金属塩等、Li、Rb、Cs、Na、Kの少なくとも一つを含むアルカリ金属化合物が含まれる。
【0054】
電子を提供する陰極114の適当な材料として、例えば、LiF、Mg、Ca、Ag、Al、Li、Ba、Yb、Sm、およびその他の仕事関数が低い金属、CaとMgの合金、ITO、FTO、酸化亜鉛、およびリチウムが含まれる。
【0055】
あるいは、ポリ(フェニレンビニレン)(PPV)、ポリフロレン、および当分野で公知のその他の発光ポリマー等の1個以上の発光ポリマー層で層106、108、および110を置き換えてもよい。
【0056】
所望のOLED要素がすべて堆積させられたならば、ライナーを除去して接着剤に囲まれたOLED構成を基板に提供することができる。続いてこの被覆された基板を保護層で被覆または封止することにより、エッジ封止されて構造的(かつ環境的に)安定性が増したOLEDを提供することができる。あるいは、陰極層は先のOLED要素層が堆積されて剥離ライナーが除去された後で接着性マトリクスに適用された材料のシートを含んでいてよい。陰極層材料のシートが使われた場合、陰極層はまたOLED構造のエッジ封止を提供する封止層の役割も果たすことができる。このような場合、それ以上保護層が必要とされない。
【0057】
本発明の処理は、図4に示すロールツーロール連続ウェブ処理を用いて容易に実行できよう。例えば、OLEDを用意するには、予め切削されて接着剤被覆されたライナーマスク14/15を備えた可撓性基板12のロールがロール230からコーター200の真空チャンバ210へ供給され、そこでOLED要素が堆積ソース220および222から堆積される。これらのソースは、例えば図5に示す装置の層104および106に対応するOLEDの最初の2個の有機層を堆積させることができる。あるいは、堆積ソースは図5のITO陽極層102を提供することができる。このステップに続いて、堆積ソース224および226からチャンバ212における第二の堆積が実行される。通常、堆積ソース220〜226は基板12上で機能するOLED装置を製造するのに必要なすべての層を提供する。処理ライン200内の堆積ソースの数は製造するOLED装置に応じて変わることは当業者には明らかであろう。このステップに続いて、剥離ライナー15が取り込みチャンバ214内の取り込みロール232へ除去され、ロール234からの封止層30を露出した接着剤マスク14に適用してOLED装置をカプセル化して保護する。封止層30は、OLED装置の特定の構成に依存して、対極または保護層であってよい。取り込みチャンバ214は真空下であっても、あるいは大気圧下にあってアルゴンや窒素等の不活性ガスで充満されていてもよい。真空および取り込みチャンバの数は処理状態の所望の組に応じて変わり得ることは明白であろう。OLED装置の完成したシートは次いで図1〜3に示すように、取り込みロール236に集められて、そこからさらに単一化により個々のOLEDに変換すべく調剤することができる。適用された層のその他の配置や組み合わせもまた可能であることは当業者には明らかであろう。処理全体を真空あるいは窒素中等、制御された大気内で実行することにより、OLEDに環境面で害を与える恐れを最小にできる。OLEDの完成シートはコーターから除去され、図3に示す一般的な構造の最後的に(あるいは少なくとも一部が)パッケージされたOLEDに与えるべく、電極と基板フィルムの接着された領域を切り抜くことにより、個々のOLEDに変換することができる。製造の後でさらにカプセル化を行なうこともできる。例えば、OLED構造に電極または保護層がラミネートされた後で、例えばアセンブリ全体を液体エポキシ樹脂に浸して前記樹脂を熱および/または光により硬化させることにより、さらに保護用のカプセル化層を上に重ねることができる。
【0058】
ロールツーロール処理は溶液処理、熱伝導処理、真空処理、あるいはそれらのさまざまな組み合わせであってよい。例えば、PEDOT等の導電性ポリマーバッファ層は、接着剤/ライナーマスク14/15が所定の場所にある状態でITO堆積基板12に溶液被覆(ナイフ被覆、カーテン被覆、マイクログラビア被覆、スクリーン印刷被覆)されてよい。有機OLED層および陰極層は乾燥された後で、移動ウェブ上へチャンバ210および212において真空蒸着することができる。次いでライナーマスク15が取り込みリール232へ取り除かれ、その代わりに保護層30が新たに形成されたOLEDフィルムにラミネートされて単一化の準備ができているカプセル化OLED装置のロールが生産される。あるいは、OLED層は接着剤/ライナーマスクが所定の場所にある状態でITO堆積基板に溶液被覆(ナイフ被覆、カーテン被覆、マイクログラビア被覆、スクリーン印刷被覆)されてもよい。陰極層は乾燥された後で、移動ウェブ上へ真空蒸着することができる。ライナーマスクが取り込みリールへ除去され、その代わりに保護層が新たに形成されたOLEDフィルムにラミネートされて単一化の準備ができているカプセル化OLED装置のロールが生産される。
【0059】
ロールツーロール処理は連続的に移動するウェブで行なわれても、あるいはステップ反復ロールツーロール処理により実現可能である。ステップ反復処理では各種の真空蒸着ステップの最中に厚さの制御をより正確に行なうことができ、真空蒸着ステップの最中により複雑かつ精緻なシャドーマスクを使用することができる。さまざまな層の堆積の最中に異なるシャドーマスクを動かして所定の位置に容易に合わせたりずらしたりすることができ、しかもロールツーロール処理の利便性が維持される。ステップ反復ウェブ処理は連続的ウェブ処理より遅い可能性がある。ステップ反復および連続ウェブ処理においてエッジに沿ったスプロケット正孔を有するウェブの方が有利であろう。
【0060】
本発明による、インシトゥへのエッジ封止接着剤を用いることにより、適切なアクティブ層を搭載している2個の基板の物理的ラミネーションにより用意されたOLEDの構造的な安定性を提供することができる。ラミネーションにより本発明をOLEDの製造に適用する方法はいくつかあるが、そのうち一例のみ以下に挙げる。そのような製造法を図12に示す。構造300に対して、接着剤/ライナーマスク314/315が、アルミニウム31が被覆されて真空蒸着チャンバに置かれたポリエステルフィルム310の金属化面に配置されてよい。約5,000Åにアルミニウム316、10ÅのLiF318、400ÅのAlQ320、および400Åの4,4’ビス(ナフタレン−2−yl)−N―ジフェニルベンジジン(α−NPD)322を、その順序で堆積してよい。これとは別に、構造400に対して、ITO層326で被覆されたポリエステル基板328に1,000Åの水性ポリ(エチレンジオキシチオフェン)(PEDOT)溶液324で被覆して、乾燥させてもよい。両方のフィルム構造は不活性ガスグローブボックスに移されてもよい。ライナー315は構造300から除去されてもよく、構造物300は次いで熱と圧力により構造400にラミネートされてもよい。完成したOLED装置500はこのように、アクティブな層322と324の間(この例では正孔注入層と正孔輸送層の間)の界面がこれら2層の物理的ラミネーションにより作られるところに形成される。完成した装置は、装置周辺のインシトゥへエッジ封止を形成している接着剤により構造安定性が向上している。
【0061】
精密にパターン付けされてアドレス指定可能な装置を本発明の方法により製造することができる。例えば、受動的にアドレス指定可能なモノクロドットマトリクスディスプレイがロールツーロール処理で製造可能である。ポリエステル上のITOを、標準的なフォトリソグラフィと酸エッチングの組み合わせによりウェブを横断する縦の並びにパターン付けすることができる。ディスプレイの所望の領域を定義する長方形の開口部を含む接着剤/ライナーマスクをウェブに適用してもよい。低分子OLED層をウェブに真空蒸着したり、あるいは発光ポリマー溶液をウェブに被覆することにより、接着剤/ライナーマスクの長方形の開口部を事実上覆ってしまう。次いで陰極金属がスロット付けられたマスクを通して堆積されて、ウェブの方向に平行な陰極金属の横の並びを形成する。次いでライナーが除去されて、保護フィルムが受動マトリクスディスプレイにラミネートされる。陽極への電気接続は、単にカプセル化接着剤の下側を通るITOの縦の並びと接触させることにより行なわれる。陰極の横の並びへの電気接続は多くの方法で行なうことができる。装置の陰極側にラミネートされた保護フィルムは、陽極の横の並びと見当が合っている導電性のトレースを搭載していてよい。これらは陰極の横の並びと物理的に接触していても、あるいは、例えば、Z軸導電性接着フィルムにより貼付されていてもよい。あるいは、ITO基板は、カプセル化接着剤の下側を通るITO陰極接触パッドを含むべくパターン付けされていてよい。陰極の横の並びは、例えば各種の堆積マスクの利用により、あるいは角蒸発技術により、これらのパッドに接触するようにできる。
【0062】
本発明はまた、OLED装置またはOLED装置の一部を一時的に保護するためにも有用である。同時係属の米国特許出願第09/231723号に、熱伝導によりOLED装置を製造すべくOLEDドナーシートの利用が記載されている。これらのドナーシートは、外気から保護されて在庫寿命が延びる利点が得られよう。所望のOLED層の堆積の前に接着剤/ライナーマスクをドナー基板に適用してもよい。ドナーシートが酸素あるいは湿気にさらされる前に、ライナーが除去されて、保護フィルムを適用することができる。保護フィルムは、ドナーシート熱結像する直前にドナーフィルムから除去することができ、それによりドナーシートの酸素や湿気への露出を最小にするか、あるいはなくすことができる。ドナー基板はまた、良好な耐酸素性および耐湿性を有することも好適である。
【0063】
本発明の別の想定外の利点は、ロールツーロール処理における損傷からOLEDおよび電極層を保護する点である。接着剤/ライナーマスクは一般に、各種のOLEDおよび電極層よりもz方向に厚い。OLEDフィルムの前面がロールツーロール処理に必要とされるウェブ操作システムのさまざまなローラーを通過する際に、接着剤/ライナーマスクはアクティブなOLED層とこれらローラーとの間の接触を防止ないし最小限にすることができる。さらに、完成したOLEDフィルムが最後取り込みリールあるいは“ジャンボ”ロールに巻き取られる際に、接着剤/ライナーマスクまたはラミネート保護フィルムは、OLED装置(または感熱ドナーフィルム)が最後取り込みリールに巻き取られる際の圧力により生じる損傷を防止ないし最小限にすることができる。
【0064】
OLED構造の外側エッジからいくつかの接着材料を除去することにより、完成した構造に電気接続を確立することも可能である。陽極および陰極リードがITO方式、あるいは接着剤ラインの下を通るその他の導電路である場合、リードを電源または駆動電子回路に取り付けることにより、装置を駆動するための電気接続がなされる。これらのリードを覆う保護層および接着剤の部分を除去して、電源あるいは駆動電子回路の取り付けを容易にすることが望ましいであろう。
【0065】
実施例
別途明示しない限り、化学物質はすべてイーストマン・コダック社(ニューヨーク州ロチェスター)から得たものである。
【0066】
実施例1
図6と7に、ITOで被覆された5cm×7.6cm×1mmのガラス基板(Thin Film Devices社、カリフォルニア州アナハイム)42を示す。酸エッチングにより、ITO被覆の一部をガラス基板の横方向に約10ミリ幅分除去することにより、ITO被覆44は導電性領域46と48の2個の細片に分割されている。さらに図7に示すように、細片46の幅が細片48より広くなるように基板の外長に沿ってITOが除去された。中央の正孔領域が除去されている上面(図示せず)に剥離ライナーを有する一枚の感圧接着性伝導テープ(3M(登録商標)Ultra Pure Viscoelastic Damping Polymer242F01、3M社、ミネソタ州セントポール)50を基板上に手作業でラミネートすることにより、ITO細片46および48の両部分にわたり広がる基板の約10mm×20mmの部分が分離されて、写真フレーム様の形状をなしている。接着性の50の上部剥離ライナーは元の場所に残っている。ガラス基板42がメタノールで洗浄されて窒素流内で乾燥され、次いでキシレンで被覆されたスピンコーターに置かれて、回転乾燥された。切り抜かれた領域にポリ(エチレンジオキシチオフェン)(PEDOT)導電ポリマー(BAYTRON、Bayer社、ペンシルバニア州ピッツバーグ)52の水溶液が適用され、5000rpmで20秒間回転被覆され、次いで15分間100℃のホットメッキ上で乾燥された。被覆されたスライドは直ちに蒸発器真空チャンバに置かれて、チャンバは封止され、約10−5torrまで排気された。100Åの銅フタロシアニン(CuPc)層を1Å/秒で、200Åの4,4’−ビス(ナフタレン−2−yl)−N,N’−ジフェニルベンジジン(α−NPD)正孔輸送層を3Å/秒で、350Åのトリス(8−ヒドロキシキノリネート)アルミニウム(AlQ)を最初の200Åは約1%がクマリン染料(C545TTM)電子輸送層をドープしながら2Å/秒で、10Åのフッ化リチウムを1Å/秒で、4000Åのアルミニウムを10Å/秒、の順序で真空蒸着させてPEDOT表面に発光構造が作られ、それにより有機フィルム層54および陰極層56が形成された。
【0067】
真空チャンバ内において、有機層54(CuPc、α−NPDおよびAlQ並びにクマリン染料)がチャンバの一端およびチャンバの反対側からのLiF/アルミニウム陰極56から方向性を持って被覆されている。有機層54の堆積は、試料ホルダー(図示せず)により被覆された基板の1端で遮蔽されて、細片46および48の一部が被覆されずに残る。チャンバの反対端からのLiF/アルミニウム陰極56の堆積により、LiFおよびアルミニウムの若干がITO層48の未被覆部分に堆積されて電気接触を提供することができる。
【0068】
装置は真空チャンバから除去されて、窒素の下にグローブボックスに置かれた。上部ライナーは、堆積されたランプを囲む接着性の“フレーム”50から除去され、代わりに洗浄されたガラスカバースライド58が露出した接着剤の上に押し付けられてランプを完全に覆いながら、ITO細片46と48は基板の各端で露出されている。被覆された装置はグローブボックスから除去されて、電源をITO細片46と48に接続することによりテストされた。電流が接触点を通って流れた際にランプから発光した。
【0069】
実施例2
図8と9に、ITOで被覆された5cm×7.6cm×1mmのガラス基板(Thin Film Devices社、カリフォルニア州アナハイム)72を示す。標準的な電子ビーム蒸発法を用いて、厚さ約1000ÅμmのAl2O3の層74が、基板72の中央に約10mm×20mmのITO76aの未被覆領域と基板の一端に約10mmの未被覆領域を残す遮蔽マスキング法を用いてITO76上に堆積された。
【0070】
例1で述べたように、エレクトロルミネッセントランプが基板上に構築され、中央のITO領域を囲むAl2O3の部分が感圧接着性伝導テープ78により囲まれていて、PEDOT層86、有機フィルム層80、およびアルミニウム陽極層82を堆積させることによりランプが内部の分離された領域に作られた。窒素グルーブボックス内で、ランプは、露出した接着剤の上に洗浄されたアルミ箔84の試料を置くことにより封止されて、ランプの上部アルミニウム層82に接触している。
【0071】
装置はグローブボックスから除去されて、電源をアルミニウム箔カプセル化層82(陰極として)および基板の端で未被覆のITO細片76b(陽極として)に接続することによりテストされた。電流が接触点を通って流れた際にランプから発光した。
【0072】
上述の説明において、簡潔さ、明快さ、わかりやすさを旨として特定の用語を用いた。これらの用語は説明目的で使われており、概括的に解釈されるべく意図しているため、従来技術の要件を越えて無用の限定を示唆するものではない。さらに、本発明の説明と図解は例示のためであり、図示あるいは記述された詳細内容に本発明の範囲が限定されることはない。
【図面の簡単な説明】
【図1】接着剤被覆ライナーマスクが適用された基板を示す。
【図2】OLED要素が堆積され、ライナーが除去されて、露出した伝導接着剤に封止層が適用された後の、OLED装置の最後シートを示す。OLED装置のシートを個々の装置(すなわち単体)に変換すべく切り込みが入れられる線も示す。
【図3】本発明の方法により作られた有機電子装置の構成材料の分解図を示す。
【図4】本発明で利用できる蒸気相覆処理を単純化した表現で示す。
【図5】本発明のカプセル化材料なしでの典型的なOLED構成を示す。
【図6】本発明を用いたOLED構成の断面図を示す。
【図7】図6のOLEDの平面図を示す。
【図8】本発明を用いた別のOLED構成の平面図を示す。
【図9】図8のOLEDの平面図を示す。
【図10】OED製造において大きさや形が異なる多数の接着剤/ライナー対の利用例を示す。
【図11】各種堆積層が適用された領域を制御すべく、有向層宣堆積と合わせてサイズが異なる接着剤およびライナー層の利用例を示す。
【図12】少なくとも1個は本発明の方法により作られた、2個の部分的OLED構造をラミネートすることにより製造されたOLEDを示す。
Claims (22)
- 有機電子装置を製造する方法であって、
a.パターンが切除されている、接着剤被覆剥離ライナーを提供するステップと、
b.前記パターン付き剥離ライナーの接着剤被覆面を電極基板に適用して、前記電極基板の少なくとも一部が露出した複合構造を形成するステップと、
c.前記複合構造の露出した電極上に1個以上の有機電子要素を堆積するステップと、
d.前記複合構造から前記剥離ライナーを除去するステップと、
e.前記複合構造の露出した接着剤に封止層を接着するステップとを含む方法。 - 有機電子装置を製造する方法であって、
a.電極基板の上に所定のパターンで接着剤を被覆して、前記基板の領域が露出したままで複合構造を形成するステップと、
b.前記露出した基板領域の少なくとも一部が露出したままであるように、前記パターン付けされた接着剤にマスクまたは剥離ライナーを適用するステップと、
c.前記複合構造の上に1個以上の有機電子要素を堆積するステップと、
d.前記接着剤から前記マスクまたは剥離ライナーを除去するステップと、
e.封止層を適用するステップとを含む方法。 - 前記剥離ライナーが除去された後で前記複合構造に保護フィルムが適用され、前記保護フィルムは前記封止層の接着に先立って除去される、請求項1または2に記載の方法。
- 前記接着剤被覆ライナーは前記有機電子要素よりもz方向に厚い、請求項1または2に記載の方法。
- 前記接着剤は、ホットメルト接着剤、感圧接着剤、硬化性接着剤、および充填接着剤を含む群からを選択されている、請求項1または2に記載の方法。
- 前記充填接着剤は、導電性接着剤、熱伝導性接着剤、および乾燥剤入接着剤を含む群から選択されている、請求項5に記載の方法。
- 前記充填接着剤は、非充填接着剤と合わせて用いられる、請求項6に記載の方法。
- 前記接着剤被覆ライナーは、ポリプロピレンフィルム、シロキサンまたはフルオロカーボンで被覆された金属箔、シロキサンまたはフルオロカーボンで被覆されたポリエステル、およびフルオロポリマーフィルムを含む群から選択されている、請求項1または2に記載の方法。
- 前記電極基板に複数の接着剤被覆ライナーが適用されて、有機電子要素堆積中に異なる段階で除去される、請求項1または2に記載の方法。
- 前記接着剤は前記ステップa.とステップb.との間で部分的に、硬化および乾燥の両方または一方がなされる、請求項2に記載の方法。
- 前記封止層は対極である、請求項1または2に記載の方法。
- 前記対極を構成する材料は、フッ化リチウム、カルシウム、アルミニウム、バリウム、イッテルビウム、サマリウム、リチウム、酸化インジウム錫、フッ素錫酸化物、酸化亜鉛、マグネシウム、銀、金、およびカルシウムとマグネシウムとの合金を含む群から選択されている、請求項11に記載の方法。
- 前記封止層は、前記複合構造にラミネートされている部分的な有機電子装置構成を含む、請求項1または2に記載の方法。
- 対極層は最後の有機要素層の後に適用され、前記封止層は保護層である、請求項1または2に記載の方法。
- 前記接着剤被覆ライナーは、有機電子要素および対極層よりもz方向に厚い、請求項14に記載の方法。
- 前記保護層を構成する材料は、金属化ポリマーフィルム、ポリマー多層フィルム、金属メッキ、箔、および薄い可撓性ガラスを含む群から選択されている、請求項14に記載の方法。
- 前記対極を構成する材料は、フッ化リチウム、カルシウム、アルミニウム、バリウム、イッテルビウム、サマリウム、リチウム、酸化インジウム錫、フッ素錫酸化物、酸化亜鉛、マグネシウム、銀、金、およびカルシウムとマグネシウムとの合金を含む群から選択されている、請求項15に記載の方法。
- 装置が製作された後で接着剤を完全に硬化させるステップをさらに含む、請求項2に記載の方法。
- 前記有機電子装置は有機発光ダイオードである、請求項1または2に記載の方法。
- 前記基板は、ガラスとポリマーの多層フィルムから選択されていて、陽極は酸化インジウム錫を含み、正孔輸送層は4,4’−ビス(ナフタレン−2−イル)−N,N’−ジフェニルベンジジンを含み、発光層はクマリンドープト−トリス(8−ヒロドキシキノリネート)アルミニウムを含み、前記電子輸送層はおよび陰極はフッ化リチウムとアルミニウムを含む、請求項19に記載の方法。
- 有機電子装置を含む物品であって、陽極と陰極との間の層は接着層により囲まれていて、前記接着層の外周は前記電極基板と封止層の一方または両方の外周に等しい物品。
- 前記接着層の外周は電極よりも大きい、請求項21に記載の物品。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/614,993 | 2000-07-12 | ||
US09/614,993 US6867539B1 (en) | 2000-07-12 | 2000-07-12 | Encapsulated organic electronic devices and method for making same |
PCT/US2000/031393 WO2002005361A1 (en) | 2000-07-12 | 2000-11-15 | Encapsulated organic electronic devices and method for making same |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004503066A true JP2004503066A (ja) | 2004-01-29 |
JP2004503066A5 JP2004503066A5 (ja) | 2007-12-20 |
JP4699676B2 JP4699676B2 (ja) | 2011-06-15 |
Family
ID=24463553
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002509116A Expired - Fee Related JP4699676B2 (ja) | 2000-07-12 | 2000-11-15 | カプセル化された有機電子装置とその製造方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US6867539B1 (ja) |
EP (1) | EP1299913B1 (ja) |
JP (1) | JP4699676B2 (ja) |
KR (2) | KR100828062B1 (ja) |
AT (1) | ATE459986T1 (ja) |
AU (1) | AU2001225741A1 (ja) |
DE (1) | DE60043946D1 (ja) |
WO (1) | WO2002005361A1 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005038816A (ja) * | 2003-06-25 | 2005-02-10 | Morio Taniguchi | 有機エレクトロルミネッセンス素子、その製法及び電極フィルム |
JP2005516369A (ja) * | 2002-01-31 | 2005-06-02 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 吸着剤入り接着剤を使用する有機電子デバイスの封入 |
JP2006013456A (ja) * | 2004-05-14 | 2006-01-12 | Konarka Technologies Inc | 少なくとも一つの活性有機層を有する電子構成要素を製造するための装置及び方法 |
JP2006164937A (ja) * | 2004-12-03 | 2006-06-22 | Samsung Sdi Co Ltd | 有機電界発光素子及びその製造方法 |
JP2007511044A (ja) * | 2003-11-04 | 2007-04-26 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 有機発光デバイスの製造方法 |
JP2009272208A (ja) * | 2008-05-09 | 2009-11-19 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | マスク部材貼付装置および塗布システム |
WO2010090223A1 (ja) * | 2009-02-05 | 2010-08-12 | 株式会社日立プラントテクノロジー | 基板表面の封止装置と有機elパネルの製造方法 |
JP2011527816A (ja) * | 2008-07-08 | 2011-11-04 | ネーデルランツ オルガニサティー フォール トゥーゲパストナトゥールヴェテンシャッペリーク オンデルズーク テーエンオー | 電子デバイスおよびその製造方法 |
KR101157106B1 (ko) * | 2004-06-09 | 2012-06-22 | 톰슨 라이센싱 | 기밀 패키지 |
JP2015091989A (ja) * | 2007-12-28 | 2015-05-14 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 可撓性封入フィルムシステム |
JP2018107134A (ja) * | 2012-12-17 | 2018-07-05 | ユニバーサル ディスプレイ コーポレイション | フレキシブル有機電子デバイスの製造 |
Families Citing this family (122)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070196682A1 (en) * | 1999-10-25 | 2007-08-23 | Visser Robert J | Three dimensional multilayer barrier and method of making |
US6866901B2 (en) * | 1999-10-25 | 2005-03-15 | Vitex Systems, Inc. | Method for edge sealing barrier films |
US20100330748A1 (en) * | 1999-10-25 | 2010-12-30 | Xi Chu | Method of encapsulating an environmentally sensitive device |
US20090191342A1 (en) * | 1999-10-25 | 2009-07-30 | Vitex Systems, Inc. | Method for edge sealing barrier films |
US7198832B2 (en) * | 1999-10-25 | 2007-04-03 | Vitex Systems, Inc. | Method for edge sealing barrier films |
JP2002009149A (ja) * | 2000-06-20 | 2002-01-11 | Toshiba Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
KR100394028B1 (ko) * | 2000-12-28 | 2003-08-06 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치 및 그 제조방법 |
JP2002344011A (ja) * | 2001-05-15 | 2002-11-29 | Sony Corp | 表示素子及びこれを用いた表示装置 |
DE10134132A1 (de) * | 2001-07-13 | 2003-01-30 | Siemens Ag | Vorrichtung und Verfahren zum kontinuierlichen Drucken von organischen Leuchtdioden |
TW564471B (en) | 2001-07-16 | 2003-12-01 | Semiconductor Energy Lab | Semiconductor device and peeling off method and method of manufacturing semiconductor device |
US20090208754A1 (en) * | 2001-09-28 | 2009-08-20 | Vitex Systems, Inc. | Method for edge sealing barrier films |
US6946676B2 (en) | 2001-11-05 | 2005-09-20 | 3M Innovative Properties Company | Organic thin film transistor with polymeric interface |
TWI264121B (en) * | 2001-11-30 | 2006-10-11 | Semiconductor Energy Lab | A display device, a method of manufacturing a semiconductor device, and a method of manufacturing a display device |
US6953735B2 (en) | 2001-12-28 | 2005-10-11 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for fabricating a semiconductor device by transferring a layer to a support with curvature |
US20070251570A1 (en) * | 2002-03-29 | 2007-11-01 | Konarka Technologies, Inc. | Photovoltaic cells utilizing mesh electrodes |
US6897474B2 (en) * | 2002-04-12 | 2005-05-24 | Universal Display Corporation | Protected organic electronic devices and methods for making the same |
US6835950B2 (en) | 2002-04-12 | 2004-12-28 | Universal Display Corporation | Organic electronic devices with pressure sensitive adhesive layer |
US8808457B2 (en) * | 2002-04-15 | 2014-08-19 | Samsung Display Co., Ltd. | Apparatus for depositing a multilayer coating on discrete sheets |
US8900366B2 (en) * | 2002-04-15 | 2014-12-02 | Samsung Display Co., Ltd. | Apparatus for depositing a multilayer coating on discrete sheets |
DE10318187B4 (de) * | 2002-05-02 | 2010-03-18 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Verkapselungsverfahren für organische Leuchtdiodenbauelemente |
US6949389B2 (en) | 2002-05-02 | 2005-09-27 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Encapsulation for organic light emitting diodes devices |
JP2004047387A (ja) * | 2002-07-15 | 2004-02-12 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 有機多色発光表示素子およびその製造方法 |
US20060118778A1 (en) * | 2002-11-05 | 2006-06-08 | Wolfgang Clemens | Organic electronic component with high-resolution structuring and method for the production thereof |
US6975067B2 (en) | 2002-12-19 | 2005-12-13 | 3M Innovative Properties Company | Organic electroluminescent device and encapsulation method |
EP1586127B1 (de) * | 2003-01-21 | 2007-05-02 | PolyIC GmbH & Co. KG | Organisches elektronikbauteil und verfahren zur herstellung organischer elektronik |
WO2004086462A2 (en) * | 2003-03-24 | 2004-10-07 | Konarka Technologies, Inc. | Photovoltaic cell with mesh electrode |
US7648925B2 (en) * | 2003-04-11 | 2010-01-19 | Vitex Systems, Inc. | Multilayer barrier stacks and methods of making multilayer barrier stacks |
US7510913B2 (en) * | 2003-04-11 | 2009-03-31 | Vitex Systems, Inc. | Method of making an encapsulated plasma sensitive device |
US6998776B2 (en) | 2003-04-16 | 2006-02-14 | Corning Incorporated | Glass package that is hermetically sealed with a frit and method of fabrication |
US7535017B2 (en) * | 2003-05-30 | 2009-05-19 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Flexible multilayer packaging material and electronic devices with the packaging material |
US7002292B2 (en) * | 2003-07-22 | 2006-02-21 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Organic electronic device |
US6998648B2 (en) | 2003-08-25 | 2006-02-14 | Universal Display Corporation | Protected organic electronic device structures incorporating pressure sensitive adhesive and desiccant |
US7052355B2 (en) * | 2003-10-30 | 2006-05-30 | General Electric Company | Organic electro-optic device and method for making the same |
US20050093437A1 (en) * | 2003-10-31 | 2005-05-05 | Ouyang Michael X. | OLED structures with strain relief, antireflection and barrier layers |
US7271534B2 (en) * | 2003-11-04 | 2007-09-18 | 3M Innovative Properties Company | Segmented organic light emitting device |
US7279063B2 (en) * | 2004-01-16 | 2007-10-09 | Eastman Kodak Company | Method of making an OLED display device with enhanced optical and mechanical properties |
US7135352B2 (en) * | 2004-02-26 | 2006-11-14 | Eastman Kodak Company | Method of fabricating a cover plate bonded over an encapsulated OLEDs |
US20050196525A1 (en) * | 2004-03-03 | 2005-09-08 | Eastman Kodak Company | Cutting and delivering cut OLED donor sheets |
US8405193B2 (en) * | 2004-04-02 | 2013-03-26 | General Electric Company | Organic electronic packages having hermetically sealed edges and methods of manufacturing such packages |
KR20070015590A (ko) * | 2004-04-22 | 2007-02-05 | 오스람 옵토 세미컨덕터스 게엠베하 | 유기 전자 부품용 캡슐, 그의 제조 방법 및 용도 |
US20050282307A1 (en) * | 2004-06-21 | 2005-12-22 | Daniels John J | Particulate for organic and inorganic light active devices and methods for fabricating the same |
US7033850B2 (en) * | 2004-06-30 | 2006-04-25 | Eastman Kodak Company | Roll-to-sheet manufacture of OLED materials |
KR100700000B1 (ko) * | 2004-10-19 | 2007-03-26 | 삼성에스디아이 주식회사 | 표시장치와 그 제조방법 |
EP1684366A1 (en) * | 2005-01-25 | 2006-07-26 | Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | Electronic device comprising an electronic component and encapsulation members |
US8080277B2 (en) * | 2005-03-18 | 2011-12-20 | Konica Minolta Holdings, Inc. | Method of forming organic compound layer, method of manufacturing organic EL element and organic EL element |
US20070224464A1 (en) * | 2005-03-21 | 2007-09-27 | Srini Balasubramanian | Dye-sensitized photovoltaic cells |
DE102005022039B4 (de) * | 2005-05-09 | 2008-11-13 | Polyic Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung eines verkapselten Elektronikbauteils |
JP2006318776A (ja) * | 2005-05-13 | 2006-11-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置 |
DE112006002045A5 (de) * | 2005-08-17 | 2008-08-07 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines organischen Bauteils |
US7767498B2 (en) | 2005-08-25 | 2010-08-03 | Vitex Systems, Inc. | Encapsulated devices and method of making |
WO2007034647A1 (ja) * | 2005-09-20 | 2007-03-29 | Konica Minolta Holdings, Inc. | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法、有機エレクトロルミネッセンス表示装置 |
US20070096646A1 (en) * | 2005-10-28 | 2007-05-03 | Van Nice Harold L | Electroluminescent displays |
US7621794B2 (en) * | 2005-11-09 | 2009-11-24 | International Display Systems, Inc. | Method of encapsulating an organic light-emitting device |
US7597603B2 (en) | 2005-12-06 | 2009-10-06 | Corning Incorporated | Method of encapsulating a display element |
US7537504B2 (en) | 2005-12-06 | 2009-05-26 | Corning Incorporated | Method of encapsulating a display element with frit wall and laser beam |
KR100733768B1 (ko) | 2005-12-09 | 2007-07-02 | (주)에스티아이 | 필름패턴 형성수단을 구비한 기판 인캡슐레이션 장치 및방법 |
US20070200489A1 (en) * | 2006-02-01 | 2007-08-30 | Poon Hak F | Large area organic electronic devices and methods of fabricating the same |
US7710045B2 (en) * | 2006-03-17 | 2010-05-04 | 3M Innovative Properties Company | Illumination assembly with enhanced thermal conductivity |
US8017220B2 (en) * | 2006-10-04 | 2011-09-13 | Corning Incorporated | Electronic device and method of making |
WO2008078648A1 (ja) * | 2006-12-26 | 2008-07-03 | Sharp Kabushiki Kaisha | 有機エレクトロルミネセンスパネル、有機エレクトロルミネセンスディスプレイ、有機エレクトロルミネセンス照明、及び、それらの製造方法 |
BRPI0720867A2 (pt) * | 2006-12-29 | 2014-03-04 | 3M Innovative Properties Company. | Método para fabricação de filmes inorgânicos ou híbridos inorgânicos/orgânicos |
WO2008122027A2 (en) * | 2007-04-02 | 2008-10-09 | Konarka Technologies, Inc. | Novel electrode |
JP2010525520A (ja) * | 2007-04-20 | 2010-07-22 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 真空積層と組み合わされた蒸着法による有機発光ダイオードの作成 |
CN101909873B (zh) * | 2007-12-28 | 2016-10-19 | 3M创新有限公司 | 用于阳光控制及其它用途的红外线反射膜 |
US20100009588A1 (en) * | 2008-03-03 | 2010-01-14 | Ray Robert B | Method of manufacturing lighted signs from electroluminescent panels |
WO2009134697A2 (en) * | 2008-04-30 | 2009-11-05 | Applied Materials, Inc. | Roll to roll oled production system |
WO2010002755A2 (en) * | 2008-06-30 | 2010-01-07 | 3M Innovative Properties Company | Method of making inorganic or inorganic/organic hybrid barrier films |
US9337446B2 (en) * | 2008-12-22 | 2016-05-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Encapsulated RGB OLEDs having enhanced optical output |
US9184410B2 (en) | 2008-12-22 | 2015-11-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Encapsulated white OLEDs having enhanced optical output |
US20100167002A1 (en) * | 2008-12-30 | 2010-07-01 | Vitex Systems, Inc. | Method for encapsulating environmentally sensitive devices |
JP5541872B2 (ja) * | 2009-02-26 | 2014-07-09 | パナソニック株式会社 | 面状発光装置および照明器具 |
FI123170B (fi) * | 2009-05-26 | 2012-11-30 | Beneq Oy | Järjestely substraatin käsittelemiseksi sekä asennusalusta substraattia varten |
JPWO2011027815A1 (ja) * | 2009-09-04 | 2013-02-04 | 株式会社スリーボンド | 有機el素子封止部材 |
EP2292339A1 (en) * | 2009-09-07 | 2011-03-09 | Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Coating method and coating apparatus |
TWI423718B (zh) * | 2009-10-21 | 2014-01-11 | Au Optronics Corp | 有機電致發光裝置及具有此有機電致發光裝置的電子裝置 |
KR101267534B1 (ko) * | 2009-10-30 | 2013-05-23 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기전계발광소자의 제조방법 |
WO2011070841A1 (ja) * | 2009-12-11 | 2011-06-16 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 有機el素子の製造方法 |
US8753711B2 (en) * | 2009-12-18 | 2014-06-17 | General Electric Company | Edge sealing method using barrier coatings |
US8590338B2 (en) | 2009-12-31 | 2013-11-26 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Evaporator with internal restriction |
WO2011096923A1 (en) * | 2010-02-03 | 2011-08-11 | Universal Display Corporation | Organic light emitting device with conducting cover |
JP2012043689A (ja) * | 2010-08-20 | 2012-03-01 | Toshiba Tec Corp | 有機el装置の製造方法 |
JP2012164581A (ja) * | 2011-02-08 | 2012-08-30 | Nitto Denko Corp | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製法 |
CN102681709B (zh) * | 2011-03-17 | 2016-01-27 | 宸鸿光电科技股份有限公司 | 触控显示设备及其制造方法 |
DE102011076750A1 (de) * | 2011-05-31 | 2012-12-06 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Optoelektronisches Bauelement und Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelements |
JP2014519161A (ja) * | 2011-06-30 | 2014-08-07 | オーシャンズ キング ライティング サイエンスアンドテクノロジー カンパニー リミテッド | トップエミッション型のフレキシブル有機エレクトロルミネッセンスデバイス及びその製造方法 |
JP2014519162A (ja) * | 2011-06-30 | 2014-08-07 | オーシャンズ キング ライティング サイエンスアンドテクノロジー カンパニー リミテッド | トップエミッション型の有機エレクトロルミネッセンスダイオード及びその製造方法 |
TWI612123B (zh) * | 2012-02-03 | 2018-01-21 | Lg化學股份有限公司 | 黏合膜 |
US9711392B2 (en) * | 2012-07-25 | 2017-07-18 | Infineon Technologies Ag | Field emission devices and methods of making thereof |
WO2014021687A1 (ko) * | 2012-08-02 | 2014-02-06 | 주식회사 엘지화학 | 접착 필름 및 이를 이용한 유기전자장치의 봉지 방법 |
KR101408603B1 (ko) * | 2012-08-02 | 2014-06-17 | 주식회사 엘지화학 | 접착 필름 및 이를 이용한 유기전자장치의 봉지 방법 |
US20150213990A1 (en) | 2012-08-08 | 2015-07-30 | 3M Innovative Properties Company | Barrier film constructions and methods of making same |
EP2885130A4 (en) * | 2012-08-16 | 2016-06-29 | 3M Innovative Properties Co | METHOD FOR PRODUCING BARRIER ARRANGEMENTS |
JP6098984B2 (ja) | 2012-08-30 | 2017-03-22 | コーニング インコーポレイテッド | アンチモンフリーガラス、アンチモンフリーフリット、およびそのフリットで気密封止されるガラスパッケージ |
KR20150079493A (ko) * | 2012-10-29 | 2015-07-08 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 롤투롤 방식을 이용한 유기 일렉트로루미네센스 패널의 제조 방법 |
US9142777B2 (en) * | 2013-01-08 | 2015-09-22 | OLEDWorks LLC | Apparatus and method for making OLED lighting device |
KR20140091346A (ko) * | 2013-01-11 | 2014-07-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 및 그 제조 방법 |
WO2014129519A1 (en) * | 2013-02-20 | 2014-08-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Peeling method, semiconductor device, and peeling apparatus |
CN104051357B (zh) * | 2013-03-15 | 2017-04-12 | 财团法人工业技术研究院 | 环境敏感电子装置以及其封装方法 |
CN104051667A (zh) * | 2013-03-15 | 2014-09-17 | 海洋王照明科技股份有限公司 | 有机电致发光器件及其封装方法 |
KR20140140188A (ko) * | 2013-05-28 | 2014-12-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | 도너기판 및 이의 제조방법 및 이를 이용한 전사패턴 형성방법 |
JP6204081B2 (ja) * | 2013-06-19 | 2017-09-27 | 株式会社小糸製作所 | 車両用灯具 |
EP2963700B1 (en) * | 2013-09-30 | 2019-11-06 | LG Display Co., Ltd. | Method for manufacturing organic electronic device |
TWI562428B (en) * | 2013-09-30 | 2016-12-11 | Lg Display Co Ltd | Organic light emitting device and method for preparing the same |
CN103682045B (zh) * | 2013-12-04 | 2016-09-14 | 北京国联万众半导体科技有限公司 | 一种led封装杯体的加工方法及相应模具 |
CN105793957B (zh) | 2013-12-12 | 2019-05-03 | 株式会社半导体能源研究所 | 剥离方法及剥离装置 |
KR101402355B1 (ko) | 2014-01-16 | 2014-06-02 | (주)휴넷플러스 | 유기 전자 소자 및 이의 제조방법 |
KR102278124B1 (ko) * | 2014-03-19 | 2021-07-15 | 린텍 가부시키가이샤 | 전자 소자 밀봉용 적층 시트 및 전자 디바이스의 제조 방법 |
US20150372251A1 (en) * | 2014-06-19 | 2015-12-24 | Toshishige Fujii | Electric element package |
DE102014223367A1 (de) * | 2014-11-17 | 2016-05-19 | Osram Oled Gmbh | Organische Leuchtiode, organisches Leuchtmodul und Verfahren zur Herstellung einer organischen Leuchtiode |
US10084135B2 (en) * | 2014-11-27 | 2018-09-25 | Industrial Technology Research Institute | Illumination device and method of fabricating an illumination device |
US10562055B2 (en) * | 2015-02-20 | 2020-02-18 | Si-Ware Systems | Selective step coverage for micro-fabricated structures |
CN104701353A (zh) * | 2015-03-27 | 2015-06-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 有机发光显示面板和显示装置 |
CN104934550A (zh) * | 2015-05-07 | 2015-09-23 | 京东方科技集团股份有限公司 | Oled器件的封装结构、封装方法以及电子设备 |
DE102016109204A1 (de) * | 2016-05-19 | 2017-11-23 | Osram Oled Gmbh | Organisches, lichtemittierendes bauelement und verfahren zum herstellen desselben |
JP2018041565A (ja) * | 2016-09-05 | 2018-03-15 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置 |
US10529948B2 (en) * | 2016-09-28 | 2020-01-07 | Sharp Kabushiki Kaisha | Organic EL display device and method for producing same |
DE102016122688A1 (de) * | 2016-11-24 | 2018-05-24 | Osram Oled Gmbh | Verfahren zur Herstellung einer organischen Leuchtdiode und organische Leuchtdiode |
KR20230117645A (ko) | 2017-04-26 | 2023-08-08 | 오티아이 루미오닉스 인크. | 표면의 코팅을 패턴화하는 방법 및 패턴화된 코팅을포함하는 장치 |
JP2021503178A (ja) * | 2017-11-14 | 2021-02-04 | アグフア−ゲヴエルト,ナームローゼ・フエンノートシヤツプ | 導電性パターンの製造法 |
CN114303184A (zh) * | 2019-08-30 | 2022-04-08 | 华为技术有限公司 | 显示屏和终端设备 |
JP6858912B2 (ja) * | 2019-10-09 | 2021-04-14 | 日東電工株式会社 | フレキシブル画像表示装置およびそれに用いる光学積層体 |
WO2021131218A1 (ja) * | 2019-12-27 | 2021-07-01 | 日東電工株式会社 | フレキシブル画像表示装置およびそれに用いる光学積層体 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6229091A (ja) * | 1985-07-31 | 1987-02-07 | ホ−ヤ株式会社 | El素子の封止方法 |
JPH07288185A (ja) * | 1994-04-20 | 1995-10-31 | Dainippon Printing Co Ltd | 有機薄膜el素子 |
JPH10261486A (ja) * | 1997-03-19 | 1998-09-29 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 有機el発光装置の製造方法 |
JPH11144864A (ja) * | 1997-11-13 | 1999-05-28 | Mitsubishi Chemical Corp | 有機電界発光素子及びその製造方法 |
JPH11273855A (ja) * | 1998-03-25 | 1999-10-08 | Tdk Corp | 有機el表示器 |
JPH11307246A (ja) * | 1998-04-16 | 1999-11-05 | Sumitomo Chem Co Ltd | パターン化された有機薄膜の製造方法、パターン化された有機薄膜を含む有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法 |
JP2000036381A (ja) * | 1998-07-09 | 2000-02-02 | Eastman Kodak Co | 有機elディスプレ―パネル及びそのシ―ル方法 |
JP2000173766A (ja) * | 1998-09-30 | 2000-06-23 | Sanyo Electric Co Ltd | 表示装置 |
JP2001118679A (ja) * | 1999-10-18 | 2001-04-27 | Toyota Motor Corp | 有機el素子の製造方法 |
Family Cites Families (73)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3376177A (en) * | 1964-05-04 | 1968-04-02 | Sylvania Electric Prod | Process for the manufacture of electroluminescent lamps |
USRE29284E (en) * | 1966-09-06 | 1977-06-28 | Rockwell International Corporation | Process for forming interconnections in a multilayer circuit board |
US3621321A (en) | 1969-10-28 | 1971-11-16 | Canadian Patents Dev | Electroluminescent device with light emitting aromatic, hydrocarbon material |
US4015166A (en) * | 1972-09-06 | 1977-03-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | X-Y matrix type electroluminescent display panel |
US3995299A (en) | 1974-10-15 | 1976-11-30 | The Secretary Of State For Industry In Her Britannic Majesty's Government Of The United Kingdom Of Great Britain And Northern Ireland | Radiation sources |
GB1559850A (en) * | 1975-12-23 | 1980-01-30 | Smiths Industries Ltd | Electroluminescent display devices |
US4818576A (en) * | 1980-02-20 | 1989-04-04 | Flexcon Co., Inc. | Silicone releases, laminates and methods |
US5184969A (en) * | 1988-05-31 | 1993-02-09 | Electroluminscent Technologies Corporation | Electroluminescent lamp and method for producing the same |
US4862827A (en) | 1988-06-28 | 1989-09-05 | Wacker-Chemie Gmbh | Apparatus for coating semiconductor components on a dielectric film |
US4913930A (en) | 1988-06-28 | 1990-04-03 | Wacker Silicones Corporation | Method for coating semiconductor components on a dielectric film |
US5189405A (en) | 1989-01-26 | 1993-02-23 | Sharp Kabushiki Kaisha | Thin film electroluminescent panel |
US5055076A (en) * | 1989-03-09 | 1991-10-08 | Stanley Electric Co., Ltd. | Electroluminescent panel and method of manufacturing the same |
US5112882A (en) | 1989-09-06 | 1992-05-12 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Radiation curable polyolefin pressure sensitive adhesive |
US5131877A (en) * | 1989-10-12 | 1992-07-21 | Alps Electric Co., Ltd. | Electroluminescent device |
US5061549A (en) | 1990-03-20 | 1991-10-29 | Shores A Andrew | Substrate attach adhesive film, application method and devices incorporating the same |
US5061657A (en) | 1990-07-18 | 1991-10-29 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Method of making integrated circuit to package electrical connections after encapsulation with an organic polymer |
US5201976A (en) * | 1991-05-06 | 1993-04-13 | Morgan Adhesives Company | Method of producing a continuous label web |
EP0569827A2 (en) * | 1992-05-11 | 1993-11-18 | Idemitsu Kosan Company Limited | Organic electroluminescence device |
US5652067A (en) | 1992-09-10 | 1997-07-29 | Toppan Printing Co., Ltd. | Organic electroluminescent device |
US5744557A (en) | 1993-06-16 | 1998-04-28 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Energy-curable cyanate/ethylenically unsaturated compositions |
US5362421A (en) | 1993-06-16 | 1994-11-08 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Electrically conductive adhesive compositions |
US6218774B1 (en) * | 1993-06-30 | 2001-04-17 | Edward J. A. Pope | Photoluminescent/electroluminescent display screen |
BR9407741A (pt) | 1993-10-04 | 1997-02-12 | Catalina Coatings Inc | Revestimento de acrilato |
JPH07282975A (ja) | 1994-04-14 | 1995-10-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 有機el素子及びその製造方法 |
US5637176A (en) * | 1994-06-16 | 1997-06-10 | Fry's Metals, Inc. | Methods for producing ordered Z-axis adhesive materials, materials so produced, and devices, incorporating such materials |
US5818168A (en) * | 1994-09-07 | 1998-10-06 | Hitachi, Ltd. | Gas discharge display panel having communicable main and auxiliary discharge spaces and manufacturing method therefor |
US5607789A (en) | 1995-01-23 | 1997-03-04 | Duracell Inc. | Light transparent multilayer moisture barrier for electrochemical cell tester and cell employing same |
US5593794A (en) | 1995-01-23 | 1997-01-14 | Duracell Inc. | Moisture barrier composite film of silicon nitride and fluorocarbon polymer and its use with an on-cell tester for an electrochemical cell |
US5804917A (en) * | 1995-01-31 | 1998-09-08 | Futaba Denshi Kogyo K.K. | Organic electroluminescent display device and method for manufacturing same |
US5552547A (en) * | 1995-02-13 | 1996-09-03 | Shi; Song Q. | Organometallic complexes with built-in fluorescent dyes for use in light emitting devices |
US5786664A (en) | 1995-03-27 | 1998-07-28 | Youmin Liu | Double-sided electroluminescent device |
WO1996033593A1 (en) | 1995-04-18 | 1996-10-24 | Cambridge Display Technology Limited | Manufacture of organic light emitting devices |
US5641611A (en) | 1995-08-21 | 1997-06-24 | Motorola | Method of fabricating organic LED matrices |
US5811177A (en) | 1995-11-30 | 1998-09-22 | Motorola, Inc. | Passivation of electroluminescent organic devices |
US5686360A (en) | 1995-11-30 | 1997-11-11 | Motorola | Passivation of organic devices |
WO1997026673A1 (en) | 1996-01-16 | 1997-07-24 | Durel Corporation | Roll coated el panel |
KR100453427B1 (ko) * | 1996-02-26 | 2005-02-28 | 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 | 유기전자발광소자및그의제조방법 |
EP0884930B1 (en) | 1996-02-26 | 2010-09-29 | Idemitsu Kosan Company Limited | Organic electroluminescent element and method for manufacturing the same |
CA2254883A1 (en) | 1996-05-16 | 1997-11-20 | Christopher A. Haak | Adhesive compositions and methods of use |
IL126993A (en) | 1996-07-10 | 2002-12-01 | Ibm | Siloxane and siloxane derivatives as encapsulants for organic light emitting devices |
US5734225A (en) | 1996-07-10 | 1998-03-31 | International Business Machines Corporation | Encapsulation of organic light emitting devices using siloxane or siloxane derivatives |
US5998085A (en) | 1996-07-23 | 1999-12-07 | 3M Innovative Properties | Process for preparing high resolution emissive arrays and corresponding articles |
US5844363A (en) | 1997-01-23 | 1998-12-01 | The Trustees Of Princeton Univ. | Vacuum deposited, non-polymeric flexible organic light emitting devices |
US5682066A (en) | 1996-08-12 | 1997-10-28 | Motorola, Inc. | Microelectronic assembly including a transparent encapsulant |
JPH1057214A (ja) | 1996-08-22 | 1998-03-03 | Hagiwara Kogyo Kk | 健康枕 |
US5948552A (en) | 1996-08-27 | 1999-09-07 | Hewlett-Packard Company | Heat-resistant organic electroluminescent device |
JP2760347B2 (ja) | 1996-09-27 | 1998-05-28 | 日本電気株式会社 | 有機薄膜電界発光素子およびその製造方法 |
US5895228A (en) | 1996-11-14 | 1999-04-20 | International Business Machines Corporation | Encapsulation of organic light emitting devices using Siloxane or Siloxane derivatives |
US5821692A (en) | 1996-11-26 | 1998-10-13 | Motorola, Inc. | Organic electroluminescent device hermetic encapsulation package |
US6219113B1 (en) * | 1996-12-17 | 2001-04-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for driving an active matrix display panel |
KR100195175B1 (ko) | 1996-12-23 | 1999-06-15 | 손욱 | 유기전자발광소자 유기박막용 도너필름, 이를 이용한 유기전자발광소자의 제조방법 및 그 방법에 따라 제조된 유기전자발광소자 |
JPH10183112A (ja) | 1996-12-27 | 1998-07-14 | Sony Corp | 電界発光素子 |
US5904961A (en) | 1997-01-24 | 1999-05-18 | Eastman Kodak Company | Method of depositing organic layers in organic light emitting devices |
US5739545A (en) | 1997-02-04 | 1998-04-14 | International Business Machines Corporation | Organic light emitting diodes having transparent cathode structures |
JP3234523B2 (ja) | 1997-02-07 | 2001-12-04 | エスエムシー株式会社 | 恒温冷媒液循環装置 |
US6049167A (en) * | 1997-02-17 | 2000-04-11 | Tdk Corporation | Organic electroluminescent display device, and method and system for making the same |
US5874804A (en) | 1997-03-03 | 1999-02-23 | Motorola, Inc. | Organic electroluminescent device hermetic encapsulation package and method of fabrication |
TW393785B (en) * | 1997-09-19 | 2000-06-11 | Siemens Ag | Method to produce many semiconductor-bodies |
WO1999021707A1 (en) | 1997-10-24 | 1999-05-06 | Agfa-Gevaert Naamloze Vennootschap | A laminate comprising a thin borosilicate glass substrate as a constituting layer |
EP0929104B1 (en) * | 1998-01-09 | 2009-08-05 | Sony Corporation | Electroluminescence device and process for producing the same |
JP3092584B2 (ja) * | 1998-03-23 | 2000-09-25 | 日本電気株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
GB9808221D0 (en) * | 1998-04-17 | 1998-06-17 | Sharp Kk | Liquid crystal device manufacturing methods |
JP3507437B2 (ja) * | 1998-05-13 | 2004-03-15 | シグナス, インコーポレイテッド | 経皮サンプリング系のための収集アセンブリ |
JP2000003783A (ja) * | 1998-06-12 | 2000-01-07 | Tdk Corp | 有機el表示装置 |
JP3692844B2 (ja) * | 1998-07-24 | 2005-09-07 | セイコーエプソン株式会社 | 電界発光素子、及び電子機器 |
US6146225A (en) | 1998-07-30 | 2000-11-14 | Agilent Technologies, Inc. | Transparent, flexible permeability barrier for organic electroluminescent devices |
CA2353506A1 (en) | 1998-11-02 | 2000-05-11 | 3M Innovative Properties Company | Transparent conductive oxides for plastic flat panel displays |
TW439308B (en) | 1998-12-16 | 2001-06-07 | Battelle Memorial Institute | Environmental barrier material for organic light emitting device and method of making |
US6247986B1 (en) * | 1998-12-23 | 2001-06-19 | 3M Innovative Properties Company | Method for precise molding and alignment of structures on a substrate using a stretchable mold |
JP2000208252A (ja) | 1999-01-14 | 2000-07-28 | Tdk Corp | 有機el素子 |
US6114088A (en) | 1999-01-15 | 2000-09-05 | 3M Innovative Properties Company | Thermal transfer element for forming multilayer devices |
DE60035078T2 (de) | 1999-01-15 | 2008-01-31 | 3M Innovative Properties Co., St. Paul | Herstellungsverfahren eines Donorelements für Übertragung durch Wärme |
US6569674B1 (en) * | 1999-12-15 | 2003-05-27 | Amersham Biosciences Ab | Method and apparatus for performing biological reactions on a substrate surface |
-
2000
- 2000-07-12 US US09/614,993 patent/US6867539B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-11-15 KR KR1020077011713A patent/KR100828062B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2000-11-15 AT AT00989200T patent/ATE459986T1/de not_active IP Right Cessation
- 2000-11-15 WO PCT/US2000/031393 patent/WO2002005361A1/en active Application Filing
- 2000-11-15 AU AU2001225741A patent/AU2001225741A1/en not_active Abandoned
- 2000-11-15 KR KR10-2003-7000344A patent/KR20030031116A/ko active Search and Examination
- 2000-11-15 EP EP00989200A patent/EP1299913B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-11-15 JP JP2002509116A patent/JP4699676B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2000-11-15 DE DE60043946T patent/DE60043946D1/de not_active Expired - Lifetime
-
2005
- 2005-01-14 US US11/035,517 patent/US20050129841A1/en not_active Abandoned
-
2011
- 2011-03-31 US US13/077,152 patent/US8657985B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6229091A (ja) * | 1985-07-31 | 1987-02-07 | ホ−ヤ株式会社 | El素子の封止方法 |
JPH07288185A (ja) * | 1994-04-20 | 1995-10-31 | Dainippon Printing Co Ltd | 有機薄膜el素子 |
JPH10261486A (ja) * | 1997-03-19 | 1998-09-29 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 有機el発光装置の製造方法 |
JPH11144864A (ja) * | 1997-11-13 | 1999-05-28 | Mitsubishi Chemical Corp | 有機電界発光素子及びその製造方法 |
JPH11273855A (ja) * | 1998-03-25 | 1999-10-08 | Tdk Corp | 有機el表示器 |
JPH11307246A (ja) * | 1998-04-16 | 1999-11-05 | Sumitomo Chem Co Ltd | パターン化された有機薄膜の製造方法、パターン化された有機薄膜を含む有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法 |
JP2000036381A (ja) * | 1998-07-09 | 2000-02-02 | Eastman Kodak Co | 有機elディスプレ―パネル及びそのシ―ル方法 |
JP2000173766A (ja) * | 1998-09-30 | 2000-06-23 | Sanyo Electric Co Ltd | 表示装置 |
JP2001118679A (ja) * | 1999-10-18 | 2001-04-27 | Toyota Motor Corp | 有機el素子の製造方法 |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005516369A (ja) * | 2002-01-31 | 2005-06-02 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 吸着剤入り接着剤を使用する有機電子デバイスの封入 |
JP2005038816A (ja) * | 2003-06-25 | 2005-02-10 | Morio Taniguchi | 有機エレクトロルミネッセンス素子、その製法及び電極フィルム |
JP2007511044A (ja) * | 2003-11-04 | 2007-04-26 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 有機発光デバイスの製造方法 |
JP2006013456A (ja) * | 2004-05-14 | 2006-01-12 | Konarka Technologies Inc | 少なくとも一つの活性有機層を有する電子構成要素を製造するための装置及び方法 |
JP2013084968A (ja) * | 2004-05-14 | 2013-05-09 | Merck Patent Gmbh | 少なくとも一つの活性有機層を有する電子構成要素を製造するための装置及び方法 |
JP2011061238A (ja) * | 2004-05-14 | 2011-03-24 | Konarka Technologies Inc | 少なくとも一つの活性有機層を有する電子構成要素を製造するための装置及び方法 |
KR101157106B1 (ko) * | 2004-06-09 | 2012-06-22 | 톰슨 라이센싱 | 기밀 패키지 |
JP2006164937A (ja) * | 2004-12-03 | 2006-06-22 | Samsung Sdi Co Ltd | 有機電界発光素子及びその製造方法 |
JP2015091989A (ja) * | 2007-12-28 | 2015-05-14 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 可撓性封入フィルムシステム |
JP2009272208A (ja) * | 2008-05-09 | 2009-11-19 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | マスク部材貼付装置および塗布システム |
JP2011527816A (ja) * | 2008-07-08 | 2011-11-04 | ネーデルランツ オルガニサティー フォール トゥーゲパストナトゥールヴェテンシャッペリーク オンデルズーク テーエンオー | 電子デバイスおよびその製造方法 |
JP2010182530A (ja) * | 2009-02-05 | 2010-08-19 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 基板表面の封止装置と有機elパネルの製造方法 |
WO2010090223A1 (ja) * | 2009-02-05 | 2010-08-12 | 株式会社日立プラントテクノロジー | 基板表面の封止装置と有機elパネルの製造方法 |
JP2018107134A (ja) * | 2012-12-17 | 2018-07-05 | ユニバーサル ディスプレイ コーポレイション | フレキシブル有機電子デバイスの製造 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20050129841A1 (en) | 2005-06-16 |
AU2001225741A1 (en) | 2002-01-21 |
KR20030031116A (ko) | 2003-04-18 |
EP1299913B1 (en) | 2010-03-03 |
ATE459986T1 (de) | 2010-03-15 |
KR20070061596A (ko) | 2007-06-13 |
US8657985B2 (en) | 2014-02-25 |
WO2002005361A1 (en) | 2002-01-17 |
US20110177637A1 (en) | 2011-07-21 |
US6867539B1 (en) | 2005-03-15 |
EP1299913A1 (en) | 2003-04-09 |
KR100828062B1 (ko) | 2008-05-09 |
DE60043946D1 (de) | 2010-04-15 |
JP4699676B2 (ja) | 2011-06-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4699676B2 (ja) | カプセル化された有機電子装置とその製造方法 | |
JP6577069B2 (ja) | フレキシブル有機電子デバイスの製造 | |
KR101278251B1 (ko) | 활성 유기 재료를 포함하는 전자 디바이스용 기밀 씰 | |
JP5485207B2 (ja) | 有機電子デバイスにおける欠陥の影響を軽減する電極 | |
US8029684B2 (en) | Self-emission panel and method of manufacturing the same | |
US20050062174A1 (en) | Encapsulated organic electronic device | |
KR20030036089A (ko) | 전기 광학 장치 및 그 제조 방법과 전자 기기 | |
JPH10312883A (ja) | 有機電界発光素子 | |
EP2914063A1 (en) | Organic electroluminescence light emission device and method for manufacturing same | |
JP4325249B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 | |
JP2005524946A (ja) | 有機デバイス | |
JP4325248B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 | |
JP2002050471A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法 | |
KR20100032703A (ko) | 유기 발광 소자 및 그 제조방법 | |
JP2000123971A (ja) | 有機elの製造方法 | |
JP2007287613A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法 | |
JP5574421B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス照明装置の製造方法 | |
KR20010039830A (ko) | 유기박막el디바이스 | |
CN108029176B (zh) | 有机电子设备的制造方法及密封构件的制造方法 | |
JP2006086084A (ja) | 自発光パネルの製造方法 | |
WO2010092882A1 (ja) | 有機el発光装置 | |
JP2004303655A (ja) | 有機電界発光素子の製造方法及び有機電界発光素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071031 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071031 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100406 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100705 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100712 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100913 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110201 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110303 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |