JP2004169136A - 銅合金スパッタリングターゲット及び半導体素子配線 - Google Patents
銅合金スパッタリングターゲット及び半導体素子配線 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004169136A JP2004169136A JP2002337341A JP2002337341A JP2004169136A JP 2004169136 A JP2004169136 A JP 2004169136A JP 2002337341 A JP2002337341 A JP 2002337341A JP 2002337341 A JP2002337341 A JP 2002337341A JP 2004169136 A JP2004169136 A JP 2004169136A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- copper alloy
- sputtering target
- alloy sputtering
- copper
- wtppm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/28—Manufacture of electrodes on semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/268
- H01L21/283—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current
- H01L21/285—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current from a gas or vapour, e.g. condensation
- H01L21/28506—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current from a gas or vapour, e.g. condensation of conductive layers
- H01L21/28512—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current from a gas or vapour, e.g. condensation of conductive layers on semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System
- H01L21/2855—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current from a gas or vapour, e.g. condensation of conductive layers on semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System by physical means, e.g. sputtering, evaporation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C9/00—Alloys based on copper
- C22C9/01—Alloys based on copper with aluminium as the next major constituent
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C9/00—Alloys based on copper
- C22C9/02—Alloys based on copper with tin as the next major constituent
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
- C23C14/18—Metallic material, boron or silicon on other inorganic substrates
- C23C14/185—Metallic material, boron or silicon on other inorganic substrates by cathodic sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
- C23C14/3414—Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76838—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the conductors
- H01L21/76841—Barrier, adhesion or liner layers
- H01L21/76871—Layers specifically deposited to enhance or enable the nucleation of further layers, i.e. seed layers
- H01L21/76873—Layers specifically deposited to enhance or enable the nucleation of further layers, i.e. seed layers for electroplating
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】Alを0.5〜4.0wt%含有し、Siが0.5wtppm以下である銅合金スパッタリングターゲット及びSnを0.5〜4.0wt%含有し、Mnが0.5wtppm以下である銅合金スパッタリングターゲット並びにこれらにSb,Zr,Ti,Cr,Ag,Au,Cd,In,Asから選択した1又は2以上を総量で1.0wtppm以下含有する銅合金スパッタリングターゲット。
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子の配線材、特に銅電気メッキの際に、凝集がなく安定で均一なシード層を形成させることができ、かつスパッタ成膜特性に優れた銅合金スパッタリングターゲット及び同ターゲットにより形成された半導体素子配線に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体素子の配線材料としてAl(比抵抗3.1μΩ・cm程度)が使われてきたが、配線の微細化に伴いより抵抗の低い銅配線(比抵抗1.7μΩ・cm程度)が実用化されてきた。
現在の銅配線の形成プロセスとしては、コンタクトホール又は配線溝の凹部にTa/TaNなどの拡散バリア層を形成した後、銅を電気メッキすることが多い。この電気メッキを行うために下地層(シード層)として、銅または銅合金をスパッタ成膜することが一般に行われる。
通常、純度4N(ガス成分抜き)程度の電気銅を粗金属として湿式や乾式の高純度化プロセスによって、5N〜6Nの純度の高純度銅を製造し、これをスパッタリングターゲットとして使用していた。この場合、半導体配線幅が0.18μmまでの銅配線には特に問題となることはなかった。
【0003】
しかし、銅配線幅が0.13μm以下、例えば90nm又は65nmで、アスペクト比8を超えるような超微細配線では、シード層の厚さは100nm以下の極薄膜となり、6N純銅ターゲットでシード層を形成した場合は、凝集がおこってしまって良好なシード層を形成できないという問題があった。
このように下地層の均一な形成は重要であり、下地層が凝集した場合には、電気メッキで銅膜を形成する際に、均一な膜を形成することができない。例えば、配線中にボイド、ヒロックス、断線などの欠陥を形成してしまう。
また上記のボイド等の欠陥を残さないにしても、この部分で不均一な銅の電着組織を形成してしまうためにエレクトロマイグレーション耐性が低下してしまうという問題が発生する。
この問題を解決するためには、銅電気メッキの際に安定で均一なシード層を形成させることが重要であり、スパッタ成膜特性のすぐれたシード層形成に最適なスパッタリングターゲットが必要となる。
【0004】
これまで、銅配線材として、銅にいくつか元素を添加して、エレクトロマイグレーション(EM)耐性、耐食性、付着強度等を向上させることが提案されている(例えば、特許文献1及び特許文献2参照)。また、純銅のターゲット又はこれにTi0.04〜0.15wt%添加したターゲットが提案されている(例えば、特許文献3参照)。
そして、これらの提案においては、添加元素の均一な分散のために急冷し、又は鋳塊における添加元素の偏析や、鋳造時の引け巣、鋳塊の結晶粒の粗大化を防止するために連続鋳造することが提案されている。
しかし、高純度銅あるいはこれに微量の金属を添加しても、比抵抗が低いという利点はあるが、エレクトロマイグレーションの問題やプロセス上の耐酸化性の問題があって、必ずしも良好な材料と言えない。
特に、最近ではアスペクト比がより高くなっている(アスペクト比4以上)ので、十分な耐エレクトロマイグレーション及び耐酸化性を有していることが要求されている。
【0005】
以上から、配線材として、銅にAlやSn(その他TiやZr等の様々な元素)を添加した銅合金をターゲットとして使用する提案がある(例えば、特許文献3参照)。しかし、これらは銅の低抵抗特性を損なわないで耐EM性、耐SM性や耐酸化性を向上させるものであり、上記の様な銅電気めっきによる微細銅配線プロセスにおけるシード層形成に使用することはできなかった(例えば、特許文献4参照)。
また、Sn0.5wt%がCuの粒界拡散低減とEM特性向上に有効であるという提案がある(例えば、非特許文献1参照)。しかし、これはTaやTaNなどのバリア層上でのシード層との凝集問題(相互作用)を解決するものではない。
以上から、従来技術では半導体素子の配線材、特に銅電気メッキの際に、凝集がなく安定で均一なシード層を形成させることができる銅合金が得られておらず、必ずしも十分とは言えなかった。
【0006】
【特許文献1】
特開平5−311424号公報
【特許文献2】
特開平1−248538号公報
【特許文献3】
特開平10−60633号公報
【特許文献4】
特開平6−177117号公報
【非特許文献1】
C.H.Hu, K.L.Lee, D.Gupta, and P.Blauner (IBM)著[Electromigration and deffusion in pure Cu and Cu(Sn) alloy, Mat.Res.Soc.Symp.Proc.Vol.427, 1996]Materials research Society
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、半導体素子の配線材、特に銅電気メッキの際に凝集がなく、安定で均一なシード層を形成させることができ、かつスパッタ成膜特性に優れた銅合金スパッタリングターゲット及び同ターゲットを用いて形成された半導体素子配線を提供することを課題とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明者らは鋭意研究を行った結果、適切な量の金属元素を添加することにより、銅電気メッキの際のボイド、ヒロックス、断線などの欠陥の発生を防止することができ、比抵抗が低く、かつ耐エレクトロマイグレーション及び耐酸化性を有している、安定で均一なシード層を形成できる銅合金スパッタリングターゲット及び同ターゲットを用いて形成された半導体素子配線を得ることができるとの知見を得た。
【0009】
本発明はこの知見に基づき、
1.Alを0.5〜4.0wt%含有し、Siが0.5wtppm以下であることを特徴とする銅合金スパッタリングターゲット
2.Sb,Zr,Ti,Cr,Ag,Au,Cd,In,Asから選択した1又は2以上を総量で1.0wtppm以下含有することを特徴とする上記1記載の銅合金スパッタリングターゲット
3.Sb,Zr,Ti,Cr,Ag,Au,Cd,In,Asから選択した1又は2以上を総量で0.5wtppm以下含有することを特徴とする上記1記載の銅合金スパッタリングターゲット
4.Snを0.5〜4.0wt%含有し、Mnが0.5wtppm以下であることを特徴とする銅合金スパッタリングターゲット
5.Sb,Zr,Ti,Cr,Ag,Au,Cd,In,Asから選択した1又は2以上を総量で1.0wtppm以下含有することを特徴とする上記4記載の銅合金スパッタリングターゲット
6.Sb,Zr,Ti,Cr,Ag,Au,Cd,In,Asから選択した1又は2以上を総量で0.5wtppm以下含有することを特徴とする上記4記載の銅合金スパッタリングターゲット
7.再結晶温度が365°C以下であることを特徴とする上記1〜6のいずれかに記載の銅合金スパッタリングターゲット
8.酸素が5wtppm以下であることを特徴とする上記1〜7のいずれかに記載の銅合金スパッタリングターゲット
9.酸素が1wtppm以下であることを特徴とする上記1〜7のいずれかに記載の銅合金スパッタリングターゲット
10.平均結晶粒径が0.1〜60μmであり、平均粒径のばらつきが±20%以内であることを特徴とする上記1〜9のいずれかに記載の銅合金スパッタリングターゲット
11.Al及びSnを総量で0.5〜4.0wt%含有する上記1〜10のいずれかに記載の銅合金スパッタリングターゲット。
12.上記1〜11のいずれかに記載の銅合金スパッタリングターゲットを用いて形成された半導体素子配線
13.半導体配線のシード層として形成されることを特徴とする上記12記載の半導体素子配線
14.Ta、Ta合金又はこれらの窒化物のバリア膜上にシード層として形成されることを特徴とする上記13記載の半導体素子配線
を提供する。
【0010】
【発明の実施の形態】
本発明の銅合金スパッタリングターゲットは、Alを0.5〜4.0wt%、Siが0.5wtppm以下を含有し、特に銅電気メッキの際に、凝集がなく、耐酸化性に富み、安定で均一なシード層を形成させることができる。また、スパッタ成膜特性にも優れており、半導体素子の配線材として有用である。
本合金は、Alを0.5〜4.0wt%含有させることにより、めっきの際の凝集を効果的に防止できる。すなわち、バリア膜との濡れ性を向上させる。
0.5wt%未満では凝集防止効果がなく、4.0wt%を超えるとシード層での抵抗増加があり、銅配線全体として抵抗が高くなり好ましくない。また、銅合金製造工程の溶解の際に、Alの増加と共に酸素含有量が増大するので、4.0wt%を超えることは避ける必要がある。特にAl含有量1〜2wt%が最適である。
【0011】
Siの含有は耐酸化性を向上させる。しかし、Si自体は凝集防止効果がなく、また0.5wtppmを超えるとAlの凝集防止作用を低下させてしまうので、0.5wtppm以下にする必要がある。特に、Siは溶解原料としてAlから混入するので、Siの成分管理は重要である。
上記本発明の銅合金スパッタリングターゲットは、Sb,Zr,Ti,Cr,Ag,Au,Cd,In,Asから選択した1又は2以上を総量で1.0wtppm以下含有させることができる。
これらの成分元素は、耐酸化性を向上させる。しかし、Siと同様に1.0wtppmを超えるとAlの凝集防止作用を著しく低下させる、すなわちバリア膜との濡れ性を著しく低下させてしまうので、添加する場合でも1.0wtppm以下にする必要がある。特に、好ましい添加量は、総量で0.5wtppm以下である。
【0012】
また、本発明の銅合金スパッタリングターゲットは、Snを0.5〜4.0wt%、Mnが0.5wtppm以下を含有し、特に銅電気メッキの際に、凝集がなく、耐酸化性に富み、安定で均一なシード層を形成させることができる。また、スパッタ成膜特性にも優れており、半導体素子の配線材として有用である。
本合金は、Snを0.5〜4.0wt%含有させることにより、めっきの際の凝集を効果的に防止できる。すなわち、バリア膜との濡れ性を向上させる。
0.5wt%未満では凝集防止効果がなく、4.0wt%を超えるとシード層での抵抗増加があり、銅配線全体として抵抗が高くなり好ましくない。また、銅合金製造工程において、インゴットの塑性加工が難しくなるので、4.0wt%を超えることは避ける必要がある。特にSn含有量1〜3wt%が最適である。
【0013】
Mnの含有は耐酸化性を向上させる。しかし、Mn自体は凝集防止効果がなく、また0.5wtppmを超えるとSnの凝集防止作用を低下させてしまうので、0.5wtppm以下にする必要がある。特に、Mnは溶解原料としてSnから混入するので、Mnの成分管理は重要である。
上記本発明の銅合金スパッタリングターゲットは、Sb,Zr,Ti,Cr,Ag,Au,Cd,In,Asから選択した1又は2以上を総量で1.0wtppm以下含有させることができる。
これらの成分元素は、耐酸化性を向上させる。しかし、Mnと同様に1.0wtppmを超えるとAlの凝集防止作用を著しく低下させる、すなわちバリア膜との濡れ性を著しく低下させてしまうので、添加する場合でも1.0wtppm以下にする必要がある。特に、好ましい範囲は、総量で0.5wtppm以下である。
【0014】
上記本発明の銅合金スパッタリングターゲットは、再結晶温度が365°C以下であることが望ましい。再結晶温度が365°Cを超えるとめっき膜の熱的安定性を確保するための温度がより高温となるので凝集し易くなる、すなわちバリア層との相互作用(濡れ性)が低下するという欠点がある。
なお、ここで再結晶温度は、800°Cでフルアニール後、試料を70%冷間加工し、さらに100〜600°Cで30分間保持してビッカース硬度(マイクロビッカース、荷重100g)を測定し、フルアニール材のHvとアニール前(70%冷間加工後)のHvとの中間Hv値に位置する温度を意味するものとする。
【0015】
さらに、上記本発明の銅合金スパッタリングターゲットは、酸素が5wtppm以下、さらに酸素が1wtppm以下とするのが望ましい。酸素の存在はターゲットの組織を微細化する作用をするが、結晶粒界に介在物を形成してパーティクルの発生の原因となり、特にスパッタライフ中の突発的なパーティクル発生を生じさせるという問題があるので、極力低減することが望ましい。
また、シード層に酸化銅(Cu2O)が形成されてしまうと、電気めっきの際にその部分が溶解してしまうという問題がある。このようにめっき浴によってシード層表面が侵されると、ミクロ的に電場が変動して均一なめっき膜が形成されないという問題が起こる。したがって、酸素を上記の範囲に制限することが必要である。
【0016】
また、上記本発明の銅合金スパッタリングターゲットは、平均結晶粒径が0.1〜60μmであり、平均粒径のばらつきが±20%以内とすることが望ましい。
このように、ターゲットの組織を制御することによりスパッタライフを通じて、膜のユニフォーミティ(膜厚均一性)を向上させることができ、膜組成の均一性を向上させることができる。特に、ウエハサイズが300mmを超えるようになると、膜のユニフォーミティはより重要になる。
また、上記本発明の銅合金スパッタリングターゲットAl及びSnを総量で0.5〜4.0wt%含有させることもできる。いずれも各成分の添加量は上記と同様である。
さらに、上記本発明の銅合金スパッタリングターゲットは、半導体素子配線の製造、特に半導体配線のシード層の形成に有用であり、さらにはTa、Ta合金又はこれらの窒化物のバリア膜上にシード層形成に最適である。
【0017】
本発明の銅合金スパッタリングターゲットは、例えば次の工程によって製造することができる。
まず、純度6N以上の高純度銅と同レベルの高純度Al、Sn、その他の添加元素を調整し、水冷銅製坩堝のコールドクルーシブル溶解法にて高真空雰囲気で溶解し、高純度の合金を得る。添加元素の量は十分な管理を行うことが必要である。溶解に際しては、溶湯との接触による汚染を少なくするために、純度6Nの銅板を坩堝底部に設置することが有効である。
合金化した溶湯は、速やかに高真空雰囲気中で水冷銅鋳型に鋳込んでインゴットを得る。このインゴットの組織、例えば結晶粒径を制御することにより、スパッタリング特性を向上させることができる。
製造したインゴットは表面層を除去して、熱間鍛造、熱間圧延、冷間圧延、熱処理工程を経て、ターゲット素材とする。このターゲット素材はされに機械加工により所定の形状とし、バッキングプレートと接合してターゲット製品を得る。
【0018】
【実施例及び比較例】
次に、実施例に基づいて本発明を説明する。以下に示す実施例は、理解を容易にするためのものであり、これらの実施例によって本発明を制限するものではない。すなわち、本発明の技術思想に基づく変形及び他の実施例は、当然本発明に含まれる。
【0019】
(実施例1−10)
純度6N以上の高純度銅と同レベルの高純度Al、Sn、Mn、その他の添加元素を調整し、水冷銅製坩堝のコールドクルーシブル溶解法にて高真空雰囲気で溶解し、高純度の合金を得た。調整した実施例1−10の合金組成を、Cu−Al合金系については表1に、Cu−Sn系合金については表2に示す。
なお、実施例5と実施例10については、Sb,Zr,Ti,Cr,Ag,Au,Cd,In,Asの合金元素を添加しない場合である。したがって、表1及び表2では不純物レベルに含有される量を示す。
本溶解に際しては、溶湯との接触による汚染を少なくするために、純度6Nの銅板を坩堝底部に設置した。合金化した溶湯を、高真空雰囲気中で水冷銅鋳型に鋳込んでインゴットを得た。
次に、製造したインゴットの表面層を除去してφ160×60tとした後、400°C熱間鍛造でφ200とした。その後、400°Cで熱間圧延してφ270×20tまで圧延し、さらに冷間圧延でφ360×10tまで圧延した。
次に、500°C1時間熱処理後、ターゲット全体を急冷してターゲット素材とした。これを機械加工で直径13インチ、厚さ7mmのターゲットに加工し、これをさらにAl合金製バッキングプレートと拡散接合により接合してスパッタリングターゲット組立体とした。
【0020】
平均粒径の測定はJIS H0501に基づき切断法により、ターゲットを平面方向で同心円状に17点、板厚方向で表面、中央、裏面の3点、合計で17×3=51点で測定した。
このようにして得たターゲットを使用して8インチのTaN/Ta/Si基板上に50nm厚さのスパッタ膜を形成した。このスパッタ膜の凝集程度を高分解能SEMで観察した。また、Si基板上に約500nm厚さまでスパッタ成膜して膜のユニフォーミティを測定した。
以上の結果について、ターゲットの成分組成と共に、酸素含有量、再結晶温度、平均結晶粒径、スパッタ膜のばらつき、凝集性、膜厚均一性(3σ(%))を表1及び表2に示す。
本発明においては、酸素含有量が低く、再結晶温度も低い。また平均結晶粒度も60μm以下であり、平均粒径のばらつきが±20%以内である。
そして凝集が抑制され、全く凝集しないか又は凝集性が極めて低い。さらに膜厚均一性に優れており、安定で均一なシード層を形成できる銅合金スパッタリングターゲットを得ることができることが分かる。これによって、同ターゲットを用いて優れた半導体素子配線を得ることができる。
【0021】
【表1】
【0022】
【表2】
【0023】
(比較例1−16)
実施例1−10と同様の製造条件で、同様な合金成分ではあるが、本発明の範囲から外れる材料について、合金成分を変えた場合及び粒径及びばらつきを変えた場合について、それぞれ銅合金ターゲットを作製した。
この条件を同様に、Cu−Al合金系については表1に、Cu−Sn系合金については表2に示す。このようにして得たターゲットを使用して8インチのTaN/Ta/Si基板上に50nm厚さのスパッタ膜を形成した。
このスパッタ膜の凝集程度を高分解能SEMで観察した。また、Si基板上に約500nm厚さまでスパッタ成膜して膜のユニフォーミティを測定した。
以上の比較例1−16の結果について、ターゲットの成分組成と共に、酸素含有量、再結晶温度、平均結晶粒径、スパッタ膜のばらつき、凝集性、膜厚均一性(3σ(%))を同様に表1及び表2に示す。
【0024】
比較例1−3では、いずれもAlが0.5wt%未満で、凝集防止効果が低い。比較例4では、Alが4.0wt%を超えており、またSiが多くなり、再結晶温度も高く、凝集防止効果が低い。また、比較例5に示すように、Siが高い(0.5ppmを超える)と凝集防止効果が低下する。
比較例6は、同様にSiが高い(0.5ppmを超える)ので凝集防止効果が低下している。
比較例7は、酸素含有量が高く凝集防止効果が低い。比較例8は、酸素含有量が高く再結晶温度も高くなっているが、一層凝集防止効果が悪くなっている。
比較例9は、粒径のばらつきが大きく膜厚の均一性が悪くなっている。比較例10は、粒径が大きく膜の均一性が同様に悪くなっている。
【0025】
比較例11は、Sn含有量が0.5wt%未満で、凝集防止効果が低い。逆に、比較例12は、Sn含有量が4.0wt%を超え、同時にMnが多くなり、再結晶温度も高く、凝集防止効果が悪い。比較例13に示すように、Mnの含有量が高いと凝集防止効果が低下する。
比較例14では、同様にMnの含有量が高いので凝集防止効果が低下している。
また、比較例15は、粒径のばらつきが大きく膜厚の均一性が悪くなっている。比較例16は、粒径が大きく膜の均一性が同様に悪くなっている。
【0026】
(比較例17−25)
実施例1−10と同様の製造条件で、純銅又は本発明以外の銅合金材料について(従来の銅材料を用いて)、それぞれ銅合金ターゲットを作製した。この条件を表3に示す。
また、このようにして得たターゲットを使用して8インチのTaN/Ta/Si基板上に50nm厚さのスパッタ膜を形成した。このスパッタ膜の凝集程度を高分解能SEMで観察した。また、Si基板上に約500nm厚さまでスパッタ成膜して膜のユニフォーミティを測定した。
以上の比較例17−25の結果について、ターゲットの成分組成と共に、酸素含有量、再結晶温度、平均結晶粒径、スパッタ膜のばらつき、凝集性、膜厚均一性(3σ(%))を同様に表3に示す。この表3から明らかなように、従来の純銅又は銅合金は、いずれも凝集防止効果が劣る結果となった。
【0027】
【表3】
【0028】
【発明の効果】
本発明は、半導体素子の配線材、特に銅電気メッキの際に、凝集がなく安定で均一なシード層を形成させることができ、かつスパッタ成膜特性に優れた銅合金スパッタリングターゲット及び同ターゲットにより形成された半導体素子配線を得ることができるという優れた効果を有する。
Claims (14)
- Alを0.5〜4.0wt%含有し、Siが0.5wtppm以下であることを特徴とする銅合金スパッタリングターゲット。
- Sb,Zr,Ti,Cr,Ag,Au,Cd,In,Asから選択した1又は2以上を総量で1.0wtppm以下含有することを特徴とする請求項1記載の銅合金スパッタリングターゲット。
- Sb,Zr,Ti,Cr,Ag,Au,Cd,In,Asから選択した1又は2以上を総量で0.5wtppm以下含有することを特徴とする請求項1記載の銅合金スパッタリングターゲット。
- Snを0.5〜4.0wt%含有し、Mnが0.5wtppm以下であることを特徴とする銅合金スパッタリングターゲット。
- Sb,Zr,Ti,Cr,Ag,Au,Cd,In,Asから選択した1又は2以上を総量で1.0wtppm以下含有することを特徴とする請求項4記載の銅合金スパッタリングターゲット。
- Sb,Zr,Ti,Cr,Ag,Au,Cd,In,Asから選択した1又は2以上を総量で0.5wtppm以下含有することを特徴とする請求項4記載の銅合金スパッタリングターゲット。
- 再結晶温度が365°C以下であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の銅合金スパッタリングターゲット。
- 酸素が5wtppm以下であることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の銅合金スパッタリングターゲット。
- 酸素が1wtppm以下であることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の銅合金スパッタリングターゲット。
- 平均結晶粒径が0.1〜60μmであり、平均粒径のばらつきが±20%以内であることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の銅合金スパッタリングターゲット。
- Al及びSnを総量で0.5〜4.0wt%含有する請求項1〜10のいずれかに記載の銅合金スパッタリングターゲット。
- 請求項1〜10のいずれかに記載の銅合金スパッタリングターゲットを用いて形成された半導体素子配線。
- 半導体配線のシード層として形成されることを特徴とする請求項11記載の半導体素子配線。
- Ta、Ta合金又はこれらの窒化物のバリア膜上にシード層として形成されることを特徴とする請求項13記載の半導体素子配線。
Priority Applications (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002337341A JP4794802B2 (ja) | 2002-11-21 | 2002-11-21 | 銅合金スパッタリングターゲット及び半導体素子配線 |
EP10184839A EP2309021B1 (en) | 2002-11-21 | 2003-10-16 | Copper alloy sputtering target and semiconductor element wiring |
US10/530,438 US7507304B2 (en) | 2002-11-21 | 2003-10-16 | Copper alloy sputtering target and semiconductor element wiring |
EP03756653A EP1584706B1 (en) | 2002-11-21 | 2003-10-16 | Copper alloy sputtering target and semiconductor element wiring |
PCT/JP2003/013251 WO2004046415A1 (ja) | 2002-11-21 | 2003-10-16 | 銅合金スパッタリングターゲット及び半導体素子配線 |
TW092129114A TW200417617A (en) | 2002-11-21 | 2003-10-21 | Copper alloy sputtering target and semiconductor element wiring |
US12/367,581 US20090140430A1 (en) | 2002-11-21 | 2009-02-09 | Copper Alloy Sputtering Target and Semiconductor Element Wiring |
US12/367,572 US8246764B2 (en) | 2002-11-21 | 2009-02-09 | Copper alloy sputtering target and semiconductor element wiring |
US15/926,022 US10665462B2 (en) | 2002-11-21 | 2018-03-20 | Copper alloy sputtering target and semiconductor element wiring |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002337341A JP4794802B2 (ja) | 2002-11-21 | 2002-11-21 | 銅合金スパッタリングターゲット及び半導体素子配線 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008282733A Division JP4790782B2 (ja) | 2008-11-04 | 2008-11-04 | 銅合金スパッタリングターゲット及び半導体素子配線 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004169136A true JP2004169136A (ja) | 2004-06-17 |
JP4794802B2 JP4794802B2 (ja) | 2011-10-19 |
Family
ID=32321840
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002337341A Expired - Lifetime JP4794802B2 (ja) | 2002-11-21 | 2002-11-21 | 銅合金スパッタリングターゲット及び半導体素子配線 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (4) | US7507304B2 (ja) |
EP (2) | EP1584706B1 (ja) |
JP (1) | JP4794802B2 (ja) |
TW (1) | TW200417617A (ja) |
WO (1) | WO2004046415A1 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006093023A1 (ja) * | 2005-03-02 | 2006-09-08 | Sharp Kabushiki Kaisha | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2009535518A (ja) * | 2006-05-01 | 2009-10-01 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | 銅ターゲット |
JP2010502841A (ja) * | 2006-09-08 | 2010-01-28 | トーソー エスエムディー,インク. | 非常に小さな結晶粒径と高エレクトロマイグレーション抵抗とを有する銅スパッタリングターゲットおよびそれを製造する方法 |
US7749361B2 (en) * | 2006-06-02 | 2010-07-06 | Applied Materials, Inc. | Multi-component doping of copper seed layer |
JP2012156545A (ja) * | 2012-04-12 | 2012-08-16 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | 半導体用銅合金配線及びスパッタリングターゲット並びに半導体用銅合金配線の形成方法 |
JP2016035091A (ja) * | 2014-08-04 | 2016-03-17 | 三菱マテリアル株式会社 | CuSnスパッタリングターゲット及びその製造方法 |
JP2019108571A (ja) * | 2017-12-15 | 2019-07-04 | 三菱マテリアル株式会社 | CuNi合金スパッタリングターゲットおよびCuNi合金粉末 |
WO2024014057A1 (ja) * | 2022-07-14 | 2024-01-18 | Jx金属株式会社 | フレキシブルプリント基板用銅箔、それを用いた銅張積層体、フレキシブルプリント基板、及び電子機器 |
WO2024014056A1 (ja) * | 2022-07-14 | 2024-01-18 | Jx金属株式会社 | フレキシブルプリント基板用銅箔、それを用いた銅張積層体、フレキシブルプリント基板、及び電子機器 |
Families Citing this family (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1471164B1 (en) * | 2002-01-30 | 2013-01-23 | JX Nippon Mining & Metals Corporation | Copper alloy sputtering target and method for manufacturing the target |
JP4794802B2 (ja) | 2002-11-21 | 2011-10-19 | Jx日鉱日石金属株式会社 | 銅合金スパッタリングターゲット及び半導体素子配線 |
CN100439558C (zh) * | 2003-03-17 | 2008-12-03 | 日矿金属株式会社 | 铜合金溅射靶、其制造方法以及半导体元件布线 |
EP1715077A4 (en) * | 2003-12-25 | 2010-09-29 | Nippon Mining Co | ARRANGEMENT OF COPPER OR COPPER ALLOY STARGET AND COPPER ALLOY CARRIER PLATE |
WO2005073434A1 (ja) * | 2004-01-29 | 2005-08-11 | Nippon Mining & Metals Co., Ltd. | 超高純度銅及びその製造方法 |
JP4377788B2 (ja) * | 2004-09-27 | 2009-12-02 | 株式会社神戸製鋼所 | 半導体配線用Cu合金、Cu合金配線の製法、該製法で得られたCu合金配線を有する半導体装置、並びに半導体のCu合金配線形成用スパッタリングターゲット |
EP1903119B1 (en) * | 2005-06-15 | 2015-09-23 | JX Nippon Mining & Metals Corporation | A method of manufacturing high purity copper |
WO2006137240A1 (ja) * | 2005-06-23 | 2006-12-28 | Nippon Mining & Metals Co., Ltd. | プリント配線板用銅箔 |
WO2007100125A1 (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-07 | Advanced Interconnect Materials, Llc | 半導体装置、その製造方法およびその製造方法に用いるスパッタリング用ターゲット材 |
US20070251819A1 (en) * | 2006-05-01 | 2007-11-01 | Kardokus Janine K | Hollow cathode magnetron sputtering targets and methods of forming hollow cathode magnetron sputtering targets |
WO2008041535A1 (en) * | 2006-10-03 | 2008-04-10 | Nippon Mining & Metals Co., Ltd. | Cu-Mn ALLOY SPUTTERING TARGET AND SEMICONDUCTOR WIRING |
US8702919B2 (en) | 2007-08-13 | 2014-04-22 | Honeywell International Inc. | Target designs and related methods for coupled target assemblies, methods of production and uses thereof |
KR101058765B1 (ko) | 2008-09-30 | 2011-08-24 | 제이엑스 닛코 닛세키 킨조쿠 가부시키가이샤 | 고순도 구리 및 전해에 의한 고순도 구리의 제조 방법 |
US9441289B2 (en) * | 2008-09-30 | 2016-09-13 | Jx Nippon Mining & Metals Corporation | High-purity copper or high-purity copper alloy sputtering target, process for manufacturing the sputtering target, and high-purity copper or high-purity copper alloy sputtered film |
WO2013038983A1 (ja) | 2011-09-14 | 2013-03-21 | Jx日鉱日石金属株式会社 | 高純度銅マンガン合金スパッタリングターゲット |
JPWO2013047199A1 (ja) | 2011-09-30 | 2015-03-26 | Jx日鉱日石金属株式会社 | スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
KR101620762B1 (ko) | 2012-01-23 | 2016-05-12 | 제이엑스 킨조쿠 가부시키가이샤 | 고순도 구리 망간 합금 스퍼터링 타깃 |
JP5638697B2 (ja) | 2012-01-25 | 2014-12-10 | Jx日鉱日石金属株式会社 | 高純度銅クロム合金スパッタリングターゲット |
KR20150023767A (ko) * | 2012-07-04 | 2015-03-05 | 제이엑스 닛코 닛세키 킨조쿠 가부시키가이샤 | 스퍼터링 타겟 |
US10276356B2 (en) | 2013-03-07 | 2019-04-30 | Jx Nippon Mining & Metals Corporation | Copper alloy sputtering target |
JP6727749B2 (ja) | 2013-07-11 | 2020-07-22 | 三菱マテリアル株式会社 | 高純度銅スパッタリングターゲット用銅素材及び高純度銅スパッタリングターゲット |
US9761420B2 (en) | 2013-12-13 | 2017-09-12 | Praxair S.T. Technology, Inc. | Diffusion bonded high purity copper sputtering target assemblies |
JP6398594B2 (ja) * | 2014-10-20 | 2018-10-03 | 三菱マテリアル株式会社 | スパッタリングターゲット |
WO2016132578A1 (ja) * | 2015-02-19 | 2016-08-25 | 三井金属鉱業株式会社 | 銅基合金スパッタリングターゲット |
KR20170088418A (ko) | 2015-05-21 | 2017-08-01 | 제이엑스금속주식회사 | 구리 합금 스퍼터링 타겟 및 그 제조 방법 |
WO2018189965A1 (ja) * | 2017-04-13 | 2018-10-18 | 株式会社アルバック | 液晶表示装置、有機el表示装置、半導体素子、配線膜、配線基板、ターゲット |
US10760156B2 (en) | 2017-10-13 | 2020-09-01 | Honeywell International Inc. | Copper manganese sputtering target |
US11035036B2 (en) | 2018-02-01 | 2021-06-15 | Honeywell International Inc. | Method of forming copper alloy sputtering targets with refined shape and microstructure |
CN114058897B (zh) * | 2021-11-25 | 2022-05-17 | 江苏科技大学 | 铜合金薄膜、基于铜合金薄膜服役后的保护层和制备方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6365039A (ja) * | 1986-09-08 | 1988-03-23 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 電子電気機器用銅合金 |
JP2000034562A (ja) * | 1998-07-14 | 2000-02-02 | Japan Energy Corp | スパッタリングターゲット及び薄膜形成装置部品 |
JP2002075995A (ja) * | 2000-08-24 | 2002-03-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
Family Cites Families (47)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3428442A (en) * | 1966-09-22 | 1969-02-18 | Eutectic Welding Alloys | Coated spray-weld alloy powders |
US3760146A (en) * | 1971-10-14 | 1973-09-18 | Chemetron Corp | Phosphor bronze arc welding electrode for alternating current |
JPS4923127A (ja) | 1972-06-26 | 1974-03-01 | ||
JPS5539144A (en) * | 1978-09-14 | 1980-03-18 | Nat Res Inst Metals | Method of fabricating nb3sn composite superconductor |
JPS60245754A (ja) | 1984-05-22 | 1985-12-05 | Nippon Mining Co Ltd | 高力高導電銅合金 |
JPS61231131A (ja) * | 1985-04-05 | 1986-10-15 | Kobe Steel Ltd | 耐食性銅合金管 |
US4822560A (en) * | 1985-10-10 | 1989-04-18 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Copper alloy and method of manufacturing the same |
EP0260906B1 (en) | 1986-09-17 | 1993-03-10 | Fujitsu Limited | Method of producing semiconductor device and semiconductor device |
JPS6460633A (en) | 1987-08-31 | 1989-03-07 | Tokuyama Soda Kk | Coating material |
JPH0196374A (ja) | 1987-10-05 | 1989-04-14 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | スパッタリング用クラッドターゲット材 |
JPH01123040A (ja) * | 1987-11-05 | 1989-05-16 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 電気接続箱用ブスバー |
JPH01180976A (ja) | 1988-01-12 | 1989-07-18 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | スパッタリング用バッキングプレート |
JP2511289B2 (ja) * | 1988-03-30 | 1996-06-26 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置 |
JPH0250432A (ja) | 1988-08-12 | 1990-02-20 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JPH02119140A (ja) | 1988-10-28 | 1990-05-07 | Seiko Epson Corp | 集積回路装置 |
JP2726939B2 (ja) * | 1989-03-06 | 1998-03-11 | 日鉱金属 株式会社 | 加工性,耐熱性の優れた高導電性銅合金 |
JP2552920B2 (ja) | 1989-08-11 | 1996-11-13 | 住友金属鉱山株式会社 | バッキングプレート用銅合金 |
JP2862727B2 (ja) | 1992-05-12 | 1999-03-03 | 同和鉱業株式会社 | 金属薄膜形成用スパッタリング・ターゲット並びにその製造方法 |
JPH06140398A (ja) | 1992-10-27 | 1994-05-20 | Kawasaki Steel Corp | 集積回路装置 |
EP0601509A1 (en) | 1992-12-07 | 1994-06-15 | Nikko Kyodo Co., Ltd. | Semiconductor devices and method of manufacturing the same |
JPH06177117A (ja) | 1992-12-07 | 1994-06-24 | Japan Energy Corp | スパッタターゲットとこれを使用する半導体装置の製造方法 |
DE19525330C2 (de) * | 1995-07-12 | 1998-07-09 | Glyco Metall Werke | Schichtwerkstoff |
JP3819487B2 (ja) * | 1996-08-16 | 2006-09-06 | 同和鉱業株式会社 | 半導体素子の製造方法 |
US5853505A (en) * | 1997-04-18 | 1998-12-29 | Olin Corporation | Iron modified tin brass |
JP3403918B2 (ja) * | 1997-06-02 | 2003-05-06 | 株式会社ジャパンエナジー | 高純度銅スパッタリングタ−ゲットおよび薄膜 |
JPH10330927A (ja) | 1997-06-05 | 1998-12-15 | Riyouka Massey Kk | アルミニウム合金製スパッタリングターゲット材 |
US6569270B2 (en) | 1997-07-11 | 2003-05-27 | Honeywell International Inc. | Process for producing a metal article |
JP3975414B2 (ja) | 1997-11-28 | 2007-09-12 | 日立金属株式会社 | スパッタリング用銅ターゲットおよびその製造方法 |
JPH11186273A (ja) | 1997-12-19 | 1999-07-09 | Ricoh Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
US6181012B1 (en) * | 1998-04-27 | 2001-01-30 | International Business Machines Corporation | Copper interconnection structure incorporating a metal seed layer |
JP2000087158A (ja) * | 1998-09-11 | 2000-03-28 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体リードフレーム用銅合金 |
JP2000208517A (ja) * | 1999-01-12 | 2000-07-28 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2000239836A (ja) | 1999-02-23 | 2000-09-05 | Japan Energy Corp | 高純度銅または銅合金スパッタリングターゲットおよびその製造方法 |
US6113761A (en) * | 1999-06-02 | 2000-09-05 | Johnson Matthey Electronics, Inc. | Copper sputtering target assembly and method of making same |
US6391163B1 (en) * | 1999-09-27 | 2002-05-21 | Applied Materials, Inc. | Method of enhancing hardness of sputter deposited copper films |
CN1425196A (zh) * | 1999-11-24 | 2003-06-18 | 霍尼韦尔国际公司 | 导电互连 |
JP4005295B2 (ja) | 2000-03-31 | 2007-11-07 | 富士通株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US6228759B1 (en) | 2000-05-02 | 2001-05-08 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method of forming an alloy precipitate to surround interconnect to minimize electromigration |
JP4460037B2 (ja) * | 2000-07-21 | 2010-05-12 | 古河電気工業株式会社 | 電気接続部材用銅合金の加工熱処理方法及び電気接続部材用銅合金 |
US6482302B1 (en) * | 2000-10-13 | 2002-11-19 | Honeywell International Inc. | Container-shaped physical vapor deposition targets |
JP2002294438A (ja) | 2001-04-02 | 2002-10-09 | Mitsubishi Materials Corp | 銅合金スパッタリングターゲット |
JP2002294437A (ja) | 2001-04-02 | 2002-10-09 | Mitsubishi Materials Corp | 銅合金スパッタリングターゲット |
EP1471164B1 (en) * | 2002-01-30 | 2013-01-23 | JX Nippon Mining & Metals Corporation | Copper alloy sputtering target and method for manufacturing the target |
JP4794802B2 (ja) * | 2002-11-21 | 2011-10-19 | Jx日鉱日石金属株式会社 | 銅合金スパッタリングターゲット及び半導体素子配線 |
CN100439558C (zh) * | 2003-03-17 | 2008-12-03 | 日矿金属株式会社 | 铜合金溅射靶、其制造方法以及半导体元件布线 |
EP1715077A4 (en) * | 2003-12-25 | 2010-09-29 | Nippon Mining Co | ARRANGEMENT OF COPPER OR COPPER ALLOY STARGET AND COPPER ALLOY CARRIER PLATE |
US20070209547A1 (en) | 2004-08-10 | 2007-09-13 | Nippon Mining & Metals Co., Ltd. | Barrier Film For Flexible Copper Substrate And Sputtering Target For Forming Barrier Film |
-
2002
- 2002-11-21 JP JP2002337341A patent/JP4794802B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-10-16 EP EP03756653A patent/EP1584706B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-10-16 EP EP10184839A patent/EP2309021B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-10-16 WO PCT/JP2003/013251 patent/WO2004046415A1/ja active Application Filing
- 2003-10-16 US US10/530,438 patent/US7507304B2/en active Active
- 2003-10-21 TW TW092129114A patent/TW200417617A/zh not_active IP Right Cessation
-
2009
- 2009-02-09 US US12/367,572 patent/US8246764B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2009-02-09 US US12/367,581 patent/US20090140430A1/en not_active Abandoned
-
2018
- 2018-03-20 US US15/926,022 patent/US10665462B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6365039A (ja) * | 1986-09-08 | 1988-03-23 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 電子電気機器用銅合金 |
JP2000034562A (ja) * | 1998-07-14 | 2000-02-02 | Japan Energy Corp | スパッタリングターゲット及び薄膜形成装置部品 |
JP2002075995A (ja) * | 2000-08-24 | 2002-03-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006093023A1 (ja) * | 2005-03-02 | 2006-09-08 | Sharp Kabushiki Kaisha | 半導体装置及びその製造方法 |
KR100896159B1 (ko) | 2005-03-02 | 2009-05-11 | 샤프 가부시키가이샤 | 반도체 장치 및 그 제조 방법 |
JP2009535518A (ja) * | 2006-05-01 | 2009-10-01 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | 銅ターゲット |
US7749361B2 (en) * | 2006-06-02 | 2010-07-06 | Applied Materials, Inc. | Multi-component doping of copper seed layer |
JP2010502841A (ja) * | 2006-09-08 | 2010-01-28 | トーソー エスエムディー,インク. | 非常に小さな結晶粒径と高エレクトロマイグレーション抵抗とを有する銅スパッタリングターゲットおよびそれを製造する方法 |
JP2012156545A (ja) * | 2012-04-12 | 2012-08-16 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | 半導体用銅合金配線及びスパッタリングターゲット並びに半導体用銅合金配線の形成方法 |
JP2016035091A (ja) * | 2014-08-04 | 2016-03-17 | 三菱マテリアル株式会社 | CuSnスパッタリングターゲット及びその製造方法 |
JP2019108571A (ja) * | 2017-12-15 | 2019-07-04 | 三菱マテリアル株式会社 | CuNi合金スパッタリングターゲットおよびCuNi合金粉末 |
WO2024014057A1 (ja) * | 2022-07-14 | 2024-01-18 | Jx金属株式会社 | フレキシブルプリント基板用銅箔、それを用いた銅張積層体、フレキシブルプリント基板、及び電子機器 |
WO2024014056A1 (ja) * | 2022-07-14 | 2024-01-18 | Jx金属株式会社 | フレキシブルプリント基板用銅箔、それを用いた銅張積層体、フレキシブルプリント基板、及び電子機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2004046415A1 (ja) | 2004-06-03 |
US20090140430A1 (en) | 2009-06-04 |
US7507304B2 (en) | 2009-03-24 |
US8246764B2 (en) | 2012-08-21 |
EP2309021A1 (en) | 2011-04-13 |
US10665462B2 (en) | 2020-05-26 |
EP1584706A1 (en) | 2005-10-12 |
TW200417617A (en) | 2004-09-16 |
JP4794802B2 (ja) | 2011-10-19 |
US20180211841A1 (en) | 2018-07-26 |
EP1584706A4 (en) | 2008-08-27 |
US20090139863A1 (en) | 2009-06-04 |
EP2309021B1 (en) | 2012-11-21 |
EP1584706B1 (en) | 2011-02-16 |
TWI328047B (ja) | 2010-08-01 |
US20050285273A1 (en) | 2005-12-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4794802B2 (ja) | 銅合金スパッタリングターゲット及び半導体素子配線 | |
JP4223511B2 (ja) | 銅合金スパッタリングターゲット及びその製造方法並びに半導体素子配線 | |
JP4955008B2 (ja) | Cu−Mn合金スパッタリングターゲット及び半導体配線 | |
JP4118814B2 (ja) | 銅合金スパッタリングターゲット及び同ターゲットを製造する方法 | |
JP4790782B2 (ja) | 銅合金スパッタリングターゲット及び半導体素子配線 | |
JP5068925B2 (ja) | スパッタリングターゲット | |
KR20090051267A (ko) | 미세 그레인 사이즈 및 높은 전자 이동 저항성을 구비한 구리 스퍼터링 타겟 및 이를 제조하는 방법 | |
JP5554364B2 (ja) | 半導体用銅合金配線及びスパッタリングターゲット並びに半導体用銅合金配線の形成方法 | |
WO2014132857A1 (ja) | 高純度銅コバルト合金スパッタリングターゲット | |
JP2004193546A (ja) | 半導体装置配線シード層形成用銅合金スパッタリングターゲット | |
JP5694503B2 (ja) | 自己拡散抑制機能を有するシード層及び自己拡散抑制機能を備えたシード層の形成方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050825 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080902 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081104 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091013 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100126 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100312 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20100813 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100817 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100930 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110524 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110621 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110726 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110727 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4794802 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140805 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |