EP0853503B1 - Strömungsteilungseinrichtung - Google Patents

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EP0853503B1
EP0853503B1 EP96934705A EP96934705A EP0853503B1 EP 0853503 B1 EP0853503 B1 EP 0853503B1 EP 96934705 A EP96934705 A EP 96934705A EP 96934705 A EP96934705 A EP 96934705A EP 0853503 B1 EP0853503 B1 EP 0853503B1
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EP
European Patent Office
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flow
channel
channels
dividing
substance
Prior art date
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EP96934705A
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EP0853503A1 (de
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Johannes Zimmer
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Individual
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Publication of EP0853503A1 publication Critical patent/EP0853503A1/de
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Publication of EP0853503B1 publication Critical patent/EP0853503B1/de
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/14Details
    • B41F15/40Inking units
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C1/00Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating
    • B05C1/04Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length
    • B05C1/08Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length using a roller or other rotating member which contacts the work along a generating line
    • B05C1/10Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length using a roller or other rotating member which contacts the work along a generating line the liquid or other fluent material being supplied from inside the roller
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/10Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S366/00Agitating
    • Y10S366/03Micromixers: variable geometry from the pathway influences mixing/agitation of non-laminar fluid flow
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00Fluid handling
    • Y10T137/8593Systems
    • Y10T137/85938Non-valved flow dividers
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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    • Y10T137/00Fluid handling
    • Y10T137/8593Systems
    • Y10T137/877With flow control means for branched passages
    • Y10T137/87877Single inlet with multiple distinctly valved outlets

Definitions

  • the invention relates to a flow dividing and converting device for flow division and flow reshaping of flowable and / or gaseous substances, comprising a long extending body longitudinal axis Body and at least one division system in which the Substances from one the substance in a summarized flow leading total current channel to a number of along the Body arranged openings that are one in body length extending narrow exit area are assigned, is performed, the total current channel in two the total current sharing substance at a first division point Channels of a first division level branched and at least a further division level is subordinate, in the the corresponding division point of each channel end of the previous one Level in two each dividing the flow and in opposite directions along the body's longitudinal direction deflecting channels branched.
  • the inside of the flow channel body arranged flow channel system are in particular Work functions assigned in both flow directions.
  • the flow channel body is preferably part of a Application device, e.g. a screen cylinder circular stencil printing machine. He can in such a spar Machine installed or attached to a support beam.
  • the Flow channel body can also be used for other purposes uniform fluid distribution can be used.
  • a generic flow channel body is from WO 94/17927 known.
  • a total current channel arranged by a face Connection opening goes out, leads to the longitudinal center of the flow channel body.
  • Current is divided there by means of a T-shaped channel branch.
  • This well-known Flow division takes place immediately after a 90 ° flow deflection from the longitudinal direction in the transverse direction with a subsequent 90 ° double deflection, which the actual division forms.
  • Known facilities of the generic type Art only meet some of the demands placed on them Requirements, and only with restrictions. In particular So far there is no facility with which the area is also very busy large flow rates with all substances from aqueous to highly viscous, and especially for relatively large working widths, in particular 3 to 5 Meters, can be mastered with division accuracy.
  • A shows a well-known T-pipe branch.
  • B are a relatively long flow path Q before Flow branching and the two shorter T-branch paths of equal length L1 and L2 with associated outflow resistances G1 and G2 shown. Only if the route Q is sufficiently long and the distances L1 and L2 are the same length flow halving can be expected.
  • Fig. C shows a known flow channel body, which is an elongated Has plate in which a flow channel system continued division into halves is incorporated. The whole Body includes two such plates, which are mirror images are produced and with the view surface shown in Fig. C be sealed together.
  • C is the Longitudinal stretch of the flow channel body shown crowded. It can e.g. 10 times bigger. You put it e.g.
  • a main object of the invention is a flow channel body for multiple flow division and reshaping in particular for an application device such as a printing press or the like. to create with which the substance management with regard uniform width distribution significantly improved is, for thin substances up to viscous substances, even with particularly large working widths, large amounts of substance and / or increase in production speed an application machine, in particular also mechanical body strength with relative yet small construction cross section should be improved.
  • the goals are linked to the characteristics of the input mentioned flow channel body achieved in that the Total current channel in parallel at the first division point and concurrent substance in the same direction passes leading sections of partial flow channels, where the flow in the area before, at and after the division point runs straight or at least almost straight.
  • the invention becomes exact halving division in particular accomplished that the flow area before, on and after the division point by at least almost as a whole straight, linear flow path is formed.
  • the rectilinear Flow division is provided. The flow division occurs regardless of a subsequent directional branch and flow deflection. As has been found becomes the division quality due to the parallel flow branching and only afterwards branching significantly improved.
  • the substance division according to the invention leads in the first division stage even if subsequent ones Steps through conventional T-shaped branches be formed to a significant improvement in the Width distribution. This improvement is for very different Substance viscosities, relatively large substance throughput and achieved relatively large working widths.
  • the channel transition between the first and the subsequent Different from known flow channel bodies much smaller wall thicknesses or instead, provide appropriately larger duct cross sections. Large channel cross-sections achievable in the area of substance introduction and thus allow large funding volumes to be achieved especially also, with particularly viscous, just barely flowable substances to work.
  • connection opening with preferably about 20-50 mm diameter inflowing substance of an aqueous liquid, of any viscosity or gaseous nature will be reliably even in successive Graduation levels each in exact halving, so halved several times, divided, the partial streams to lengths extends in particular from about 2 to 5 meters, i.e. diverged and be stretched.
  • the measure of the division length of the web width and thus the Print or working width In an application facility, e.g. for a round template application the measure of the division length of the web width and thus the Print or working width.
  • the outflow of the respective Working width of the substance divided in half takes the form of a homogeneous and uniformly emerging Substance layer. At least it will be a broad rimpedement to such a layer, film or broad jet Outflow achieved.
  • the outflow of application substance is largely low-pressure, i.e. almost depressurized, namely very close to the application zone. Injecting leakage under pressure would cause application errors.
  • the invention Flow channel body is also suitable for cleaning purposes, cleaning liquid in contrast to Application substance flows out at high pressure.
  • the flow channels are such that even with reverse flow operation for the purpose of emptying the flow channel system and also for that Sucking off substance and substance water mixture from the Application zone more optimal through the exit opening area Flow flow is given.
  • the flow channel body is not only for self-cleaning by simply flowing through different ones Suitable substances, but also for other Usable for cleaning purposes, e.g. for cleaning Share an application device, and in particular also for cleaning a round template. After cleaning can the cleaning liquid expediently by the Flow of gas (compressed air) can be removed.
  • the one directly to an end, especially one Pipe or hose connection coupling having a connection opening subsequent channel carrying the total current and the in linear extension further adjoining flow path with two parallel channel sections to the middle of the body can be conveniently incorporated into the body or in a provided on the outside of the body extending pipe his.
  • the division parallel channel sections preferably begin in the first third of the way, but at least at the beginning of the last Wegviertel.
  • is centered in one Pipe a dimensionally constructed inner wall arranged to with this pipe bisection the two division parallel duct sections to build.
  • the straight-line bisection flow section preferably comprises parallel channel sections with the same flow cross-section and the same cross-sectional shape, which are separated in and out of transverse body directions, remaining separate, in 180 ° opposite body longitudinal directions be redirected.
  • a particularly beneficial one Invention design is that in the narrow, parallel substance exit area extending to the longitudinal axis of the body Outlet channels with a transverse course to the longitudinal axis of the body are arranged obliquely. It is particularly advantageous one arranged transversely to the longitudinal axis of the body, over which to provide the entire working width of the outlet gap, whose gap cross-sectional width is preferably in The range is from 0.2 to 2.0 mm and this is also expedient by means of an attached to the flow channel body from the outside Wall can be provided.
  • the cross sections of the flow channels are very advantageous of the flow channel body according to the invention in particular in the last division levels before and in the substance exit area and possibly also the flow cross section of an outlet gap dimensioned so that outflowing application substance practically depressurized, i.e. largely depressurized flows out and follows gravity while Cleaning liquid for cleaning doctor blade parts in front of the outlet area under pressure, namely advantageous as if the spraying through one over the Working width extending wide jet nozzle is generated where a liquid jet is closed over the working width is generated at a distance of about 20 to 80 mm from the outlet openings or from the outlet gap opening has the greatest cleaning power.
  • a substance supply device such as a pump in Connection with an optimally continuously promoting feed control provided to pressure surges in the substance feed to avoid.
  • the flow channel body 1 is a connection opening having connecting channel body 101 and other so-called Additional channel bodies 102 and 103 joined together. Appropriately the individual bodies are glued together.
  • the connection channel body 101 comprises a tube with a circular cross section, in which two graduation levels are formed.
  • the tube forms a support bar tube 16, which extends over the length of the device the application width of a work order area 81 as a web or the like. extends. This is in the working direction B movable in a horizontal position, being on a Magnetic table 82 rests.
  • FIG. 1 A flow channel body according to the invention shown in FIG. 1 1, which will now be described in more detail, with its load-bearing partial body 15, which is plate or bar-shaped, also expediently as a supporting beam device in an application device be used.
  • the flow channel body 1 comprises a pipeline assembled from pipes 140, 141 and 142 14 and the massive channel body 15. This extends long along its body longitudinal axis 10.
  • the pipe 14 is above the upper longitudinal side 151 of the channel body 15 arranged with which they are parallel to one another Front extends to the middle of the body.
  • the pipeline 14 comprises an overall sewer pipe 140 on the end face with a rectangular, preferably square cross-section.
  • a pipe or hose feed line 143 is via a coupling connection to the front port 2 of the Tube 140 connectable.
  • In the other end of the straight tube 140 are straight parallel in sealing connection adjacent duct pipes 141, 142 inserted.
  • Each Pipe 141, 142 has exactly the exception of the wall thickness half cross-section of the tube 140, so advantageously the Half-square cross-section of the tube 140.
  • the tube 140 forms According to the invention, the total current channel K1 in a straight line Connection to the sub-duct pipes 141, 142, which are rectilinear continued sections of partial flow channels K2a and K2b form.
  • the division point T1 is the one according to the invention Parallel flow division at the flush front cross sections of tubes 141, 142 are formed.
  • This division office T1 is, viewed from the connection opening 2, on End of the first third of the whole linear straight line Extension of the pipeline 14 in the area between the end face of the body and the body longitudinal center. This means, that the straight length of each tube 141, 142 is twice that long as the total flow channel K1.
  • the semi-flow tubes 141, 142 are in the area of the body longitudinal center each deflected with an arc of 90 °, and they are in a mirror-symmetrical arrangement to the central transverse plane M1 of the solid channel body 15 flanged to it.
  • the channels K2a and K2b are through in the channel body 15 incorporated channels continued, the same Cross-section and the same cross-sectional shape as the pipes 141, 142. This takes place in the channel body 15 continued flow division.
  • channels K2a and K2b each have a profile further change of direction of the two channels by 90 ° to 180 ° diverging, extending parallel to the longitudinal axis 10 of the body straight sections of channels K2a and K2b.
  • Subsequent graduation levels can be designed in a conventional manner.
  • channel sections perpendicular to the body longitudinal axis 10 branch at division points T3, T4 in the usual way into the two T-arm sections of the subsequent division stage.
  • the branching of direction and flow takes place at one and the same place, in other words very differently than the division according to the invention in the first stage.
  • Fig. 1 for the second division stage shown.
  • the longitudinal axes parallel in the channel body 15 with it straight sections of the channels K2a and K2b go to the associated division point T2a and T2b in two parallel sections of Partial flow channels K3a1, K3a2 or K3b1, K3b2 via.
  • a partition 40 is formed, which continues in a straight line of the channels K2a, K2b, the thereby formed Partial flow channel sections exactly half the flow cross-section of the channels K2a, K2b.
  • the rectilinear flow division again independent and separate from the one that follows Change of direction by 90 ° in the direction perpendicular to the longitudinal axis of the body 10 and again by 90 ° in the direction parallel to Body longitudinal axis 10.
  • the channels K3a1, K3a2 and K3b1, K3b2 also in the first curvature and the subsequent one straight section perpendicular to the body longitudinal axis 10 separated by the partition 40.
  • the longitudinal section according to view A-B in Fig. 4 shows the division structure according to the invention described in another embodiment.
  • the support tube 16 is a length and cross section corresponding to that Tube 16 dimensioned solid body 160 advantageously in an adhesive connection inserted sealingly and with a perfect fit in the tube 16.
  • the channels K1, K2a, K2b are the division according to the invention and channels K3 of the following Graduation level trained and incorporated.
  • a feed line 143 in coupling connection in a connection opening 2 with a circular cross section is used.
  • the flow cross section becomes flat convex curved inner surface in half the circular cross section of the Channel K1 of the tube 16 is formed.
  • the division point Tl is through the front edge a partition 4 is formed, which is in the central longitudinal axis 10 of the tube 16 extends and the semicircular flow cross section of the total current channel K1 exactly halved.
  • the division point T1 is, in the flow direction of seen the connection opening 2 ago, at the end of the first third the jointly straight flow path length of the channels K1, K2a and K2b provided.
  • the straight section of the Channel K2a is thereby in the cross-sectional area of the quadrant K2a + b convicts that it is inclined by a diagonal Floor through opening 42 in the then in the other longitudinal half of the pipe 16 straight section of the Channel K2a is transferred.
  • the opposite by 180 ° Directional channel sections of channels K2a, K2b in The area of the quadrant K2a + b has the same length.
  • the division of the channel system becomes more conventional Way continued. This is done after a flow deflection through 90 ° through a passage 43 the transition into a T-division with the associated parallel axes Channels K3. 4, extend the channels K3 in the area of the fourth cross-sectional quadrant of the tube 16.
  • the cross-sectional inside of the tube 16 and the Cross-section of the inner body 160 has partial longitudinal sections of the tube 16 a cross-shaped structure with the free quadrant areas for the channels. By concave curves of the channel walls in the inner cross-sectional corners the body strength is further increased.
  • the channel ends of channels K3 end in Through openings 44 in the wall of the tube 16, namely in Mantle section of the fourth quadrant.
  • the pipe length Passages 44 of the second division level with five subsequent ones Division levels connected. These five levels of division more conventional Kind are in the wall of the additional channel body 102 incorporated. This extends under the support tube 16 to the inner wall area of the round template 80.
  • the spacing of the outlet openings 3 is from center of opening to center of opening, as found, advantageous 5 to 15 mm.
  • Pitch of 1600 mm: 128 12.5 mm reached.
  • the outlet openings 3 open out in an inclined gap 31 which extends over the working width and in this length with its slot opening to that Doctor element 9 is open in the area of the contact zone 90.
  • the gap 31 in the profile cross section is below a flat one Angle directed towards the application surface 81. It it has been found that the measured in the profile cross section Gap width (distance between the gap walls) advantageous 0.5 to 1.5 mm. It has been shown that this dimensioning, advantageous in connection with the pitch in Range from 0.5 to 1.5 mm for the outlet openings, straight then when at least the first stage of the multiple division formed dividing system with the invention Power division and redirection is very cheap is. Experiments have excellent breadth distribution results for very different flow rates, viscosities and funding benefits.
  • the nozzle length of the gap 31 in the oblique direction on the doctor element 9 is preferably in the range of 5.0 to 25 mm.
  • substance to be applied occurs at the slot opening of the oblique gap 31 practically perpendicular, gravity following in evenly closed over the application width Layer down while on the other hand the Inclined gap 31 for cleaning fluid a kind of wide jet nozzle forms, with the cleaning substance in the oblique direction the gap is blasted onto the doctor element.
  • the emergence of the application substance proves in a range of approx. 20 to 80 mm in front of the squeegee line as particularly advantageous, and on the other hand is found been that the cleaning effect of the wide jet of Cleaning fluid optimally at a distance of 20 to 80 mm is usable.
  • this channel system comprises channels K1, K2a and K2b of the parallel flow division according to the invention and Deflection guide and also with the ends of the channels K2a and K2b connected channels KR3, which is a conventional T channel division stage form, with yet another T-channel division stage with KR4 channels.
  • the KR3 channels and KR4 of the second and third division levels are in the Additional channel body 103 incorporated.
  • This is like the additional channel body 102 additionally attached to the support tube 16, where at the end of the channel K2a and K2b in the wall of the tube 16 is provided with a closable opening 45 is.
  • the Closing opening 45 opened so that cleaning fluid too enters the second division system.
  • the end advantageously eight channels KR4 also at an angle to the exit area of the application substance directed into the body 103 incorporated longitudinal gap.
  • this slit nozzle for Cleaning liquid can advantageously the inner surface of the Channel body 102 cleaned in the area of the exit area 300 become.
  • the cleaning function with regard to nozzle effect and width distribution has in connection with the invention first division level was found to be particularly cheap and effective.
  • FIG. 3 is a support bar tube 16 designed accordingly as in the embodiment 2 and 4.
  • additional channel body 102 ' provided that covers the entire bottom of the tube 16.
  • the tube 16 and body 102 ' are preferably through Adhesive sealed together, channels K4, K5 and K6 on the side from which it is worked into the body 102 ' have been in their longitudinal extension by means of the tubular jacket are covered.
  • the support bar tube 16 in Fig. 3 is compared to the arrangement in Fig. 4 rotated so that the channels K3 in the region of a rear wall 17 in the working direction B come to lie. This spatial arrangement is favorable to in this area with openings 44 connects to the channels To provide K4.
  • the rear attached to the support bar tube 16 and the partial body 102 'enclosing longitudinal wall 17 extends up to the vicinity of the inner surface of the round template 80.
  • the area of its lower edge is permanently magnetic Sliding and holding part 91 for a magnetizable doctor roller 9 arranged.
  • the outflow area 300 for substance is at the bottom of the additional channel body 102 'provided at a distance lies above the doctor roller 9.
  • the ends of the channels K7 last graduation level end in assigned slant tubes 32.
  • the tubes Viewed in working direction B, the tubes run 32 obliquely from top to bottom, pointing to the investment area the doctor roller 9 against the sliding and holding element 91st are aligned, namely perpendicular to the longitudinal axis 10 of the body of the tube 16.
  • the outlet openings of the tubes are located here 32, seen in working direction B, in front of the doctor roller 9.
  • the substance flows following gravity in a substantially perpendicular direction to the application area 81 downwards and forms a substance supply in front of the doctor roller 9.
  • the inclined Tube an oblique jet with which the doctor roller in the upper Area and in the contact area on the element 91 cleaned becomes.
  • the Inclined tube 32 with the same outlet opening of a diameter of preferably 3 to 6 mm. Has also it turned out to be very favorable, the openings in the pitch from 5 to 15 mm together.
  • the inclined gap channel can be provided.
  • FIG. 5 shows the flow channel body shown in FIG. 3 1 in partial view C, and only on one end of the Flow channel body 1.
  • FIG. 6 and 7 show a flow channel body 1, the one Has body part 150 with a square overall cross section.
  • the body part that extends over the total length of the device 150 is made of two flat tubes 150.1 and 150.2 the same cross section put together.
  • the furnishings correspond to those described above Embodiments. So the lead 143 on the Connection opening 2 with the short piece compared to the total length Total sewer pipe 140 connected, and at the exit of Tube 140 branches the total flow at the division point T1 into the parallel and adjacent sections of the Partial flow channels K2a, K2b.
  • the directly to the division point T1 adjoining rectilinear section of channel K2a provided much shorter than the parallel section of the Channel K2b.
  • 150.1, 150.2 each have a sealing element 18 in the form of a sealing plug used, the sealing element 18, in the direction of seen flow to be shared, immediately behind an associated Bottom opening 41, 42 is located in the tubes 150.1, 150.2.
  • the opening 41 of the channel K2a is located from the Connection opening measured in the first quarter of the total length of the facility, while the opening 42 of the channel K2b is in the third quarter of the total facility length.
  • the shorter section formed by the channel K2a expediently an adjustable throttle element 19 with a displacement part 190 assigned.
  • the throttle element is formed by a rod which from the device face opposite the connection opening 2 11 protrudes into the flat tube 150.1 and in a longitudinal bore parallel to the sealing element 18 engages in the sealing sliding seat. This sliding connection is therefore substance-tight.
  • the staff is outside the front 11 so long and with a handle provide that its free, facing the division point T1 End any position between the division point T1 and can take the sealing element 18.
  • the rod of the throttle element 19 has a circular cross section on. With such a cylinder rod, the substance delivery rate so far in the short partial flow channel section be throttled that in this short section of the canal K2a and in the long partial flow channel section K2b the same Substance delivery amount introduced into the openings 41, 42 becomes.
  • the free end of the rod throttle element 19 thus forms a substance displacement part with adjustable position. It extends centrally in the cross section of the flat tube 150.1. It is very advantageous that by means of the throttle rod if necessary, also an uneven substance distribution the openings 41, 42 can be provided. Additional advantages the configuration consists in that the flow channel body in comparison with a channel K2a, K2b having the same length Body with the same flow rate with less Body cross section is producible and a comfortable adjustment different substance viscosities.
  • the closure element 13 is formed by a round rod, whose diameter is the narrow inside width of the Flat tube corresponds to 150.1.
  • the closure element 13 is in a pipe connector 12 arranged which the total flow duct pipe 140 connects to the double tube body part 150.
  • the closure element rod is standing 13 on the outside of the connecting piece 12 by passes through an associated through hole.
  • the entrance opening of the Flat tube 150.1 or the partial flow channel K2a completely be closed, directly at the division point T1.
  • the diameter of the rod closure element comes 13 corresponding wall part 120 of the connector 12 clamped between the tube 140 and the body part 150 to lie, the wall part 120 facing the opening 2 towards the continuation of the adjacent wall parts of the Flat tubes 150.1, 150.2 forms.
  • the complete shut-off of the K2a channel can be used for special Print results, e.g. for coloring flags that are half different are used in a particularly advantageous manner become.
  • the closure element 13 can be useful but can also be used as a metering throttle element, by moving it into position as shown in Figs brought, which is the input cross section of the partial flow channel K2a only partially closes.
  • the arrangement of the element 13 is also particularly advantageous in connection with 6 and 7 are provided, and in addition to or instead of the arrangement of what is described there Throttle element 19.

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Description

Die Erfindung betrifft einen Strömungsteilungs- und -umformungseinrichtung zur Strömungsteilung und Strömungsumformung von fließfähigen und/oder gasförmigen Substanzen, umfassend einen lang sich erstreckenden, eine Körperlängsachse aufweisenden Körper und wenigstens ein Teilungssystem, in dem die Substanzen von einem die Substanz in zusammengefaßter Strömung führenden Gesamtstromkanal zu einer Reihe von längs des Körpers angeordneten Öffnungen, die einem in der Körperlänge sich erstreckenden schmalen Austrittsbereich zugeordnet sind, geführt wird, wobei der Gesamtstromkanal in zwei den Gesamtstrom an einer ersten Teilungsstelle teilende, Substanz führende Kanäle einer ersten Teilungsstufe verzweigt und wenigstens eine weitere Teilungsstufe nachgeordnet ist, in der an der zugehörigen Teilungsstelle jedes Kanalende der vorangehenden Stufe in jeweils zwei die Strömung teilende und sie in entgegengesetzte Richtungen entlang der Körperlängsrichtung umlenkende Kanäle verzweigt. Dem im Inneren des Strömungskanalkörpers angeordneten Strömungskanalsystem sind insbesondere in beiden Strömungsrichtungen Arbeitsfunktionen zugeordnet. Der Strömungskanalkörper ist vorzugsweise Teil einer Auftragungseinrichtung, z.B. einer Siebzylinder-Rundschablonen-Druckmaschine. Er kann in einen Tragholm einer solchen Maschine eingebaut oder an einen Tragholm angesetzt sein. Der Strömungskanalkörper kann aber auch für andere Zwecke der breitengleichmäßigen Fluidverteilung genutzt werden.
Ein gattungsgemäßer Strömungskanalkörper ist aus WO 94/17927 bekannt. Ein Gesamtstromkanal, der von einer stirnseitig angeordneten Anschlußöffnung ausgeht, führt bis in die Längsmitte des Strömungskanalkörpers. Dort erfolgt eine Stromteilung mittels einer T-förmigen Kanalverzweigung. Diese bekannte Strömungsteilung erfolgt unmittelbar nach einer 90° Strömungsumlenkung aus Längsrichtung in Querrichtung in Verbindung mit einer anschließenden 90°-Doppelumlenkung, die die eigentliche Teilung bildet. Bekannte Einrichtungen der gattungsgemäßen Art erfüllen nur einige der an sie gestellten Anforderungen, und auch nur mit Einschränkungen. Insbesondere fehlt bisher eine Einrichtung, mit der der Bereich auch sehr großer Strömungsmengenleistungen mit allen Substanzen von wäßriger bis hochviskoser Beschaffenheit und insbesondere für relativ große Arbeitsbreiten, nämlich insbesondere 3 bis 5 Meter, mit Teilungsgenauigkeit beherrschbar ist. Dieser Mangel besteht insbesondere in Verbindung mit Rundschablonen-Druckmaschinen, d.h. unter Berücksichtigung der beengten Rundschablonen-Raumverhältnisse. So beträgt der öffnungsdurchmesser der am meisten gebräuchlichen Rundschablonen nur 130 bis maximal 160 mm. Der Mangel besteht auch angesichts der erforderlichen Stabilität, d.h. der Geradheit über die gesamte Körperlänge. Ein wesentlicher Nachteil bekannter Strömungskanalkörper ist in der Ungenauigkeit und Unzuverlässigkeit der Teilung zu sehen, und zwar insbesondere bei Verwendung von Substanzen sehr unterschiedlicher Viskosität und/oder Mengen. Je größer Substanzmenge, Körperlänge und/ oder Viskositätsunterschiede sind, desto schwerwiegender wirken sich die Mängel aus. Einige Mängel der bekannten Strömungskanalkörper sowie Grundlagen werden anhand der schematischen Fig. A bis C zum Stand der Technik erläutert.
Fig. A zeigt eine allgemein bekannte T-Rohrverzweigung. In Fig. B sind eine relativ lange Strömungsstrecke Q vor der Strömungsverzweigung und die beiden gleichlangen kürzeren T-Verzweigungstrecken L1 und L2 mit zugehörigen Ausströmungswiderständen G1 und G2 dargestellt. Nur wenn die Strecke Q ausreichend lang ist und die Strecken L1 und L2 gleich lang sind, kann eine Strömungshalbierung erwartet werden. Fig. C zeigt einen bekannten Strömungskanalkörper, der eine langgestreckte Platte aufweist, in die ein Strömungskanalsystem mit fortgesetzter Halbierungsteilung eingearbeitet ist. Der gesamte Körper umfaßt zwei solche Platten, die spiegelgleich hergestellt sind und mit der in Fig. C gezeigten Ansichtsfläche abdichtend zusammengefügt werden. In Fig. C ist die Längserstreckung des Strömungskanalkörpers gedrängt dargestellt. Sie kann z.B. 10mal größer gedacht werden. Legt man z.B. eine Rundschablonenöffnung mit 150 mm Durchmesser zugrunde, wobei von diesem Maß mindestens 50 mm für eine Rakeleinrichtung benötigt werden, ergibt sich bei einer Arbeitsbreite von z.B. 3 Meter für einen Strömungskanalkörper ein Proportionsverhältnis von 1 zu 30 für die Quererstreckung zur Längserstreckung. In Fig. C ist mit Q1 bis Q4 verdeutlicht, daß die Quermaße der Teilungsstufen sehr kurz sind, woraus die erwähnte Unzuverlässigkeit für die Strömungshalbierung resultiert. Es wird daraus auch deutlich, daß die Halbierung um so ungenauer ist, je größer der jeweilige Querschnitt eines Strömungskanals ist. Somit ist die Unzuverlässigkeit der Teilungshalbierung an der ersten, für die Breitenverteilung jedoch besonders wesentlichen Teilungsstelle, die mit T1 bezeichnet ist, am größten. Die erläuterten Verhältnisse sind im Prinzip für alle bisher bekannten Einrichtungen der betroffenen Art zutreffend.
Ein Hauptziel der Erfindung besteht darin, einen Strömungskanalkörper zur mehrfachen Strömungsteilung und -umformung insbesondere für eine Auftragungsvorrichtung wie eine Druckmaschine od.dgl. zu schaffen, mit dem die Substanzführung hinsichtlich gleichmäßiger Breitenverteilung wesentlich verbessert ist, und zwar für dünnflüssige Substanzen bis hin zu zähflüssigen Substanzen, bei auch besonders großen Arbeitsbreiten, großen Substanzmengen und/oder Erhöhung der Produktionsgeschwindigkeit einer Auftragungsmaschine, wobei insbesondere auch mechanische Körperfestigkeit bei dennoch relativ kleinem Konstruktionsquerschnitt verbessert sein soll.
Die Ziele werden in Verbindung mit den Merkmalen des eingangs genannten Strömungskanalkörpers dadurch erreicht, daß der Gesamtstromkanal an der ersten Teilungsstelle in zwei parallel und nebeneinander verlaufende, Substanz in gleiche Richtung führende Abschnitte von Teilstromkanälen übergeht, wobei die Strömung im Bereich vor, an und nach der Teilungsstelle geradlinig oder zumindest nahezu geradlinig verläuft. Erfindungsgemäß wird genaue Halbierungsteilung insbesondere dadurch zustande gebracht, daß der Strömungsbereich vor, an und nach der Teilungsstelle durch einen im ganzen zumindest nahezu geradlinigen, linearen Strömungsweg gebildet ist. Dabei ist es erfindungsgemäß auch wesentlich, daß zumindest für die erste Strömungsteilung in dem Strömungskanalkörper die geradlinige Strömungsteilung vorgesehen ist. Die Strömungsteilung erfolgt unabhängig von einer erst nachfolgenden Richtungsverzweigung und Strömungsumlenkung. Wie gefunden worden ist, wird die Teilungsqualität infolge der parallelen Strömungsverzweigung und erst anschließender Richtungsverzweigung wesentlich verbessert. Die erfindungsgemäße Substanzteilung in der ersten Teilungsstufe führt selbst dann, wenn nachfolgende Stufen durch herkömmliche T-förmige Verzweigungen gebildet werden, zu einer wesentlichen Verbesserung der Breitenverteilung. Diese Verbesserung ist für sehr unterschiedliche Substanzviskositäten, relativ großen Substanzdurchsatz und relativ große Arbeitsbreiten erreicht. Im Bereich des Kanalübergangs zwischen der ersten und der nachfolgenden Stufe lassen sich im Unterschied zu bekannten Strömungskanalkörpern wesentlich geringere Wandungsstärken oder statt dessen entsprechend größere Kanalquerschnitte vorsehen. Im Substanzeinleitungsbereich erzielbare große Kanalquerschnitte und damit erreichte große Fördervolumen erlauben insbesondere auch, mit besonders zähflüssigen, gerade noch fließfähigen Substanzen zu arbeiten. Weiterhin ist gefunden worden, daß aufgrund der erfindungsgemäßen Parallelstromteilung das insbesondere für Reinigungszwecke vorgesehene Absaugen von Substanz oder Gas durch den Strömungskanalkörper mit zu der Substanzverteilung umgekehrter Strömungsrichtung wesentlich wirksamer ausgeführt werden kann, wobei dann durch die Parallelzusammenführung die Ansauggleichmäßigkeit verbessert wird.
Durch einen eine Anschlußöffnung bildenden Rohranschluß mit vorzugsweise etwa 20-50 mm Durchmesser einströmende Substanz von wäßrig flüssiger, beliebig viskoser oder gasförmiger Beschaffenheit wird zuverlässig gleichmäßig in aufeinanderfolgenden Teilungsstufen jeweils in genauer Halbierung, also mehrfach halbierend, geteilt, wobei die Teilströme auf Längen von insbesondere etwa 2 bis 5 Meter erstreckt, d.h. auseinandergeleitet und gedehnt werden. In einer Auftragungseinrichtung, z.B. für eine Rundschablonenauftragung, entspricht das Maß der Aufteilungslänge der Bahnbreite und damit der Druck- oder Arbeitsbreite. Das Ausströmen der über die jeweilige Arbeitsbreite mehrfach halbierend aufgeteilten Substanz erfolgt in Form einer homogen und breitengleichmäßig austretenden Substanzschicht. Zumindest wird eine weitgehende Annäherung an eine solche schicht-, film- oder breitstrahlförmige Ausströmung erzielt. Das Ausströmen von Auftragungssubstanz erfolgt weitgehend druckarm, d.h. nahezu drucklos, und zwar sehr nahe an der Auftragungszone. Einspritzendes Austreten unter Druck würde Auftragungsfehler verursachen. Der erfindungsgemäße Strömungskanalkörper eignet sich auch für Reinigungszwecke, wobei Reinigungsflüssigkeit im Unterschied zur Auftragungssubstanz mit hohem Druck ausströmt. Die Strömungskanäle sind derart, daß auch bei Strömungsumkehrbetrieb zwecks Entleerung des Strömungskanalsystemes und auch für das Absaugen von Substanz und von Substanzwassergemisch aus der Auftragungszone durch den Austrittsöffnungsbereich optimaler Strömungsfluß gegeben ist. Der Strömungskanalkörper ist nicht nur zur Selbstreinigung durch bloßes Durchströmen unterschiedlicher Substanzen geeignet, sondern auch für anderweitige Reinigungszwecke nutzbar, z.B. für das Reinigen von Teilen einer Auftragungsvorrichtung, und insbesondere auch für das Reinigen einer Rundschablone. Nach erfolgter Reinigung kann die Reinigungsflüssigkeit zweckmäßig durch das Durchströmen von Gas (Druckluft) entfernt werden.
Der unmittelbar an eine stirnseitige, insbesondere eine Rohr- oder Schlauchanschlußkupplung aufweisende Anschlußöffnung anschließende, den Gesamtstrom führende Kanal und der in linearer Verlängerung weiter daran anschließende Strömungsweg mit zwei Parallelkanalabschnitten bis in die Körperlängsmitte können zweckmäßig in den Körper eingearbeitet oder in einer außen an dem Körper sich erstreckenden Rohrleitung vorgesehen sein. Auf dem Weg des geradlinigen Strömungsverlaufs im Bereich zwischen der Körperstirnseite und der Körperlängsmitte beginnen die Teilungsparallelkanalabschnitte vorzugsweise in dem ersten Wegdrittel, zumindest aber zu Beginn des letzten Wegviertels. Vorzugsweise ist querschnittsmittig in einem Rohr eine maßgenau konstruierte Innenwand angeordnet, um mit dieser Rohrhalbierung die beiden Teilungsparallelkanalabschnitte zu bilden. Die geradlinig verlaufende Halbierungs-Strömungsstrecke umfaßt vorzugsweise Parallelkanalabschnitte mit gleichem Strömungsquerschnitt und gleicher Querschnittsform, die getrennt in Körperquerrichtungen und aus diesen, getrennt bleibend, in um 180° entgegengesetzte Körperlängsrichtungen umgelenkt werden. Eine besonders vorteilhafte Erfindungsgestaltung besteht darin, daß im schmalen, parallel zur Körperlängsachse sich erstreckenden Substanzaustrittsbereich Austrittskanäle mit Querverlauf zur Körperlängsachse schräg angeordnet sind. Ganz besonders vorteilhaft ist es, einen quer zur Körperlängsachse schräg angeordneten, über die gesamte Arbeitsbreite sich erstreckenden Austrittsspalt vorzusehen, dessen Spaltquerschnittsbreite vorzugsweise im Bereich von 0,2 bis 2,0 mm beträgt und der zweckmäßig auch mittels einer von außen an den Strömungskanalkörper angesetzten Wand vorgesehen sein kann.
Sehr vorteilhaft werden die Querschnitte der Strömungskanäle des erfindungsgemäßen Strömungskanalkörpers insbesondere in den letzten Teilungstufen vor dem sowie im Substanzaustrittsbereich und ggf. auch der Strömungsquerschnitt eines Austrittsspalts derart dimensioniert, daß ausströmende Auftragungssubstanz praktisch drucklos, d.h. weitgehend druckentspannt ausfließt und der Schwerkraft folgend abfließt, während Reinigungsflüssigkeit zum Reinigen von Rakelgerätteilen vor dem Austrittsbereich unter Druck ausspritzt, und zwar vorteilhaft so, als ob das Ausspritzen durch eine über die Arbeitsbreite sich erstreckende Breitstrahldüse erzeugt wird, wobei ein über die Arbeitsbreite geschlossener Flüssigkeitsbreitstrahl erzeugt wird, der im Abstand von etwa 20 bis 80 mm von den Austrittsöffnungen bzw. von der Austrittsspaltöffnung die größte Reinigungskraft hat. Im Zusammenhang damit wird eine Substanz-Zuführungseinrichtung wie eine Pumpe in Verbindung mit einer optimal stetig fördernden Zuführungssteuerung vorgesehen, um Druckstöße in der Substanzzuführung zu vermeiden.
Auf weitere zweckmäßige und vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung beziehen sich Unteransprüche. Besonders zweckmäßige und vorteilhafte Ausbildungsformen oder -möglichkeiten der Erfindung werden anhand der folgenden Beschreibung der in der schematischen Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiele näher beschrieben. Es zeigen
Fig. 1
in Längsansicht einen erfindungsgemäßen Strömungskanalkörper in kombinierter Bauform mit Rohrkörper und Quaderkörper,
Fig. 2
im Teillängsschnitt in Draufsicht den Teil eines erfindungsgemäßen Strömungskanalkörpers mit in einen Rohrkörper eingesetztem Massivkörper,
Fig. 3
im Profilquerschnitt erfindungsgemäße und 4 Strömungskanalkörper, die aus mehreren Teilkörpern zusammengesetzt sind,
Fig. 5
in Teillängsansicht den stirnseitigen Endbereich des Strömungskanalkörpers gemäß Fig. 3,
Fig. 6 bis 7a
in Teillängsschnitten und -querschnitten einen erfindungsgemäßen Strömungskanalkörper und
Fig. 8 bis 10
in Teillängsansicht und -querschnitt einen erfindungsgemäßen Strömungskanalkörper.
Zunächst wird anhand der Fig. 4 ein erfindungsgemäßer Strömungskanalkörper 1 im Einbauzustand in einer Auftragungseinrichtung beschrieben.
Der Strömungskanalkörper 1 ist aus einem eine Anschlußöffnung aufweisenden Anschlußkanalkörper 101 und weiteren sogenannten Zusatzkanalkörpern 102 und 103 zusammengefügt. Zweckmäßig sind die einzelnen Körper flächig aneinandergeklebt. Der Anschlußkanalkörper 101 umfaßt ein Rohr mit Kreisquerschnitt, in dem zwei Teilungsstufen ausgebildet sind. Das Rohr bildet ein Tragholmrohr 16, das sich in der Vorrichtungslänge über die Auftragungsbreite einer Arbeitsauftragungsfläche 81 wie einer Warenbahn od.dgl. erstreckt. Diese ist in Arbeitsrichtung B in horizontaler Lage bewegbar, wobei sie auf einem Magnettisch 82 aufliegt. Ein mit magnetisierbarer Masse 92 ausgestattetes, mittels eines Halteelements 91 schwenkbewegbar gehaltenes Rakelelement in Form einer Streichrakel 9 ist mit seiner Rakelkante gegen die Warenbahn 81 und ggf. eine Siebzylinder-Rundschablone 80 anpreßbar. Das unter das Tragholmrohr 16 sich erstreckende Halteelement 91 ist an einer in Arbeitsrichtung B hinteren, über die Arbeitsbreite parallel zur Rohrlängsachse sich erstreckenden Wand 17 befestigt. Das Tragholmrohr ist mit seinen Enden in Auflagern einer nicht näher dargestellten Auftragungsmaschine gehalten, wobei der Anschlußkörper 101 um eine längsachsenparallele Körperachse schwenkbar und ggf. in der Schwenkposition festsetzbar ist.
Ein in Fig. 1 dargestellter erfindungsgemäßer Strömungskanalkörper 1, der nun näher beschrieben wird, kann mit seinem tragenden Teilkörper 15, der platten- oder balkenförmig ist, zweckmäßig auch als Tragholmeinrichtung in einer Auftragungseinrichtung genutzt werden. Der Strömungskanalkörper 1 umfaßt eine aus Rohren 140, 141 und 142 zusammengefügte Rohrleitung 14 und den massiven Kanalkörper 15. Dieser erstreckt sich lang entlang seiner Körperlängsachse 10. Die Rohrleitung 14 ist oberhalb der oberen Längsseite 151 des Kanalkörpers 15 angeordnet, mit dem sie sich längsachsenparallel von einer Stirnseite bis zur Körperlängsmitte erstreckt.
Die Rohrleitung 14 umfaßt stirnseitig ein Gesamtkanalrohr 140 mit rechteckigem, vorzugsweise quadratischem Querschnitt. Eine Rohr- oder Schlauchzuleitung 143 ist über eine Kupplungsverbindung an die stirnseitige Anschlußöffnung 2 des Rohres 140 anschließbar. In das andere Ende des geraden Rohres 140 sind in abdichtender Verbindung zwei gerade parallel aneinanderliegende Teilkanalrohre 141, 142 eingesteckt. Jedes Rohr 141, 142 weist mit Ausnahme der Wandstärken genau den halben Querschnitt des Rohres 140 auf, also vorteilhaft den Halbquadratquerschnitt des Rohres 140. Das Rohr 140 bildet erfindungsgemäß den Gesamtstromkanal K1 in geradliniger Verbindung mit den Teilkanalrohren 141, 142, die geradlinig fortgesetzte Abschnitte von Teilstromkanälen K2a und K2b bilden. Dabei ist die Teilungsstelle T1 der erfindungsgemäßen Parallelstromteilung an den stirnseitigen bündigen Eingangsquerschnitten der Rohre 141, 142 gebildet. Diese Teilungsstelle T1 ist, von der Anschlußöffnung 2 her betrachtet, am Ende des ersten Drittels der im ganzen linearen gradlinigen Erstreckung der Rohrleitung 14 im Bereich zwischen der Körperstirnseite und der Körperlängsmitte angeordnet. Das heißt, daß die gerade Länge eines jeden Rohres 141, 142 doppelt so lang wie der Gesamtströmungskanal K1 ist.
Die Halbstromrohre 141, 142 sind im Bereich der Körperlängsmitte jeweils mit einer Bogenkrümmung von 90° umgelenkt, und sie sind, in spiegelsymmetrischer Anordnung zur Mitten-Querebene M1 des Massivkanalkörpers 15 an diesen angeflanscht. Dadurch sind die Kanäle K2a und K2b durch in den Kanalkörper 15 eingearbeitete Kanäle fortgesetzt, die den gleichen Querschnitt und die gleiche Querschnittsform wie die Rohre 141, 142 aufweisen. In dem Kanalkörper 15 erfolgt die fortgesetzte Strömungsteilung. Im Anschluß an den zu der Querebene M1 parallelen und zur Körperlängsachse 10 senkrechten Verlauf der Kanäle K2a und K2b erfolgt eine jeweils weitere Richtungsänderung der beiden Kanäle um 90° in 180° divergierende, parallel zur Körperlängsachse 10 sich erstreckende gerade Abschnitte der Kanäle K2a und K2b.
Nachfolgende Teilungsstufen können in herkömmlicher weise ausgebildet sein. Dann verzweigen zur Körperlängsachse 10 senkrechte Kanalabschnitte an Teilungsstellen T3, T4 auf übliche Weise in die beiden T-Armabschnitte der nachfolgenden Teilungsstufe. Dabei findet die Richtungs- und Strömungsverzweigung an ein und derselben Stelle statt, also ganz anders als die erfindungsgemäß vorgesehene Teilung in der ersten Stufe. Durch fortgesetzte Teilung wird der Substanzstrom auf die gewünschte Zahl Z = 2N der Kanäle aufgeteilt, wobei N die Stufenzahl ist. Die am Ende dieses Teilungssystems senkrecht zur Körperlängsachse 10 sich erstreckenden Kanalabschnitte der Teilstromkanäle, nämlich in Fig. 1 die Abschnitte der Kanäle K5 münden an der Längsunterseite 152 des Kanalkörpers 15 in Substanzaustrittsöffnungen 3. So sind in Fig. 1 an der Körperunterseite sechzehn Austrittsöffnungen vorgesehen.
Besonders vorteilhaft ist es, insbesondere bei vielstufiger Teilung, auch eine oder mehrere der ersten Teilungsstufe nachfolgende Teilungsstufen mit der erfindungsgemäßen Teilung auszustatten. Dies ist in Fig. 1 für die zweite Teilungsstufe dargestellt. Die in dem Kanalkörper 15 längsachsenparallel mit ihm sich erstreckenden geraden Abschnitte der Kanäle K2a und K2b gehen an der zugehörigen Teilungsstelle T2a bzw. T2b in zwei parallel nebeneinander verlaufende Abschnitte von Teilstromkanälen K3a1, K3a2 bzw. K3b1, K3b2 über. Dabei sind diese geraden Abschnitte jeweils mittels eines Abschnittes einer Trennwand 40 gebildet, der sich in gerader Fortsetzung der Kanäle K2a, K2b erstreckt, wobei die dadurch gebildeten Teilstromkanalabschnitte genau den halben Strömungsquerschnitt der Kanäle K2a, K2b aufweisen. Damit erfolgt erfindungsgemäß die richtungsgleiche geradlinige Strömungsteilung wiederum unabhängig und getrennt von der erst anschließenden Richtungsänderung um 90° in Richtung senkrecht zur Körperlängsachse 10 und noch einmal um 90° in Richtung parallel zur Körperlängsachse 10. Dabei sind die Kanäle K3a1, K3a2 bzw. K3b1, K3b2 auch in der ersten Krümmung und dem sich anschließenden geraden Abschnitt senkrecht zur Körperlängsachse 10 durch die Trennwand 40 getrennt.
Anhand der Fig. 2, die den Längsschnitt gemäß Ansicht A-B in Fig. 4 darstellt, wird die erfindungsgemäße Teilungsstruktur in einer anderen Ausführungsform beschrieben. ln das Tragholmrohr 16 ist ein in Länge und Querschnitt entsprechend dem Rohr 16 dimensionierter Massivkörper 160 vorteilhaft in Klebeverbindung dichtend und paßgenau in das Rohr 16 eingefügt. In diesem Innenkörper 160 sind die Kanäle K1, K2a, K2b der erfindungsgemäßen Teilung sowie Kanäle K3 der nachfolgenden Teilungsstufe ausgebildet und eingearbeitet.
Stirnseitig ist eine Zuleitung 143 in Kupplungsverbindung in eine Anschlußöffnung 2 mit Kreisquerschnitt eingesetzt. Von dort wird der Strömungsquerschnitt über eine flach konvex gekrümmte Innenfläche in den halben Kreisinnenquerschnitt des Kanals K1 des Rohres 16 umgeformt. In dem Gesamtströmungskanal K1 erfolgt die Strömung dann in geradem Weg und erreicht die Teilungsstelle Tl. Diese ist durch den Stirnrand einer Trennwand 4 gebildet, die sich in der Mittenlängsachse 10 des Rohres 16 erstreckt und den Halbkreis-Strömungsquerschnitt des Gesamtstromkanals K1 genau halbiert. Dadurch entstehen die geradlinig fortgesetzten Abschnitte der Teilstromkanäle K2a, K2b mit jeweils viertelkreisförmigem Querschnitt in einem ersten und zweiten oberen Querschnittsquadranten. Die Teilungsstelle T1 wird, in Strömungsrichtung von der Anschlußöffnung 2 her gesehen, am Ende des ersten Drittels der gemeinsam geraden Strömungsweglänge der Kanäle K1, K2a und K2b vorgesehen.
Aus der Teil-Längsschnittansicht gemäß Fig. 2 in Verbindung mit der Profil-Querschnittsansicht gemäß Fig. 4 wird deutlich, daß die aneinanderliegenden parallelen Kanalabschnitte K2a, K2b in Abschnitte dieser Kanäle übergehen, die in bezug auf die zur Körperlängsachse 10 senkrecht gerichtete Mittenquerebene M1 spiegelsymmetrisch in der unteren Hälfte des Rohres 16 verlaufen, und zwar im Querschnittsbereich des mit K2a+b bezeichneten dritten Quadranten. In Strömungsrichtung mündet der von der Teilungsstelle T1 ausgehende gerade Kanalabschnitt K2b in die Bodenöffnung 41 mit Kreisquerschnitt, wodurch die Strömung um 180° umgeleitet wird, wobei sie in Längsrichtung des Rohres im Bereich des Quadranten K2a+b in Richtung der Stirnseite, die die Anschlußöffnung 2 aufweist, zurückgeführt wird. Der im Rohr 16 oben liegende und nach der 180°-Umlenkung unten liegende Abschnitt des Kanals K2b weist den gleichen viertelkreisförmigen Querschnitt auf.
Der von der Teilungsstelle Tl ausgehende gerade Abschnitt des Kanals K2a wird dadurch in den Querschnittsbereich des Quadranten K2a+b überführt, daß er durch eine schräge diagonale Boden-Durchgangsöffnung 42 in den dann in der anderen Längshälfte des Rohres 16 geradlinig fortgeführten Abschnitt des Kanals K2a überführt wird. Die um 180° in entgegengesetzte Richtung verlaufenden Kanalabschnitte der Kanäle K2a, K2b im Bereich des Quadranten K2a+b weisen die gleiche Länge auf. An ihren Kanalenden wird die Teilung des Kanalsystems in herkömmlicher Weise fortgesetzt. So erfolgt nach einer Strömungsumlenkung um 90° durch einen Durchgang 43 der Übergang in eine T-Teilung mit den jeweils zugehörigen längsachsenparallelen Kanälen K3. Wie aus Fig. 4 ersichtlich, erstrecken sich die Kanäle K3 im Bereich des vierten Querschnittsquadranten des Rohres 16. Es ist ersichtlich, daß mit der beschriebenen Querschnittsunterteilung des Rohres 16 eine besonders hohe Festigkeitsstruktur des Tragholmes 16 bei dennoch materialsparender und gewichtsmäßig leichter Bauweise erreicht ist. Das Querschnittsinnere des Rohres 16 bzw. der Querschnitt des Innenköprpers 160 weist in Teil-Längsabschnitten des Rohres 16 eine kreuzförmige Struktur mit den freibleibenden Quadrantenbereichen für die Kanäle auf. Durch konkave Rundungen der Kanalwände in den inneren Querschnittsecken wird die Körperfestigkeit weiter erhöht.
Nach 90°-Umlenkung enden die Kanalenden der Kanäle K3 in Durchgangsöffnungen 44 in der Wand des Rohres 16, und zwar im Mantelabschnitt des vierten Quadranten. Zur fortgesetzten Strömungsteilung sind die vier über die Rohrlänge verteilten Durchgänge 44 der zweiten Teilungsstufe mit fünf nachfolgenden Teilungsstufen verbunden. Diese fünf Teilungsstufen herkömmlicher Art sind in die Wandung des Zusatzkanalkörpers 102 eingearbeitet. Dieser erstreckt sich unter dem Tragholmrohr 16 bis zu dem Innenwandbereich der Rundschablone 80.
Das Abstandsteilungsmaß der Austrittsöffnungen 3 beträgt von öffnungsmitte zu öffnungsmitte, wie gefunden wurde, vorteilhaft 5 bis 15 mm. Bei einer Arbeitsbreite von 1600 mm wird durch die Teilung mit den sieben Stufen gemäß Fig. 4 ein Teilungsmaß von 1600 mm : 128 = 12,5 mm erreicht.
Wie aus Fig. 4 ersichtlich, münden die Austrittsöffnungen 3 in einen Schrägspalt 31, der sich über die Arbeitsbreite erstreckt und in dieser Länge mit seiner Schlitzöffnung zu dem Rakelelement 9 hin im Bereich der Anliegezone 90 offen ist. Dabei ist der Spalt 31 im Profilquerschnitt unter einem flachen Winkel auf die Auftragungsfläche 81 hin gerichtet. Es ist gefunden worden, daß die im Profilquerschnitt gemessene Spaltbreite (Abstand zwischen den Spaltwänden) vorteilhaft 0,5 bis 1,5 mm beträgt. Es hat sich gezeigt, daß diese Dimensionierung, vorteilhaft in Verbindung mit dem Teilungsmaß im Bereich von 0,5 bis 1,5 mm für die Austrittsöffnungen, gerade dann, wenn zumindest die erste Stufe des durch die Mehrfachteilung gebildeten Teilungssystems mit der erfindungsgemäßen Stromteilung und -umlenkung ausgebildet ist, sehr günstig ist. Versuche haben hervorragende Breitenverteilungsergebnisse für stark unterschiedliche Fördermengen, Viskositäten und Förderleistungen ergeben.
Die Düsenlänge des Spalts 31 in Schrägrichtung auf das Rakelelement 9 liegt vorzugsweise im Bereich von 5,0 bis 25 mm.
Insebesondere mit den angegebenen Dimensionierungen ist eine überraschende und sehr vorteilhafte Doppelwirkung erzielt. Einerseits tritt aufzutragende Substanz an der Schlitzöffnung des schrägen Spalts 31 praktisch senkrecht, der Schwerkraft folgend in über die Auftragungsbreite gleichmäßig geschlossener Schicht nach unten aus, während andererseits der Schrägspalt 31 für Reinigungsflüssigkeit eine Art Breitstrahldüse bildet, mit der Reinigungssubstanz in Schrägrichtung des Spalts auf das Rakelelement gestrahlt wird. Einerseits erweist sich der Austritt der Auftragungssubstanz in einem Bereich von ca. 20 bis 80 mm vor der Rakelanlagelinie als besonders vorteilhaft, und andererseits ist gefunden worden, daß die Reinigungswirkung des Breitstrahls der Reinigungsflüssigkeit in dem Abstand von 20 bis 80 mm optimal nutzbar ist.
Der erfindungsgemäße Strömungskanalkörper gemäß Fig. 4 ist mit einem zusätzlichen Kanalsystem für Reinigungszwecke versehen. Dieses Kanalsystem umfaßt einerseits die Kanäle K1, K2a und K2b der erfindungsgemäßen Parallelstromteilung und Umlenkführung sowie zudem mit den Enden der Kanäle K2a und K2b verbundene Kanäle KR3, die eine herkömmliche T-Kanal-Teilungsstufe bilden, wobei noch eine weitere T-Kanal-Teilungsstufe mit Kanälen KR4 nachgeordnet ist. Die Kanäle KR3 und KR4 der zweiten und dritten Teilungsstufe sind in den Zusatzkanalkörper 103 eingearbeitet. Dieser ist wie der Zusatzkanalkörper 102 zusätzlich an das Tragholmrohr 16 angesetzt, wobei jeweils an dem Ende des Kanals K2a und K2b in der Wand des Rohres 16 eine schließbare Öffnung 45 vorgesehen ist. Dann, wenn der Strömungskanalkörper durch die Anschlußöffnung 2 mit Reinigungsflüssigkeit gespeist wird, wird die Schließöffnung 45 geöffnet, so daß Reinigungsflüssigkeit auch in das zweite Teilungssystem gelangt. Vorteilhaft enden die acht Kanäle KR4 auch in einem schräg zu dem Austrittsbereich der Auftragungssubstanz hin gerichteten, in den Körper 103 eingearbeiteten Längsspalt. Infolge dieser Spaltdüse für Reinigungsflüssigkeit kann vorteilhaft die Innenfläche des Kanalkörpers 102 im Bereich des Austrittsbereichs 300 gereinigt werden.
Die Reinigungsfunktion hinsichtlich Düsenwirkung und Breitenverteilung hat sich in Verbindung mit der erfindungsgemäßen ersten Teilungsstufe als besonders günstig und wirksam herausgestellt.
In dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3 ist ein Tragholmrohr 16 entsprechend ausgebildet wie bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 2 und 4. Es ist jedoch ein Zusatzkanalkörper 102' vorgesehen, der die gesamte Unterseite des Rohres 16 überdeckt. In den Zusatzkanalkörper 102' sind drei Teilungsstufen der Bauart mit herkömmlicher T-Stromteilung eingearbeitet. Das Rohr 16 und der Körper 102' sind vorzugsweise durch Klebung dichtend aneinandergefügt, wobei Kanäle K4, K5 und K6 an der Seite, von der sie in den Körper 102' eingearbeitet worden sind, in ihrer Längserstreckung mittels des Rohrmantels abgedeckt sind. Das Tragholmrohr 16 in Fig. 3 ist gegenüber der Anordnung in Fig. 4 so gedreht, daß die Kanäle K3 im Bereich einer in Arbeitsrichtung B hinteren Wand 17 zu liegen kommen. Diese räumliche Anordnung ist günstig, um in diesem Bereich mit Öffnungen 44 die Verbindung mit den Kanälen K4 vorzusehen.
Die hintere an dem Tragholmrohr 16 befestigte und den Teilkörper 102' einfassende längsseitige Wand 17 erstreckt sich bis in die Nähe der Innenfläche der Rundschablone 80. Im Bereich ihres unteren Randes ist ein permanentmagnetisches Gleit- und Halteteil 91 für eine magnetisierbare Rakelrolle 9 angeordnet.
Der Ausströmungsbereich 300 für Substanz ist an der Unterseite des Zusatzkanalkörpers 102' vorgesehen, die im Abstand oberhalb der Rakelrolle 9 liegt. Die Enden der Kanäle K7 der letzten Teilungsstufe enden in zugeordneten Schrägröhrchen 32. In Arbeitsrichtung B betrachtet, verlaufen die Röhrchen 32 von oben nach unten schräg, wobei sie auf den Anlagebereich der Rakelrolle 9 gegen das Gleit- und Halteelement 91 ausgerichtet sind, und zwar senkrecht zur Körperlängsachse 10 des Rohres 16. Dabei liegen die Austrittsöffnungen der Röhrchen 32, in Arbeitsrichtung B gesehen, vor der Rakelrolle 9. Auch hier ist die anhand der Fig. 4 bereits beschriebene Doppelfunktion sehr günstig und vorteilhaft. Bei der Substanzauftragung fließt die Substanz der Schwerkraft folgend in im wesentlichen senkrechter Richtung zur Auftragungsfläche 81 nach unten und bildet einen Substanzvorrat vor der Rakelrolle 9. Im Reinigungsbetrieb bilden die schräggestellten Röhrchen einen Schrägstrahl, mit dem die Rakelrolle im oberen Bereich sowie im Anlagebereich an dem Element 91 gereinigt wird. Als besonders vorteilhaft ist gefunden worden, die Schrägröhrchen 32 mit gleicher Austrittsöffnung eines Durchmessers von vorzugsweise 3 bis 6 mm vorzusehen. Ebenfalls hat es sich als sehr günstig erwiesen, die Öffnungen im Teilungsmaß von 5 bis 15 mm aneinanderzureihen. Anstelle der Röhrchenreihe kann auch bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3 der Schrägspaltkanal gemäß Fig. 4 vorgesehen werden.
Fig. 5 zeigt den in Fig. 3 dargestellten Strömungskanalkörper 1 in Teilansicht C, und zwar nur an einer Stirnseite des Strömungskanalkörpers 1. Dort ist an den Zusatzkanalkörper 102' eine mit einem Kanal K7 verbundene Winkeldüse 33 angesetzt, die einen Reinigungsstrahl auf den stirnseitigen Endbereich der Rakelrolle 9 richtet.
Fig. 6 und 7 zeigen einen Strömungskanalkörper 1, der ein Körperteil 150 mit quadratischem Gesamtquerschnitt aufweist. Das über die Einrichtungsgesamtlänge sich erstreckende Körperteil 150 ist aus zwei Flachrohren 150.1 und 150.2 mit gleichem Querschnitt zusammengefügt. An der stirnseitigen Eingangsseite entspricht die Einrichtung den zuvor beschriebenen Ausführungsbeispielen. So ist die Zuleitung 143 an der Anschlußöffnung 2 mit dem im Vergleich zur Gesamtlänge kurzstückigen Gesamtkanalrohr 140 verbunden, und am Ausgang des Rohres 140 verzweigt der Gesamtstrom an der Teilungsstelle Tl in die parallel und nebeneinander verlaufenden Abschnitte der Teilstromkanäle K2a, K2b. Der direkt an die Teilungsstelle T1 sich anschließende geradlinige Abschnitt des Kanals K2a ist wesentlich kürzer vorgesehen als der parallele Abschnitt des Kanals K2b. Zu diesem Zweck ist in jedes Rohr 150.1, 150.2 jeweils ein Dichtelement 18 in Form einen Dichtstöpsels eingesetzt, wobei sich das Dichtelement 18, in Richtung der zu teilenden Strömung gesehen, unmittelbar hinter einer zugehörigen Bodenöffnung 41, 42 in den Rohren 150.1, 150.2 befindet. Die Öffnung 41 des Kanals K2a befindet sich, von der Anschlußöffnung aus gemessen, im ersten Viertel der Einrichtungsgesamtlänge, während sich die Öffnung 42 des Kanals K2b im dritten Viertel der Einrichtungsgesamtlänge befindet. Dadurch ist ein Längenunterschied zwischen dem kurzen Abschnitt des Teilstromkanals K2a und dem langen Abschnitt des Teilstromkanals K2b von bis zu dem halben Längenmaß, entsprechend etwa der halben Verteilungsbreite V, erreicht.
Aus der seitlichen Teillängsansicht in Fig. 7 ist ersichtlich, daß die Öffnungen 41, 42 unmittelbar in die Kanäle K3a bzw. K3b der folgenden Teilungsstufe münden. Diese und die folgenden Teilungsstufen sind, wie oben beschrieben, in einem Kanalkörper 151 an der Unterseite der Einrichtung 1 ausgebildet. Fig. 7a zeigt ausschnittsweise den Bereich der Austrittsöffnungen 3, bis zu denen hin die Verteilung erfolgt.
Dem durch den Kanal K2a gebildeten kürzeren Abschnitt ist zweckmäßig ein einstellbares Drosselelement 19 mit einem Verdrängungsteil 190 zugeordnet. Im Ausführungsbeispiel der Fig. 6 und 7 ist das Drosselelement durch einen Stab gebildet, der von der der Anschlußöffnung 2 gegenüberliegenden Einrichtungsstirnseite 11 her in das Flachrohr 150.1 hineinragt und in eine längsachsenparallele Durchgangsbohrung des Dichtelements 18 in dichtendem Schiebesitz durchgreift. Diese Schiebeverbindung ist also substanzdicht. Der Stab ist außerhalb der Stirnseite 11 so lang ausgeführt und mit einer Handhabe versehen, daß sein freies, der Teilungsstelle T1 zugewandtes Ende jede beliebige Position zwischen der Teilungsstelle T1 und dem Dichtelement 18 einnehmen kann.
Wie aus den Profilquerschnittsdarstellungen der Fig. 6 und 7 ersichtlich - diese Querschnittsansichten sind zwischen den Teilen des unterbrochen dargestellten Körperteils 150 dargestellt -, weist der Stab des Drosselelements 19 Kreisquerschnitt auf. Mit einem solchen Zylinderstab kann die Substanzfördermenge in dem kurzen Teilstromkanalabschnitt soweit gedrosselt werden, daß in diesem kurzen Abschnitt des Kanals K2a und in dem langen Teilstromkanalabschnitt K2b die gleiche Substanzfördermenge in die Öffnungen 41, 42 hineingeführt wird. Das freie Ende des Stab-Drosselelements 19 bildet also einen Substanzverdrängungsteil mit einstellbarer Position. Es erstreckt sich mittig in dem Querschnitt des Flachrohres 150.1. Sehr vorteilhaft ist, daß mittels des Drosselstabes bei Bedarf auch gezielt eine ungleiche Substanzverteilung auf die Öffnungen 41, 42 vorgesehen werden kann. Weitere Vorteile der Ausgestaltung bestehen darin, daß der Strömungskanalkörper im Vergleich mit einem gleich lange Kanäle K2a, K2b aufweisenden Körper bei gleicher Strömungsleistung mit geringerem Körperquerschnitt herstellbar ist und eine bequeme Anpassung an unterschiedliche Substanzviskositäten möglich wird.
Die Fig. 8 bis 10 betreffen ein Ausführungsbeispiel mit einem Verschlußelement 13, das in dem der Teilungsstelle T1 zugehörigen Parallelabschnitt des Teilstromkanals K2a angeordnet ist. Das Verschlußelement 13 ist durch einen Rundstab gebildet, dessen Kreisdurchmesser der schmalen Innenweite des Flachrohres 150.1 entspricht. Das Verschlußelement 13 ist in einem Rohrverbindungsstück 12 angeordnet, das das Gesamtstromkanalrohr 140 mit dem Doppelrohr-Körperteil 150 verbindet.
Wie aus Fig. 9 und 10 ersichtlich, steht der Verschlußelementstab 13 außen an dem Verbindungsstück 12 hervor, indem er eine zugehörige Durchgangsbohrung durchgreift. Durch Bedienung des hervorstehenden Teils kann die Eingangsöffnung des Flachrohres 150.1 bzw. des Teilstromkanals K2a vollständig geschlossen werden, und zwar unmittelbar an der Teilungsstelle T1.
Im Ausführungsbeispiel kommt ein dem Durchmesser des Stab-Verschlußelements 13 entsprechendes Wandteil 120 des Verbindungsstückes 12 klemmend zwischen dem Rohr 140 und dem Körperteil 150 zu liegen, wobei das Wandteil 120 zur Öffnung 2 hin die Fortsetzung der aneinanderliegenden Wandteile der Flachrohre 150.1, 150.2 bildet.
Die vollständige Absperrung des Kanals K2a kann für besondere Druckergebnisse, z.B. zum Färben von Fahnen, die hälftig unterschiedlich einzufärben sind, besonders vorteilhaft genutzt werden. Andererseits kann das Verschlußelement 13 zweckmäßig aber auch als dosierendes Drosselelement genutzt werden, indem es, wie in Fig. 9 und 10 dargestellt, in eine Position gebracht wird, die den Eingangsquerschnitt des Teilstromkanals K2a nur teilweise schließt. Insoweit kann die Anordnung des Elements 13 auch besonders vorteilhaft in Verbindung mit der Ausführungsform gemäß Fig. 6 und 7 vorgesehen werden, und zwar zusätzlich oder anstelle der Anordnung des dort beschriebenen Drosselelements 19.

Claims (16)

  1. Strömungsteilungs- und -umformungseinrichtung (1) zur Strömungsteilung und Strömungsumformung von fließfähigen und/oder gasförmigen Substanzen, umfassend einen lang sich erstreckenden, eine Körperlängsachse (10) aufweisenden Körper und wenigstens ein Teilungssystem, in dem die Substanzen von einem die Substanz in zusammengefaßter Strömung führenden Gesamtstromkanal (K1) zu einer Reihe von längs des Körpers angeordneten Öffnungen (3), die einem in der Körperlänge sich erstreckenden schmalen Austrittsbereich (300) zugeordnet sind, geführt wird, wobei der Gesamtstromkanal (K1) in zwei den Gesamtstrom an einer ersten Teilungsstelle (T1) teilende, Substanz führende Kanäle einer ersten Teilungsstufe verzweigt und wenigstens eine weitere Teilungsstufe nachgeordnet ist, in der an der zugehörigen Teilungsstelle jedes Kanalende der vorangehenden Stufe in jeweils zwei die Strömung teilende und sie in entgegengesetzte Richtungen entlang der Körperlängsrichtung umlenkende Kanäle verzweigt, dadurch gekennzeichnet, daß der Gesamtstromkanal (K1) an der ersten Teilungsstelle (T1) in zwei parallel und nebeneinander verlaufende, Substanz in gleiche Richtung führende Abschnitte von Teilstromkanälen (K2a, K2b) übergeht, wobei die Strömung im Bereich vor, an und nach der Teilungsstelle (T1) geradlinig oder zumindest nahezu geradlinig verläuft.
  2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß, in Richtung der zu teilenden Strömung gesehen, die erste Teilungsstelle (T1) in dem Bereich des zumindest nahezu geradlinigen Strömungsverlaufs vor Beginn des letzten Bereichsviertels und vorzugsweise in dem ersten Bereichsdrittel vorgesehen ist.
  3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Parallelabschnitte der Teilstromkanäle (K2a, K2b) den gleichen Strömungsquerschnitt und vorzugsweise auch die gleiche Querschnittsform aufweisen.
  4. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die den zumindest nahezu geradlinigen Strömungsverlauf bildenden Abschnitte der Kanäle (K1, K2a, K2b) in wenigstens einer vorzugsweise von der Körperstirnseite bis zur Körperlängsmitte sich erstreckenden Strömungsleitung (14) ausgebildet sind, die besonders vorteilhaft im Bereich der Körperlängsmitte mit einem die weiteren Teilungsstufen aufweisenden Kanalkörper (15) verbunden ist (Fig. 1).
  5. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die den zumindest nahezu geradlinigen Strömungsverlauf bildenden Abschnitte der Kanäle (K1, K2a, K2b) in einem Tragholmrohr (16) ausgebildet sind.
  6. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß ein Kanalrohr (14, 16) vorgesehen ist, in dem die den zumindest nahezu geradlinigen Strömungsverlauf bildenden Abschnitte der Kanäle (K1, K2a, K2b) dadurch ausgebildet sind, daß in das Kanalrohr eine parallel mit dem Kanalrohr über einen Teil seiner Länge sich erstreckende Trennwand (4) eingefügt ist, mittels der die beiden parallelen Abschnitte der Teilstromkanäle (K2a, K2b) gebildet sind.
  7. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Strömungskanalkörper (1) aus einem die Anschlußöffnung (2) aufweisenden Anschlußkanalkörper (101) und wenigstens einem zusätzlichen längsachsenparallel sich erstreckenden Zusatzkanalkörper (102, 103) zusammengefügt ist, wobei jeder Zusatzkanalkörper (102, 103) wenigstens eine Teilungsstufe aufweist, daß ein Zusatzkanalkörper (102) mit der Reihe Öffnungen (3) versehen ist und daß vorzugsweise jeder Zusatzkanalkörper (102, 103) im Raumbereich zwischen dem Anschlußkanalkörper (101) und einer dem Strömungskanalkörper (1) zugeordneten Arbeitsfläche (81) angeordnet ist.
  8. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die parallel und nebeneinander verlaufenden, Substanz in gleiche Richtung führenden Kanalabschnitte in solche Kanalabschnitte der zugehörigen Teilstromkanäle (K2a, K2b) übergehen, die in bezug auf eine zur Körperlängsachse (10) senkrecht gerichtete Querebene (M1) spiegelsymmetrisch verlaufen.
  9. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Strömungskanalkörper (1) wenigstens zwei voneinander getrennte Teilungssysteme ausgebildet sind, wobei ein Teilungssystem zur Breitenverteilung von Auftragungssubstanz und sämtliche Teilungssysteme zur Breitenstrahlbildung für Reinigungsflüssigkeit vorgesehen sind (Fig. 4).
  10. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Gesamtstromkanal (K1) und die Abschnitte der Teilstromkanäle (K2a, K2b) und gegebenenfalls Kanäle (K3) mindestens einer nachfolgenden Stufe in Querschnitts- und Längserstreckung gleichmäßig räumlich in der Quer- und Längsdimension des Strömungskanalkörpers oder eines Strömungskanal-Teilkörpers wie insbesondere eines Tragholmrohres (16) verteilt angeordnet sind, wobei vorzugsweise der Körperquerschnitt in vier Quadranten mit jedem Quadranten zugeordneten gleichen Kanalquerschnitt unterteilt ist (Fig. 3, 4).
  11. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Teilungssystem wenigstens eine nachfolgende Teilungsstufe in der gleichen Weise wie die erste Teilungsstufe mit Substanz in gleiche Richtung führenden Parallelabschnitten von Teilstromkanälen (K3a1, K3a2) ausgebildet ist (Fig. 1).
  12. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Kanäle (K7) der letzten Teilungsstufe dicht aneinander gereihte Austrittskanäle mit gleicher Austrittsöffnung eines Durchmessers von vorzugsweise 3 bis 6 mm sind.
  13. Einrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Substanzaustrittsbereich durch mindestens einen quer, vorzugsweise senkrecht zur Körperlängsachse (10) schräg gerichteten Kanalabschnitt gebildet ist, wobei vorzugsweise entweder eine schräg gerichtete Ausmündungsröhrchenreihe oder ein über die Arbeitslänge des Strömungskanalkörpers (1) durchgehender Schrägspalt (31) vorgesehen ist und vorzugsweise dessen Spaltbreite im Profilquerschnitt 0,5 bis 1,5 mm beträgt.
  14. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die der Teilungsstelle (T1) zugehörigen geradlinigen Abschnitte der beiden Teilstromkanäle (K2a, K2b) unterschiedlich lang sind, wobei insbesondere der kürzere Abschnitt des einen Kanals (K2a) im ersten Viertel der Einrichtungsgesamtlänge und der längere Abschnitt des anderen Kanals (K2b) im dritten Viertel der Einrichtungsgesamtlänge endet.
  15. Einrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß in dem kürzeren Abschnitt des einen Kanals (K2a) ein einstellbares Drosselelement (18) zur Beeinflussung des Strömungswiderstandes angeordnet ist.
  16. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens einer der beiden Teilstromkanäle (K2a, K2b) schließbar ist.
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Families Citing this family (319)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000031602A1 (de) * 1998-11-20 2000-06-02 Sepiatec Gmbh Verfahren und vorrichtung zur regelung einzelner teilströme eines fördersystems für fluide medien
US6263918B1 (en) * 1999-04-29 2001-07-24 The Regents Of The University Of California Multiple feed powder splitter
US6305884B1 (en) 1999-04-29 2001-10-23 The Regents Of The University Of California Rotary powder feed through apparatus
US6481453B1 (en) * 2000-04-14 2002-11-19 Nanostream, Inc. Microfluidic branch metering systems and methods
US6502530B1 (en) * 2000-04-26 2003-01-07 Unaxis Balzers Aktiengesellschaft Design of gas injection for the electrode in a capacitively coupled RF plasma reactor
IT1319599B1 (it) * 2000-12-20 2003-10-20 Rosaldo Fare Testa di melt-blown e procedimento ad alimentazione controllata per laproduzione di fibrille di materiale polimerico
DE10100670A1 (de) * 2001-01-09 2002-08-14 Univ Braunschweig Tech Zuführvorrichtung für eine CVD-Anlage
WO2002092207A1 (en) * 2001-05-17 2002-11-21 Amalgamated Research, Inc. Fractal device for mixing and reactor applications
JP3694877B2 (ja) * 2001-05-28 2005-09-14 株式会社山武 マイクロ混合器
US20020186263A1 (en) * 2001-06-07 2002-12-12 Nanostream, Inc. Microfluidic fraction collectors
US6817554B2 (en) * 2001-08-14 2004-11-16 Northeastern University Fluid nanosplitter device
GB2386168A (en) * 2002-02-13 2003-09-10 Imp College Innovations Ltd Pipe networks
JP3794687B2 (ja) * 2002-08-23 2006-07-05 株式会社山武 マイクロ乳化器
DE10258261A1 (de) * 2002-12-13 2004-06-24 Saurer Gmbh & Co. Kg Spinnbalken
KR101070353B1 (ko) * 2003-06-25 2011-10-05 주성엔지니어링(주) 반도체 소자 제조장치의 가스 인젝터
US7096885B2 (en) * 2003-08-29 2006-08-29 Renewability Energy Inc. Non-pressurized flow-splitting water supply system
DE102004008425B4 (de) * 2004-02-19 2011-12-29 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Gasführungsanordnung in einer Vakuumbeschichtungsanlage mit einer längserstreckten Magnetronanordnung
US20080081114A1 (en) * 2006-10-03 2008-04-03 Novellus Systems, Inc. Apparatus and method for delivering uniform fluid flow in a chemical deposition system
US20080087336A1 (en) * 2006-10-11 2008-04-17 Canon Kabushiki Kaisha Fluid-processing apparatus and fluid-processing system
US7993457B1 (en) 2007-01-23 2011-08-09 Novellus Systems, Inc. Deposition sub-chamber with variable flow
US8673080B2 (en) 2007-10-16 2014-03-18 Novellus Systems, Inc. Temperature controlled showerhead
WO2009078921A1 (en) * 2007-12-19 2009-06-25 Applied Materials, Inc. Plasma reactor gas distribution plate with path splitting manifold
US8512509B2 (en) * 2007-12-19 2013-08-20 Applied Materials, Inc. Plasma reactor gas distribution plate with radially distributed path splitting manifold
US20100071614A1 (en) * 2008-09-22 2010-03-25 Momentive Performance Materials, Inc. Fluid distribution apparatus and method of forming the same
US9394608B2 (en) 2009-04-06 2016-07-19 Asm America, Inc. Semiconductor processing reactor and components thereof
US8802201B2 (en) 2009-08-14 2014-08-12 Asm America, Inc. Systems and methods for thin-film deposition of metal oxides using excited nitrogen-oxygen species
JP3178295U (ja) * 2009-09-10 2012-09-13 ラム リサーチ コーポレーション プラズマ処理装置の交換式上部チャンバ部品
US8511889B2 (en) * 2010-02-08 2013-08-20 Agilent Technologies, Inc. Flow distribution mixer
KR101937115B1 (ko) 2011-03-04 2019-01-09 노벨러스 시스템즈, 인코포레이티드 하이브리드 세라믹 샤워헤드
US9312155B2 (en) 2011-06-06 2016-04-12 Asm Japan K.K. High-throughput semiconductor-processing apparatus equipped with multiple dual-chamber modules
US10854498B2 (en) 2011-07-15 2020-12-01 Asm Ip Holding B.V. Wafer-supporting device and method for producing same
US20130023129A1 (en) 2011-07-20 2013-01-24 Asm America, Inc. Pressure transmitter for a semiconductor processing environment
HUP1100436A2 (en) * 2011-08-15 2013-02-28 Ecosolifer Ag Gas flow system for using in reaction chamber
KR101267464B1 (ko) * 2011-10-13 2013-05-31 세메스 주식회사 유체 분사 장치
US9017481B1 (en) 2011-10-28 2015-04-28 Asm America, Inc. Process feed management for semiconductor substrate processing
US9162236B2 (en) * 2012-04-26 2015-10-20 Applied Materials, Inc. Proportional and uniform controlled gas flow delivery for dry plasma etch apparatus
US10714315B2 (en) 2012-10-12 2020-07-14 Asm Ip Holdings B.V. Semiconductor reaction chamber showerhead
US20160376700A1 (en) 2013-02-01 2016-12-29 Asm Ip Holding B.V. System for treatment of deposition reactor
TWI470098B (zh) * 2013-02-01 2015-01-21 Adpv Technology Ltd Gas release device for coating process
CN107424901B (zh) * 2013-03-12 2019-06-11 应用材料公司 具有方位角与径向分布控制的多区域气体注入组件
US9353439B2 (en) * 2013-04-05 2016-05-31 Lam Research Corporation Cascade design showerhead for transient uniformity
US10683571B2 (en) 2014-02-25 2020-06-16 Asm Ip Holding B.V. Gas supply manifold and method of supplying gases to chamber using same
US10167557B2 (en) 2014-03-18 2019-01-01 Asm Ip Holding B.V. Gas distribution system, reactor including the system, and methods of using the same
US11015245B2 (en) 2014-03-19 2021-05-25 Asm Ip Holding B.V. Gas-phase reactor and system having exhaust plenum and components thereof
US10741365B2 (en) * 2014-05-05 2020-08-11 Lam Research Corporation Low volume showerhead with porous baffle
CN110724938B (zh) * 2014-05-16 2022-02-22 应用材料公司 喷头设计
US10858737B2 (en) 2014-07-28 2020-12-08 Asm Ip Holding B.V. Showerhead assembly and components thereof
US9890456B2 (en) 2014-08-21 2018-02-13 Asm Ip Holding B.V. Method and system for in situ formation of gas-phase compounds
US10941490B2 (en) 2014-10-07 2021-03-09 Asm Ip Holding B.V. Multiple temperature range susceptor, assembly, reactor and system including the susceptor, and methods of using the same
US9657845B2 (en) 2014-10-07 2017-05-23 Asm Ip Holding B.V. Variable conductance gas distribution apparatus and method
JP5847913B1 (ja) * 2014-11-06 2016-01-27 住友精密工業株式会社 熱交換器
US10276355B2 (en) 2015-03-12 2019-04-30 Asm Ip Holding B.V. Multi-zone reactor, system including the reactor, and method of using the same
JP6189351B2 (ja) * 2015-03-18 2017-08-30 株式会社東芝 流路構造
US10378107B2 (en) 2015-05-22 2019-08-13 Lam Research Corporation Low volume showerhead with faceplate holes for improved flow uniformity
US10023959B2 (en) 2015-05-26 2018-07-17 Lam Research Corporation Anti-transient showerhead
US10458018B2 (en) 2015-06-26 2019-10-29 Asm Ip Holding B.V. Structures including metal carbide material, devices including the structures, and methods of forming same
US10600673B2 (en) 2015-07-07 2020-03-24 Asm Ip Holding B.V. Magnetic susceptor to baseplate seal
US11421947B2 (en) 2015-09-07 2022-08-23 Mitsubishi Electric Corporation Laminated header, heat exchanger, and air-conditioning apparatus
US10211308B2 (en) 2015-10-21 2019-02-19 Asm Ip Holding B.V. NbMC layers
US11139308B2 (en) 2015-12-29 2021-10-05 Asm Ip Holding B.V. Atomic layer deposition of III-V compounds to form V-NAND devices
US10529554B2 (en) 2016-02-19 2020-01-07 Asm Ip Holding B.V. Method for forming silicon nitride film selectively on sidewalls or flat surfaces of trenches
JP6462613B2 (ja) * 2016-03-15 2019-01-30 株式会社東芝 分流構造
US10865475B2 (en) 2016-04-21 2020-12-15 Asm Ip Holding B.V. Deposition of metal borides and silicides
US10190213B2 (en) 2016-04-21 2019-01-29 Asm Ip Holding B.V. Deposition of metal borides
US10032628B2 (en) 2016-05-02 2018-07-24 Asm Ip Holding B.V. Source/drain performance through conformal solid state doping
US10367080B2 (en) 2016-05-02 2019-07-30 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a germanium oxynitride film
US11453943B2 (en) 2016-05-25 2022-09-27 Asm Ip Holding B.V. Method for forming carbon-containing silicon/metal oxide or nitride film by ALD using silicon precursor and hydrocarbon precursor
KR102553629B1 (ko) * 2016-06-17 2023-07-11 삼성전자주식회사 플라즈마 처리 장치
JP6696322B2 (ja) * 2016-06-24 2020-05-20 東京エレクトロン株式会社 ガス処理装置、ガス処理方法及び記憶媒体
US9859151B1 (en) 2016-07-08 2018-01-02 Asm Ip Holding B.V. Selective film deposition method to form air gaps
US10612137B2 (en) 2016-07-08 2020-04-07 Asm Ip Holdings B.V. Organic reactants for atomic layer deposition
US10714385B2 (en) 2016-07-19 2020-07-14 Asm Ip Holding B.V. Selective deposition of tungsten
KR102532607B1 (ko) 2016-07-28 2023-05-15 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 가공 장치 및 그 동작 방법
US9887082B1 (en) 2016-07-28 2018-02-06 Asm Ip Holding B.V. Method and apparatus for filling a gap
US9812320B1 (en) 2016-07-28 2017-11-07 Asm Ip Holding B.V. Method and apparatus for filling a gap
US10643826B2 (en) 2016-10-26 2020-05-05 Asm Ip Holdings B.V. Methods for thermally calibrating reaction chambers
US11532757B2 (en) 2016-10-27 2022-12-20 Asm Ip Holding B.V. Deposition of charge trapping layers
US10643904B2 (en) 2016-11-01 2020-05-05 Asm Ip Holdings B.V. Methods for forming a semiconductor device and related semiconductor device structures
US10229833B2 (en) 2016-11-01 2019-03-12 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures
US10714350B2 (en) 2016-11-01 2020-07-14 ASM IP Holdings, B.V. Methods for forming a transition metal niobium nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures
CN106410110B (zh) * 2016-11-07 2019-08-13 云南创能斐源金属燃料电池有限公司 用于金属燃料电池的液体分配器
US10134757B2 (en) 2016-11-07 2018-11-20 Asm Ip Holding B.V. Method of processing a substrate and a device manufactured by using the method
KR102546317B1 (ko) 2016-11-15 2023-06-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기체 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR20180068582A (ko) 2016-12-14 2018-06-22 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US11447861B2 (en) 2016-12-15 2022-09-20 Asm Ip Holding B.V. Sequential infiltration synthesis apparatus and a method of forming a patterned structure
US11581186B2 (en) 2016-12-15 2023-02-14 Asm Ip Holding B.V. Sequential infiltration synthesis apparatus
KR20180070971A (ko) 2016-12-19 2018-06-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US10269558B2 (en) 2016-12-22 2019-04-23 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a structure on a substrate
US10867788B2 (en) 2016-12-28 2020-12-15 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a structure on a substrate
US11390950B2 (en) 2017-01-10 2022-07-19 Asm Ip Holding B.V. Reactor system and method to reduce residue buildup during a film deposition process
US10655221B2 (en) 2017-02-09 2020-05-19 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing oxide film by thermal ALD and PEALD
US10468261B2 (en) 2017-02-15 2019-11-05 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a metallic film on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures
US10529563B2 (en) 2017-03-29 2020-01-07 Asm Ip Holdings B.V. Method for forming doped metal oxide films on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures
USD876504S1 (en) 2017-04-03 2020-02-25 Asm Ip Holding B.V. Exhaust flow control ring for semiconductor deposition apparatus
KR102457289B1 (ko) 2017-04-25 2022-10-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법
US10770286B2 (en) 2017-05-08 2020-09-08 Asm Ip Holdings B.V. Methods for selectively forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures
US10892156B2 (en) 2017-05-08 2021-01-12 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures
US11306395B2 (en) 2017-06-28 2022-04-19 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related deposition apparatus
US10685834B2 (en) 2017-07-05 2020-06-16 Asm Ip Holdings B.V. Methods for forming a silicon germanium tin layer and related semiconductor device structures
KR20190009245A (ko) 2017-07-18 2019-01-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반도체 소자 구조물 형성 방법 및 관련된 반도체 소자 구조물
US11374112B2 (en) 2017-07-19 2022-06-28 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures
US10541333B2 (en) 2017-07-19 2020-01-21 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures
US11018002B2 (en) 2017-07-19 2021-05-25 Asm Ip Holding B.V. Method for selectively depositing a Group IV semiconductor and related semiconductor device structures
US10590535B2 (en) 2017-07-26 2020-03-17 Asm Ip Holdings B.V. Chemical treatment, deposition and/or infiltration apparatus and method for using the same
US10770336B2 (en) 2017-08-08 2020-09-08 Asm Ip Holding B.V. Substrate lift mechanism and reactor including same
US10692741B2 (en) 2017-08-08 2020-06-23 Asm Ip Holdings B.V. Radiation shield
US11139191B2 (en) 2017-08-09 2021-10-05 Asm Ip Holding B.V. Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith
US11769682B2 (en) 2017-08-09 2023-09-26 Asm Ip Holding B.V. Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith
US10249524B2 (en) 2017-08-09 2019-04-02 Asm Ip Holding B.V. Cassette holder assembly for a substrate cassette and holding member for use in such assembly
USD900036S1 (en) 2017-08-24 2020-10-27 Asm Ip Holding B.V. Heater electrical connector and adapter
US11830730B2 (en) 2017-08-29 2023-11-28 Asm Ip Holding B.V. Layer forming method and apparatus
KR102491945B1 (ko) 2017-08-30 2023-01-26 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US11295980B2 (en) 2017-08-30 2022-04-05 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a molybdenum metal film over a dielectric surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures
US11056344B2 (en) 2017-08-30 2021-07-06 Asm Ip Holding B.V. Layer forming method
KR102401446B1 (ko) 2017-08-31 2022-05-24 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
KR102630301B1 (ko) 2017-09-21 2024-01-29 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 침투성 재료의 순차 침투 합성 방법 처리 및 이를 이용하여 형성된 구조물 및 장치
US10844484B2 (en) 2017-09-22 2020-11-24 Asm Ip Holding B.V. Apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods
US10658205B2 (en) 2017-09-28 2020-05-19 Asm Ip Holdings B.V. Chemical dispensing apparatus and methods for dispensing a chemical to a reaction chamber
US10403504B2 (en) 2017-10-05 2019-09-03 Asm Ip Holding B.V. Method for selectively depositing a metallic film on a substrate
US10319588B2 (en) 2017-10-10 2019-06-11 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a metal chalcogenide on a substrate by cyclical deposition
EP3499169B1 (de) * 2017-10-13 2020-05-27 Mitsubishi Electric Corporation Laminiertes kopfteil, wärmetauscher und kältekreislaufvorrichtung
US10923344B2 (en) 2017-10-30 2021-02-16 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a semiconductor structure and related semiconductor structures
KR102443047B1 (ko) 2017-11-16 2022-09-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치 방법 및 그에 의해 제조된 장치
US10910262B2 (en) 2017-11-16 2021-02-02 Asm Ip Holding B.V. Method of selectively depositing a capping layer structure on a semiconductor device structure
US11022879B2 (en) 2017-11-24 2021-06-01 Asm Ip Holding B.V. Method of forming an enhanced unexposed photoresist layer
WO2019103613A1 (en) 2017-11-27 2019-05-31 Asm Ip Holding B.V. A storage device for storing wafer cassettes for use with a batch furnace
KR102633318B1 (ko) 2017-11-27 2024-02-05 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 청정 소형 구역을 포함한 장치
US10872771B2 (en) 2018-01-16 2020-12-22 Asm Ip Holding B. V. Method for depositing a material film on a substrate within a reaction chamber by a cyclical deposition process and related device structures
US11482412B2 (en) 2018-01-19 2022-10-25 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a gap-fill layer by plasma-assisted deposition
TW202325889A (zh) 2018-01-19 2023-07-01 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 沈積方法
USD903477S1 (en) 2018-01-24 2020-12-01 Asm Ip Holdings B.V. Metal clamp
US11018047B2 (en) 2018-01-25 2021-05-25 Asm Ip Holding B.V. Hybrid lift pin
USD880437S1 (en) 2018-02-01 2020-04-07 Asm Ip Holding B.V. Gas supply plate for semiconductor manufacturing apparatus
US11081345B2 (en) 2018-02-06 2021-08-03 Asm Ip Holding B.V. Method of post-deposition treatment for silicon oxide film
EP3737779A1 (de) 2018-02-14 2020-11-18 ASM IP Holding B.V. Verfahren zum abscheiden eines ruthenium-haltigen films auf einem substrat durch ein zyklisches abscheidungsverfahren
US10896820B2 (en) 2018-02-14 2021-01-19 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a ruthenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process
US10731249B2 (en) 2018-02-15 2020-08-04 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a transition metal containing film on a substrate by a cyclical deposition process, a method for supplying a transition metal halide compound to a reaction chamber, and related vapor deposition apparatus
KR102636427B1 (ko) 2018-02-20 2024-02-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법 및 장치
US10658181B2 (en) 2018-02-20 2020-05-19 Asm Ip Holding B.V. Method of spacer-defined direct patterning in semiconductor fabrication
US10975470B2 (en) 2018-02-23 2021-04-13 Asm Ip Holding B.V. Apparatus for detecting or monitoring for a chemical precursor in a high temperature environment
US11473195B2 (en) 2018-03-01 2022-10-18 Asm Ip Holding B.V. Semiconductor processing apparatus and a method for processing a substrate
US11629406B2 (en) 2018-03-09 2023-04-18 Asm Ip Holding B.V. Semiconductor processing apparatus comprising one or more pyrometers for measuring a temperature of a substrate during transfer of the substrate
US11114283B2 (en) 2018-03-16 2021-09-07 Asm Ip Holding B.V. Reactor, system including the reactor, and methods of manufacturing and using same
KR102646467B1 (ko) 2018-03-27 2024-03-11 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 상에 전극을 형성하는 방법 및 전극을 포함하는 반도체 소자 구조
US11088002B2 (en) 2018-03-29 2021-08-10 Asm Ip Holding B.V. Substrate rack and a substrate processing system and method
US11230766B2 (en) 2018-03-29 2022-01-25 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus and method
KR102501472B1 (ko) 2018-03-30 2023-02-20 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법
KR102474847B1 (ko) * 2018-04-25 2022-12-06 삼성전자주식회사 가스 인젝터 및 웨이퍼 처리 장치
TWI811348B (zh) 2018-05-08 2023-08-11 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 藉由循環沉積製程於基板上沉積氧化物膜之方法及相關裝置結構
TWI816783B (zh) 2018-05-11 2023-10-01 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 用於基板上形成摻雜金屬碳化物薄膜之方法及相關半導體元件結構
KR102596988B1 (ko) 2018-05-28 2023-10-31 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법 및 그에 의해 제조된 장치
US11270899B2 (en) 2018-06-04 2022-03-08 Asm Ip Holding B.V. Wafer handling chamber with moisture reduction
US11718913B2 (en) 2018-06-04 2023-08-08 Asm Ip Holding B.V. Gas distribution system and reactor system including same
US11286562B2 (en) 2018-06-08 2022-03-29 Asm Ip Holding B.V. Gas-phase chemical reactor and method of using same
KR102568797B1 (ko) 2018-06-21 2023-08-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 시스템
US10797133B2 (en) 2018-06-21 2020-10-06 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a phosphorus doped silicon arsenide film and related semiconductor device structures
KR20210027265A (ko) 2018-06-27 2021-03-10 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 금속 함유 재료를 형성하기 위한 주기적 증착 방법 및 금속 함유 재료를 포함하는 막 및 구조체
US11492703B2 (en) 2018-06-27 2022-11-08 Asm Ip Holding B.V. Cyclic deposition methods for forming metal-containing material and films and structures including the metal-containing material
KR20200002519A (ko) 2018-06-29 2020-01-08 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법
US10612136B2 (en) 2018-06-29 2020-04-07 ASM IP Holding, B.V. Temperature-controlled flange and reactor system including same
US10388513B1 (en) 2018-07-03 2019-08-20 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition
US10755922B2 (en) 2018-07-03 2020-08-25 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition
US10767789B2 (en) 2018-07-16 2020-09-08 Asm Ip Holding B.V. Diaphragm valves, valve components, and methods for forming valve components
US11053591B2 (en) 2018-08-06 2021-07-06 Asm Ip Holding B.V. Multi-port gas injection system and reactor system including same
US10883175B2 (en) 2018-08-09 2021-01-05 Asm Ip Holding B.V. Vertical furnace for processing substrates and a liner for use therein
US10829852B2 (en) 2018-08-16 2020-11-10 Asm Ip Holding B.V. Gas distribution device for a wafer processing apparatus
US11430674B2 (en) 2018-08-22 2022-08-30 Asm Ip Holding B.V. Sensor array, apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods
US11024523B2 (en) 2018-09-11 2021-06-01 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus and method
KR20200030162A (ko) 2018-09-11 2020-03-20 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 증착 방법
US11049751B2 (en) 2018-09-14 2021-06-29 Asm Ip Holding B.V. Cassette supply system to store and handle cassettes and processing apparatus equipped therewith
WO2020069363A1 (en) * 2018-09-27 2020-04-02 Vanderbilt University Multi-material printing device for energy storage and conversion applications
CN110970344A (zh) 2018-10-01 2020-04-07 Asm Ip控股有限公司 衬底保持设备、包含所述设备的系统及其使用方法
US11232963B2 (en) 2018-10-03 2022-01-25 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus and method
KR102592699B1 (ko) 2018-10-08 2023-10-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 박막 증착 장치와 기판 처리 장치
US10847365B2 (en) 2018-10-11 2020-11-24 Asm Ip Holding B.V. Method of forming conformal silicon carbide film by cyclic CVD
US10811256B2 (en) 2018-10-16 2020-10-20 Asm Ip Holding B.V. Method for etching a carbon-containing feature
KR102546322B1 (ko) 2018-10-19 2023-06-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
KR102605121B1 (ko) 2018-10-19 2023-11-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
USD948463S1 (en) 2018-10-24 2022-04-12 Asm Ip Holding B.V. Susceptor for semiconductor substrate supporting apparatus
US11087997B2 (en) 2018-10-31 2021-08-10 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus for processing substrates
KR20200051105A (ko) 2018-11-02 2020-05-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
US11572620B2 (en) 2018-11-06 2023-02-07 Asm Ip Holding B.V. Methods for selectively depositing an amorphous silicon film on a substrate
US11031242B2 (en) 2018-11-07 2021-06-08 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a boron doped silicon germanium film
US10818758B2 (en) 2018-11-16 2020-10-27 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a metal silicate film on a substrate in a reaction chamber and related semiconductor device structures
US10847366B2 (en) 2018-11-16 2020-11-24 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a transition metal chalcogenide film on a substrate by a cyclical deposition process
US10559458B1 (en) 2018-11-26 2020-02-11 Asm Ip Holding B.V. Method of forming oxynitride film
US11217444B2 (en) 2018-11-30 2022-01-04 Asm Ip Holding B.V. Method for forming an ultraviolet radiation responsive metal oxide-containing film
KR102636428B1 (ko) 2018-12-04 2024-02-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치를 세정하는 방법
US11158513B2 (en) 2018-12-13 2021-10-26 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a rhenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures
TW202037745A (zh) 2018-12-14 2020-10-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成裝置結構之方法、其所形成之結構及施行其之系統
TW202405220A (zh) 2019-01-17 2024-02-01 荷蘭商Asm Ip 私人控股有限公司 藉由循環沈積製程於基板上形成含過渡金屬膜之方法
KR20200091543A (ko) 2019-01-22 2020-07-31 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
CN111524788B (zh) 2019-02-01 2023-11-24 Asm Ip私人控股有限公司 氧化硅的拓扑选择性膜形成的方法
CN111593319B (zh) 2019-02-20 2023-05-30 Asm Ip私人控股有限公司 用于填充在衬底表面内形成的凹部的循环沉积方法和设备
KR20200102357A (ko) 2019-02-20 2020-08-31 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 3-d nand 응용의 플러그 충진체 증착용 장치 및 방법
KR102626263B1 (ko) 2019-02-20 2024-01-16 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 처리 단계를 포함하는 주기적 증착 방법 및 이를 위한 장치
TW202044325A (zh) 2019-02-20 2020-12-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 填充一基板之一表面內所形成的一凹槽的方法、根據其所形成之半導體結構、及半導體處理設備
JP2020133004A (ja) 2019-02-22 2020-08-31 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 基材を処理するための基材処理装置および方法
KR20200108248A (ko) 2019-03-08 2020-09-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. SiOCN 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법
KR20200108243A (ko) 2019-03-08 2020-09-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. SiOC 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법
KR20200108242A (ko) 2019-03-08 2020-09-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체
KR20200116033A (ko) 2019-03-28 2020-10-08 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 도어 개방기 및 이를 구비한 기판 처리 장치
KR20200116855A (ko) 2019-04-01 2020-10-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반도체 소자를 제조하는 방법
US11447864B2 (en) 2019-04-19 2022-09-20 Asm Ip Holding B.V. Layer forming method and apparatus
KR20200125453A (ko) 2019-04-24 2020-11-04 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기상 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
KR20200130118A (ko) 2019-05-07 2020-11-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 비정질 탄소 중합체 막을 개질하는 방법
KR20200130121A (ko) 2019-05-07 2020-11-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 딥 튜브가 있는 화학물질 공급원 용기
KR20200130652A (ko) 2019-05-10 2020-11-19 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 표면 상에 재료를 증착하는 방법 및 본 방법에 따라 형성된 구조
JP2020188255A (ja) 2019-05-16 2020-11-19 エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
JP2020188254A (ja) 2019-05-16 2020-11-19 エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
USD947913S1 (en) 2019-05-17 2022-04-05 Asm Ip Holding B.V. Susceptor shaft
USD975665S1 (en) 2019-05-17 2023-01-17 Asm Ip Holding B.V. Susceptor shaft
FR3096012B1 (fr) * 2019-05-17 2021-04-16 A Raymond Et Cie système de distribution d’un fluide pour véhicule, distributeur fluidique associé et procédé d’éjection de fluide utilisant d’un tel système
USD935572S1 (en) 2019-05-24 2021-11-09 Asm Ip Holding B.V. Gas channel plate
USD922229S1 (en) 2019-06-05 2021-06-15 Asm Ip Holding B.V. Device for controlling a temperature of a gas supply unit
KR20200141002A (ko) 2019-06-06 2020-12-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 배기 가스 분석을 포함한 기상 반응기 시스템을 사용하는 방법
KR20200143254A (ko) 2019-06-11 2020-12-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조
USD944946S1 (en) 2019-06-14 2022-03-01 Asm Ip Holding B.V. Shower plate
USD931978S1 (en) 2019-06-27 2021-09-28 Asm Ip Holding B.V. Showerhead vacuum transport
KR20210005515A (ko) 2019-07-03 2021-01-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치용 온도 제어 조립체 및 이를 사용하는 방법
JP7499079B2 (ja) 2019-07-09 2024-06-13 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 同軸導波管を用いたプラズマ装置、基板処理方法
CN112216646A (zh) 2019-07-10 2021-01-12 Asm Ip私人控股有限公司 基板支撑组件及包括其的基板处理装置
KR20210010307A (ko) 2019-07-16 2021-01-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
KR20210010820A (ko) 2019-07-17 2021-01-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법
KR20210010816A (ko) 2019-07-17 2021-01-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 라디칼 보조 점화 플라즈마 시스템 및 방법
US11643724B2 (en) 2019-07-18 2023-05-09 Asm Ip Holding B.V. Method of forming structures using a neutral beam
CN112242296A (zh) 2019-07-19 2021-01-19 Asm Ip私人控股有限公司 形成拓扑受控的无定形碳聚合物膜的方法
TW202113936A (zh) 2019-07-29 2021-04-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於利用n型摻雜物及/或替代摻雜物選擇性沉積以達成高摻雜物併入之方法
CN112309899A (zh) 2019-07-30 2021-02-02 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
CN112309900A (zh) 2019-07-30 2021-02-02 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
US11227782B2 (en) 2019-07-31 2022-01-18 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly
US11587815B2 (en) 2019-07-31 2023-02-21 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly
US11587814B2 (en) 2019-07-31 2023-02-21 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly
CN112323048B (zh) 2019-08-05 2024-02-09 Asm Ip私人控股有限公司 用于化学源容器的液位传感器
USD965524S1 (en) 2019-08-19 2022-10-04 Asm Ip Holding B.V. Susceptor support
USD965044S1 (en) 2019-08-19 2022-09-27 Asm Ip Holding B.V. Susceptor shaft
JP2021031769A (ja) 2019-08-21 2021-03-01 エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. 成膜原料混合ガス生成装置及び成膜装置
USD930782S1 (en) 2019-08-22 2021-09-14 Asm Ip Holding B.V. Gas distributor
USD949319S1 (en) 2019-08-22 2022-04-19 Asm Ip Holding B.V. Exhaust duct
USD940837S1 (en) 2019-08-22 2022-01-11 Asm Ip Holding B.V. Electrode
USD979506S1 (en) 2019-08-22 2023-02-28 Asm Ip Holding B.V. Insulator
KR20210024423A (ko) 2019-08-22 2021-03-05 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 홀을 구비한 구조체를 형성하기 위한 방법
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US11286558B2 (en) 2019-08-23 2022-03-29 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a molybdenum nitride film on a surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures including a molybdenum nitride film
KR20210029090A (ko) 2019-09-04 2021-03-15 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 희생 캡핑 층을 이용한 선택적 증착 방법
KR20210029663A (ko) 2019-09-05 2021-03-16 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US20220250291A1 (en) * 2019-09-06 2022-08-11 Dow Global Technologies Llc Flexible film fluid-dispensing device
US11426740B2 (en) * 2019-09-20 2022-08-30 Daltile Corporation Adhesive splitter systems and methods of using the same
US11562901B2 (en) 2019-09-25 2023-01-24 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing method
CN112593212B (zh) 2019-10-02 2023-12-22 Asm Ip私人控股有限公司 通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法
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CN112635282A (zh) 2019-10-08 2021-04-09 Asm Ip私人控股有限公司 具有连接板的基板处理装置、基板处理方法
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US12009241B2 (en) 2019-10-14 2024-06-11 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly with detector to detect cassette
TWI834919B (zh) 2019-10-16 2024-03-11 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 氧化矽之拓撲選擇性膜形成之方法
US11637014B2 (en) 2019-10-17 2023-04-25 Asm Ip Holding B.V. Methods for selective deposition of doped semiconductor material
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KR20210050453A (ko) 2019-10-25 2021-05-07 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 표면 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조
US11646205B2 (en) 2019-10-29 2023-05-09 Asm Ip Holding B.V. Methods of selectively forming n-type doped material on a surface, systems for selectively forming n-type doped material, and structures formed using same
KR20210054983A (ko) 2019-11-05 2021-05-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 도핑된 반도체 층을 갖는 구조체 및 이를 형성하기 위한 방법 및 시스템
US11501968B2 (en) 2019-11-15 2022-11-15 Asm Ip Holding B.V. Method for providing a semiconductor device with silicon filled gaps
KR20210062561A (ko) 2019-11-20 2021-05-31 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판의 표면 상에 탄소 함유 물질을 증착하는 방법, 상기 방법을 사용하여 형성된 구조물, 및 상기 구조물을 형성하기 위한 시스템
CN112951697A (zh) 2019-11-26 2021-06-11 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
KR20210065848A (ko) 2019-11-26 2021-06-04 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 제1 유전체 표면과 제2 금속성 표면을 포함한 기판 상에 타겟 막을 선택적으로 형성하기 위한 방법
CN112885693A (zh) 2019-11-29 2021-06-01 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
CN112885692A (zh) 2019-11-29 2021-06-01 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
JP2021090042A (ja) 2019-12-02 2021-06-10 エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. 基板処理装置、基板処理方法
KR20210070898A (ko) 2019-12-04 2021-06-15 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
TW202125596A (zh) 2019-12-17 2021-07-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成氮化釩層之方法以及包括該氮化釩層之結構
US11527403B2 (en) 2019-12-19 2022-12-13 Asm Ip Holding B.V. Methods for filling a gap feature on a substrate surface and related semiconductor structures
TW202140135A (zh) 2020-01-06 2021-11-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 氣體供應總成以及閥板總成
US11993847B2 (en) 2020-01-08 2024-05-28 Asm Ip Holding B.V. Injector
US11551912B2 (en) 2020-01-20 2023-01-10 Asm Ip Holding B.V. Method of forming thin film and method of modifying surface of thin film
TW202130846A (zh) 2020-02-03 2021-08-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成包括釩或銦層的結構之方法
TW202146882A (zh) 2020-02-04 2021-12-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 驗證一物品之方法、用於驗證一物品之設備、及用於驗證一反應室之系統
US11776846B2 (en) 2020-02-07 2023-10-03 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing gap filling fluids and related systems and devices
TW202146715A (zh) 2020-02-17 2021-12-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於生長磷摻雜矽層之方法及其系統
TW202203344A (zh) 2020-02-28 2022-01-16 荷蘭商Asm Ip控股公司 專用於零件清潔的系統
US11876356B2 (en) 2020-03-11 2024-01-16 Asm Ip Holding B.V. Lockout tagout assembly and system and method of using same
KR20210116240A (ko) 2020-03-11 2021-09-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 조절성 접합부를 갖는 기판 핸들링 장치
CN113394086A (zh) 2020-03-12 2021-09-14 Asm Ip私人控股有限公司 用于制造具有目标拓扑轮廓的层结构的方法
KR20210124042A (ko) 2020-04-02 2021-10-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 형성 방법
TW202146689A (zh) 2020-04-03 2021-12-16 荷蘭商Asm Ip控股公司 阻障層形成方法及半導體裝置的製造方法
TW202145344A (zh) 2020-04-08 2021-12-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於選擇性蝕刻氧化矽膜之設備及方法
US11821078B2 (en) 2020-04-15 2023-11-21 Asm Ip Holding B.V. Method for forming precoat film and method for forming silicon-containing film
US11996289B2 (en) 2020-04-16 2024-05-28 Asm Ip Holding B.V. Methods of forming structures including silicon germanium and silicon layers, devices formed using the methods, and systems for performing the methods
US11898243B2 (en) 2020-04-24 2024-02-13 Asm Ip Holding B.V. Method of forming vanadium nitride-containing layer
KR20210132600A (ko) 2020-04-24 2021-11-04 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 바나듐, 질소 및 추가 원소를 포함한 층을 증착하기 위한 방법 및 시스템
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TW202200837A (zh) 2020-05-22 2022-01-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於在基材上形成薄膜之反應系統
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TW202219628A (zh) 2020-07-17 2022-05-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於光微影之結構與方法
TW202204662A (zh) 2020-07-20 2022-02-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於沉積鉬層之方法及系統
CN111997139B (zh) * 2020-08-25 2021-08-20 永嘉县真山园林工程有限公司 一种市政给水用具有调节功能的分流装置
TW202212623A (zh) 2020-08-26 2022-04-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成金屬氧化矽層及金屬氮氧化矽層的方法、半導體結構、及系統
USD990534S1 (en) 2020-09-11 2023-06-27 Asm Ip Holding B.V. Weighted lift pin
USD1012873S1 (en) 2020-09-24 2024-01-30 Asm Ip Holding B.V. Electrode for semiconductor processing apparatus
US12009224B2 (en) 2020-09-29 2024-06-11 Asm Ip Holding B.V. Apparatus and method for etching metal nitrides
TW202229613A (zh) 2020-10-14 2022-08-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 於階梯式結構上沉積材料的方法
WO2022085113A1 (ja) * 2020-10-21 2022-04-28 三菱電機株式会社 分配器、熱交換器および空気調和装置
KR20220053482A (ko) 2020-10-22 2022-04-29 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 바나듐 금속을 증착하는 방법, 구조체, 소자 및 증착 어셈블리
TW202223136A (zh) 2020-10-28 2022-06-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於在基板上形成層之方法、及半導體處理系統
KR20220076343A (ko) 2020-11-30 2022-06-08 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치의 반응 챔버 내에 배열되도록 구성된 인젝터
CN114639631A (zh) 2020-12-16 2022-06-17 Asm Ip私人控股有限公司 跳动和摆动测量固定装置
TW202231903A (zh) 2020-12-22 2022-08-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 過渡金屬沉積方法、過渡金屬層、用於沉積過渡金屬於基板上的沉積總成
CN113198656B (zh) * 2021-04-26 2022-03-15 东风延锋汽车饰件系统有限公司 喷胶设备的自动清洗装置及方法
USD980814S1 (en) 2021-05-11 2023-03-14 Asm Ip Holding B.V. Gas distributor for substrate processing apparatus
USD1023959S1 (en) 2021-05-11 2024-04-23 Asm Ip Holding B.V. Electrode for substrate processing apparatus
USD980813S1 (en) 2021-05-11 2023-03-14 Asm Ip Holding B.V. Gas flow control plate for substrate processing apparatus
USD981973S1 (en) 2021-05-11 2023-03-28 Asm Ip Holding B.V. Reactor wall for substrate processing apparatus
USD990441S1 (en) 2021-09-07 2023-06-27 Asm Ip Holding B.V. Gas flow control plate

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2734224A (en) * 1956-02-14 winstead
DE2338458A1 (de) * 1973-07-28 1975-02-06 Karl Hehl Mehrfachduese einer spritzgiessmaschine
US4017240A (en) * 1975-11-19 1977-04-12 Rubbermaid Incorporated Die for extruding sheet material
DE3102132A1 (de) * 1981-01-23 1982-08-26 Phoenix Ag, 2100 Hamburg Vorrichtung zum herstellen eines duennen beschichtungsfilmes auf gewebe
US4909181A (en) * 1988-10-18 1990-03-20 W. Wrigley Jr. Company Fluid distribution bar
DE4026198A1 (de) * 1990-08-18 1992-02-27 Vepa Ag Vorrichtung zum aufbringen eines fluessigkeitsfilmes auf eine warenbahn
DE9218012U1 (de) * 1992-04-07 1993-08-05 Eduard Küsters Maschinenfabrik GmbH & Co KG, 47805 Krefeld Vorrichtung zum Auftragen eines fluiden Behandlungsmediums auf eine laufende Bahn
DE9302207U1 (de) * 1993-02-12 1994-06-09 Zimmer, Johannes, Klagenfurt Vorrichtung zum breitenverteilenden Auftragen fließfähiger Substanzen

Also Published As

Publication number Publication date
US5992453A (en) 1999-11-30
WO1997014511A1 (de) 1997-04-24
DE29517100U1 (de) 1997-02-13
CN1073476C (zh) 2001-10-24
CN1200057A (zh) 1998-11-25
ES2146907T3 (es) 2000-08-16
DE59605066D1 (de) 2000-05-31
BR9610957A (pt) 1999-07-13
ATE192051T1 (de) 2000-05-15
EP0853503A1 (de) 1998-07-22

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